JPH08209362A - ハーフエッチング方法及び製品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 エッチング液の濃度やエッチング時間の高精
度制御を行うことなく、鮮明な文字や図形等のハーフエ
ッチングパターンを容易且つ確実に形成する。 【構成】 金属材料Ｍの表面に被着されたレジスト膜Ｒ
Ｌに、所定形状の金属面が露出されたレジストパターン
ＲＰを形成し、該レジストパターンＲＰ内の金属を途中
までエッチングするハーフエッチング方法において、上
記レジストパターンＲＰを、所定形状のエッチング枠Ｅ
Ｆと、該エッチング枠ＥＦの内側に残存する網ふせされ
た丸形状の部分レジストＰＲとで形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ハーフエッチング方法
及び製品、特に、文字等の所定の図形パターンを金属材
料にハーフエッチングする際に適用して好適なハーフエ
ッチング方法及び製品に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体チップを樹脂製のパッケージに収
容すると共に、該チップとパッケージ外部との電気的導
通をとるための配線材料として、いわゆるリードフレー
ムが用いられている。

【０００３】このリードフレームは、半導体チップを取
付けるためのアイランド（ダイパッド）や、該アイラン
ドに取付けられたチップと電気的に接続するための多数
のリード等は、これらアイランドやリード等に対応する
形状のレジストパターンが被着された金属板をエッチン
グすることにより製造されている。

【０００４】このようなエッチング方法で製品を製造す
る際、その製品のロット番号や特徴等を記録する等のた
めに、該製品の一部に文字や記号等の図形を、一方の面
にのみエッチングで刻み付ける、いわゆるハーフエッチ
ングが行われている。

【０００５】このようなハーフエッチングが施された製
品（以下、ハーフエッチング製品という）を製造する場
合は、図９の拡大部分断面図に示すように、材料の金属
板Ｍの表面にレジスト膜ＲＬを被着し、該レジスト膜Ｒ
Ｌに、ハーフエッチングしたい形状に対応するレジスト
パターン（金属面が露出されたパターン）ＥＰを形成
し、次いでこのレジストパターンＥＰが形成された上記
金属板Ｍにエッチング液を吹付けてレジストパターンの
内側にある金属部分をエッチングする。その後、上記レ
ジスト膜ＲＬを剥がすことにより、図１０に示すような
上記レジストパターンＲＰに相当する幅で途中深さ迄エ
ッチングされたハーフエッチングパターンＨＰが形成さ
れた製品を作ることができる。

【０００６】従来のハーフエッチング方法は、上記図
９、図１０に示したように、レジスト膜ＲＬで形成する
レジストパターンＲＰが、エッチング範囲を規定する両
側のエッチング枠ＥＦの内側の全体が平坦な金属露出部
で形成されているために、エッチング液が浸透し易く、
それ故にエッチングが進行し易いことから、エッチング
液の濃度やエッチング時間を適切に制御して、エッチン
グの進行の程度をこまかく調整してやる必要がある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、エッチ
ング液の濃度やエッチング時間の制御は非常に難しく、
それ故に制御に失敗してハーフエッチング部分を貫通さ
せてしまい、ハーフエッチング製品に抜けや欠け等の不
良品を発生させてしまう問題があると共に、このような
不良品にならない場合でも、ハーフエッチングパターン
の底部分が略平坦に形成されるため、製品に形成される
文字や図形等のパターンが見た場合の鮮明さに欠けると
いう問題もあった。

【０００８】本発明は、前記従来の問題点を解決するべ
くなされたもので、エッチング液の濃度やエッチング時
間の高精度な制御を行うことなく、鮮明な文字や図形等
のハーフエッチングパターンを容易且つ確実に形成する
ことができるハーフエッチング方法を提供することを第
１の課題とする。

【０００９】本発明は、又、上記ハーフエッチング方法
により確実に製造できる、高鮮明でしかも高信頼性のハ
ーフエッチングパターンが形成されたハーフエッチング
製品を提供することを第２の課題とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、金属
材料の表面に被着されたレジスト膜に、所定形状の金属
面が露出されたレジストパターンを形成し、該金属材料
を途中までエッチングするハーフエッチング方法におい
て、上記レジストパターンを、エッチング範囲を規定す
る所定形状のエッチング枠と、該エッチング枠の内側に
残存する部分レジストとで形成することにより、前記第
１の課題を解決したものである。

【００１１】請求項２の発明は、上記ハーフエッチング
方法において、エッチング枠を、文字又は任意図形のア
ウトラインで形成するようにしたものである。

【００１２】請求項３の発明は、上記ハーフエッチング
方法において、レジストパターンを、エッチング枠の内
側に、部分レジストに対応する形状を網ふせして形成す
るようにしたものである。

【００１３】請求項４の発明は、金属材料の表面に、深
さ方向の途中迄エッチングされた所定形状のハーフエッ
チングパターンが形成されたハーフエッチング製品にお
いて、上記ハーフエッチングパターンが、外形枠と、該
外形枠の内側に残存する非エッチング部分とで形成され
たようにすることにより、前記第２の課題を解決したも
のである。

【００１４】請求項５の発明は、上記ハーフエッチング
製品において、外形枠が、文字又は任意図形のアウトラ
インであるようにしたものである。

【００１５】請求項６の発明は、上記ハーフエッチング
製品において、ハーフエッチングパターンが、外形枠
と、その内側に形成された網目形状であるようにしたも
のである。

【００１６】

【作用】本発明においては、図１に金属板Ｍにレジスト
膜ＲＬが被着されている状態を模式的に拡大して示すよ
うに、該金属材料Ｍをハーフエッチングするためのレジ
ストパターンＲＰを、エッチング領域の最大幅に当る、
即ちエッチング範囲を規定するエッチング枠ＥＦと、そ
の内側に局所的に残存する複数の部分レジストＰＲとで
形成するようにしたので、該部分レジストＰＲの大きさ
や残存割合等を適切に調整することにより、エッチング
速度を領域全体に亘って適切な速度に制御することが可
能となるため、前述した従来のレジストパターンの場合
のように過剰にエッチングが進んでしまうことを防止で
き、エッチング部分が貫通してしまうことによる不良品
の発生を有効に防止できる。

【００１７】又、上記方法によれば、部分レジストＰＲ
がない、金属の露出部分のみがエッチングされることに
なるので、図２に示すような、前記エッチング枠ＥＦに
対応する外形枠ＯＦと、該外形枠ＯＦの内側に残存する
非エッチング部ＮＥとからなるハーフエッチングパター
ンＨＰが、金属板Ｍの表面に形成されたハーフエッチン
グ製品を製造することができる。

【００１８】このように製造されるハーフエッチングパ
ターン製品は、従来品に比べて、そのハーフエッチング
パターンが形成されているエッチング領域内でも非エッ
チング部ＮＥが存在するため、強度的に優れていると共
に、エッチング領域が細い凹凸面で形成されているた
め、該領域における光の乱反射により文字等のハーフエ
ッチングパターンを鮮明に視認することができる。

【００１９】又、本発明においては、エッチング枠を文
字又は任意図形のアウトラインで形成する場合には、こ
れらのパターンが形成されたハーフエッチング製品を確
実に製造することができる。

【００２０】又、本発明において、エッチングパターン
を、エッチング枠の内側に、部分レジストに対応する形
状を網ふせして形成する場合には、ハーフエッチングパ
ターンが、外形枠と、その内側に形成された網目形状で
形成された製品を製造することができる。

【００２１】

【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳
細に説明する。

【００２２】図３は、本発明に係る一実施例のハーフエ
ッチング方法の特徴を示すエッチングする前の段階の金
属板の概略平面図であり、図４はその概略断面図であ
る。

【００２３】本実施例方法でハーフエッチングされる上
記金属板Ｍには、図３に示すように、斜線で示すレジス
ト膜ＲＬが被着形成され、該レジスト膜ＲＬにはＴの文
字のアウトライン（破線で示す）からなるエッチング枠
ＥＦと、該エッチング枠ＥＦの内側に所定のピッチで縦
横に残存形成された丸形状の部分レジストＰＲとで形成
されたレジストパターンＲＰが形成されている。従っ
て、文字Ｔを表わすレジストパターンＲＰでは、金属の
露出部分は白抜きで示すように網目形状になっており、
又、そのIV−IV位置における断面形状を模式的に示すと
図４のようになっており、このレジストパターンＲＰ
は、前記図１に示したものと同様に、エッチング枠ＥＦ
の内側に部分レジストＰＲが多数形成された形状になっ
ている。

【００２４】即ち、文字のアウトラインを表すエッチン
グ枠ＥＦの中に、更に微細な図形パターンによる部分レ
ジストＰＲを多数形成することにより、基本パターンと
多数の微細パターンとが合成されたレジストパターンＲ
Ｐを金属面に被着させて、レジスト開口部（金属露出部
分の領域）を調整するようにしている。

【００２５】本実施例においては、上記図３、図４に示
したようにレジストパターンＲＰが形成された金属板Ｍ
に対して、該レジストパターンＲＰをマスクとしてハー
フエッチングを行い、その後レジスト膜ＲＬを除去する
ことにより、図５の平面図、図６の断面図に示すよう
な、エッチング枠ＥＦに対応する、破線で示す外枠ＯＦ
と、該外枠ＯＦの内側に配された上記部分レジストＰＲ
に対応する多数の丸形状の非エッチング部分ＮＥとかる
ならハーフエッチングパターンＨＰを形成することがで
き、結果として網目形状のエッチング部分（黒で示す）
からなる文字Ｔが形成されたハーフエッチング製品を得
ることができる。

【００２６】本実施例によれば、円形の部分レジストＰ
Ｒの径や、その配置ピッチを変更し、網図形（金属露出
部分）の割合を調整することにより、エッチング速度を
制御できると同時に、部分的に過剰なエッチングの進行
を防止できるため、材質や板厚によらず、ハーフエッチ
ング部分に貫通を生じさせることを防止できる。

【００２７】又、本実施例によれば、上記のようにレジ
ストパターンＲＰを網ふせ文字で形成することにより、
目標とするハーフエッチングパターンＨＰの幅（図６に
示す対向外形枠ＯＦ間の寸法）よりも小さい局所的なエ
ッチングにより該ハーフエッチングパターンＨＰを形成
することが可能となり、従来のようにパターン全体をエ
ッチングする場合に比べて大幅に強度を向上することが
でき、しかも視覚的に均一な印象を与える極めて鮮明な
Ｔの文字が表面に刻印されたハーフエッチング製品を容
易且つ確実に製造することができる。従って、本実施例
によれば、ハーフエッチング製品の不良品発生を防止で
きると同時に、品質の向上を図ることができる。

【００２８】本実施例において採用できる部分レジスト
ＰＲの大きさと、その配置ピッチを例示すると、文字Ｔ
のアウトライン幅が０．２５ｍｍである場合には、直径
を５０〜１００μｍ、ピッチを８０〜１２０μｍを挙げ
ることができる。但し、これに限定されない。

【００２９】又、本実施例においては、部分レジストＰ
Ｒを円形よりなる図形パターンとしたが、これに限定さ
れず、四角形等の任意の形状にすることができ、更に、
異なる種類の図形パターンの組合せでも良い。

【００３０】図７及び図８は、それぞれ本実施例の変形
例を示した、前記図３及び図４に相当するエッチング前
の状態の金属板の概略平面図及び概略断面図である。

【００３１】本実施例では、図示したように、文字Ｔの
レジストパターンＲＰをエッチング枠ＥＦと、その内側
に残存する矩形の部分レジストＰＲとで形成することも
できる。このようなレジスタパターンＲＰを用いて金属
板Ｍをハーフエッチングすることにより、図示は省略す
るが、斜線のない白抜き部分のみがエッチングされた縞
模様からなる文字Ｔが表面に刻印されたハーフエッチン
グ製品を得ることができる。

【００３２】この場合、部分レジストＰＲの矩形パター
ンの幅は、例えば、５０〜１００μｍに、又、その配置
ピッチは８０〜１２０μｍにすることができる。

【００３３】図９は、本発明に係る第２実施例のハーフ
エッチング方法を行う対象である、所定のレジストパタ
ーンが被着形成された金属板を示した部分平面図であ
る。

【００３４】この金属板Ｍは、エッチングしてリードフ
レームを作成する前の状態であり、この図９には１チッ
プ分のリードフレームの中心に当るアイランドを形成す
る領域の裏側（チップ取付面の反対側）の面が示してあ
り、図中四角形部分の全体がレジストパターンＲＰであ
り、その周囲がエッチング枠ＥＦである。

【００３５】このレジストパターンＲＰは、アイランド
を四角形状に残すために同形状のレジスト膜ＲＬによっ
て形成されているもので、四角形のエッチング枠ＥＦの
内側に、所定ピッチで丸い孔からなる金属露出部が形成
されて、結果として四角形のエッチング枠ＥＦと、斜線
部で示した残存した部分レジストＰＲとで形成されてい
る。即ち、ここでは、前記第１実施例の場合とは反対
に、エッチング枠ＥＦがパターンの内側がエッチングさ
れないようにする限界であり、該エッチング枠ＥＦの内
側に、連続した形状の部分レジストＰＲが形成された形
状のレジストパターンＲＰが形成されている。従って、
このレジストパターンＲＰは、エッチング枠ＥＦの内側
に、露出部分の丸形状を網ふせして形成したもので、部
分レジストと金属露出部分の関係が前記第１実施例と逆
になっている。

【００３６】上記図９のようなレジストパターンＲＰが
形成された金属板Ｍをエッチングすることにより、図１
０（Ａ）の平面図、同図（Ｂ）の断面図に模式的に示す
ような、裏面にハーフエッチングにより、いわゆるディ
ンプルと呼ばれる複数の丸い穴Ｄが形成されたアイラン
ドＩを有するリードフレーム（アイランド以外は省略）
を製造することができる。

【００３７】なお、この第２実施例でも、エッチング枠
の内側に網ふせしてレジストパターンを形成するための
金属露出部分の単位形状は、丸に限定さけれるものでな
く、又、その寸法や網ふせのピッチ等もハーフエッチン
グの対象の大小等によって任意に変更可能であることは
いうまでもない。又、図形の具体例としては、実質的に
四角形のリードフレームのアイランドを示したが、これ
に限定されないことは言うまでもない。

【００３８】又、本発明を適用するハーフエッチング製
品は、リードフレームに限定されず、例えば矩形の形状
を維持したままで文字等が刻印された金属のフィルムや
板等であってもよい。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
エッチング液の濃度やエッチング時間の高精度な制御を
行うことなく、鮮明な文字や図形等のハーフエッチング
パターンを容易且つ確実に形成することができる。

【００４０】又、本発明によれば、高鮮明でしかも高信
頼性のハーフエッチングパターンが形成されたハーフエ
ッチング製品を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるハーフエッチング前の状態を模式
的に示す拡大部分断面図

【図２】本発明によるハーフエッチング後の状態を模式
的に示す拡大部分断面図

【図３】本発明に係る第１実施例のハーフエッチング前
の状態を示す拡大平面図

【図４】上記第１実施例のハーフエッチング前の状態を
示す拡大断面図

【図５】上記第１実施例のハーフエッチング後の状態を
示す拡大平面図

【図６】上記第１実施例のハーフエッチング後の状態を
示す拡大断面図

【図７】第１実施例の変形例を示す図３に相当する平面
図

【図８】上記変形例を示す図４に相当する断面図

【図９】本発明に係る第２実施例のハーフエッチング前
の状態を示す概略平面図

【図１０】上記第２実施例のハーフエッチング後の状態
を示す平面図と断面図

【図１１】従来のハーフエッチング前の状態を示す拡大
部分断面図

【図１２】従来のハーフエッチング後の状態を示す拡大
部分断面図

【符号の説明】

Ｍ…金属板 ＥＰ…エッチングパターン ＲＬ…レジスト膜 ＨＰ…ハーフエッチングパターン ＥＦ…エッチング枠 ＰＲ…部分レジスト ＯＦ…外形枠 ＮＥ…非エッチング部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 飯沼 輝明 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 山地 正高 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 渡辺 智 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 金井 雄二 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 山口 宣幸 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】金属材料の表面に被着されたレジスト膜
   に、所定形状の金属面が露出されたレジストパターンを
   形成し、該金属材料を途中までエッチングするハーフエ
   ッチング方法において、 上記レジストパターンを、エッチング範囲を規定する所
   定形状のエッチング枠と、該エッチング枠の内側に残存
   する部分レジストとで形成することを特徴とするハーフ
   エッチング方法。
2. 【請求項２】請求項１において、 エッチング枠を、文字又は任意図形のアウトラインで形
   成することを特徴とするハーフエッチング方法。
3. 【請求項３】請求項１において、 レジストパターンを、エッチング枠の内側に、部分レジ
   ストに対応する形状を網ふせして形成することを特徴と
   するハーフエッチング方法。
4. 【請求項４】金属材料の表面に、深さ方向の途中迄エッ
   チングされた所定形状のハーフエッチングパターンが形
   成されたハーフエッチング製品において、 上記ハーフエッチングパターンが、外形枠と、該外形枠
   の内側に残存する非エッチング部分とで形成されている
   ことを特徴とするハーフエッチング製品。
5. 【請求項５】請求項４において、 外形枠が、文字又は任意図形のアウトラインであること
   を特徴とするハーフエッチング製品。
6. 【請求項６】請求項４において、 ハーフエッチングパターンが、外形枠と、その内側に形
   成された網目形状であることを特徴とするハーフエッチ
   ング製品。