JPH0817596A - 粒子加速器の真空チェンバー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 製作コスト削減と耐熱性の向上。 【構成】 棒状の無酸素銅よりなる受光部材１９の側部
に純アルミニウムよりなる層状の接合部材２０を設け且
つ前記の受光部材１９の内部にその長手方向へ延びる冷
却媒体流路１８を形成した銅／アルミニウムクラッド材
構造の受光部本体１７と、該受光部本体１７が嵌入し得
る開口部２２を有するアルミニウム合金よりなる中空構
造のチェンバー本体２１とを備え、該チェンバー本体２
１の開口部２２に受光部本体１７を嵌入し、該受光部本
体１７の接合部材２０とチェンバー本体２１とを溶接に
より気密に接合した構成としている。 【効果】 チェンバー本体２１を一体的に製作でき、無
酸素銅よりなる受光部本体１７によって放熱を容易に行
ない得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、粒子加速器の真空チェ
ンバーに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】光速に近い速度で移動する電子がその進
行方向を磁場や電場で曲げられると、電子の軌道の接線
方向に放射光と呼ばれる電磁波（光）を放出する。

【０００３】図１１は放射光を発生させる手段の一例を
示すもので、１は線形加速装置であり、該線形加速器１
は、電子（荷電粒子）ｅを移送させるための直管状の加
速ダクト２を有している。

【０００４】この加速ダクト２は、内部を超高真空に保
持できるように形成され、超高真空状態に保持された加
速ダクト２の内部を移動する電子ｅに高周波を付与して
電子を加速する高周波加速装置３が設けられている。

【０００５】また、前記の加速ダクト２の一端には、電
子銃等の電子発生装置４が設けられており、該電子発生
装置４により発生する電子ｅが加速ダクト２の中空部へ
向かって射出されるようになっている。

【０００６】さらに、前記の加速ダクト２の他端には、
湾曲管状の偏向ダクト５の一端が接続されており、該偏
向ダクト５の湾曲部には、偏向電磁石６が設けられてい
る。

【０００７】而して、加速ダクト２から偏向ダクト５に
入射する電子ｅは、その進行方向を偏向電磁石６の磁場
により偏向ダクト５に沿って曲げられるようになってい
る。

【０００８】７はシンクロトロンであり、該シンクロト
ロン７は前記の電子ｅに周回軌道を形成させるための無
端状ダクト８を有しており、該無端状ダクト８の所要箇
所には、前記の偏向ダクト５の他端が接続されている。

【０００９】前記の無端状ダクト８は、内部を超高真空
に保持できるようになっている。該無端状ダクト８の湾
曲部には、偏向電磁石９が設けられており、偏向ダクト
５から超高真空に保持された無端状ダクト８に入射する
電子ｅは、その進行方向を偏向電磁石９の磁場により無
端状ダクト８に沿って曲げられて該無端状ダクト８の内
部を周回するようになっている。

【００１０】一方、無端状ダクト８の所要箇所には、高
周波加速装置１０が設けられており、無端状ダクト８の
内部を周回する電子ｅは、前記の高周波加速装置１０か
ら高周波を付与されて、光速に近い速度まで加速される
ようになっている。

【００１１】さらに、無端状ダクト８の所要箇所の湾曲
部には、該湾曲部において光速に近い速度で移動する電
子ｅの進行方向が曲げられることにより放出される放射
光ビームｓを円形ダクトの外部へ導くための直管状の水
平なビームチャンネル１１の一端が接続されていて、こ
のビームチャンネル１１の他端には、前記の放射光ビー
ムｓを利用する実験を行なうための実験設備１２が接続
されている。

【００１２】上記の無端状ダクト８は、図１２に示すよ
うな断面を有する真空チェンバー１３を複数連結するよ
うに構成されている。

【００１３】真空チェンバー１３は、アルミニウム合金
を押出し加工することにより一体的に形成したもので、
電子ｅの進行方向へ延びるビーム室１４と、該ビーム室
１４に沿って延びるポンプ室１５と、前記のビーム室１
４とポンプ室１５とを連通するスロット部１６と、ビー
ム室１４の反ポンプ室側の壁部内に形成した冷却媒体流
路１８とを有している。

【００１４】前記のビームチャンネル１１が接続されて
いない無端状ダクト８の湾曲部においても、電子ｅが磁
場によってその進行方向を曲げられる際に放射光ビーム
ｓが放出され、真空チェンバー１３のビーム室１４の内
側面に放射光ビームｓが入射する。

【００１５】このとき、無端状ダクト８を周回する電子
ｅのビームのエネルギーが小さく（３．５Ｇｅｖ程
度）、且つ蓄積電流値が大きい（数アンペア程度）場合
には、ビーム室１４の内側面に入射する放射光ビームｓ
の熱エネルギーによって真空チェンバー１３が昇温し、
該真空チェンバー１３が変形することがある。

【００１６】このため、先に述べた冷却媒体流路１８に
水等の冷却媒体を連続的に流通させることにより真空チ
ェンバー１３の昇温に起因する変形を抑制するようにし
ている。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、アルミ
ニウム合金は耐熱性が低く、真空チェンバー１３をアル
ミニウム合金により形成した場合には、冷却媒体流路１
８に冷却媒体を流通させることにより真空チェンバー１
３を冷却しても数十Ｋｗ／ｍの発熱には耐えられない。

【００１８】一方、アルミニウム合金に比べて耐熱性に
優れた銅合金等により真空チェンバー１３を形成するこ
とも考えられるが、銅合金はアルミニウム合金に比べて
延性が低く、押出し加工により真空チェンバー１３を一
体的に形成させることができない。

【００１９】従って、銅により真空チェンバー１３を形
成させるためには、図１３に示すように、ビーム室１４
となるべき空間及びスロット部１６となるべき開口を有
するビーム室形成部２３と、ポンプ室１５となるべき空
間及びスロット部１６となるべき開口を有するポンプ室
形成部３１と、冷却媒体流路１８となるべき空間を有す
る冷却媒体流路形成部３４とをそれぞれ別途に押出し加
工によって製作した後、これらの各形成部２３，３１，
３４を溶接により相互に接合する必要があり、製作コス
トが上昇する。

【００２０】本発明は上述した実情に鑑みてなしたもの
で、耐熱性に優れ且つ製作が容易な粒子加速器の真空チ
ェンバーを提供することを目的としている。

【００２１】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の粒子加速器の真空チェンバーにおいて
は、内部にその長手方向へ延びる冷却媒体流路を形成し
た無酸素銅よりなる受光部材の側部に純アルミニウムよ
りなる層状の接合部材を設けた銅／アルミニウムクラッ
ド材構造の受光部本体と、該受光部本体を嵌入し得る開
口部を放射光ビームを受ける部分に有するアルミニウム
合金よりなる中空構造のチェンバー本体とを備え、該チ
ェンバー本体の開口部に受光部本体を嵌入して該受光部
本体の接合部材とチェンバー本体とを溶接により気密に
接合した構成とする。

【００２２】また、上述した構成に替えて、無酸素銅よ
りなる受光部材の内部にその長手方向へ延びる冷却媒体
流路を形成した受光部本体と、無酸素銅よりなり前記の
冷却媒体流路に連通するように受光部材に設けた冷却媒
体取入管及び冷却媒体取出管と、該冷却媒体取入管が遊
嵌し得る取入管孔及び冷却媒体取出管が遊嵌し得る取出
管孔を有するアルミニウム合金よりなる中空構造のチェ
ンバー本体と、無酸素銅よりなり前記の両管に外嵌し得
るフランジ部材の一端に純アルミニウムよりなる環状の
スリーブ部材を設けた銅／アルミニウムクラッド材構造
の接合体とを備え、前記のチェンバー本体内の放射光ビ
ームを受ける部分に受光部本体を配置して冷却媒体取入
管を取入管孔に挿通するとともに冷却媒体取出管を取出
管孔に挿通し、接合体を構成するフランジ部材を冷却媒
体取入管及び冷却媒体取出管のそれぞれに外嵌して両管
に対しフランジ部材を溶接により気密に接合し、さら
に、接合体を構成するスリーブ部材と前記のチェンバー
本体とを溶接により気密に接合した構成とする。

【００２３】

【作用】本発明においては、無酸素銅よりなる受光部材
によって放射光ビームを受けるとともに、その放射光ビ
ームによって受光部材に伝達される熱エネルギーを受光
部材の内部に形成した冷却媒体流路を流通する冷却媒体
によってチェンバー本体の外部へ排出させて、チェンバ
ー本体の温度上昇を抑制する。

【００２４】また、受光部材に連通する冷却媒体取入
管、冷却媒体取出管を接合体を介してチェンバー本体に
支持させた場合には、冷却媒体取入管、冷却媒体取出管
が受光部材とチェンバー本体との熱膨張に起因する伸縮
の差を吸収する。

【００２５】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。

【００２６】図１及び図２は本発明の粒子加速器の真空
チェンバーの第１の実施例を示すもので、本実施例は請
求項１に対応している。

【００２７】２１はチェンバー本体であり、該チェンバ
ー本体２１は、アルミニウム合金（Ａ６０６３−ＥＸ）
を押出し加工することにより一体的に形成されている。

【００２８】このチェンバー本体２１は、図１２に示す
従来の真空チェンバー１３と同様に、電子ｅの進行方向
へ延びるビーム室１４と、該ビーム室１４に沿って延び
るポンプ室１５と、前記のビーム室１４とポンプ室１５
とを連通するスロット部１６とを有している。

【００２９】前記のビーム室１４の反ポンプ室側の壁部
（放射光ビームｓが入射しようとする部分）には、後述
する受光部本体１７が嵌入可能な開口部２２が設けられ
ている。

【００３０】受光部本体１７は、棒状の無酸素銅（Ｃ１
０２０）よりなる受光部材１９の内部にその長手方向へ
延びる冷却媒体流路１８を形成し、且つ前記の受光部材
１９の両側部及び両端部に純アルミニウム（Ａ１１０
０）よりなる層状の接合部材２０を設けた銅／アルミニ
ウムクラッド材構造となっている。

【００３１】この受光部本体１７は、先に述べたチェン
バー本体２１の開口部２２に嵌入され、接合部材２０が
チェンバー本体２１の開口部２２の縁部にＴＩＧ溶接に
よって気密に接合されている。

【００３２】更に、受光部材１９の反ポンプ室側の部分
には、それぞれ無酸素銅により形成され、且つ前記の冷
却媒体流路１８に連通する冷却媒体取入管２４と冷却媒
体取出管２５とが接続されている。

【００３３】上述した構成を有する本実施例において、
チェンバー本体２１の内部を真空に保持してビーム室１
４の内部に電子ｅを通過させる際には、冷却媒体取入管
２４から受光部材１９の内部に形成されている冷却媒体
流路１８に対して水等の冷却媒体ｃを連続的に流入させ
るとともに、上記の冷却媒体流路１８に流入した冷却媒
体ｃを冷却媒体取出管２５から外部へ連続的に流出させ
る。

【００３４】光速に近い速度でビーム室１４の内部を進
行する電子ｅから放出される放射光ビームｓが受光部材
１９に入射すると、該受光部材１９に熱エネルギーが伝
達されるが、この熱エネルギーは、冷却媒体流路１８を
流通する冷却媒体ｃによりチェンバー本体２１の外部へ
排出され、これにより、チェンバー本体２１の温度上昇
が抑制される。

【００３５】本実施例においては、先に述べたように、
熱伝達性が優れた無酸素銅により受光部材１９を形成し
ているので、冷却媒体流路１８に冷却媒体を連続的に流
通させておけば、数十Ｋｗ／ｍの発熱にも耐えることが
できる。

【００３６】また、ビーム室１４及びポンプ室１５を有
するチェンバー本体２１をアルミニウムの押出し加工に
よって一体的に形成するので、製作コストが上昇しな
い。

【００３７】更に、チェンバー本体２１に対する受光部
本体１７の接合部分が純アルミニウムよりなる接合部材
２０であるので、チェンバー本体２１と接合部材２０と
の溶接部分が安定した状態を呈する。

【００３８】図３及び図４は本発明の粒子加速器の真空
チェンバーの第２の実施例を示すもので、本実施例は請
求項１に対応している。

【００３９】なお、図中、図１及び図２と同一の符号を
付した部分は、同一物を表している。

【００４０】２９はチェンバー本体であり、該チェンバ
ー本体２９は、アルミニウム合金（Ａ６０６３−ＥＸ）
を押出し加工することにより一体的に形成されている。

【００４１】このチェンバー本体２９は、図１に示すチ
ェンバー本体２１と同様に、電子ｅの進行方向へ延びる
ビーム室１４と、該ビーム室１４に沿って延びるポンプ
室１５と、前記のビーム室１４とポンプ室１５とを連通
するスロット部１６とを有している。

【００４２】前記のビーム室１４の反ポンプ室側の壁部
には、後述する受光部本体２６の小フランジ部２７より
先端側の部分が遊嵌し得る開口部３０が設けられてい
る。

【００４３】受光部本体２６は、棒状の無酸素銅（Ｃ１
０２０）よりなる受光部材１９の内部にその長手方向へ
延びる冷却媒体流路１８を形成し、且つ前記の受光部材
１９の両側部及び両端部に純アルミニウム（Ａ１１０
０）よりなる層状の接合部材２８とそれに連なって前記
の開口部３０の縁部に当接し得る小フランジ部２７とを
設けた銅／アルミニウムクラッド材構造となっている。

【００４４】この受光部本体２６は、小フランジ部２７
より先端側の部分が先に述べたチェンバー本体２９の開
口部３０に遊嵌され、更に、小フランジ部２７がチェン
バー本体２９の開口部３０の縁部にＴＩＧ溶接によって
気密に接合されている。

【００４５】上述した構成を有する本実施例において、
チェンバー本体２９の内部を真空に保持してビーム室１
４の内部に電子ｅを通過させる際には、冷却媒体取入管
２４から冷却媒体流路１８に対して水等の冷却媒体ｃを
連続的に流入させるとともに、その冷却媒体ｃを冷却媒
体取出管２５から外部へ連続的に流出させる。

【００４６】放射光ビームｓが受光部材１９に入射する
と、該受光部材１９に伝達される熱エネルギーは、冷却
媒体流路１８を流通する冷却媒体ｃによりチェンバー本
体２９の外部へ排出され、これにより、チェンバー本体
２９の温度上昇が抑制される。

【００４７】本実施例においても、先に述べた第１の実
施例と同様に、数十Ｋｗ／ｍの発熱にも耐えることがで
き、また、製作コストが上昇しない。

【００４８】更に、チェンバー本体２９に対する受光部
本体２６の接合部分が純アルミニウムよりなる小フラン
ジ部２７であるので、チェンバー本体２９と小フランジ
部２７との溶接部分が安定した状態を呈する。

【００４９】図５及び図６は本発明の粒子加速器の真空
チェンバーの第３の実施例を示すもので、本実施例は請
求項１に対応している。

【００５０】なお、図中、図１から図４と同一の符号を
付した部分は、同一物を表している。

【００５１】受光部本体４６は、管状の無酸素銅（Ｃ１
０２０）よりなる受光部材４７を純アルミニウム（Ａ１
１００）よりなる接合部材４８により被覆した銅／アル
ミニウムクラッド材構造を有する素材の一側面を削り取
って、受光部材４７の一部が露出するようにし、前記の
受光部材４７の中空部分を冷却媒体流路１８として利用
する構成となっている。

【００５２】更に、接合部材４８には、該接合部材４８
に連ってチェンバー本体２９の開口部３０の縁部に当接
し得る小フランジ部２７が設けられている。

【００５３】この受光部本体４６は、小フランジ部２７
より先端側の部分がチェンバー本体２９の開口部３０に
遊嵌され、更に、小フランジ部２７がチェンバー本体２
９の開口部３０の縁部にＴＩＧ溶接によって気密に接合
されている。

【００５４】更に、受光部本体４６の反ポンプ室側の部
分には、それぞれ無酸素銅（Ｃ１０２０）により形成さ
れ、且つ前記の冷却媒体流路１８に連通する冷却媒体取
入管２４と冷却媒体取出管２５とが接続されている。

【００５５】上述した構成を有する本実施例において、
チェンバー本体２９の内部を真空に保持してビーム室１
４の内部に電子ｅを通過させる際には、冷却媒体取入管
２４から冷却媒体流路１８に対して水等の冷却媒体ｃを
連続的に流入させるとともに、その冷却媒体ｃを冷却媒
体取出管２５から外部へ連続的に流出させる。

【００５６】放射光ビームｓが受光部材１９に入射する
と、該受光部材１９に伝達される熱エネルギーは、冷却
媒体流路１８を流通する冷却媒体ｃによりチェンバー本
体２９の外部へ排出され、これにより、チェンバー本体
２９の温度上昇が抑制される。

【００５７】本実施例においても、先に述べた第１、第
２の実施例と同様に、数十Ｋｗ／ｍの発熱にも耐えるこ
とができ、また、製作コストが上昇しない。

【００５８】更に、チェンバー本体２９に対する受光部
本体２６の接合部分が純アルミニウムよりなる小フラン
ジ部２７であるので、チェンバー本体２９と小フランジ
部２７との溶接部分が安定した状態を呈する。

【００５９】図７及び図８は本発明の粒子加速器の真空
チェンバーの第４の実施例を示すもので、本実施例は請
求項２に対応している。

【００６０】なお、図中、図１から図６と同一の符号を
付した部分は、同一物を表している。

【００６１】３７はチェンバー本体であり、該チェンバ
ー本体３７は、アルミニウム合金（Ａ６０６３−ＥＸ）
を押出し加工することにより一体的に形成されている。

【００６２】このチェンバー本体３７は、図１に示すチ
ェンバー本体２１と同様に、電子ｅの進行方向へ延びる
ビーム室１４と、該ビーム室１４に沿って延びるポンプ
室１５と、前記のビーム室１４とポンプ室１５とを連通
するスロット部１６とを有し、更に、ビーム室１４の反
ポンプ室側に後述する受光部本体３２を配置するための
空間３８を設けている。

【００６３】前記の空間３８の反ポンプ室側の壁部に
は、後述する冷却媒体取入管３５が遊嵌し得る取入管孔
３９と、冷却媒体取出管３６が遊嵌し得る取出管孔４０
とが、電子ｅの進行方向に並ぶように設けられている。

【００６４】４１は接合体であり、該接合体４１は、無
酸素銅（Ｃ１０２０）よりなり前記の冷却媒体取入管３
５、冷却媒体取出管３６に外接し得るフランジ部材４１
ａの一端部に、純アルミニウム（Ａ１１００）よりなり
冷却媒体取入管３５、冷却媒体取出管３６が遊嵌し得る
短筒状のスリーブ部材４１ｂを設けた銅／アルミニウム
クラッド材構造となっている。

【００６５】この接合体４１は、前記の取入管孔３９、
取出管孔４０を取り囲むようにチェンバー本体３７の外
側面にＴＩＧ溶接によって固着されている。

【００６６】３２は受光部本体であり、該受光部本体３
２は、棒状の無酸素銅（Ｃ１１００）よりなる受光部材
３３の内部にその長手方向へ延びる冷却媒体流路１８を
形成した構造となっている。

【００６７】前記の受光部本体３２には、それぞれ無酸
素銅（Ｃ１０２０）により形成され、且つ前記の冷却媒
体流路１８に連通する冷却媒体取入管３５と冷却媒体取
出管３６とが接続されている。

【００６８】この受光部本体３２は前記の空間３８に配
置されており、冷却媒体取入管３５が取入管孔３９、一
方の接合体４１のスリーブ部材４１ｂに遊嵌するととも
にフランジ部材４１ａに内接し、また、冷却媒体取出管
３６が取出管孔４０、他方の接合体４１のスリーブ部材
４１ｂに遊嵌するとともにフランジ部材４１ａに内接し
ている。

【００６９】更に、冷却媒体取入管３５、冷却媒体取出
管３６は、それぞれが内接している接合体４１のフラン
ジ部材４１ａにＴＩＧ溶接により気密に接合されてい
る。

【００７０】上述した構成を有する本実施例において、
チェンバー本体３７の内部を真空に保持してビーム室１
４の内部に電子ｅを通過させる際には、冷却媒体取入管
３５から冷却媒体流路１８に対して水等の冷却媒体ｃを
連続的に流入させるとともに、その冷却媒体ｃを冷却媒
体取出管３６から外部へ連続的に流出させる。

【００７１】放射光ビームｓが受光部材３３に入射する
と、該受光部材３３に伝達される熱エネルギーは、冷却
媒体流路１８を流通する冷却媒体ｃによりチェンバー本
体３７の外部へ排出され、これにより、チェンバー本体
３７の温度上昇が抑制される。

【００７２】本実施例においても、先に述べた第１〜第
３の実施例と同様に、数十Ｋｗ／ｍの発熱にも耐えるこ
とができ、また、製作コストが上昇しない。

【００７３】更に、チェンバー本体３７に対する接合体
４１の接合部分が純アルミニウムよりなるスリーブ部材
４１ｂであり、また、冷却媒体取入管３５、冷却媒体取
出管３６に対する接合体４１の接合部分が無酸素銅より
なるフランジ部材４１ａであるので、チェンバー本体３
７と接合体４１との溶接部分、及び冷却媒体取入管３
５、冷却媒体取出管３６と接合体４１との溶接部分が安
定した状態を呈する。

【００７４】また、受光部材３３に連通する冷却媒体取
入管３５、冷却媒体取出管３６を接合体４１を介してチ
ェンバー本体３７に支持させているので、冷却媒体取入
管３５、冷却媒体取出管３６によって、受光部材３３と
チェンバー本体３７との熱膨張に起因する伸縮の差を吸
収することができる。

【００７５】図９及び図１０は本発明の粒子加速器の真
空チェンバーの第５の実施例を示すもので、本実施例は
請求項２に対応している。

【００７６】なお、図中、図１から図８と同一の符号を
付した部分は、同一物を表している。

【００７７】本実施例においては、図７及び図８に示す
受光部本体３２に替えて後述する受光部本体４３を用い
ている。

【００７８】受光部本体４３は、管状の無酸素銅（Ｃ１
０２０）よりなる管材の両端部を中間部に対し略直角の
折り曲げることにより、その中間部を受光部材４２とし
て利用するとともに、一方の折り曲げ部分を冷却媒体取
入管４４とし、また他方の折り曲げ部分を冷却媒体取出
管４５として利用する構成を有している。

【００７９】この受光部本体４３はチェンバー本体３７
の空間３８に配置されており、冷却媒体取入管４４が取
入管孔３９、一方の接合体４１のスリーブ部材４１ｂに
遊嵌するとともにフランジ部材４１ａに内接し、また、
冷却媒体取出管４５が取出管孔４０、他方の接合体４１
のスリーブ部材４１ｂに遊嵌するとともにフランジ部材
４１ａに内接している。

【００８０】更に、冷却媒体取入管４４、冷却媒体取出
管４５は、それぞれが内接している接合体４１のフラン
ジ部材４１ａにＴＩＧ溶接により気密に接合されてい
る。

【００８１】上述した構成を有する本実施例において、
チェンバー本体３７の内部を真空に保持してビーム室１
４の内部に電子ｅを通過させる際には、冷却媒体取入管
３５から冷却媒体流路１８に対して水等の冷却媒体ｃを
連続的に流入させるとともに、その冷却媒体ｃを冷却媒
体取出管３６から外部へ連続的に流出させる。

【００８２】放射光ビームｓが受光部材３３に入射する
と、該受光部材３３に伝達される熱エネルギーは、冷却
媒体流路１８を流通する冷却媒体ｃによりチェンバー本
体３７の外部へ排出され、これにより、チェンバー本体
３７の温度上昇が抑制される。

【００８３】本実施例においても、先に述べた第１〜第
４の実施例と同様に、数十Ｋｗ／ｍの発熱にも耐えるこ
とができ、また、製作コストが上昇しない。

【００８４】更に、チェンバー本体３７に対する接合体
４１の接合部分が純アルミニウムよりなるスリーブ部材
４１ｂであり、また、冷却媒体取入管４４、冷却媒体取
出管４５に対する接合体４１の接合部分が無酸素銅より
なるフランジ部材４１ａであるので、チェンバー本体３
７と接合体４１との溶接部分、及び冷却媒体取入管４
４、冷却媒体取出管４５と接合体４１との溶接部分が安
定した状態を呈する。

【００８５】また、受光部材４２に連通する冷却媒体取
入管４４、冷却媒体取出管４５を接合体４１を介してチ
ェンバー本体３７に支持させているので、冷却媒体取入
管４４、冷却媒体取出管４５によって、受光部材４２と
チェンバー本体３７との熱膨張に起因する伸縮の差を吸
収することができる。

【００８６】なお、本発明は前述の実施例にのみ限定さ
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内に
おいて種々変更を加え得ることは勿論である。

【００８７】

【発明の効果】本発明の粒子加速器の真空チェンバーに
よれば、下記のごとき種々の優れた効果を奏し得る。

【００８８】１）本発明の請求項１、あるいは請求項２
に記載した粒子加速器の真空チェンバーのいずれにおい
ても、チェンバー本体を一体的に製作することが可能で
あり、製作コストの削減を図ることができる。

【００８９】２）本発明の請求項１、あるいは請求項２
に記載した粒子加速器の真空チェンバーのいずれにおい
ても、放射光ビームを無酸素胴よりなる受光部材によっ
て受光するとともに、その放射光ビームによって受光部
材に伝達される熱エネルギーを受光部材の内部に形成し
た冷却媒体流路を流通する冷却媒体を介してチェンバー
本体の外部へ排出させるので、チェンバー本体の昇温を
効果的に抑制してチェンバー本体の変形を防止できる。

【００９０】３）本発明の請求項２に記載した粒子加速
器の真空チェンバーにおいては、受光部材に連通する冷
却媒体取入管、冷却媒体取出管を接合体を介してチェン
バー本体に支持させているので、受光部材とチェンバー
本体との熱膨張に起因する伸縮の差を吸収することがで
き、チェンバー本体に過大な応力が作用しない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の粒子加速器の真空チェンバーの第１の
実施例の概略を表す断面図である。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ矢視図である。

【図３】本発明の粒子加速器の真空チェンバーの第２の
実施例の概略を表す断面図である。

【図４】図３のＩＶ−ＩＶ矢視図である。

【図５】本発明の粒子加速器の真空チェンバーの第３の
実施例の概略を表す断面図である。

【図６】図５のＶＩ−ＶＩ矢視図である。

【図７】本発明の粒子加速器の真空チェンバーの第４の
実施例の概略を表す断面図である。

【図８】図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ矢視図である。

【図９】本発明の粒子加工器の真空チェンバーの第５の
実施例の概略を表す断面図である。

【図１０】図９のＸ−Ｘ矢視図である。

【図１１】放射光を発生させる手段の一例の模式図であ
る。

【図１２】図１１に関連する従来の真空チェンバーの一
例の概略を表す断面図である。

【図１３】図１１に関連する真空チェンバーの一例を銅
合金により形成させる場合の概略を表す断面図である。

【符号の説明】

１７，２６，３２，４３，４６ 受光部本体 １８ 冷却媒体流路 １９，３３，４２，４７ 受光部材 ２０，４８ 接合部材 ２１，２９，３７ チェンバー本体 ２２，３０ 開口部 ３５，４４ 冷却媒体取入管 ３６，４５ 冷却媒体取出管 ３９ 取入管孔 ４０ 取出管孔 ４１ 接合体 ４１ａ フランジ部材 ４１ｂ スリーブ部材 ｓ 放射光ビーム

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部にその長手方向へ延びる冷却媒体流
   路を形成した無酸素銅よりなる受光部材の側部に純アル
   ミニウムよりなる層状の接合部材を設けた銅／アルミニ
   ウムクラッド材構造の受光部本体と、該受光部本体を嵌
   入し得る開口部を放射光ビームを受ける部分に有するア
   ルミニウム合金よりなる中空構造のチェンバー本体とを
   備え、該チェンバー本体の開口部に受光部本体を嵌入し
   て該受光部本体の接合部材とチェンバー本体とを溶接に
   より気密に接合してなることを特徴とする粒子加速器の
   真空チェンバー。
2. 【請求項２】 無酸素銅よりなる受光部材の内部にその
   長手方向へ延びる冷却媒体流路を形成した受光部本体
   と、無酸素銅よりなり前記の冷却媒体流路に連通するよ
   うに受光部材に設けた冷却媒体取入管及び冷却媒体取出
   管と、該冷却媒体取入管が遊嵌し得る取入管孔及び冷却
   媒体取出管が遊嵌し得る取出管孔を有するアルミニウム
   合金よりなる中空構造のチェンバー本体と、無酸素銅よ
   りなり前記の両管に外嵌し得るフランジ部材の一端に純
   アルミニウムよりなる環状のスリーブ部材を設けた銅／
   アルミニウムクラッド材構造の接合体とを備え、前記の
   チェンバー本体内の放射光ビームを受ける部分に受光部
   本体を配置して冷却媒体取入管を取入管孔に挿通すると
   ともに冷却媒体取出管を取出管孔に挿通し、接合体を構
   成するフランジ部材を冷却媒体取入管及び冷却媒体取出
   管のそれぞれに外嵌して両管に対しフランジ部材を溶接
   により気密に接合し、さらに、接合体を構成するスリー
   ブ部材と前記のチェンバー本体とを溶接により気密に接
   合したことを特徴とする粒子加速器の真空チェンバー。