JPH0394434A - ワイヤボンディング装置 - Google Patents

ワイヤボンディング装置

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JPH0394434A
JPH0394434A JP1231111A JP23111189A JPH0394434A JP H0394434 A JPH0394434 A JP H0394434A JP 1231111 A JP1231111 A JP 1231111A JP 23111189 A JP23111189 A JP 23111189A JP H0394434 A JPH0394434 A JP H0394434A
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JP
Japan
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wire
tip
needle
electric torch
shaped
Prior art date
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Pending
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JP1231111A
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English (en)
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Minoru Sanada
眞田　稔
Tsuneaki Ishimaru
石丸　恒昭
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electronics Corp
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Publication date
Application filed by Matsushita Electronics Corp filed Critical Matsushita Electronics Corp
Priority to JP1231111A priority Critical patent/JPH0394434A/ja
Publication of JPH0394434A publication Critical patent/JPH0394434A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は半導体製造におけるワイヤボンデイング装置、
とくにネイルヘッドワイヤボンデイング装置に関するも
のである． 従来の技術 近年、ネイルヘッドワイヤボンデイング装置は，高速自
動ボンデイングにともなって水素トーチから電気トーチ
へ主流が移り、電気トーチによるワイヤ先端のボール形
或が行われている。
以下に従来のワイヤボンデイング装置について説明する
． 第２図〜第５図は従来のワイヤボンデイングの工程を示
すものである．アーム１にはキャピラリ２が固定され，
このキャピラリ２にはワイヤ３が挿通され、ワイヤ３の
先端は電気トーチ４により溶かされる．半導体チップ５
の上にはアルミ電極パッド（以下、パッドと略称する）
６が形或され、このパッド６は外部リード７にワイヤ３
を介して接続されるようになっている． 以上のように構威されたワイヤボンディング装置につい
て，以下その動作について説明する．まず、第２図に示
すように、アーム１に固定されたキャピラリ２からワイ
ヤ３を出し、電気トーチ４をキャピラリ２の直下に移動
させ，高周波放電のスパークによりワイヤ３の先端を溶
かし、ボールを形成する．次に５第３図に示すように、
アーム１を下げ，ワイヤ３の先端のボールを半導体チッ
プ５の上に形或しているバッド６に押し着け、熱圧着さ
せる．次に、第４図に示すように，アーム１を上げなが
ら外部リード７に移動させ、この外部リード７にワイヤ
３を熱圧着させる．この後，第５図に示すように、ワイ
ヤ３を切断し、次にボンディングするパッド６上に移動
していく。以上の工程を繰り返し、半導体チップ５の上
に形成したパッド６と外部リード７との結線を行うもの
である． 発明が解決しようとする課題 しかしながら、上記の従来の構戊では、電気トーチ４を
移動させて、高周波放電のスパークによりワイヤ３の先
端にボールの形或を行うとともに，その電気トーチ４の
放電部分の形状が平面であるため、電気トーチ４での放
電位置が一定でなく，ワイヤ３の先端と電気トーチ４と
のギャップにばらつきが生じた。そのためにワイヤ３の
先端のボール形或が均一でなく、多ピンタイプの半導体
チップなど互いのパッド６が近接している場合，隣のパ
ッド６などにボンデイング時に接触してしまうという問
題を有していた． 本発明は上記従来の問題を解決するもので、ボール形状
の安定化を行い、品質の良い半導体を作ることの可能な
高速自動ワイヤボンデイング装置を提供することを目的
とするものである。
課題を解決するための手段 上記課題を解決するために本発明のワイヤボンディング
装置は、電気トーチを固定式とし，その形状を針状とし
たものである． 作用 上記構或によって、ワイヤ先端と針状の固定式電気トー
チ先端とで放電が起こるので、その間にかかるギャップ
のばらつきが防止でき、ワイヤ先端に形成するボールの
均一化が計られる。
実施例 以下本発明の実施例について、図面を参照しながら説明
する６ 第１図は本発明の一実施例におけるワイヤボンディング
装置を示す概略斜視図である。なお，従来のワイヤボン
ディング装置と同じものには同一番号を付し、その説明
は省略する．高周波放電を行う電気トーチ１０は適当箇
所に固定された固定式とされ、かつ針状の形状とされて
いる。
以上のように構成されたワイヤボンディング装置につい
て、以下その動作を説明する．まず、アーム１に固定さ
れたキャピラリ２から導出したワイヤ３と，固定式の針
状電気トーチ１０の間に高圧を印加し、放電によってワ
イヤ３の先端にボールを形成する．この場合に、電気ト
ーチＩＯを固定式で、かつ針状の形状とされているため
、ワイヤ３の先端と電気トーチ１０の針状先端の一点で
放電が起こり，ギャップのばらつきがなくなり、ボール
形式が均一で安定したものとなる。
なお、上記実施例において．針状の電気トーチ１０を固
定式としているが、電気トーチ１０とワイヤ３との角度
を調整可能としたり、それらの距離をｉｌ整可能として
ギャップを調整した状態でボール形成を行ってもよい。
発明の効果 以上のように本発明によれば、電気トーチを固定式とし
、その形状を針状とすることにより、ワイヤの先端に均
一かつ安定したボールを形或できる優れたワイヤボンデ
イング装置を実現できるものである。
【図面の簡単な説明】
第ｌ図は本発明の一実施例におけるワイヤボンディング
装置の概略斜視図、第２図から第５図は従来のワイヤボ
ンディング装置の工程を説明する概略図である。 １・・・アーム、２・・・キャピラリ，３・・・ワイヤ
、１０・・・電気トーチ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、針状の固定式電気トーチを備えたワイヤボンディン
    グ装置。
JP1231111A 1989-09-06 1989-09-06 ワイヤボンディング装置 Pending JPH0394434A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1231111A JPH0394434A (ja) 1989-09-06 1989-09-06 ワイヤボンディング装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1231111A JPH0394434A (ja) 1989-09-06 1989-09-06 ワイヤボンディング装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0394434A true JPH0394434A (ja) 1991-04-19

Family

ID=16918472

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1231111A Pending JPH0394434A (ja) 1989-09-06 1989-09-06 ワイヤボンディング装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0394434A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0547827A (ja) * 1991-08-15 1993-02-26 Masanao Ura ワイヤボンデイング装置及びその方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0547827A (ja) * 1991-08-15 1993-02-26 Masanao Ura ワイヤボンデイング装置及びその方法

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