JPH0818332B2 - 単結晶ウエハの製造方法 - Google Patents
単結晶ウエハの製造方法Info
- Publication number
- JPH0818332B2 JPH0818332B2 JP23214086A JP23214086A JPH0818332B2 JP H0818332 B2 JPH0818332 B2 JP H0818332B2 JP 23214086 A JP23214086 A JP 23214086A JP 23214086 A JP23214086 A JP 23214086A JP H0818332 B2 JPH0818332 B2 JP H0818332B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- adhesive
- wafer
- mounting table
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、単結晶を切断加工して単結晶ウエハを製造
する単結晶ウエハの製造方法に関する。
する単結晶ウエハの製造方法に関する。
（従来の技術） 従来、LiTaO3やLiNbO3等の単結晶を切断してウエハを
製造する方法として、製造した単結晶を単結晶載置台上
に接着剤にて接着した後、これをまず単結晶切断工程で
多数刃同時切断機例えばワイヤソー等を使用して単結晶
を切断した後、切断した単結晶即ちウエハをウエハ剥離
工程においてウエハと単結晶載置台を接着している接着
剤を溶解してウエハを固定台から分離する方法が採用さ
れている。
製造する方法として、製造した単結晶を単結晶載置台上
に接着剤にて接着した後、これをまず単結晶切断工程で
多数刃同時切断機例えばワイヤソー等を使用して単結晶
を切断した後、切断した単結晶即ちウエハをウエハ剥離
工程においてウエハと単結晶載置台を接着している接着
剤を溶解してウエハを固定台から分離する方法が採用さ
れている。
第２図はこのウエハの剥離方法を示す図で、剥離容器
１内にはガラス製の単結晶載置台２とこれに接着剤３に
て接着された単結晶４が収容されており、接着剤３が浸
漬するように接着剤剥離液５例えば塩素系有機溶剤メチ
レンクロライドが剥離容器１内に満たされている。
１内にはガラス製の単結晶載置台２とこれに接着剤３に
て接着された単結晶４が収容されており、接着剤３が浸
漬するように接着剤剥離液５例えば塩素系有機溶剤メチ
レンクロライドが剥離容器１内に満たされている。
接着剤３としては例えばエポキシ樹脂＋変性脂肪族ポ
リアミン等を使用し、接着における引張強度は1.7〜2.5
kg/mm2程度が一般的である。
リアミン等を使用し、接着における引張強度は1.7〜2.5
kg/mm2程度が一般的である。
単結晶４は予め切断工程で単結晶切断装置例えばワイ
ヤソー等により既に切断されており、このときの切断時
の切込みは単結晶載置台２の約半分の厚さまで達してい
る。
ヤソー等により既に切断されており、このときの切断時
の切込みは単結晶載置台２の約半分の厚さまで達してい
る。
さて、このようなウエハ剥離装置を使用したウエハ剥
離作業では、接着剤剥離液５に浸漬して約20分後に接着
剤３が溶解し始めると、ウエハ６は自重により傾き単結
晶載置台52から分離される。
離作業では、接着剤剥離液５に浸漬して約20分後に接着
剤３が溶解し始めると、ウエハ６は自重により傾き単結
晶載置台52から分離される。
このようにして剥離されたウエハ６は次工程のラップ
加工にて厚みおよび平坦度が揃えられる。
加工にて厚みおよび平坦度が揃えられる。
（発明が解決しようとする問題点） ところが上述したウエハ剥離方法では、１つの単結晶
当り120枚から130枚と多数個のスライス加工した単結晶
を処理する場合、全てのウエハと単結晶載置台間の接着
剤を同時に溶解させることが困難であることから、早く
溶解した接着剤に接着されたウエハは自重により傾き、
これが未だ溶解途中の接着剤に接着されているウエハを
なぎ倒しこれを次々と繰返すいわゆる将棋倒し現象を引
起こす。この将棋倒し現象が発生すると、溶解途中の接
着剤に接着されているウエハは接着剤との固着面に応力
を受けるため、これが原因となってチッピングと称する
ウエハの剥離面のかけやクラックが多発するという問題
があった。
当り120枚から130枚と多数個のスライス加工した単結晶
を処理する場合、全てのウエハと単結晶載置台間の接着
剤を同時に溶解させることが困難であることから、早く
溶解した接着剤に接着されたウエハは自重により傾き、
これが未だ溶解途中の接着剤に接着されているウエハを
なぎ倒しこれを次々と繰返すいわゆる将棋倒し現象を引
起こす。この将棋倒し現象が発生すると、溶解途中の接
着剤に接着されているウエハは接着剤との固着面に応力
を受けるため、これが原因となってチッピングと称する
ウエハの剥離面のかけやクラックが多発するという問題
があった。
本発明は上述問題点に対処するためになされたもの
で、単結晶載置台からウエハを剥離する際にウエハの損
傷が発生しない単結晶ウエハの製造方法を提供すること
を目的とする。
で、単結晶載置台からウエハを剥離する際にウエハの損
傷が発生しない単結晶ウエハの製造方法を提供すること
を目的とする。
［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明の単結晶ウエハの製造方法は、複数の部材を第
１の接着剤により積層してなる単結晶載置台上に単結晶
を第２の接着材により接着する工程と、前記単結晶載置
台上に接着された単結晶を切断装置により前記単結晶載
置台を構成する最上層の部材とともに切断する工程と、
前記切断された単結晶を単結晶載置台とともに第２の接
着剤に対する溶解性よりも第１の接着剤に対する溶解性
の高い溶剤中に浸漬して前記単結晶載置台の最上層の部
材を分離する工程と、前記切断された単結晶と単結晶載
置台を接着する接着剤を溶解する溶剤中に浸漬して切断
された単結晶を分離する工程とからなることを特徴とす
る。
１の接着剤により積層してなる単結晶載置台上に単結晶
を第２の接着材により接着する工程と、前記単結晶載置
台上に接着された単結晶を切断装置により前記単結晶載
置台を構成する最上層の部材とともに切断する工程と、
前記切断された単結晶を単結晶載置台とともに第２の接
着剤に対する溶解性よりも第１の接着剤に対する溶解性
の高い溶剤中に浸漬して前記単結晶載置台の最上層の部
材を分離する工程と、前記切断された単結晶と単結晶載
置台を接着する接着剤を溶解する溶剤中に浸漬して切断
された単結晶を分離する工程とからなることを特徴とす
る。
（作 用） 本発明は上述手段により、ウエハ剥離時にウエハの損
傷が発生することはない。
傷が発生することはない。
（実施例） 以下本発明方法の一実施例について第１図を参照にし
ながら説明する。なお第２図と同一部分には同一符号を
付して重視する部分の説明を省略する。
ながら説明する。なお第２図と同一部分には同一符号を
付して重視する部分の説明を省略する。
まず製造した単結晶４を、予めガラス製の載置台固定
板７上に接着剤８により貼着した単結晶載置台２上に接
着剤３にて接着する。
板７上に接着剤８により貼着した単結晶載置台２上に接
着剤３にて接着する。
本例では、単結晶４と単結晶載置台２とを接着する接
着剤３は、エポキシ樹脂＋変性脂肪族ポリアミンを使用
し、接着における引張強度は1.7〜2.5kg/mm2で、一方単
結晶載置台２と載置台固定板７とを接着する接着剤８は
エポキシ樹脂系のものを使用し、接着における引張強度
は約88kg/cm2とした。
着剤３は、エポキシ樹脂＋変性脂肪族ポリアミンを使用
し、接着における引張強度は1.7〜2.5kg/mm2で、一方単
結晶載置台２と載置台固定板７とを接着する接着剤８は
エポキシ樹脂系のものを使用し、接着における引張強度
は約88kg/cm2とした。
次に単結晶４と単結晶載置台２を単結晶切断機により
切断する。このとき切断時の切込みは載置台固定板７の
約1/3の厚さまでとした。
切断する。このとき切断時の切込みは載置台固定板７の
約1/3の厚さまでとした。
こうして切断した単結晶４、単結晶載置台２および載
置台固定板７を剥離容器１内に収容した後、接着剤３お
よび８が浸漬するように接着剤剥離液５を剥離容器１内
に充填する。接着剤剥離液５は本例では塩素系有機溶剤
メチレンクロライドを使用した。
置台固定板７を剥離容器１内に収容した後、接着剤３お
よび８が浸漬するように接着剤剥離液５を剥離容器１内
に充填する。接着剤剥離液５は本例では塩素系有機溶剤
メチレンクロライドを使用した。
接着剤剥離液５に浸漬して５〜10分経過するとまず接
着剤８が溶解を始めるため、ウエハ６は接着剤３により
単結晶載置台２に固着されたまま自重により傾く。この
時溶解途中の接着剤３に接着された他のウエハのなぎ倒
して将棋倒し現象を引起こすが、ウエハ６と単結晶載置
台２とが接着された状態となっているため、ウエハ６が
単結晶載置台２から剥離してチッピングが発生すること
はない。そしてウエハ６が全て倒れた状態でさらに10分
後に接着剤３が溶解を開始し無理なくウエハ６と単結晶
載置台２とが分離される。
着剤８が溶解を始めるため、ウエハ６は接着剤３により
単結晶載置台２に固着されたまま自重により傾く。この
時溶解途中の接着剤３に接着された他のウエハのなぎ倒
して将棋倒し現象を引起こすが、ウエハ６と単結晶載置
台２とが接着された状態となっているため、ウエハ６が
単結晶載置台２から剥離してチッピングが発生すること
はない。そしてウエハ６が全て倒れた状態でさらに10分
後に接着剤３が溶解を開始し無理なくウエハ６と単結晶
載置台２とが分離される。
このように単結晶載置台２と載置台固定板７を固定す
る接着剤８がまず始めに溶解することによりウエハ６と
単結晶固定台２との剥離時にウエハの剥離部に応力が加
わることがなくなりチッピングの発生を防止することが
できる。
る接着剤８がまず始めに溶解することによりウエハ６と
単結晶固定台２との剥離時にウエハの剥離部に応力が加
わることがなくなりチッピングの発生を防止することが
できる。
［発明の効果］ 以上説明したように本発明の単結晶ウエハの製造方法
によれば、ウエハ剥離時においてウエハ剥離面のかけお
よびクラック等のチッピングの発生を防止することがで
きる。
によれば、ウエハ剥離時においてウエハ剥離面のかけお
よびクラック等のチッピングの発生を防止することがで
きる。
第１図は本発明方法の一実施例に使用するウエハ剥離装
置を示す切断図、第２図は従来のウエハ剥離装置を示す
切断図である。 １……剥離容器 ２……単結晶載置台 ３……接着剤 ４……単結晶 ５……接着剤剥離液 ６……ウエハ ７……載置台固定板 ８……接着剤
置を示す切断図、第２図は従来のウエハ剥離装置を示す
切断図である。 １……剥離容器 ２……単結晶載置台 ３……接着剤 ４……単結晶 ５……接着剤剥離液 ６……ウエハ ７……載置台固定板 ８……接着剤
Claims (1)
- 【請求項１】複数の部材を第１の接着剤により積層して
なる単結晶載置台上に単結晶を第２の接着材により接着
する工程と、前記単結晶載置台上に接着された単結晶を
切断装置により前記単結晶載置台を構成する最上層の部
材とともに切断する工程と、前記切断された単結晶を単
結晶載置台とともに第２の接着剤に対する溶解性よりも
第１の接着剤に対する溶解性の高い溶剤中に浸漬して前
記単結晶載置台の最上層の部材を分離する工程と、前記
切断された単結晶と単結晶載置台を接着する接着剤を溶
解する溶剤中に浸漬して切断された単結晶を分離する工
程とからなる単結晶ウエハの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23214086A JPH0818332B2 (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | 単結晶ウエハの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23214086A JPH0818332B2 (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | 単結晶ウエハの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6389500A JPS6389500A (ja) | 1988-04-20 |
| JPH0818332B2 true JPH0818332B2 (ja) | 1996-02-28 |
Family
ID=16934619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23214086A Expired - Lifetime JPH0818332B2 (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | 単結晶ウエハの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0818332B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3593451B2 (ja) * | 1998-04-01 | 2004-11-24 | 株式会社日平トヤマ | インゴットのスライス方法 |
| JP5117880B2 (ja) * | 2008-02-21 | 2013-01-16 | セイコーインスツル株式会社 | ウエハの作製方法 |
| JP6926864B2 (ja) * | 2017-09-12 | 2021-08-25 | 住友金属鉱山株式会社 | 単結晶の切断方法、固定冶具、及び、単結晶基板の製造方法 |
-
1986
- 1986-09-30 JP JP23214086A patent/JPH0818332B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6389500A (ja) | 1988-04-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |