JPH08181162A - シェィブドキャピラリーを用いて細かいピッチのワイヤーボンディングを行う方法および装置 - Google Patents

シェィブドキャピラリーを用いて細かいピッチのワイヤーボンディングを行う方法および装置

Info

Publication number
JPH08181162A
JPH08181162A JP7261727A JP26172795A JPH08181162A JP H08181162 A JPH08181162 A JP H08181162A JP 7261727 A JP7261727 A JP 7261727A JP 26172795 A JP26172795 A JP 26172795A JP H08181162 A JPH08181162 A JP H08181162A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
capillary
bond
wire
stitch
axis
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7261727A
Other languages
English (en)
Inventor
Roderick L Quick
エル クイック ローデリック
John W Orcutt
ダブリュー オーカット ジョン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Texas Instruments Inc
Original Assignee
Texas Instruments Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Texas Instruments Inc filed Critical Texas Instruments Inc
Publication of JPH08181162A publication Critical patent/JPH08181162A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/60—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49517—Additional leads
    • H01L23/4952—Additional leads the additional leads being a bump or a wire
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • H01L2224/0554—External layer
    • H01L2224/0555—Shape
    • H01L2224/05552—Shape in top view
    • H01L2224/05554—Shape in top view being square
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001—Core members of the connector
    • H01L2224/4501—Shape
    • H01L2224/45012—Cross-sectional shape
    • H01L2224/45015—Cross-sectional shape being circular
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001—Core members of the connector
    • H01L2224/45099—Material
    • H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45117—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
    • H01L2224/45124—Aluminium (Al) as principal constituent
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001—Core members of the connector
    • H01L2224/45099—Material
    • H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805—Shape
    • H01L2224/4809—Loop shape
    • H01L2224/48091—Arched
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481—Disposition
    • H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484—Connecting portions
    • H01L2224/48463—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
    • H01L2224/48465—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491—Disposition
    • H01L2224/4912—Layout
    • H01L2224/49171—Fan-out arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491—Disposition
    • H01L2224/4912—Layout
    • H01L2224/49175—Parallel arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491—Disposition
    • H01L2224/4912—Layout
    • H01L2224/49177—Combinations of different arrangements
    • H01L2224/49179—Corner adaptations, i.e. disposition of the wire connectors at the corners of the semiconductor or solid-state body
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
    • H01L2224/7825—Means for applying energy, e.g. heating means
    • H01L2224/78268—Discharge electrode
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
    • H01L2224/7825—Means for applying energy, e.g. heating means
    • H01L2224/783—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
    • H01L2224/78301—Capillary
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
    • H01L2224/788—Means for moving parts
    • H01L2224/78801—Lower part of the bonding apparatus, e.g. XY table
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/85009—Pre-treatment of the connector or the bonding area
    • H01L2224/8503—Reshaping, e.g. forming the ball or the wedge of the wire connector
    • H01L2224/85035—Reshaping, e.g. forming the ball or the wedge of the wire connector by heating means, e.g. "free-air-ball"
    • H01L2224/85045—Reshaping, e.g. forming the ball or the wedge of the wire connector by heating means, e.g. "free-air-ball" using a corona discharge, e.g. electronic flame off [EFO]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/8512—Aligning
    • H01L2224/85148—Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus
    • H01L2224/85169—Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus being the upper part of the bonding apparatus, i.e. bonding head, e.g. capillary or wedge
    • H01L2224/8518—Translational movements
    • H01L2224/85181—Translational movements connecting first on the semiconductor or solid-state body, i.e. on-chip, regular stitch
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/852—Applying energy for connecting
    • H01L2224/85201—Compression bonding
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/852—Applying energy for connecting
    • H01L2224/85201—Compression bonding
    • H01L2224/85205—Ultrasonic bonding
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L24/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01—Chemical elements
    • H01L2924/01005—Boron [B]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01—Chemical elements
    • H01L2924/01006—Carbon [C]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01—Chemical elements
    • H01L2924/01013—Aluminum [Al]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01—Chemical elements
    • H01L2924/01019—Potassium [K]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01—Chemical elements
    • H01L2924/01039—Yttrium [Y]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01—Chemical elements
    • H01L2924/01079—Gold [Au]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11—Device type
    • H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
    • H01L2924/1204—Optical Diode
    • H01L2924/12042—LASER
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11—Device type
    • H01L2924/14—Integrated circuits
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/20—Parameters
    • H01L2924/207—Diameter ranges
    • H01L2924/20752—Diameter ranges larger or equal to 20 microns less than 30 microns

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】シェィブドキャピラリーを用いて細かいピッチ
のワイヤーボンディングを行うこと。 【解決手段】本発明の装置は、シェィブドキャピラリー
（２０）を有するボンドヘッド（４２）、前記ボンドヘ
ッドを保持するためのキャリア（４３）、前記キャリア
（４３）が取り付けられたベアリング（４４）、および
前記ベアリング（４４）が取り付けられたベアリングテ
ーブル（４６）を有する。前記ベアリングテーブル（４
６）とベアリング（４４）はキャピラリーに対してｚ軸
の周りに回転運動を与える。シェィブドキャピラリー
（２０）と作業ホルダー（５０）に与えられた相対的回
転はリードフレーム（５２）に関してキャピラリー（２
０）に適当な位置を与え、半導体ダイ（１１）上に形成
されるべき細かいピッチのボールボンドを可能としつ
つ、リードフレーム（５３）上に高品質のステッチボン
ドを形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置のワイ
ヤーボンディング、特に、シェィブドキャピラリー(sha
ved capillary)を用いて細かいピッチのワイヤーボンデ
ィングを行う方法および装置に関する。
【０００２】
【先行技術】ワイヤーボンディングは、内部の半導体ダ
イを外部リードを接続するために半導体製造において、
広く用いられた技術である。この処理において、細い金
のワイヤー、一般には約２５μｍ（０．００１０イン
チ）の直径のワイヤーは、頂部にある入口開口とボアー
の反対端にある出口開口を有するセラミックのキャピラ
リー、一般にはアムミナを通して供給される。ボール
は、前のボンド後に残っているワイヤーの小さな部分を
溶かす電子的フレーム(electronic flame off:EFO)メカ
ニズムによって出口開口に形成される。本質的に、ボー
ルは、電気的放電スパークによってワイヤーの終端に形
成される。この時、キャピラリーはボールから比較的遠
く（ミリメータ離れている）にある。ワイヤーは、ボー
ルがキャピラリーの丸みぞに集中され、そしてダイ上の
ボンドパッドに向かってキャピラリーの連続した移動に
よって下方に力が加えられるまで、伸長器による移動が
が妨げられる。ボールは、組み立てられている半導体装
置のボンドパッド上に置かれ、キャピラリーの端は、サ
ーモソニックエネルギーと共に、パッドに逆らってボー
ルにボンドを与えるようにする。
【０００３】上述のボールボンドのステップは、キャピ
ラリーの直径のため、約１００μｍ（０．００３９イン
チ）より近いボンドパッドのある集積回路においては、
金のワイヤーボールボンディングに大きな障害を与え
る。半導体装置のパッドからパッドへのピッチが減少す
るにしたがって、隣接するパッド上のボールとワイヤー
を邪魔することなくボールを作り、そのボールと取り付
けられたワイヤーをパッドにボンドするためにはキャピ
ラリーのための場所がない。しかし、ステッチボンド(s
titch bond) 力の減退を生じることなく、約９０μｍ
（０．００３５インチ）以下のボンドピッチを作るため
に、キャピラリーの直径を十分に縮めることは可能では
ない。このステッチボンド力の減退の理由は、キャピラ
リーの直径が縮むにつれて、ステッチボンドを形成する
キャピラリーの面の直径が縮小することであり、それに
よりステッチが形成される面積を減少する。また、大き
なストレスが、ステッチボンド中にキャピラリーボンド
面に与えられる。キャピラリーボンドチップは、リード
フィンガーのキャピラリー尖端の跡を残して、リードフ
レームに横に押しつけられ、それにより、ボールボンド
に関して上に述べられたと同じ問題を示している。更
に、製造の歩留りが減少するために、キャピラリーの費
用は上昇し、また直径の減少したキャピラリーは、標準
のキャピラリーより脆いので、キャピラリーの寿命は減
少する。
【０００４】ボール間隙（clearance)にキャピラリーの
側面になされた二つの平行なカットのあるキャピラリー
が、ボールボンドの非常に細かなピッチの半導体ダイに
時々用いられる。このようなキャピラリーは“シェィブ
ド”キャピラリー("shaved"capillary:切り落としのあ
るキャピラリー）と通常呼ばれている。平行なカット
は、キャピラリーの何れかの側面上にステッチボンドを
作るキャピラリーの面部分を除去するので、このような
シェィブドキャピラリーは、適当なステッチボンド用の
キャピラリーの残っている面の下にワイヤーを保持する
ためにダイに多少垂直であるワイヤーをボンドするため
にのみ用いられることができる。これは、半導体ダイの
側面に殆どあるいは全くワイヤー角度のない全てのｘ方
向或いは全てのｙ方向のいづれかのワイヤー、あるいは
一組のワイヤー間でシェィブドキャピラリーの使用を制
限する。このようなキャピラリーのためのワイヤーは、
このようなキャピラリー設計の有用性を非常に制限する
組として実質的に平行でなければならない。しかしなが
ら、このようなシェィブドキャピラリーの残りの面は同
じパッド・ツウ・パッド（パッドからパッドへ）のピッ
チで全方向にボンドすることができるキャピラリーの面
より非常に大きく、この大きなキャピラリーの面は、同
じパッド・ツウ・パッドのピッチの、全方向キャピラリ
ーで行われるステッチボンドと比較して、シェィブドキ
ャピラリーが非常に良いステッチボンドを行うことを可
能にする。
【０００５】ウエッジボンディングは、内部半導体ダイ
を外部リードに接続するために半導体製造において広く
用いられる他の技術である。ここでは、アルミニューム
ワイヤーが通常用いられるが、金のワイヤーも一つの選
択として用いられる。ワイヤーサイズはボールボンディ
ングに用いられるものと同じである。ボンディングツー
ルとプロセスは全く異なっている。ワイヤーは、ワイヤ
ーの小さな部分を半導体のボンドパッドにプレスするこ
とによってステッチボンドを行う金属のボンディングツ
ールに導かれる。このツールは、外部リードにワイヤー
を巻くために、ｚおよびｘ−ｙ方向に移動され、リード
上に第２のステッチボンドをつくる。このツールは、ワ
イヤーを引くことだけができ、ワイヤーはボンドヘッド
のｙ方向に正常にボンドされる。部品あるいはボンドヘ
ッドの何れかは、ｙテーブル方向のツールの通路に各々
のボンドパッドおよび外部リードを整列するために回転
されなければならない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】結果として生ずるステ
ッチボンドは、ボンドのｘ方向にある薄い寸法を有して
いて矩形状をしている。ボンドパッドの方向に垂直にさ
れたボンドは、外部リードを有する非常に隙間のないピ
ッチにすることができ、これは、生じるステッチボンド
がそのボンドパッド上で回転するようにし、適当な隙間
に対して要求されるパッドとパッドのピッチを増加す
る。従って、半導体装置のパッドにワイヤーボンドを作
るための改良された技術が、ボンドパッドの縮小の大き
さ及び間隔ついて非常に必要となることは明らかであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】一般に、そして本発明の
一形態において、ワイヤーボンディングのための方法
は、ボアー、第１と第２の両側にある側壁、および第３
と第４の両側にある側壁を有し、前記第３と第４の側壁
は、曲線を有し、前記ボアーを通して第１の軸に沿って
或る縦方向寸法だけ離間され、前記第１と第２の側壁
は、前記第１の軸に垂直な前記ボアーを通して第２の軸
に沿って或る横方向寸法だけ離間され、前記横方向寸法
が縦方向寸法より小さい、キャピラリーを用いる。前記
方法は、前記キャピラリーを有する第１の位置にある第
１の表面上にワイヤーの第１の端を有するボールボンド
を形成するステップ；前記キャピラリーを第２の位置に
ある第２の表面に移動して、前記ワイヤーが前記第１の
位置から前記第２の位置に伸びるステップ；前記第２の
表面に関して、前記キャピラリーの相対的回転を行っ
て、前記ワイヤーが前記第３と第４の側壁の一つの下か
ら伸びるステップ；および前記第２の位置にある前記第
２の表面上に、ステッチボンドを形成するステップを有
している。本発明の他の形態において、ボールボンドお
よびステッチボンドを形成するためのワイヤーボンディ
ング装置は、ボアー、第１と第２の両側にある側壁、お
よび第３と第４の両側にある側壁を有し、前記第３と第
４の側壁は、曲線を有し、前記ボアーを通して第１の軸
に沿って或る縦方向寸法だけ離間され、前記第１と第２
の側壁は、前記第１の軸に垂直な前記ボアーを通して第
２の軸に沿って或る横方向の寸法だけ離間され、前記横
方向の寸法が縦方向寸法より小さい、キャピラリーを含
むボンドヘッドと、半導体ダイと前記キャピラリーに隣
接するリードフレームを支持する作業ホルダーと、およ
び前記キャピラリーと前記作業ホルダー間のｚ軸の周り
に相対的回転を与える手段とを有するしている。
【０００８】本発明の利点は、高品質で、信頼性のある
ステッチボンドを有する細かなピッチのワイヤーボンデ
ィングが、単一の動作で多くの異なるボンディング角度
を必要とする半導体ダイおよびリードフレームのリード
上で達成することができることである。
【０００９】
【実施の形態】図１および図２は、それぞれ、半導体ダ
イ１１のボンドパッド９上にボールボンド７を形成する
従来技術によるシェィブドキャピラリー２０の尖端部分
の前面図および側面図である。シェィブドキャピラリー
２０は、下部にある平坦な両側壁２１と２３、それらは
面２８に隣接するキャピラリーの端において、切り落と
し、即ち平行にカットすることによって形成されてお
り、また下部にある曲面のある両側壁２５と２７を有し
ている。下部にある平坦な両側壁２１と２３は図１にお
いて、実質的に平行線として示されているけれども、そ
れらは互いにある角度をもって形成されている。切り落
とし（カット）の前は、キャピラリー２０は面２８に隣
接する円形断面を有している。このカットは、例えば、
グラインダーあるいはレーザを用いて作ることができ、
下部にある平坦な両側壁２１と２３間の距離は、下部に
ある曲面のある両側壁２５と２７間の距離より小さくな
っている。下部の両側壁２１と２３は、傾斜した壁２４
によって円形の上部の壁２６につながっている。図３
は、壁２４と２６がキャピラリーに対して省略された、
シェィブドキャピラリーの底面図である。点線で示され
た、下部の曲面のある側壁２１ａと２３ａは、切り落と
し前は存在している。図３に示されているように、面２
８は、軸２９に沿って、側壁２５から側壁２７に伸びる
縦方向の寸法を有しており、そしてそれは軸２９に垂直
な軸１９に沿って側壁２１から２３へ伸びる横方向の寸
法より大きくなっている。軸２９に沿った縦方向の距離
は、切り落としの結果変化がない。側壁２１と２３の間
の減少された距離は、図１に見られるように、ボンドパ
ッド９間の距離が減少され、細かいピッチボンディング
を可能にする。
【００１０】図４と図５は、それぞれ図２の４−４線と
図１の５−５線に沿った断面図である。図４と図５から
わかるように、シェィブドキャピラリー２０は、金のワ
イヤー５が設けられている中央ボアー３を有している。
ボール７はボアー３の底部にある面取りした面９に配置
される。図６−８ａは、図１のシェィブドキャピラリー
を用いて、ダイ１１のボンドパッド９上のボールボンド
７とリード３２上のステッチボンド１２の形成のための
連続したステップを示す。図６に示されるように、キャ
ピラリー２０はボンドパッド９から初期には離されてお
り、ボール７ａは、前のボンド後に残っているワイヤー
の小さな部分を溶かす従来の電子的フレーム（electron
ic flame off:EFO) メカニズムによって外側に形成され
る。続いてボール７ａは、ダイ１１のボンドパッド９に
対してボールを位置するようにキャピラリー２０を下
げ、図７に示すようにボール７がボンドパッド９に対し
て平らにされ、ボンドするようにボールに突き当たるキ
ャピラリー２０の尖端から超音波パルスと圧力を加える
ことによって、ボンドパッド９にボンドされる。その後
キャピラリー２０は、ボンドパッド９から持ち上げられ
て、リード３２上の次のワイヤーボンディング位置に移
動する。ステッチボンド１２は、リード３２に対してワ
イヤー５を位置ためにキャピラリー２０を下げ、図８に
示すように、ワイヤー５がリード３２に対して平らにさ
れ、ボンドするようにワイヤー５に突き当たるキャピラ
リー２０の尖端から超音波パルスと圧力を加えることに
よって、なされる。その後、キャピラリー２０は、図８
（Ｂ）に示されるように、リード３２から持ち上げら
れ、ステッチボンド１２をそのままにしてワイヤーが切
られる。
【００１１】従来技術によるシェィブドキャピラリーの
ボンディング装置は、半導体ダイとリード及びシェィブ
ドキャピラリー間で固定された方向を維持している。結
果として、ボンドされるワイヤーはダイの端に実質的に
垂直に伸びなけれはならないので、十分なキャピラリー
の面の面積が適当なステッチボンディングのためにワイ
ヤー上に維持される。図９は、従来技術のボンディング
装置におけるダイ、リードおよびシェィブドキャピラリ
ー間の固定された方向の欠点を示している。図９に示さ
れるように、ダイ１１は、ダイ１１の端３０に隣接する
複数のボンドパッド９ａ−９ｃとダイ１１の端３１に隣
接する複数のボンドパッド９ｄ−９ｆを有している。複
数のリードフレームのリード３２ａ−３２ｃは第１１の
端３０から離間されており、複数のリードフレームのリ
ード３２ｄ−３２ｆはダイ１１の端３１から離間されて
いる。従来技術のボンディング装置においては、キャピ
ラリー２０はｘとｙ方向、およびｘとｙ軸を含む面に垂
直なｚ方向に移動可能であるが、ｚ軸の周りに回転する
ことはできない。キャピラリー２０は、最初ボンドパッ
ド９ａ上にボールボンド７を形成し、次にリード３２ａ
上にステッチボンドを形成するためにｚとｙ方向に移動
される。ワイヤー５ａはボンドパッド９ａとリード３２
ａにボンドされ、そしてリード３２ａはｙ方向のボンド
パッド９ａの直ぐ下にあるので、ワイヤー５ａはダイ１
１の端３０に実質的に垂直である。リード３２ａ上のス
テッチボンドに対するボンド角度は約９０度である。そ
の後キャピラリー２０は、ボンドパッド９ｂ上にボール
ボンド７を形成するためにｚとｘ方向に移動され、続い
てリード３２ｂ上にステッチボンド１２を形成するため
にｚとｙ方向に移動される。従ってワイヤー５ｂはボン
ドパッド９ｂとリード３２ｂにボンドされる。リード３
２ｂはｙ方向のボンドパッド９ｂの直ぐ下にあるので、
ワイヤー５ｂはダイ１１の端３０に実質的に垂直であ
る。リード３２ｂ上のステッチボンドに対するボンド角
度も約９０度である。その後キャピラリー２０は、ボン
ドパッド９ｃ上にボールボンド７を形成するためにｚと
ｘ方向に移動され、続いてリード３２ｂ上にステッチボ
ンド１２を形成するためにｚ，ｘおよびｙ方向に移動さ
れる。従ってワイヤー５ｃはボンドパッド９ｃとリード
３２ｃにボンドされる。リード３２ｃはｙ方向のボンド
パッド９ｃの直ぐ下にないので、ワイヤー５ｃはダイの
端３０に関して鋭角にある。リード３２ｃ上のステッチ
ボンドのためのボンド角度は約４５度である。
【００１２】キャピラリー２０の面２８が、ボールボン
ドとステッチボンドが連続して形成される位置に、点線
で示されている。ボールボンディング中にボンドパッド
９ａ−９ｃの上にあるキャピラリー２０の面２８の面積
は、高品質、信頼性のあるボールボンド７を形成するの
に十分である。同様に、ステッチボンディング中にリー
ド３２ａと３２ｂの上にあるキャピラリー２０の面２８
の面積は、高品質、信頼性のあるステッチボンドを形成
するのに十分である。しかし、ステッチボンド中にリー
ド３２ｃ上にあるキャピラリーの面２８の面積は高品質
のステッチボンドを形成するには不十分である。リード
３２ｃ上のステッチボンドの品質は、非常に信頼性に乏
しい。リード３２ａと３２ｂ上の高品質のステッチボン
ドは、リード３２ａと３２ｂがボンドパッド９ａと９ｂ
の直ぐ下のｙ方向に位置しているので、ワイヤー５ａと
５ｂは、互いに実質的に平行で、ダイ１１の端３０に実
質的に垂直であると言う事実による。結果として、ステ
ッチボンド中に、ワイヤー５ａと５ｂが、ボアー８から
と、キャピラリー２０の端２５に隣接する面２８の下か
ら外に伸びている。面２８の実質的に利用できる最大の
面積が、リード３２ａと３２ｂ上にステッチボンドを形
成するために利用できる。リード３２ｃ上のステッチボ
ンドの品質が悪いのは、リード３２ｃがボンドパッド９
ｃからｘとｙ方向に離されているので、ワイヤー５ｃが
ワイヤー５ａと５ｂに対して或る角度を有し、ダイ１１
の端３０に垂直でないと言う事実による。結果として、
ステッチボンド中に、ワイヤー５ｃはボアー８から、ま
たキャピラリー２０の端２１に隣接する面２８のしたか
ら伸びる。従って、利用可能な最大面積より実質的に小
さな、面２８の小さな面積がリード３２ｃ上にステッチ
ボンドを形成するために利用できるのみである。
【００１３】従来技術のシェィブドキャピラリーのボン
ディング装置は、また単一の動作において、ボンドパッ
ド９ｅ−９ｆ上にボールボンドを作るとき、キャピラリ
ー２０が前に形成されたボールボンドに接触するので、
ワイヤーをボンドパッド９ａ−９ｆからリード３２ａ−
３２ｆにボンディングすることはできず、リード３２ｄ
−３２ｆ上のステッチボンドは品質が劣る。従来のシェ
ィブドキャピラリーボンディング装置においては、ワイ
ヤーをボンドパッド９ｄ−９ｆおよびリード３２ｄ−３
２ｆにボンドするために、このボンディング装置におい
てはダイおよびリードを取り除き、それらを９０度回転
し、その後それらをもとに戻すことが必要である。図１
０は、従来のボンディング装置におけるダイ、リードお
よびシェィブドキャピラリー間の固定された位置から生
じる問題を克服する、本発明によるシェィブドキャピラ
リーを用いるワイヤーボンディングのための方法を示し
ている。ボンドパッド９ａ−９ｆ上に高品質ボールボン
ド７とリード３２ａ−３２ｆ上に高品質ステッチボンド
１２を形成するために、第１１とリード３２ａ−３２ｆ
に適用される本発明による方法が示されている。図１０
のキャピラリー２０は、ｘ，ｙおよびｚ方向に移動可能
である。更に、ｘおよびｙ軸を含む面に垂直なｚ軸の周
りにダイ１１とリード３２ａ−３２ｆに関してキャピラ
リー２０の相対的回転が、キャピラリー２０あるいはダ
イ１１とリード３２ａ−３２ｆの何れかを回転すること
によって、与えられる。位置Ａ，ＢおよびＣは、水平あ
るいはｘ方向のボンドパッド９ａ−９ｃ上にボールボン
ディングを行うための適当な方向にあるキャピラリー２
０を示している。位置Ｄ，ＥおよびＦは、水平あるいは
ｘ方向のリード３２ａ−３２ｃ上にステッチボンディン
グを行うための適当な方向にあるキャピラリー２０を示
している。位置Ｊ，ＫおよびＬは、垂直あるいはｙ方向
のリード３２ｄ−３２ｆ上にステッチボンディングを行
うための適当な方向にあるキャピラリー２０を示してい
る。それぞれのボールボンドに対して、キャピラリー２
０は、それが前に形成されたボールボンドに接触しない
ように位置される。それぞれのステッチボンドに対し
て、キャピラリー２０は、ワイヤー５がボアー８から、
およびキャピラリー２０の側面２５に隣接する面２８の
下から外方に伸びるように位置される。
【００１４】キャピラリー２０は、まず位置Ａにあっ
て、ボンドパッド９ａ上にボールボンド７を形成し、次
いで、位置Ｄまでｙ方向に移動して、リード３２ａ上に
ステッチボンド１２を形成する。その後、キャピラリー
２０は、位置Ｂまでｘとｙ方向に移動してボンドパッド
９ｂ上にボールボンド７を形成し、次いで、ｙ方向の位
置Ｅに移動して、リード３２ｂ上にステッチボンド１２
を形成する。その後、キャピラリー２０は、位置Ｃまで
ｘとｙ方向に移動してボンドパッド９ｃ上にボールボン
ド７を形成し、次いで、位置Ｆまでのｘとｙ方向移動
と、キャピラリー２０、ダイ１１およびリード３２ａ−
３２ｆ間でｚ軸の周りを相対的に回転を行って、リード
３２ｃ上にステッチボンド１２を形成する。その後、キ
ャピラリー２０は、位置Ｇまでｘとｙ方向に移動し、ダ
イ１１とリード３２ａ−３２ｆに関して回転しボンドパ
ッド９ｄ上にボールボンド７を形成し、次いで、位置Ｊ
までｘ方向に移動して、リード３２ｄ上にステッチボン
ド１２を形成する。更に、キャピラリー２０は、位置Ｈ
までｘとｙ方向に移動し、ボンドパッド９ｅ上にボール
ボンド７を形成し、続いて、ｘ方向の位置Ｋまで移動し
て、リード３２ｅ上にステッチボンド１２を形成する。
その後、キャピラリー２０は、位置Ｉまでｘとｙ方向に
移動して、ボンドパッド９ｆ上にボールボンド７を形成
し、続いて、ｘ方向の位置Ｌまで移動して、リード３２
ｆ上にステッチボンド１２を形成する。
【００１５】キャピラリー２０の面２８は、ボールボン
ドとステッチボンドが続いて形成される位置に示されて
いる。ボールボンディング中にボンドパッド９ａ−９ｃ
上のキャピラリー２０の面２８の面積は図８に示された
それと同じであり、高品質のボールボンド７を形成する
のに十分である。同様に、ステッチボンディング中にリ
ード３２ａ−３２ｂ上のキャピラリー２０の面２８の面
積は図８に示されたそれと同じであり、高品質のステッ
チボンド１２を形成するのに十分である。リード３２ｃ
上にステッチボンドを形成する前にｚ軸の周りにキャピ
ラリー２０、およびダイ１１とリード３２ａ−３２ｃ間
の相対的回転は、ステッチボンディング中にリード３２
ｃ上にあるキャピラリー２０の面２８の面積が高品質
で、信頼性のあるステッチボンドを形成するのに十分で
あることを保証する。従って、図９に記載された鋭角の
ボンディング角度でステッチボンドを形成する従来の方
法を用いる信頼性の危険は除かれる。更に、キャピラリ
ー２０、およびダイ１１とリード３２ｄ−３２ｆ間の相
対的回転によって、ワイヤーが単一動作でボンドパッド
９ａ−９ｆおよびリード３２ａ−３２ｆにボンドされ
る。リード３２ｃ上のステッチボンドが高品質であるの
は、キャピラリー２０、ダイ１１およびリード３２ａ−
３２ｃが互いに関連して回転され、ワイヤー５がボアー
８からとキャピラリー２０の側面２５に隣接する面２８
の下から外方に伸びるようにするという事実によるもの
である。従って、ステッチボンドをリード３２ｃ上に形
成するために、面２８の十分な面積が利用可能である。
【００１６】図１１および図１２は、それぞれ図１０に
記載された方法を実施するためのボンディング装置４０
の第１の実施の形態の断面図および上面図である。ボン
ディング装置４０は、ボンドヘッド４２、ボンドヘッド
４２を支持するための支持部４３ａを有する円形ボンド
ヘッドキャリア４３、ボンドヘッドキャリア４３が取付
けられているボンドヘッドキャリア・ベアリング４４、
ボンドベッドキャリア・ベアリング４４が取付けられて
いるキャリアベアリング・テーブル４６、キャリアベア
リングテーブル４６が取付けられているｘ−ｙテーブル
４８、および固定された作業ホルダー５０を有してい
る。作業ホルダー５０は、ダイ１１とリードフレーム５
２を支持し、それらの間でワイヤー５がボンドされる。
ボンドヘッド４２は、キャピラリー２０とキャピラリー
２０にｚ方向の移動を与えてｚ方向に移動することがで
きように、支持部４３ａによって保持されている超音波
ホーン４１を有している。Ｚ−駆動モーター４５はキャ
ピラリー２０のｚ方向の移動を与えるために、支持部４
３ａに接続されている。ボンドヘッドキャリアベアリン
グ４４は、ボンドキャリア４３がｚ軸の周りに回転する
ようにし、そして順番にボンドキャリア４３は、ホーン
４１とキャピラリー２０がｚ軸の周りを回転するように
する。従って、ボンドキャリアヘッドベアリング４４
は、キャピラリー２０が高品質のステッチボンドを行う
のに必要な位置までｚ軸の周りを回転するようにする。
モーター４７はボンドヘットキャリア４３に接続され、
キャピラリー２０に回転移動を与える。キャリアベアリ
ングテーブル４６はキャリアベアリング４４を支持し、
ｘ−ｙテーブル４８によってｘとｙ方向に移動される。
従って、ｘ−ｙテーブル４８の移動は、ボンディングの
ために必要なｘとｙの位置まで、キャピラリー２０を移
動する。Ｙ−駆動モーター４９ｂは、テーブル４８にｙ
方向の移動を与えるためにｘ−ｙテーブル４８に接続さ
れている。キャピラリー２０を回転するためのボンドヘ
ッドキャリア４３の回転およびｘ−ｙテーブル４８の移
動は、従来のパターン認識技術とコンピュータ制御を用
いてマニュアル或いは自動的に達成することができる。
【００１７】図１３および図１４は、それぞれ図９に記
載された方法を実施するためのボンディング装置５４の
第２の実施の形態の断面図および上面図である。ボンデ
ィング装置５４は、ボンドヘッド６２、ボンドヘッド６
２を支持するための支持部６３ａを有するボンドヘッド
キャリア６３、ボンドヘッドキャリア６３が取付けられ
ているｘ−ｙテーブル６４、円形の作業ホルダー６６、
作業ホルダー６６を支持し、その回転を与える円形の作
業ホルダー・ベアリング６９、アベアリング６８が取付
けられた支持部７０、および支持部７０とｘ−ｙテーブ
ル６４が取付けられている基体７２を有している。作業
ホルダー６６はダイ１１とリードフレーム７４を支持
し、それらの間にワイヤー５がボンドされる。ボンドヘ
ッド６２は、キャピラリー２０とキャピラリー２０にｚ
方向の移動を与えてｚ方向に移動することができよう
に、支持部６３ａによって保持されている超音波ホーン
６１を有している。Ｚ−駆動モーター６０は、キャピラ
リー２０にｚ方向の移動を与えるために、支持部６３ａ
に接続されている。作業ホルダー・ベアリング６８は、
作業ホルダー６６がｚ軸の周りに回転するようにし、そ
して順番に作業ホルダー６６はダイ１１とリードフレー
ム７４がｚ軸の周りを回転するようにする。従って、作
業ホルダー・ベアリング６８は、ダイ１１とリードフレ
ーム７４が、高品質のステッチボンドを行うことができ
るキャピラリー２０の固定された位置に関連した位置ま
でｚ軸の周りを回転させられる。モーター６９はダイ１
１とリードフレーム７４に回転運動を与えるために作業
ホルダー６６に接続される。ボンドヘッドキャリア６３
はボンドヘッド６２を支持し、ｘ−ｙテーブル６４によ
ってｘとｙの方向に移動される。従って、ｘ−ｙテーブ
ル６４の運動は、ボンディングのための必要なｘとｙの
位置までキャピラリーを移動する。Ｙ−駆動モーター６
５ｂは、ｘ−ｙテーブル６４に接続されていて、テーブ
ル６４にｙ方向の運動を与える。キャピラリー２０とｘ
−ｙテーブル６４の運動に関連してダイ１１とリードフ
レーム７４を回転するために作業ホルダー６６の回転
は、従来のパターン認識技術およびコンピュータ制御を
用いてマニュアルであるいは自動的に行うことができ
る。
【００１８】二つの好適な実施の形態が詳細に述べられ
た。本発明の範囲は特許請求の範囲内で、ここに記載さ
れたもととはことなる実施の形態を含むことが理解され
るべきである。例えば、ここに示されたもの以外の多く
のボンドパッドとリードの形状が用いられることができ
る。更に、ここに示されたもの以外のダイとリードに関
連してキャピラリーの相対的回転が、ボールボンドとス
テッチボンドを形成するために用いられるとができる。
【００１９】以上の記載に関連して、以下の各項を開示
する。 （１）ボアー、第１と第２の両側にある側壁、および第
３と第４の両側にある側壁を有し、前記第３と第４の側
壁は、曲線を有し、前記ボアーを通して第１の軸に沿っ
て或る縦方向寸法だけ離間され、前記第１と第２の側壁
は、前記第１の軸に垂直な前記ボアーを通して第２の軸
に沿って或る横方向の寸法だけ離間され、前記横方向の
寸法が縦方向寸法より小さい、キャピラリーを用いたワ
イヤーボンディングの方法であって、前記方法は、前記
キャピラリーを有する第１の位置にある第１の表面上に
ワイヤーの第１の端を有するボールボンドを形成し、前
記キャピラリーを第２の位置にある第２の表面に移動し
て、前記ワイヤーが前記第１の位置から前記第２の位置
に伸び、前記第２の表面に関して、前記キャピラリーの
相対的回転を行って、前記ワイヤーが前記第３と第４の
側壁の一つの下から伸び、および前記第２の位置にある
前記第２の表面上に、ステッチボンドを形成する方法。 （２）相対的回転を行う前記ズテップは、前記第２の表
面が固定されたままの間に前記キャピラリーを回転する
ステップを含むことを特徴とする前記（１）に記載の方
法。 （３）相対的回転を行う前記ズテップは、前記キャピラ
リーが固定されたままの間に前記第２の表面を回転する
ステップを含むことを特徴とする前記（１）に記載の方
法。 （４）前記第１の表面は、半導体ダイ上にあるボンドパ
ッドの表面であり、第２の表面はリードの表面であるこ
とを特徴とする前記（１）に記載の方法。 （５）前記第１および第２の両側にある側壁は平坦であ
ることを特徴とする前記（１）に記載の方法。 （６）前記第１および第２の両側にある側壁は平行であ
ることを特徴とする前記（５）に記載の方法。 （７）ボールボンドおよびステッチボンドを形成するた
めのワイヤーボンディング装置であって、前記装置は、
ボアー、第１と第２の両側にある側壁、および第３と第
４の両側にある側壁を有し、前記第３と第４の側壁は、
曲線を有し、前記ボアーを通して第１の軸に沿って或る
縦方向寸法だけ離間され、前記第１と第２の側壁は、前
記ボアーを通って前記第１の軸に垂直な第２の軸に沿っ
て或る横方向の寸法だけ離間され、前記横方向の寸法が
縦方向寸法より小さいキャピラリーを含むボンドヘッ
ド、前記キャピラリーに近接して半導体ダイとリードフ
レームを支持する作業ホルダー、および前記キャピラリ
ーと前記作業ホルダー間のｚ軸の周りに相対的回転を与
える手段、を有する装置。 （８）前記第１と第２の両側にある側壁は平坦であるこ
とを特徴とする前記（７）に記載の装置。 （９）前記第１と第２の両側にある側壁は平行であるこ
とを特徴とする前記（８）に記載の装置。 （１０）更に、ｘとｙ方向に前記キャピラリーを移動す
る手段を有していることを特徴とする前記（７）に記載
の装置。 （１１）ｘとｙ方向に前記キャピラリーを移動する手段
は、前記ボンドヘッドを保持するためのキャリアと、前
記キャリアが取付けられているｘ−ｙテーブル、を有す
ることを特徴とする前記１０に記載の装置。 （１２）前記キャピラリーと前記作業ホルダー間のｚ軸
の周りに相対的回転を与える手段は、前記ボンドヘッド
を保持するキャリアと、前記キャリアが取り付けられて
いるベアリングと、前記ベアリングが取り付けられてい
るベアリングテーブルとを有し、前記ベアリングテーブ
ルとベアリングが前記キャリアに対してｚ軸の周りに回
転運動を与えることを特徴とする前記（７）に記載の装
置。 （１３）前記キャピラリーと前記作業ホルダー間のｚ軸
の周りに相対的回転を与える手段は、支持部に取付けら
れたベアリングを有し、前記ベアリングは、前記作業ホ
ルダーのｚ軸の周りに回転を支持し、回転を可能にする
ことを特徴とす前記（７）に記載の装置。 （１４）ボールボンドとステッチボンドを形成するため
のワイヤーボンディング装置であって、前記装置は、ボ
アー、第１と第２の両側にある側壁、および第３と第４
の両側にある側壁を有し、前記第３と第４の側壁は、曲
線を有し、前記ボアーを通して第１の軸に沿って或る縦
方向寸法だけ離間され、前記第１と第２の側壁は、前記
ボアーを通って前記第１の軸に垂直な第２の軸に沿って
或る横方向寸法だけ離間され、前記横方向の寸法が縦方
向寸法より小さいキャピラリーを含むボンドヘッド、前
記ボンドヘッドを保持するキャリア、前記キャリアが取
り付けられたベアリング、前記ベアリングが取り付けら
れたベアリングテーブル、前記ベアリングテーブルとベ
アリングは前記キャピラリーに対してｚ軸の周りに回転
運動を与え、前記キャリアベアリングが取り付けられた
ｘ−ｙテーブル、前記ｘ−ｙテーブルは前記キャピラリ
ーに対してｘとｙ方向の運動を与え、且つキャピラリー
に接近して半導体ダイとリードフレームを支持するため
の固定された作業ホルダー、を有する装置。 （１５）前記第１と第２の両側にある側壁は平坦である
こと特徴とする前記（１４）に記載の装置。 （１６）前記第１と第２の両側にある側壁は平行である
こと特徴とする前記（１５）に記載の装置。 （１７）ボールボンドとステッチボンドを形成するため
のワイヤーボンディング装置であって、前記装置は、ボ
アー、第１と第２の両側にある側壁、および第３と第４
の両側にある側壁を有し、前記第３と第４の側壁は、曲
線を有し、前記ボアーを通して第１の軸に沿って或る縦
方向寸法だけ離間され、前記第１と第２の側壁は、前記
ボアーを通って前記第１の軸に垂直な第２の軸に沿って
或る横方向の寸法だけ離間され、前記横方向の寸法が縦
方向寸法より小さいキャピラリーを含むボンドヘッド、
前記ボンドヘッドを保持するキャリア、前記キャリアが
取り付けられたｘ−ｙテーブル、前記ｘ−ｙテーブルは
前記キャピラリーに対してｘとｙ方向に運動を与え、キ
ャピラリーに接近して半導体ダイとリードフレームを保
持するための作業ホルダー、且つ支持部に取り付けられ
たベアリング、前記ベアリングは、前記作業ホルダーの
ｚ軸の周りに支持し、回転を可能にして、前記キャピラ
リーに関連して前記半導体ダイとリードフレームを回転
するベアリング、を有する装置。 （１８）前記第１と第２の両側にある側壁は平坦である
こと特徴とする前記（１７）に記載の装置。 （１６）前記第１と第２の両側にある側壁は平行である
こと特徴とする前記（１８）に記載の装置。 （１９）ボールボンドとステッチボンドを形成するため
のワイヤーボンディング装置は、シェィブドキャピラリ
ー（２０）を有するボンドヘッド（４２）、前記ボンド
ヘッドを保持するためのキャリア（４３）、前記キャリ
ア（４３）が取り付けられたベアリング（４４）、およ
び前記ベアリング（４４）が取り付けられたベアリング
テーブル（４６）を有する。前記ベアリングテーブル
（４６）とベアリング（４４）はキャピラリーに対して
ｚ軸の周りに回転運動を与える。キャリアベアリングテ
ーブル（４６）が取り付けられたｘ−ｙテーブルはキャ
ピラリーに対してｘとｙ方向に運動を与える。固定され
た作業ホルダー（５０）はキャピラリーに接近して半導
体ダイ（１１）とリードフレーム（５２）を支持する。
シェィブドキャピラリー（２０）と作業ホルダー（５
０）に与えられた相対的回転はリードフレーム（５２）
に関してキャピラリー（２０）に適当な位置を与え、半
導体ダイ（１１）上に形成されるべき細かいピッチのボ
ールボンドを可能とつつ、リードフレーム（５３）上に
高品質のステッチボンドを形成する。
【００２０】本発明は、図示した実施の形態に関して記
載されたけれども、この記載は限定された意味で解釈さ
れることを意図するものでない。本発明の他の実施の形
態と同様、図示された実施の形態のいろいろな変形およ
び組み合わせが、この記載に関連して当業者には明らか
であろう。従って、特許請求の範囲はあらゆる変形ある
いは実施の形態を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のシェィブドキャピラリーの尖端部分の前
面図。
【図２】図１のシェィブドキャピラリーの尖端部分の側
面図。
【図３】図１のシェィブドキャピラリーの尖端部分の底
面図。
【図４】図２の４−４線に沿ったシェィブドキャピラリ
ーの尖端部分の断面図。
【図５】図１の５−５線に沿ったシェィブドキャピラリ
ーの尖端部分の断面図。
【図６】図１のシェィブドキャピラリーを用いたボール
ボンドとステッチボンドの形成における一つのステッ
プ。
【図７】図１のシェィブドキャピラリーを用いたボール
ボンドとステッチボンドの形成における一つのステッ
プ。
【図８】（Ａ）および（Ｂ）は、図１のシェィブドキャ
ピラリーを用いたボールボンドとステッチボンドの形成
における一つのステップ。
【図９】従来例によるワイヤーボンディング装置におけ
る図１のシェィブドキャピラリーを用いるリードにボン
ドされたダイワイヤー。
【図１０】本発明によるワイヤーボンディング装置にお
ける図１のシェィブドキャピラリーを用いるリードにボ
ンドされたダイワイヤー。
【図１１】本発明の第１の実施の形態によるワイヤーボ
ンディング装置の断面図。
【図１２】図１１のワイヤーボンディング装置の上面
図。
【図１３】本発明の第２の実施の形態によるワイヤーボ
ンディング装置の断面図。
【図１４】図１３のワイヤーボンディング装置の上面
図。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ボアー、第１と第２の両側にある側壁、お
    よび第３と第４の両側にある側壁を有し、前記第３と第
    ４の側壁は、曲線を有し、前記ボアーを通して第１の軸
    に沿って或る縦方向寸法だけ離間され、前記第１と第２
    の側壁は、前記第１の軸に垂直な前記ボアーを通して第
    ２の軸に沿って或る横方向の寸法だけ離間され、前記横
    方向の寸法が縦方向寸法より小さい、キャピラリーを用
    いたワイヤーボンディングの方法であって、前記方法
    は、 前記キャピラリーを有する第１の位置にある第１の表面
    上にワイヤーの第１の端を有するボールボンドを形成
    し、 前記キャピラリーを第２の位置にある第２の表面に移動
    して、前記ワイヤーが前記第１の位置から前記第２の位
    置に伸び、 前記第２の表面に関して、前記キャピラリーの相対的回
    転を行って、前記ワイヤーが前記第３と第４の側壁の一
    つの下から伸び、および前記第２の位置にある前記第２
    の表面上に、ステッチボンドを形成する方法。
  2. 【請求項２】ボールボンドおよびステッチボンドを形成
    するためのワイヤーボンディング装置であって、前記装
    置は、 ボアー、第１と第２の両側にある側壁、および第３と第
    ４の両側にある側壁を有し、前記第３と第４の側壁は、
    曲線を有し、前記ボアーを通して第１の軸に沿って或る
    縦方向寸法だけ離間され、前記第１と第２の側壁は、前
    記第１の軸に垂直な前記ボアーを通して第２の軸に沿っ
    て或る横方向の寸法だけ離間され、前記横方向の寸法が
    縦方向寸法より小さいキャピラリーを含むボンドヘッ
    ド、 前記キャピラリーに近接して半導体ダイとリードフレー
    ムを支持する作業ホルダー、および前記キャピラリーと
    前記作業ホルダー間のｚ軸の周りに相対的回転を与える
    手段、を有する装置。
JP7261727A 1994-10-14 1995-10-09 シェィブドキャピラリーを用いて細かいピッチのワイヤーボンディングを行う方法および装置 Pending JPH08181162A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/323329 1994-10-14
US08/323,329 US5465899A (en) 1994-10-14 1994-10-14 Method and apparatus for fine pitch wire bonding using a shaved capillary

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08181162A true JPH08181162A (ja) 1996-07-12

Family

ID=23258740

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7261727A Pending JPH08181162A (ja) 1994-10-14 1995-10-09 シェィブドキャピラリーを用いて細かいピッチのワイヤーボンディングを行う方法および装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5465899A (ja)
JP (1) JPH08181162A (ja)
KR (1) KR100355974B1 (ja)
TW (1) TW309639B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011253875A (ja) * 2010-06-01 2011-12-15 Denso Corp ワイヤボンディング方法

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5979743A (en) * 1994-06-08 1999-11-09 Texas Instruments Incorporated Method for making an IC device using a single-headed bonder
US5890644A (en) * 1996-01-26 1999-04-06 Micron Technology, Inc. Apparatus and method of clamping semiconductor devices using sliding finger supports
US5954842A (en) * 1996-01-26 1999-09-21 Micron Technology, Inc. Lead finger clamp assembly
US5647528A (en) 1996-02-06 1997-07-15 Micron Technology, Inc. Bondhead lead clamp apparatus and method
US5673845A (en) * 1996-06-17 1997-10-07 Micron Technology, Inc. Lead penetrating clamping system
US5897048A (en) * 1996-11-08 1999-04-27 Asm Assembly Automation Ltd. Radial wire bonder and selectable side view inspection system
US6068174A (en) 1996-12-13 2000-05-30 Micro)N Technology, Inc. Device and method for clamping and wire-bonding the leads of a lead frame one set at a time
US6273321B1 (en) * 1996-12-19 2001-08-14 Texas Instruments Incorporated Wire bonding with capillary realignment
US6112972A (en) * 1996-12-19 2000-09-05 Texas Instruments Incorporated Wire bonding with capillary realignment
US6006977A (en) * 1996-12-19 1999-12-28 Texas Instruments Incorporated Wire bonding capillary alignment display system
US6065667A (en) * 1997-01-15 2000-05-23 National Semiconductor Corporation Method and apparatus for fine pitch wire bonding
US6213378B1 (en) * 1997-01-15 2001-04-10 National Semiconductor Corporation Method and apparatus for ultra-fine pitch wire bonding
US5938105A (en) * 1997-01-15 1999-08-17 National Semiconductor Corporation Encapsulated ball bonding apparatus and method
US6180891B1 (en) 1997-02-26 2001-01-30 International Business Machines Corporation Control of size and heat affected zone for fine pitch wire bonding
JP3413340B2 (ja) * 1997-03-17 2003-06-03 株式会社新川 ワイヤボンディング方法
US5934543A (en) * 1997-12-16 1999-08-10 Texas Instuments Incorporated Wire bonding capillary having alignment features
US6121674A (en) 1998-02-23 2000-09-19 Micron Technology, Inc. Die paddle clamping method for wire bond enhancement
US6634538B2 (en) 1998-04-02 2003-10-21 Micron Technology, Inc. Non-conductive and self-leveling leadframe clamp insert for wirebonding integrated circuits
US6126062A (en) * 1998-04-02 2000-10-03 Micron Technology, Inc. Non-conductive and self-leveling leadframe clamp insert for wirebonding integrated circuits
US6158647A (en) * 1998-09-29 2000-12-12 Micron Technology, Inc. Concave face wire bond capillary
US6977214B2 (en) * 1998-12-11 2005-12-20 Micron Technology, Inc. Die paddle clamping method for wire bond enhancement
JP2000216188A (ja) * 1999-01-22 2000-08-04 Seiko Epson Corp ワイヤボンディング方法、半導体装置、回路基板、電子機器及びワイヤボンディング装置
US6808102B1 (en) * 2000-08-28 2004-10-26 Asm Assembly Automation Ltd. Wire-bonding apparatus with improved XY-table orientation
US7674095B2 (en) * 2000-12-12 2010-03-09 Borgwarner Inc. Variable displacement vane pump with variable target regulator
US6715658B2 (en) 2001-07-17 2004-04-06 Kulicke & Soffa Investments, Inc. Ultra fine pitch capillary
US6910612B2 (en) * 2001-07-17 2005-06-28 Kulicke & Soffa Investments, Inc. Capillary with contained inner chamfer
JP2003142518A (ja) * 2001-11-02 2003-05-16 Nec Electronics Corp 半導体製造装置、半導体製造方法、半導体装置及び電子装置
US6787392B2 (en) * 2002-09-09 2004-09-07 Semiconductor Components Industries, L.L.C. Structure and method of direct chip attach
US7407080B2 (en) * 2004-04-02 2008-08-05 Chippac, Inc. Wire bond capillary tip
KR101227228B1 (ko) * 2004-11-12 2013-01-28 스태츠 칩팩, 엘티디. 와이어 본드 배선
US7868468B2 (en) * 2004-11-12 2011-01-11 Stats Chippac Ltd. Wire bonding structure and method that eliminates special wire bondable finish and reduces bonding pitch on substrates
US8519517B2 (en) 2004-11-13 2013-08-27 Stats Chippac Ltd. Semiconductor system with fine pitch lead fingers and method of manufacturing thereof
US7731078B2 (en) * 2004-11-13 2010-06-08 Stats Chippac Ltd. Semiconductor system with fine pitch lead fingers
US7772045B1 (en) * 2006-10-24 2010-08-10 Randy Wayne Bindrup Wire bond method for angularly disposed conductive pads and a device made from the method
US7701049B2 (en) * 2007-08-03 2010-04-20 Stats Chippac Ltd. Integrated circuit packaging system for fine pitch substrates
KR100996264B1 (ko) * 2008-04-25 2010-11-23 에스티에스반도체통신 주식회사 광폭 리드 프레임을 위한 반도체 패키지 제조 장치 및 이를이용한 반도체 패키지 제조 방법
KR100967526B1 (ko) * 2008-04-25 2010-07-05 에스티에스반도체통신 주식회사 광폭 리드 프레임을 위한 반도체 패키지 제조 장치 및 이를이용한 반도체 패키지 제조 방법
KR20130098635A (ko) 2012-02-28 2013-09-05 삼성전자주식회사 반도체 와이어 본드 공정의 캐필러리 교체시스템
US9373934B2 (en) 2013-08-02 2016-06-21 Oracle International Corporation Vertical integration of a hybrid optical source
JP2015173205A (ja) * 2014-03-12 2015-10-01 株式会社東芝 半導体装置及びワイヤボンディング装置
JP6316340B2 (ja) 2016-06-02 2018-04-25 株式会社カイジョー ボンディング装置、ボンディング方法及びボンディング制御プログラム

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0587842A (ja) * 1991-09-27 1993-04-06 Nec Corp 出力電力測定装置
US5269452A (en) * 1992-11-12 1993-12-14 Northern Telecom Limited Method and apparatus for wirebonding

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011253875A (ja) * 2010-06-01 2011-12-15 Denso Corp ワイヤボンディング方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW309639B (ja) 1997-07-01
KR960015826A (ko) 1996-05-22
KR100355974B1 (ko) 2002-12-16
US5465899A (en) 1995-11-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH08181162A (ja) シェィブドキャピラリーを用いて細かいピッチのワイヤーボンディングを行う方法および装置
US4437604A (en) Method of making fine wire interconnections
JP3996216B2 (ja) 改良されたキャピラリおよび細かいピッチのボールボンディング法
EP0724776B1 (en) Method for stitch bonding of wires to integrated circuit bonding pads
JP2004221257A (ja) ワイヤボンディング方法及びワイヤボンディング装置
EP0791955B1 (en) Integrated circuit interconnections
WO2005105357A1 (en) System and method for low loop wire bonding
JP3049515B2 (ja) ワイヤボンデイング方法
JP2500655B2 (ja) ワイヤ―ボンディング方法及びその装置
US7314157B2 (en) Wire bond with improved shear strength
JP2574531B2 (ja) バンプ電極の形成方法
TWI827950B (zh) 打線接合裝置及半導體裝置的製造方法
US20030183676A1 (en) Production of a tailless ball bump
JP2761922B2 (ja) ワイヤボンディング方法および装置
JP3369764B2 (ja) ワイヤボンディング装置における放電用トーチ電極体
JP2586679B2 (ja) ワイヤボンディング方法
KR950014678B1 (ko) 초저형 와이어본딩 방법
JPH07235562A (ja) ウエッジボンディング装置
JPH07283262A (ja) ワイヤボンディング装置
JPH09148358A (ja) ワイヤボンディングダメージ防止用キャピラリー
JPS6345001Y2 (ja)
JPH0611066B2 (ja) ワイヤボンデイング装置
JPH04268731A (ja) バンプ電極形成方法
JPH0394434A (ja) ワイヤボンディング装置
JPH07263477A (ja) 被覆ボンディング細線接合用キャピラリー