JP2006343666A - マスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法、マスクブランク用ガラス基板、マスクブランク、露光用マスク、マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及び露光用マスクの製造方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 242
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 141
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 53
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 32
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 152
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 100
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 30
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 27
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 11
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 abstract description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 abstract 3
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 28
- 239000010408 film Substances 0.000 description 24
- 206010040925 Skin striae Diseases 0.000 description 13
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-ZSJDYOACSA-N Heavy water Chemical compound [2H]O[2H] XLYOFNOQVPJJNP-ZSJDYOACSA-N 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 231100000989 no adverse effect Toxicity 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
- G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
- G03F1/84—Inspecting
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
- G01N21/6456—Spatial resolved fluorescence measurements; Imaging
- G01N2021/646—Detecting fluorescent inhomogeneities at a position, e.g. for detecting defects
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
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- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
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Abstract
【解決手段】 波長が200nm以下の短波長光を導入する端面2を有する合成石英ガラス基板4を準備する準備工程と、端面2から短波長光を導入し、当該ガラス基板の内部欠陥が発する上記短波長光よりも長い波長の光を他の端面から受光し、この受光した光に基づき内部欠陥を検出する検出工程を有し、この検出工程で内部欠陥が検出されない合成石英ガラス基板からマスクブランク用ガラス基板を製造する際に、上記準備工程において、端面2における面取り面51の幅tが、この端面に対向する端面18における面取り面53、57の幅Tよりも小さく設定された合成石英ガラス基板4を準備し、上記検出工程において、端面2の側面59に上記短波長光を導入するものである。
【選択図】 図5
Description
本発明の他の目的は、被転写体へのパターン転写に影響の大きな主表面近傍の内部欠陥を含む、マスクブランク用ガラス基板の実質的に全ての領域の内部欠陥を良好に検出して、パターン転写の転写精度を良好にできる露光用マスクを製造する露光用マスクの製造方法、この露光用マスクを製造するためのマスクブランクを製造するマスクブランクの製造方法、及びこのマスクブランクを製造するためのマスクブランク用ガラス基板を製造するマスクブランク用ガラス基板の製造方法を提供することにある。
特開平8−31723号公報や特開2003−81654号公報に記載された製造方法により作製された合成石英ガラスインゴットから、約152.4mm×約152.4mm×約6.85mmに切り出して得られた合成石英ガラス板1(図1(a))に面取り加工を施す。次に、この合成石英ガラス板1の表面のうち、少なくとも、検査用の光である波長が200nm以下の短波長光(本実施の形態では露光波長の光(ArFエキシマレーザー光)))を導入する側の端面2と、この端面2に隣接し、後述の内部欠陥16(図2)が発する光15、17等を受光する側の端面3とを、上記露光波長の光を導入できる程度に鏡面研磨して、合成石英ガラス基板4を準備する(図1(b))。
次に、マスクブランク用ガラス基板7の主表面5上にマスクパターンとなる薄膜(ハーフトーン膜8)をスパッタリング法により形成して、マスクブランク9(ハーフトーン型位相シフトマスクブランク)を作製する(図1(d))。ハーフトーン膜8の成膜は、以下の構成を有するスパッタリング装置を使って行う。
次に、図1に示すように、上記マスクブランク9(ハーフトーン型位相シフトマスクブランク)のハーフトーン膜8の表面にレジストを塗布した後、加熱処理してレジスト膜10を形成する。(図1(e))。
得られた露光用マスク14を露光装置に装着し、この露光用マスク14を使用し、ArFエキシマレーザーを露光光として光リソグラフィー技術を用い、半導体基板(半導体ウェハ)に形成されているレジスト膜に露光用マスクのマスクパターンを転写して、この半導体基板上に所望の回路パターンを形成し、半導体デバイスを製造する。
上述のように構成されたことから、上記実施の形態によれば、次の効果(1)〜(3)を奏する。
(1)合成石英ガラス基板4に波長が200nm以下の短波長光である露光波長の光(ArFエキシマレーザー光)を導入して、この露光波長の光を当該ガラス基板の内部欠陥16の検査に用いる。このことから、この合成石英ガラス基板4からマスクブランク用ガラス基板7及びマスクブランク9を経て製造される露光用マスク14及び露光光を用いたパターン転写の際に、転写パターン欠陥となる内部欠陥16を良好に検出できる。このため、この内部欠陥16が検出されない合成石英ガラス基板4を用いてマスクブランク用ガラス基板7を製造することにより、このマスクブランク用ガラス基板7を用いた露光用マスク14には、ガラス基板の内部欠陥16に起因して局所的に光学特性が変化(例えば透過光が低下)する領域が存在しなくなるので、転写パターン欠陥が生ずることなく、転写精度を向上させることができる。
従って、合成石英ガラス基板4から露光用マスク14を製造する場合にマスクパターン(ハーフトーン膜パターン13)が形成される側の主表面5近傍の内部欠陥を含む、当該合成石英ガラス基板4の実質的に全ての領域の内部欠陥16を良好に検出できることになる。合成石英ガラス基板4において、上記マスクパターンが形成される側の主表面5近傍の内部欠陥16は、露光用マスク14を用いた被転写体(例えば半導体ウェハ)へのパターン転写時に、合成石英ガラス基板4における他の箇所の内部欠陥16が露光装置の焦点深度の関係から被転写体に結像されにくいのに対し、被転写体に結像転写され易いので、パターン転写の際に影響が大きい。検出工程では、特にこの主表面5近傍の内部欠陥16を良好に検出できる。この結果、内部欠陥が検出されない合成石英ガラス基板4から露光用マスク14を製造することで、この露光用マスク14を用いたパターン転写の転写精度を向上させることができる。
2 端面(一端面)
4 合成石英ガラス基板
5、6 主表面
7 マスクブランク用ガラス基板
8 ハーフトーン膜(薄膜)
9 マスクブランク
13 ハーフトーン膜パターン(マスクパターン)
14 露光用マスク
15、17 光
16 内部欠陥
18 端面(対向端面)
20 ガラス基板の欠陥検査装置
21 レーザー照射装置
23 CCDカメラ
27 コンピュータ
51〜58 面取り面
59 側面
60 表層領域
t 幅
T 幅
Claims (12)
- ガラス基板の表面のうちの一端面から波長が200nm以下の短波長光を導入し、
この導入された短波長光によって上記ガラス基板の内部欠陥が発する、上記波長よりも長い長波長光を上記表面の他方から受光し、
この受光した長波長光に基づき上記ガラス基板の上記内部欠陥を検出するマスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法であって、
上記ガラス基板の上記一端面における面取り面の幅が、この一端面に対向する対向端面における面取り面の幅よりも小さく設定され、
この一端面の側面に上記短波長光を導入することを特徴とするマスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法。 - 上記ガラス基板の一端面において対向端面の面取り面の幅よりも小さな幅を有する面取り面は、当該一端面の片側に形成され、または当該ガラス基板の対向する両主表面のそれぞれに接する両側に形成されることを特徴とする請求項1に記載のマスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法。
- 一端面の側面に、内部欠陥を検出するための検査用の光が導入可能とされ、
上記一端面における面取り面の幅が、この一端面に対向する対向端面における面取り面の幅よりも小さく設定されたことを特徴とするマスクブランク用ガラス基板。 - 上記一端面に導入される検査用の光の波長が、200nm以下の光であることを特徴とする請求項3に記載のマスクブランク用ガラス基板。
- 上記一端面において対向端面の面取り面の幅よりも小さな幅を有する面取り面は、当該一端面の片側に形成され、または対向する両主表面のそれぞれに接する両側に形成されることを特徴とする請求項3または4に記載のマスクブランク用ガラス基板。
- 請求項3乃至5のいずれかに記載のマスクブランク用ガラス基板の主表面上に、マスクパターンとなる薄膜が形成されたことを特徴とするマスクブランク。
- 請求項6に記載のマスクブランクにおける薄膜がパターニングされて、マスクブランク用ガラス基板の主表面上にマスクパターンが形成されたことを特徴とする露光用マスク。
- 波長が200nm以下の短波長光を導入する一端面を含む表面を有する合成石英ガラス基板を準備する準備工程と、
上記一端面から上記短波長光を導入し、当該ガラス基板の内部欠陥が発する上記波長よりも長い長波長光を上記表面の他方から受光し、この受光した長波長光に基づき上記内部欠陥を検出する検出工程とを有し、
上記検出工程で内部欠陥が検出されない上記合成石英ガラス基板を用いてマスクブランク用ガラス基板を製造するマスクブランク用ガラス基板の製造方法であって、
上記準備工程において、上記一端面における面取り面の幅が、この一端面に対向する対向端面における面取り面の幅よりも小さく設定された合成石英ガラス基板を準備し、
上記検出工程において、上記一端面の側面に上記短波長光を導入することを特徴とするマスクブランク用ガラス基板の製造方法。 - 上記合成石英ガラス基板の一端面において対向端面の面取り面の幅よりも小さな幅を有する面取り面は、当該一端面の片側に形成され、または当該ガラス基板の対向する両主表面のそれぞれに接する両側に形成されることを特徴とする請求項8に記載のマスクブランク用ガラス基板の製造方法。
- 上記検出工程の後、合成石英ガラス基板の主表面を精密研磨して、マスクブランク用ガラス基板を得ることを特徴とする請求項8または9に記載のマスクブランク用ガラス基板の製造方法。
- 請求項8乃至10いずれかに記載のマスクブランク用ガラス基板の製造方法によって得られたマスクブランク用ガラス基板の主表面上に、マスクパターンとなる薄膜を形成してマスクブランクを製造することを特徴とするマスクブランクの製造方法。
- 請求項11に記載のマスクブランクにおける薄膜をパターニングして、マスクブランク用ガラス基板の主表面上にマスクパターンを形成し、露光用マスクを製造することを特徴とする露光用マスクの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005171153A JP4683416B2 (ja) | 2005-06-10 | 2005-06-10 | マスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法、マスクブランク用ガラス基板、マスクブランク、露光用マスク、マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及び露光用マスクの製造方法 |
US11/450,394 US7972702B2 (en) | 2005-06-10 | 2006-06-12 | Defect inspection method for a glass substrate for a mask blank, glass substrate for a mask blank, mask blank, exposure mask, method of producing a glass substrate for a mask blank, method of producing a mask blank, and method of producing an exposure mask |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005171153A JP4683416B2 (ja) | 2005-06-10 | 2005-06-10 | マスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法、マスクブランク用ガラス基板、マスクブランク、露光用マスク、マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及び露光用マスクの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006343666A true JP2006343666A (ja) | 2006-12-21 |
JP4683416B2 JP4683416B2 (ja) | 2011-05-18 |
Family
ID=37589955
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005171153A Expired - Fee Related JP4683416B2 (ja) | 2005-06-10 | 2005-06-10 | マスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法、マスクブランク用ガラス基板、マスクブランク、露光用マスク、マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及び露光用マスクの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7972702B2 (ja) |
JP (1) | JP4683416B2 (ja) |
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JP2003081654A (ja) | 2001-09-06 | 2003-03-19 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 合成石英ガラスおよびその製造方法 |
-
2005
- 2005-06-10 JP JP2005171153A patent/JP4683416B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4683416B2 (ja) | 2011-05-18 |
US7972702B2 (en) | 2011-07-05 |
US20070003843A1 (en) | 2007-01-04 |
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