JP2006343666A - マスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法、マスクブランク用ガラス基板、マスクブランク、露光用マスク、マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及び露光用マスクの製造方法 - Google Patents

マスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法、マスクブランク用ガラス基板、マスクブランク、露光用マスク、マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及び露光用マスクの製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】 被転写体へのパターン転写に影響の大きな主表面近傍の内部欠陥を含む、ガラス基板の実質的に全ての領域の内部欠陥を良好に検出して、パターン転写の転写精度を向上できること。
【解決手段】 波長が200nm以下の短波長光を導入する端面2を有する合成石英ガラス基板4を準備する準備工程と、端面2から短波長光を導入し、当該ガラス基板の内部欠陥が発する上記短波長光よりも長い波長の光を他の端面から受光し、この受光した光に基づき内部欠陥を検出する検出工程を有し、この検出工程で内部欠陥が検出されない合成石英ガラス基板からマスクブランク用ガラス基板を製造する際に、上記準備工程において、端面2における面取り面51の幅tが、この端面に対向する端面18における面取り面53、57の幅Tよりも小さく設定された合成石英ガラス基板4を準備し、上記検出工程において、端面2の側面59に上記短波長光を導入するものである。
【選択図】 図5

Description

本発明は、マスクブランク用ガラス基板の内部欠陥を検出するマスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法、この欠陥検査方法の検査対象となるマスクブランク用ガラス基板、マスクブランク及び露光用マスク、ガラス基板の内部欠陥を検査した後にマスクブランク用ガラス基板を製造するマスクブランク用ガラス基板の製造方法、このマスクブランク用ガラス基板を用いるマスクブランクの製造方法、並びにこのマスクブランクを用いる露光用マスクの製造方法に関する。
近年では、半導体デバイスの微細化に対応して、光リソグラフィー技術において使用される露光光はArFエキシマレーザー(露光波長193nm)、F2エキシマレーザー(露光波長157nm)へと短波長化が進んでいる。上記光リソグラフィー技術において使用される露光用マスクや、この露光用マスクを製造するマスクブランクにおいても、マスクブランク用ガラス基板上に形成される、上述の露光光の露光波長に対して光を遮断する遮光膜や、位相を変化させる位相シフト膜の開発が急速に行われ、様々な膜材料が提案されている。
また、上記マスクブランク用ガラス基板や、このマスクブランク用ガラス基板を製造するための合成石英ガラス基板の内部には、異物や気泡などの欠陥が存在しないことが要求されている。特許文献1には、ガラス基板に対し、He‐Neレーザーを入射し、ガラス基板に存在する内部欠陥(異物や気泡など)により散乱された散乱光を検出することで、上記内部欠陥を検出する欠陥検出装置が開示されている。
特開平8‐261953号公報
ところが、上述のような欠陥検出装置によって内部欠陥が存在しないと判定された合成石英ガラス基板、マスクブランク用ガラス基板から製造される露光用マスクであっても、露光光であるArFエキシマレーザーを用いて半導体基板に露光用マスクのマスクパターンを転写するパターン転写時に、後述のガラス基板起因による転写パターン欠陥が生じて転写精度が低下する場合がある。
この原因は、He‐Neレーザーなどの可視光レーザーを露光光としたときには散乱などが発生しなかったが、ArFエキシマレーザーやF2エキシマレーザーなどの高エネルギーの光を露光光としたときに、局所的に光学特性を変化(例えば透過率を低下)させる内部欠陥(局所脈理、内容物、異質物)が、ガラス基板中に存在しているからであると考えられる。
本発明の目的は、上述の事情を考慮してなされたものであり、マスクブランク用ガラス基板の主表面近傍の内部欠陥を含む、実質的に全ての領域の内部欠陥を良好に検出できるマスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法、マスクブランク用ガラス基板、マスクブランク、及び露光用マスクを提供することにある。
本発明の他の目的は、被転写体へのパターン転写に影響の大きな主表面近傍の内部欠陥を含む、マスクブランク用ガラス基板の実質的に全ての領域の内部欠陥を良好に検出して、パターン転写の転写精度を良好にできる露光用マスクを製造する露光用マスクの製造方法、この露光用マスクを製造するためのマスクブランクを製造するマスクブランクの製造方法、及びこのマスクブランクを製造するためのマスクブランク用ガラス基板を製造するマスクブランク用ガラス基板の製造方法を提供することにある。
請求項1に記載の発明に係るマスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法は、ガラス基板の表面のうちの一端面から波長が200nm以下の短波長光を導入し、この導入された短波長光によって上記ガラス基板の内部欠陥が発する、上記波長よりも長い長波長光を上記表面の他方から受光し、この受光した長波長光に基づき上記ガラス基板の上記内部欠陥を検出するマスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法であって、上記ガラス基板の上記一端面における面取り面の幅が、この一端面に対向する対向端面における面取り面の幅よりも小さく設定され、この一端面の側面に上記短波長光を導入することを特徴とするものである。
請求項2に記載の発明に係るマスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法は、請求項1に記載の発明において、上記ガラス基板の一端面において対向端面の面取り面の幅よりも小さな幅を有する面取り面は、当該一端面の片側に形成され、または当該ガラス基板の対向する両主表面のそれぞれに接する両側に形成されることを特徴とするものである。
請求項3に記載の発明に係るマスクブランク用ガラス基板は、一端面の側面に、内部欠陥を検出するための検査用の光が導入可能とされ、上記一端面における面取り面の幅が、この一端面に対向する対向端面における面取り面の幅よりも小さく設定されたことを特徴とするものである。
請求項4に記載の発明に係るマスクブランク用ガラス基板は、請求項3に記載の発明において、上記一端面に導入される検査用の光の波長が、200nm以下の光であることを特徴とするものである。
請求項5に記載の発明に係るマスクブランク用ガラス基板は、請求項3または4に記載の発明において、上記一端面において対向端面の面取り面の幅よりも小さな幅を有する面取り面は、当該一端面の片側に形成され、または対向する両主表面のそれぞれに接する両側に形成されることを特徴とするものである。
請求項6に記載の発明に係るマスクブランクは、請求項3乃至5のいずれかに記載のマスクブランク用ガラス基板の主表面上に、マスクパターンとなる薄膜が形成されたことを特徴とするものである。
請求項7に記載の発明に係る露光用マスクは、請求項6に記載のマスクブランクにおける薄膜がパターニングされて、マスクブランク用ガラス基板の主表面上にマスクパターンが形成されたことを特徴とするものである。
請求項8に記載の発明に係るマスクブランク用ガラス基板の製造方法は、波長が200nm以下の短波長光を導入する一端面を含む表面を有する合成石英ガラス基板を準備する準備工程と、上記一端面から上記短波長光を導入し、当該ガラス基板の内部欠陥が発する上記波長よりも長い長波長光を上記表面の他方から受光し、この受光した長波長光に基づき上記内部欠陥を検出する検出工程とを有し、上記検出工程で内部欠陥が検出されない上記合成石英ガラス基板を用いてマスクブランク用ガラス基板を製造するマスクブランク用ガラス基板の製造方法であって、上記準備工程において、上記一端面における面取り面の幅が、この一端面に対向する対向端面における面取り面の幅よりも小さく設定された合成石英ガラス基板を準備し、上記検出工程において、上記一端面の側面に上記短波長光を導入することを特徴とするものである。
請求項9に記載の発明に係るマスクブランク用ガラス基板の製造方法は、請求項8に記載の発明において、上記合成石英ガラス基板の一端面において対向端面の面取り面の幅よりも小さな幅を有する面取り面は、当該一端面の片側に形成され、または当該ガラス基板の対向する両主表面のそれぞれに接する両側に形成されることを特徴とするものである。
請求項10に記載の発明に係るマスクブランク用ガラス基板の製造方法は、請求項8または9に記載の発明において、上記検出工程の後、合成石英ガラス基板の主表面を精密研磨して、マスクブランク用ガラス基板を得ることを特徴とするものである。
請求項11に記載の発明に係るマスクブランクの製造方法は、請求項8乃至10いずれかに記載のマスクブランク用ガラス基板の製造方法によって得られたマスクブランク用ガラス基板の主表面上に、マスクパターンとなる薄膜を形成してマスクブランクを製造することを特徴とするものである。
請求項12に記載の発明に係る露光用マスクの製造方法は、請求項11に記載のマスクブランクにおける薄膜をパターニングして、マスクブランク用ガラス基板の主表面上にマスクパターンを形成し、露光用マスクを製造することを特徴とするものである。
請求項1に記載の発明によれば、マスクブランク用ガラス基板に波長が200nm以下の短波長光を導入して、この短波長光をマスクブランク用ガラス基板の内部欠陥の検査に用いることから、上記ガラス基板から製造される露光用マスク及び露光光を用いたパターン転写の際に転写パターン欠陥となる内部欠陥を良好に検出できる。
また、マスクブランク用ガラス基板の一端面における面取り面の幅が、この一端面に対向する対向端面における面取り面の幅よりも小さく設定されたから、この幅の小さな面取り面に接するマスクブランク用ガラス基板の主表面から当該面取り面の幅相当深さまでのマスクブランク用ガラス基板の表層領域において、上記一端面の側面に垂直に導入された上記短波長光は、上記面取り面において屈折して上記ガラス基板内を伝播するので対向端面に到達せず、当該表層領域内に存在する内部欠陥を検出できないが、この表層領域以外のマスクブランク用ガラス基板の領域においては、上記一端面に導入された上記短波長光が対向端面に到達するので、この領域における内部欠陥を検出できる。ここで、上記表層領域は、後に実施される研磨工程で除去することにより、当該表層領域に内部欠陥が存在していても支障がない。従って、当該ガラス基板から露光用マスクを製造する場合にマスクパターンが形成される側の主表面近傍の内部欠陥(つまり、当該露光用マスクを用いた被転写体へのパターン転写の際に影響の大きな内部欠陥)を含む、当該ガラス基板の実質的に全ての領域の内部欠陥を良好に検出できる。
請求項2に記載の発明によれば、マスクブランク用ガラス基板の一端面において対向端面の面取り面の幅よりも小さな幅を有する面取り面が、当該ガラス基板の対向する両主表面のそれぞれに接する両側に形成される場合には、上記一端面の面取り面の幅相当深さから上記対向端面の面取り面の幅相当深さまでの当該ガラス基板の領域においては、一端面から導入された光と、この光が対向端面の面取り面にて全反射した光とが伝播することになるので、当該領域における内部欠陥の検出感度を向上させることができる。
請求項3または4に記載の発明によれば、内部欠陥を検出するための検査用の光(例えば、波長が200nm以下の短波長光)を導入する一端面における面取り面の幅が、この一端面に対向する対向端面における面取り面の幅よりも小さく設定されたことから、この幅の小さな面取り面に接するマスクブランク用ガラス基板の主表面から当該面取り面の幅相当深さまでのマスクブランク用ガラス基板の表層領域において、上記一端面の側面に垂直に導入された検査用の光は、上記面取り面において屈折してマスクブランク用ガラス基板内を伝播するので対向端面に到達せず、当該表層領域内に存在する内部欠陥を検出できないが、この表層領域以外のマスクブランク用ガラス基板の領域においては、上記一端面に導入された検査用の光が対向端面に到達するので、この領域における内部欠陥を検出できる。ここで、上記表層領域は、後に実施される研磨工程で除去することにより、当該表層領域に内部欠陥が存在していても支障がない。従って、当該ガラス基板から露光用マスクを製造する場合にマスクパターンが形成される側の主表面近傍の内部欠陥(つまり、当該露光用マスクを用いた被転写体へのパターン転写の際に影響の大きな内部欠陥)を含む、当該ガラス基板の実質的に全ての領域の内部欠陥を良好に検出できる。
請求項5に記載の発明によれば、一端面において対向端面の面取り面の幅よりも小さな幅を有する面取り面が、対向する両主表面のそれぞれに接する両側に形成される場合、上記一端面の面取り面の幅相当深さから上記対向端面の面取り面の幅相当深さまでのマスクブランク用ガラス基板の領域においては、一端面から導入された光と、この光が対向端面の面取り面にて全反射した光とが伝播することになるので、当該領域における内部欠陥の検出感度を向上させることができる。
請求項6または7に記載の発明によれば、マスクブランクや露光用マスクの段階で、それらの端面に、波長が200nm以下の短波長光を導入して内部欠陥を検出することにより、請求項3、4または5の場合と同様に、ガラス基板の実質的に全ての領域の内部欠陥を良好に検出でき、その検出感度を向上させることができる。
請求項8に記載の発明によれば、合成石英ガラス基板に波長が200nm以下の短波長光を導入して、この短波長光を当該ガラス基板の内部欠陥の検査に用いることから、この合成石英ガラス基板からマスクブランク用ガラス基板及びマスクブランクを経て製造される露光用マスク及び露光光を用いたパターン転写の際に転写パターン欠陥となる内部欠陥を良好に検出できる。このため、この内部欠陥が検出されない合成石英ガラス基板を用いてマスクブランク用ガラス基板を製造することにより、このマスクブランク用ガラス基板を用いた露光用マスクには、ガラス基板の内部欠陥に起因して局所的に光学特性が変化(例えば透過率が低下)する領域が存在しなくなるので、転写パターン欠陥が生ずることがなく、転写精度を向上させることができる。
また、準備工程において、一端面における面取り面の幅が、この一端面に対向する対向端面における面取り面の幅よりも小さく設定された合成石英ガラス基板を準備することから、この幅の小さな面取り面に接する当該ガラス基板の主表面から当該面取り面の幅相当深さまでのガラス基板の表層領域において、上記一端面の側面に導入された上記短波長光は、上記面取り面において屈折して合成石英ガラス基板内を伝播し外部へ漏出するので対向端面に到達せず、当該表層領域内に存在する内部欠陥を検出できないが、この表層領域以外の当該ガラス基板の領域においては、上記一端面に導入された上記短波長光が対向端面に到達するので、この領域における内部欠陥を検出できる。ここで、上記表層領域は、後に実施される研磨工程で除去することにより、当該表層領域に内部欠陥が存在していても支障がない。従って、当該合成石英ガラス基板から露光用マスクを製造する場合にマスクパターンが形成される側の主表面近傍の内部欠陥(つまり、当該露光用マスクを用いた被転写体へのパターン転写の際に影響の大きな内部欠陥)を含む、当該ガラス基板の実質的に全ての領域の内部欠陥を良好に検出できる。この結果、内部欠陥が検出されない合成石英ガラス基板から露光用マスクを製造することで、この露光用マスクを用いたパターン転写の転写精度を向上させることができる。
請求項9に記載の発明によれば、合成石英ガラス基板の一端面において対向端面の面取り面の幅よりも小さな幅を有する面取り面が、当該ガラス基板の対向する両主表面のそれぞれに接する両側に形成される場合、上記一端面の面取り面の幅相当深さから上記対向端面の面取り面の幅相当深さまでの当該ガラス基板の領域においては、一端面から導入された光と、この光が対向端面の面取り面にて全反射した光とが伝播することになるので、当該領域における内部欠陥の検出感度を向上させることができる。
請求項10に記載の発明によれば、マスクブランク用ガラス基板の製造工程の、主表面を精密研磨する前の早い段階で合成石英ガラス基板の内部欠陥を検出することから、内部欠陥の存在しない合成石英ガラス基板に対してのみ主表面を精密研磨し、内部欠陥の存在する合成石英ガラス基板について主表面を精密研磨する無駄を省くことができる。
請求項11または12記載の発明によれば、請求項8乃至10のいずれか記載のマスクブランク用ガラス基板の製造方法によって得られたマスクブランク用ガラス基板を用いてマスクブランクを製造し、このマスクブランクにおける薄膜をパターニングして露光用マスクを製造することから、この露光用マスクを用いて被転写体に当該露光用マスクのマスクパターンを転写するパターン転写時に、この露光用マスクには、マスクパターンが形成される側の主表面近傍を含む、実質的に全ての領域に内部欠陥が存在しない合成石英ガラス基板が用いられるので、上記内部欠陥に起因して局所的に光学特性が変化(例えば透過率が低下)する領域が存在せず、パターン転写に悪影響を及ぼして転写パターン欠陥が生ずることがなく、転写精度を向上させることができる。
以下、マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、露光用マスクの製造方法について最良の形態を、図面に基づき説明する。尚、以下、露光光を、露光波長が200nm以下のArFエキシマレーザー光(露光波長:193nm)として説明する。
〔A〕マスクブランク用ガラス基板の製造方法
特開平8−31723号公報や特開2003−81654号公報に記載された製造方法により作製された合成石英ガラスインゴットから、約152.4mm×約152.4mm×約6.85mmに切り出して得られた合成石英ガラス板1(図1(a))に面取り加工を施す。次に、この合成石英ガラス板1の表面のうち、少なくとも、検査用の光である波長が200nm以下の短波長光(本実施の形態では露光波長の光(ArFエキシマレーザー光)))を導入する側の端面2と、この端面2に隣接し、後述の内部欠陥16(図2)が発する光15、17等を受光する側の端面3とを、上記露光波長の光を導入できる程度に鏡面研磨して、合成石英ガラス基板4を準備する(図1(b))。
この準備工程においては、合成石英ガラス基板4の表面のうちの残りの端面18及び19と、互いに対向する主表面5及び6とは鏡面研磨されず、その表面粗さは約0.5μm程度であるが、上記端面2及び3の表面粗さは約0.03μm以下とされる。この準備工程で準備される合成石英ガラス基板4の端面2、3、18及び19の形状については後に詳説する。
次に、図2に示すガラス基板の欠陥検査装置20に合成石英ガラス基板4を装着し、ArFエキシマレーザー光を合成石英ガラス基板4の一方の端面2から導入し、この合成石英ガラス基板4中に存在する内部欠陥16が発する露光波長の光よりも長い波長の長波長光(蛍光)15を、合成石英ガラス基板4の内部欠陥16以外の領域が発する露光波長よりも長い波長の長波長光(蛍光)17と共に、この合成石英ガラス基板4の、上記端面2に隣接する端面3から受光し、この受光した光15及び17の光量(強度)の相違に基づき、上記内部欠陥16を検出する検出工程を実施する。
ここで、合成石英ガラス基板4に存在する内部欠陥16のうち、波長が200nm超の露光光源(例えば、KrFエキシマレーザー(波長:248nm))の場合には問題とならないが、ArFエキシマレーザーのように波長が200nm以下の露光光源の場合に問題となる内部欠陥16として局所脈理、内容物、異質物等がある。これらの内部欠陥16は、合成石英ガラス基板4からマスクブランク用ガラス基板7及びマスクブランク9を経て製造された露光用マスク14と、波長が200nm以下の上記露光光とを用いて、当該露光用マスク14のマスクパターンを被転写体に転写するパターン転写時に、いずれも局所的な光学特性の変化(例えば透過率の低下)を生じさせ、パターン転写に悪影響を及ぼして転写精度を低下させるものとなる。
上記「局所脈理」は、合成石英ガラスの合成時に金属元素が合成石英ガラス中に微量に混入された領域である。露光用マスク14のマスクブランク用ガラス基板7に当該局所脈理が存在すると、パターン転写時に約20〜40%の透過率低下が生じ、転写精度を低下させる。また、上記「内容物」は、金属元素が合成石英ガラス中に、局所脈理の場合よりも多く混入された領域である。露光用マスク14のマスクブランク用ガラス基板7に当該内容物が存在すると、パターン転写時に約40〜60%の透過率低下が生じる。更に、「異質物」は、合成石英ガラス中に酸素が過剰に混入された酸素過剰領域であり、高エネルギーの光が照射された後は回復しない。露光用マスク14のマスクブランク用ガラス基板7に当該異質物が存在すると、パターン転写時に約5〜15%の透過率の低下が生じる。
前記検出工程を実施する上記ガラス基板の欠陥検査装置20は、上述の内部欠陥16(パターン転写時に局所的な光学特性の変化を生じさせる局所脈理、内容物、異質物等)を検出するものである。このガラス基板の欠陥検査装置20は、図2に示すように、短波長光としての露光波長の光(つまり、露光波長と同一波長の光)であるArFエキシマレーザー光を合成石英ガラス基板4の端面2から導入する光導入手段としてのレーザー照射装置21と、合成石英ガラス基板4を載置し、レーザー照射装置21から発せられるレーザー光に対して合成石英ガラス基板4をX方向、Y方向、Z方向にそれぞれ移動させるXYZステージ22と、このXYZステージ22に載置された合成石英ガラス基板4の端面3側に設置され、CCD素子とこのCCD素子の検出範囲を広げるためのレンズ(ともに不図示)とを備え、合成石英ガラス基板4の幅方向(つまり、レーザー照射装置21から照射されるレーザー光の照射方向)の略全域に渡って検出視野24を有する、受光手段としてのCCDカメラ(ラインセンサカメラ)23と、このCCDカメラ23にUSBケーブル26を用いて接続された検出手段としてのコンピュータ27とを有して構成される。
レーザー照射装置21は、XYZステージ22が合成石英ガラス基板4をY方向に移動させている間に、ArFエキシマレーザー光を合成石英ガラス基板4の端面2におけるY方向(つまり端面2の長手方向)の各位置から順次導入する。また、CCDカメラ23は、合成石英ガラス基板4の端面2におけるY方向の各位置へ入射されたArFエキシマレーザー光(波長λ1)によって合成石英ガラス基板4が発する、波長λ1によりも長い波長の長波長の光15及び17を、合成石英ガラス基板4のY方向の各位置毎に、合成石英ガラス基板4の端面3側から受光して撮影する。本実施の形態では、CCDカメラ23はモノクロカメラであり、光15及び17の明暗を受光して撮影する。
コンピュータ27は、CCDカメラ23からの画像を入力して、合成石英ガラス基板4のY方向の各位置毎に画像処理し、この合成石英基板4のY方向の各位置について、CCDカメラ23が受光する光15及び17の光量(強度)を、合成石英ガラス基板4のX方向位置との関係で解析する。つまり、コンピュータ27は、光15及び17の光量が所定閾値以上の局所的な光量を有する場合に、その所定閾値以上の局所的な光量の光15を内部欠陥16が発したと判断して、この内部欠陥16の位置(合成石英ガラス基板4におけるX方向及びY方向の位置)と共に、内部欠陥16が発する局所的な光量の光15の形状などから内部欠陥16の種類(局所脈理、内容物、異質物)を特定して検出する。
例えば、合成石英ガラス基板4に内部欠陥16として局所脈理または内容物が存在する場合には、レーザー照射装置21からのArFエキシマレーザー光が合成石英ガラス基板4に導入されることによって、上記局所脈理または内容物が図3(A)に示すように、所定閾値(1000counts)以上の局所的な光量の光15を発し、合成石英ガラス基板4の局所脈理または内容物以外の領域が光17を発する。コンピュータ27は、CCDカメラ23が受光した光15及び17を画像処理して解析することで、所定閾値以上の局所的な光量の光15の形状から内部欠陥16を局所脈理または異質物と判断し、且つその所定閾値以上の局所的な光量の光15が発する位置に局所脈理または内容物が存在するとして、その局所脈理または内容物をその位置と共に検出する。ここで、図3(A)の場合、横軸は合成石英ガラス基板4のX方向位置を、縦軸は光15及び17の光量(強度)をそれぞれ示す。
また、合成石英ガラス基板4に内部欠陥16として異質物が存在する場合には、レーザー照射装置21からArFエキシマレーザー光が合成石英ガラス基板4に導入されることによって、上記異質物が図3(B)に示すように、所定の範囲(例えば20〜50mm)に所定閾値(1000counts)以上の局所的な光量の光15を発し、合成石英ガラス基板4の異質物以外の領域が光17を発する。コンピュータ27は、CCDカメラ23が受光した光15及び17を画像処理して解析することで、所定閾値以上の局所的な光量の光15の形状から内部欠陥16を異質物と判断し、且つその所定閾値以上の局所的な光量の光15が発生する位置に当該異質物が存在するとして、この異質物をその位置と共に検出する。ここで、図3(B)の場合も、横軸は合成石英ガラス基板4のX方向位置を、縦軸は光15及び17の光量(強度)をそれぞれ示す。
上記ガラス基板の欠陥検査装置20によって内部欠陥16が検出されない合成石英ガラス基板4に対し、その主表面5、6を所望の表面粗さになるように鏡面・精密研磨し、洗浄処理を実施してマスクブランク用ガラス基板7を得る(図1(c))。このときの主表面5、6の表面粗さは、自乗平均平方根粗さ(RMS)で0.2nm以下が好ましい。
ところで、検出工程において内部欠陥検査装置20により上述のように内部欠陥16が検出される合成石英ガラス基板4は、準備工程において、図4及び図5に示すように、端面2及び3の面取り面の形状が調整されて準備される。つまり、合成石英ガラス基板4の端面は、一般に、主表面5及び6に直交する側面と、この側面と主表面5、6にそれぞれ接する箇所に形成される面取り面とで構成される。このうち、端面2、3の片側(即ち主表面5に接する側)のそれぞれの面取り面51、52の幅tは、この端面2に対向する端面18において主表面5に接する面取り面53の幅Tよりも小さく設定される。合成石英ガラス基板4が152.4mm×152.4mm×6.85mmの場合に、上記端面2の面取り面51及び端面3の面取り面52の幅tは約0.2mmに、上記端面18における面取り面53の幅Tは約0.6mmにそれぞれ設定される。
端面2、3、18の主表面6に接するそれぞれの面取り面55、56、57の幅、並びに端面3に対向する端面19において主表面5、6に接するそれぞれの面取り面54、58の幅は、いずれも、端面18の面取り面53の幅Tと略同一の値に設定される。尚、端面2、3、18、19が互いに接する4つの側稜には、湾曲面形状の面取り加工が施されている。
ここで、合成石英ガラス基板4の内部領域を、下記の表層領域60、中間領域61及び主要領域62に区分けする。上記表層領域60は、主表面5、6のそれぞれから、面取り面51及び52の幅tに相当する深さまでの領域(主表面5、6から深さ約0.2mmまでの領域)である。また、中間領域61は、面取り面51及び52の幅tに相当する深さから面取り面53〜58の幅Tに相当する深さまでの領域(深さ約0.2〜0.6mmの領域)である。上記主要領域62は、面取り面53〜58の幅Tに相当する深さよりも深い領域、つまり合成石英ガラス基板4の内部領域のうち、表層領域60及び中間領域61を除いた領域である。
尚、上記面取り面51〜58は、図4に示す合成石英ガラス基板4から露光用マスク14が製造された場合にマスクパターンが形成されるパターン形成領域63に対応して形成されていれば十分であるが、各端面2、3、18、19の全長にわたって形成されてもよい。
検出工程においては、図5(A)に示すように、鏡面研磨された端面2にレーザー照射装置21から、ビーム形状が7.0mm×4.0mm、パワーが6mJ、周波数が50HzのArFエキシマレーザー光が導入され、その導入方向は端面2の側面59に垂直な方向である。従って、このArFエキシマレーザー光は、面取り面54にて屈折して合成石英ガラス基板4内を伝播し、端面18へ到達せずに外部へ漏出するので、上記表層領域60内にはArFエキシマレーザー光が伝播せず、この表層領域60に存在する内部欠陥16を検出することはできない。
これに対し、中間領域61は、端面2から対向する端面18へ向かってArFエキシマレーザー光は直進し、端面18の面取り面53及び57にて全反射して端面2の面取り面55へ向かうため、この中間領域61を伝播するArFエキシマレーザー光によって、当該中間領域61に存在する内部欠陥16を検出することが可能となる。また、主要領域62においても、端面2の側面59から端面18の側面59へ向かってArFエキシマレーザー光が直進するため、この主要領域62を伝播するArFエキシマレーザ-光によって、当該主要領域62に存在する内部欠陥16を検出することが可能となる。
このように、合成石英ガラス基板4においては、表層領域60以外の中間領域61及び主要領域62において、これらの中間領域61及び主要領域62に存在する内部欠陥16が発する光15及び17(図2)をCCDカメラ23が受光し、この受光した光をマイクロコンピュータ27が解析することによって、中間領域61及び主要領域62に存在する内部欠陥16を検出することが可能となる。上記表層領域60は、検出工程の後に実施される主表面5、6の鏡面・精密研磨工程で除去されることになるので、この表層領域60に内部欠陥16が存在していても、この内部欠陥16は存在しなくなり支障がない。従って、内部欠陥検査装置20を用いた検出工程においては、合成石英ガラス基板4の主表面5、6近傍の内部欠陥16を含む、実質的に全ての領域の内部欠陥16を良好に検出できることになり、この検出工程で内部欠陥16が検出されなかった合成石英ガラス基板4から表層領域60を除去して製造されるマスクブランク用ガラス基板7は、主表面5、6近傍を含む全ての領域に内部欠陥16が存在しないガラス基板となる。
上述の観点から、上記合成石英ガラス基板4の端面2における面取り面51及び端面3における面取り面52の幅tは、これらの面取り面51及び52が接する主表面5の研磨取り代に対応して設定される。従って、この面取り面51及び52の幅tは、上記欠陥検出工程の後に実施される処理に応じて適宜設定されることになる。例えば、最終研磨工程の後に上記欠陥検出工程を実施する場合には、研磨取り代がないので、面取り面51及び52の幅tは極力小さく設定され、好ましくはゼロに設定される。
〔B〕マスクブランクの製造方法
次に、マスクブランク用ガラス基板7の主表面5上にマスクパターンとなる薄膜(ハーフトーン膜8)をスパッタリング法により形成して、マスクブランク9(ハーフトーン型位相シフトマスクブランク)を作製する(図1(d))。ハーフトーン膜8の成膜は、以下の構成を有するスパッタリング装置を使って行う。
このスパッタリング装置は、図6に示すようなDCマグネトロンスパッタリング装置30であり、真空槽31を有しており、この真空槽31の内部にマグネトロンカソード32及び基板ホルダ33が配置されている。マグネトロンカソード32には、バッキングプレート34に接着されたスパッタリングターゲット35が装着されている。例えば、上記バッキングプレート34に無酸素鋼を用い、スパッタリングターゲット35とバッキングプレート34との接着にインジウムを用いる。上記バッキングプレート34は水冷機構により直接または間接的に冷却される。また、マグネトロンカソード32、バッキングプレート34及びスパッタリングターゲット35は電気的に結合されている。基板ホルダ33にガラス基板7が装着される。
図6の真空槽31は、排気口37を介して真空ポンプにより排気される。真空槽31内の雰囲気が、形成する膜の特性に影響しない真空度に達した後に、ガス導入口38から窒素を含む混合ガスを導入し、DC電源39を用いてマグネトロンカソード32に負電圧を加え、スパッタリングを行う。DC電源39はアーク検出機能を持ち、スパッタリング中の放電状態を監視する。真空槽31の内部圧力は圧力計36によって測定される。
〔C〕露光用マスクの製造方法
次に、図1に示すように、上記マスクブランク9(ハーフトーン型位相シフトマスクブランク)のハーフトーン膜8の表面にレジストを塗布した後、加熱処理してレジスト膜10を形成する。(図1(e))。
次に、レジスト膜付きのマスクブランク11におけるレジスト膜10に所定のパターンを描画・現像処理し、レジストパターン12を形成する(図1(f))。
次に、上記レジストパターン12をマスクにして、ハーフトーン膜8をドライエッチングしてハーフトーン膜パターン13をマスクパターンとして形成する(図1(g))。
最後に、レジストパターン12を除去して、ガラス基板7上にハーフトーン膜パターン13が形成された露光用マスク14を得る(図1(h))。
[D]半導体デバイスの製造方法
得られた露光用マスク14を露光装置に装着し、この露光用マスク14を使用し、ArFエキシマレーザーを露光光として光リソグラフィー技術を用い、半導体基板(半導体ウェハ)に形成されているレジスト膜に露光用マスクのマスクパターンを転写して、この半導体基板上に所望の回路パターンを形成し、半導体デバイスを製造する。
[E]実施の形態の効果
上述のように構成されたことから、上記実施の形態によれば、次の効果(1)〜(3)を奏する。
(1)合成石英ガラス基板4に波長が200nm以下の短波長光である露光波長の光(ArFエキシマレーザー光)を導入して、この露光波長の光を当該ガラス基板の内部欠陥16の検査に用いる。このことから、この合成石英ガラス基板4からマスクブランク用ガラス基板7及びマスクブランク9を経て製造される露光用マスク14及び露光光を用いたパターン転写の際に、転写パターン欠陥となる内部欠陥16を良好に検出できる。このため、この内部欠陥16が検出されない合成石英ガラス基板4を用いてマスクブランク用ガラス基板7を製造することにより、このマスクブランク用ガラス基板7を用いた露光用マスク14には、ガラス基板の内部欠陥16に起因して局所的に光学特性が変化(例えば透過光が低下)する領域が存在しなくなるので、転写パターン欠陥が生ずることなく、転写精度を向上させることができる。
(2)準備工程において、ArFエキシマレーザー光を導入する端面2における面取り面51の幅tが、この端面2に対向する端面18における面取り面の幅Tよりも小さく設定された合成石英ガラス基板4を準備する。従って、この幅の小さな面取り面51に接する当該合成石英ガラス基板4の主表面5から当該面取り面51の幅tに相当する深さまでの合成石英ガラス基板4の表層領域60において、上記端面2の側面59に垂直に導入されたArFエキシマレーザー光は、この端面2の面取り面51において屈折して合成石英ガラス基板4内を伝播して外部へ漏出するので端面18に到達せず、当該表層領域60内に存在する内部欠陥16を検出できない。これに対し、この表層領域60以外の中間領域61及び主要領域62においては、端面2に導入されたArFエキシマレーザー光が端面18に到達するので、これらの領域61及び62における内部欠陥16を検出できる。ここで、上記表層領域60は、後に実施される主表面5、6の鏡面・精密研磨工程で除去されるので、当該表層領域60に内部欠陥16が存在していても、この内部欠陥16が存在しなくなるので支障がない。
従って、合成石英ガラス基板4から露光用マスク14を製造する場合にマスクパターン(ハーフトーン膜パターン13)が形成される側の主表面5近傍の内部欠陥を含む、当該合成石英ガラス基板4の実質的に全ての領域の内部欠陥16を良好に検出できることになる。合成石英ガラス基板4において、上記マスクパターンが形成される側の主表面5近傍の内部欠陥16は、露光用マスク14を用いた被転写体(例えば半導体ウェハ)へのパターン転写時に、合成石英ガラス基板4における他の箇所の内部欠陥16が露光装置の焦点深度の関係から被転写体に結像されにくいのに対し、被転写体に結像転写され易いので、パターン転写の際に影響が大きい。検出工程では、特にこの主表面5近傍の内部欠陥16を良好に検出できる。この結果、内部欠陥が検出されない合成石英ガラス基板4から露光用マスク14を製造することで、この露光用マスク14を用いたパターン転写の転写精度を向上させることができる。
(3)マスクブランク用ガラス基板7の製造工程の、主表面5、6を鏡面・精密研磨する前の早い段階で合成石英ガラス基板4の内部欠陥16を検出することから、内部欠陥16の存在しない合成石英ガラス基板4に対してのみ主表面5、6を鏡面・精密研磨し、内部欠陥16の存在する合成石英ガラス基板4について主表面5、6を鏡面・精密研磨する無駄を省くことができる。
尚、上記一実施の形態における準備工程で準備される合成石英ガラス基板4には、端面2、3において、主表面5に接する片側の面取り面51、52の幅tが、端面18の面取り面53等の幅Tに対して小さく設定されるものを述べた。しかし、図5(B)に示すように、端面2において、主表面5、6のそれぞれに接する両側の面取り面51及び55の幅tと、端面3において主表面5、6のそれぞれに接する両側の面取り面52及び56の幅tとが、共に端面18の面取り面53等の幅Tに対して小さく設定されて形成されてもよい。この場合、合成石英ガラス基板4の中間領域61においては、端面2の側面59から導入された光と、この光が端面18の面取り面53及び57にて全反射した光との双方が伝播されるので、この中間領域51における光量が増加して内部欠陥16の検出感度を向上させることができる。
また、上記実施の形態では、検出工程において、内部欠陥16が発する光15及び17を受光するCCDカメラ23が、ArFエキシマレーザー光を導入する端面2に隣接した端面3側に配置されたが、図7に示す欠陥検査方法の他の実施形態のように、主表面5または6側に配置されてもよい。この場合には、端面3に形成される面取り面52、56の幅は、端面18における面取り面53の幅Tと略同程度であればよい。但し、準備工程において、主表面5または6が、ArFエキシマレーザー光が導入される端面2と同程度に鏡面研磨される必要がある。この他の実施形態においても、前記一実施形態の効果(1)及び(2)と同様な効果を奏する。
以上、本発明を上記実施の形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、上記実施の形態では、露光光源がArFエキシマレーザーの場合を述べたが、波長が200nm以下、好ましくは波長が100nm〜200nmの光であればよく、F2エキシマレーザーであってもよい。また、ArFエキシマレーザーやF2エキシマレーザーと同じ波長を得るために、重水(D)ランプ等の光源から光を分光させて中心波長がArFエキシマレーザー、F2エキシマレーザーと同じ光を用いても構わない。
また、上記実施の形態においては、CCDカメラ23をカラーカメラとして、合成石英ガラス基板49の内部欠陥16及びこの内部欠陥16以外の領域が発する、波長が200nm以下の露光波長の光よりも長い波長の光15及び17を受光して撮影し、コンピュータ27は、このCCDカメラ23の画像を赤、緑、青の色別に画像処理し、この色別に画像処理した光の強度(光量)分布から内部欠陥16を検出してもよい。この場合、コンピュータ27は、色別に画像処理した光の色や波長等の情報から内部欠陥を検出してもよい。また、内部欠陥の検出は、マスクブランク用ガラス基板の製造工程の最終段階で実施してもよい。
更に、上記実施の形態では、合成石英ガラス基板40の内部欠陥16及びこの内部欠陥16以外の領域が発する、露光波長の光よりも長い波長の光15及び17をCCDカメラ23が受光するものを述べたが、これらの光15及び17を分光器が受光して、内部欠陥16の分光特性(波長及び強度)や、光15及び17の強度(光量)分布を測定して、内部欠陥16を検出してもよい。
また、上記実施の形態では、マスクブランク用ガラス基板上にハーフトーン膜を形成したハーフトーン型位相シフトマスクブランクの場合を述べたが、これに限定されるものではない。例えば、合成石英ガラス基板7上にハーフトーン膜と、このハーフトーン膜上に遮光膜とを有するハーフトーン型位相シフトマスクブランクや、マスクブランク用ガラス基板7上に遮光膜が形成されたフォトマスクブランクであっても構わない。尚、これらのハーフトーン型位相シフトマスクブランク、フォトマスクブランクの遮光膜上にレジスト膜を形成していてもよい。
本発明に係るマスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及び露光用マスクの製造方法における一実施の形態を示す製造工程図である。 本発明に係るガラス基板の欠陥検査方法における一実施の形態を実施する欠陥検査装置を示す斜視図である。 図2のコンピュータが画像処理した、受光した光の強度分布を示すグラフである。 図2の合成石英ガラス基板を示す平面図である。 (A)は図4のV‐V線に沿う断面図であり、(B)は、端面2の上下両側に幅の小さな面取り面が形成された場合を示す図5(A)に対応する断面図である。 図1のマスクブランクの製造工程において用いられるスパッタリング装置を示す概略側面図である。 本発明に係るガラス基板の欠陥検査方法における他の実施の形態を示す斜視図である。
符号の説明
1 合成石英ガラス板
2 端面(一端面)
4 合成石英ガラス基板
5、6 主表面
7 マスクブランク用ガラス基板
8 ハーフトーン膜(薄膜)
9 マスクブランク
13 ハーフトーン膜パターン(マスクパターン)
14 露光用マスク
15、17 光
16 内部欠陥
18 端面(対向端面)
20 ガラス基板の欠陥検査装置
21 レーザー照射装置
23 CCDカメラ
27 コンピュータ
51〜58 面取り面
59 側面
60 表層領域
t 幅
T 幅

Claims (12)

  1. ガラス基板の表面のうちの一端面から波長が200nm以下の短波長光を導入し、
    この導入された短波長光によって上記ガラス基板の内部欠陥が発する、上記波長よりも長い長波長光を上記表面の他方から受光し、
    この受光した長波長光に基づき上記ガラス基板の上記内部欠陥を検出するマスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法であって、
    上記ガラス基板の上記一端面における面取り面の幅が、この一端面に対向する対向端面における面取り面の幅よりも小さく設定され、
    この一端面の側面に上記短波長光を導入することを特徴とするマスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法。
  2. 上記ガラス基板の一端面において対向端面の面取り面の幅よりも小さな幅を有する面取り面は、当該一端面の片側に形成され、または当該ガラス基板の対向する両主表面のそれぞれに接する両側に形成されることを特徴とする請求項1に記載のマスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法。
  3. 一端面の側面に、内部欠陥を検出するための検査用の光が導入可能とされ、
    上記一端面における面取り面の幅が、この一端面に対向する対向端面における面取り面の幅よりも小さく設定されたことを特徴とするマスクブランク用ガラス基板。
  4. 上記一端面に導入される検査用の光の波長が、200nm以下の光であることを特徴とする請求項3に記載のマスクブランク用ガラス基板。
  5. 上記一端面において対向端面の面取り面の幅よりも小さな幅を有する面取り面は、当該一端面の片側に形成され、または対向する両主表面のそれぞれに接する両側に形成されることを特徴とする請求項3または4に記載のマスクブランク用ガラス基板。
  6. 請求項3乃至5のいずれかに記載のマスクブランク用ガラス基板の主表面上に、マスクパターンとなる薄膜が形成されたことを特徴とするマスクブランク。
  7. 請求項6に記載のマスクブランクにおける薄膜がパターニングされて、マスクブランク用ガラス基板の主表面上にマスクパターンが形成されたことを特徴とする露光用マスク。
  8. 波長が200nm以下の短波長光を導入する一端面を含む表面を有する合成石英ガラス基板を準備する準備工程と、
    上記一端面から上記短波長光を導入し、当該ガラス基板の内部欠陥が発する上記波長よりも長い長波長光を上記表面の他方から受光し、この受光した長波長光に基づき上記内部欠陥を検出する検出工程とを有し、
    上記検出工程で内部欠陥が検出されない上記合成石英ガラス基板を用いてマスクブランク用ガラス基板を製造するマスクブランク用ガラス基板の製造方法であって、
    上記準備工程において、上記一端面における面取り面の幅が、この一端面に対向する対向端面における面取り面の幅よりも小さく設定された合成石英ガラス基板を準備し、
    上記検出工程において、上記一端面の側面に上記短波長光を導入することを特徴とするマスクブランク用ガラス基板の製造方法。
  9. 上記合成石英ガラス基板の一端面において対向端面の面取り面の幅よりも小さな幅を有する面取り面は、当該一端面の片側に形成され、または当該ガラス基板の対向する両主表面のそれぞれに接する両側に形成されることを特徴とする請求項8に記載のマスクブランク用ガラス基板の製造方法。
  10. 上記検出工程の後、合成石英ガラス基板の主表面を精密研磨して、マスクブランク用ガラス基板を得ることを特徴とする請求項8または9に記載のマスクブランク用ガラス基板の製造方法。
  11. 請求項8乃至10いずれかに記載のマスクブランク用ガラス基板の製造方法によって得られたマスクブランク用ガラス基板の主表面上に、マスクパターンとなる薄膜を形成してマスクブランクを製造することを特徴とするマスクブランクの製造方法。
  12. 請求項11に記載のマスクブランクにおける薄膜をパターニングして、マスクブランク用ガラス基板の主表面上にマスクパターンを形成し、露光用マスクを製造することを特徴とする露光用マスクの製造方法。
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