JPH09204990A - 分岐真空ダクト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 加工及び組立が容易で且つ放射光の入射によ
る放出ガスの発生を抑制し得る分岐真空ダクトを提供す
る。 【解決手段】 第１のダクト６と第２のダクト７とを同
軸上に所定の間隔を隔てて配置し、湾曲管状の第３のダ
クト８を基端部が第１のダクト６の先端部及び第２のダ
クト７の基端部の近傍に位置するように配置し、第１の
ダクト６と第２のダクト７と第３のダクト８の間に、分
岐ボックス９を配置し、該分岐ボックス９の第２のダク
ト７の基端部が対峙するダクト取付部９ｂと第３のダク
ト８の基端部が対峙するダクト取付部９ｃとの間に、冷
却媒体１２が流通可能な冷却ジャケット形成体１０を設
け、前記の分岐ボックス９と第１のダクト６の先端部、
第２のダクト７の基端部、第３のダクト８の基端部とを
気密に固着する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は分岐真空ダクトに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】図３は従来の分岐真空ダクトの一例を示
すもので、この分岐真空ダクトは、第１のダクト１と第
２のダクト２とによって構成されている。

【０００３】第１のダクト１は、基端寄り部分１ａが直
管状に形成され且つ基端寄り部分１ａに連なる先端寄り
部分１ｂが湾曲管状に形成されている。

【０００４】この第１のダクト１の基端部には、他のダ
クト３を介して電子発生装置（図示せず）が接続され、
また、第１のダクト１の先端部には、他のダクト４を介
して実験機器（図示せず）が接続されている。

【０００５】第２のダクト２は、直管状に形成されてい
る。

【０００６】この第２のダクト２の基端部は、第２のダ
クト２の軸線が前記の第１のダクト１の基端寄り部分１
ａの軸線と一致するように、第１のダクト１の基端寄り
部分１ａと先端寄り部分１ｂとの境界部分に接続され、
また、第２のダクト２の先端部には、他のダクト５を介
して他の実験機器（図示せず）が接続されている。

【０００７】これらの第１のダクト１及び第２のダクト
２の内部を真空状態に減圧したうえ、電子発生装置（図
示せず）から電子ｅを出射させると、該電子ｅは、第１
のダクト１の基端寄り部分１ａから第２のダクト２を経
る直線的な軌道を通って、第２のダクト２に他のダクト
５を介して接続されている他の実験装置（図示せず）に
入射する。

【０００８】更に、第１のダクト１と第２のダクト２と
の接続部分付近には、電子発生装置から出射される電子
ｅに対して磁場を発生させ、該電子ｅが第１のダクト１
の基端寄り部分１ａから先端寄り部分１ｂへ向うよう
に、電子ｅの軌道を曲げる偏向電磁石（図示せず）が設
けられており、該偏向電磁石により磁場を発生させる
と、電子発生装置から出射される電子ｅは、第１のダク
ト１の基端寄り部分１ａ、先端寄り部分１ｂを経て、他
のダクト４を介して接続されている実験装置（図示せ
ず）に入射する。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところが、図３に示す
分岐真空ダクトにおいては、第１のダクト１の基端寄り
部分１ａと先端寄り部分１ｂとの境界部分に、第２のダ
クト２の基端部を接続するので、第１のダクト１、第２
のダクト２を突き合せ溶接するための開先きが複雑な形
状になる。

【００１０】このため、第１のダクト１の直管状の基端
寄り部分１ａの軸線に対して第２のダクト２の軸線を一
致させることがむずかしく、第１のダクト１と第２のダ
クト２との突き合せ溶接部付近で断面の変形が生じ易
い。

【００１１】また、光速に近い速度で移動する電子ｅが
その進行方向を磁場で曲げられると、電子ｅの軌道の接
線方向に放射光とよばれる電磁波（光）を放出するの
で、先に述べた偏向電磁石により磁場を発生させて、電
子ｅが第１のダクト１の基端寄り部分１ａから先端寄り
部分１ｂへ向うように電子ｅの軌道を曲げる場合には、
第１のダクト１と第２のダクト２との突き合せ溶接部付
近に放射光が入射することにより、該突き合せ溶接部付
近の温度が上昇し、第１のダクト１、第２のダクト２の
内側面に付着している気体分子が放出されるガス放出が
生じ、第１のダクト１及び第２のダクト２の内部の真空
度が低下することになる。

【００１２】本発明は上述した実情に鑑みてなしたもの
で、部材の加工及び組立が容易で且つ放射光の入射によ
る放出ガスの発生を抑制することが可能な分岐真空ダク
トを提供することを目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の分岐真空ダクトでは、直管状の第１のダク
トと直管状の第２のダクトとを同軸に且つ該第２のダク
トの基端部が第１のダクトの先端部に対して所定の間隔
を隔てて正対するように配置し、湾曲管状の第３のダク
トを該第３のダクトの基端部が第１のダクトの先端部及
び第２のダクトの基端部の近傍に位置するように配置
し、第１のダクトと第２のダクトとの間に、第１のダク
トの先端部、第２のダクトの基端部、第３のダクトの基
端部に正対するダクト取付部を有する分岐ボックスを配
置し、該分岐ボックスの第２のダクトの基端部が対峙す
るダクト取付部と第３のダクトの基端部が対峙するダク
ト取付部との間の部分に、冷却媒体が流通可能な冷却ジ
ャケット形成体を設け、前記の分岐ボックスのダクト取
付部と該ダクト取付部に正対する第１のダクトの先端
部、第２のダクトの基端部、第３のダクトの基端部とを
気密に固着している。

【００１４】本発明の分岐真空ダクトにおいては、分岐
ボックスの各ダクト取付部と該各ダクト取付部に正対す
る第１のダクトの先端部、第２のダクトの基端部、第３
のダクトの基端部とを気密に固着し、第１のダクトと第
２のダクト及び第３のダクトとを連結するので、部材の
加工及び組立を容易になし得る。

【００１５】また、分岐ボックスの第２のダクトの基端
部が対峙するダクト取付部と第３のダクトの基端部が対
峙するダクト取付部との間の部分に設けた冷却ジャケッ
ト形成体に冷却媒体を流通させると、当該部分が冷却さ
れて放射光の入射による温度の上昇が防止される。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図示
例と共に説明する。

【００１７】図１及び図２は本発明の分岐真空ダクトの
実施の形態の一例を示すもので、直管状の第１のダクト
６の軸線延長上に直管状の第２のダクト７を、該第２の
ダクト７の基端部が前記の第１のダクト６の先端部に対
して所定の間隔を隔てて正対するように配置する。

【００１８】また、湾曲管状の第３のダクト８を、該第
３のダクト８の基端部が前記の第１のダクト６の先端部
及び第２のダクト７の基端部の近傍に位置するように配
置する。

【００１９】更に、第１のダクト６と第２のダクト７と
の間に、第１のダクト６の先端部、第２のダクト７の基
端部、第３のダクト８の基端部に、それぞれ正対するダ
クト取付部９ａ，９ｂ，９ｃを有する分岐ボックス９を
配置し、該分岐ボックス９のダクト取付部９ａと該ダク
ト取付部９ａに正対する第１のダクト６の先端部とを気
密に固着し、前記の分岐ボックス９のダクト取付部９ｂ
と該ダクト取付部９ｂに正対する第２のダクト７の基端
部とを気密に固着し、前記の分岐ボックス９のダクト取
付部９ｃと該ダクト取付部９ｃに正対する第３のダクト
８の基端部とを気密に固着する。

【００２０】分岐ボックス９の第２のダクト７の基端部
を固着したダクト取付部９ｂと第３のダクト８の基端部
を固着したダクト取付部９ｃとの間の部分に、両端が閉
塞した溝形部材よりなる冷却ジャケット形成体１０を、
該冷却ジャケット形成体１０と分岐ボックス９との間に
冷却媒体流路１１（図２参照）が形成されるように隅肉
溶接によって固着する。

【００２１】冷却ジャケット形成体１０の一端部には、
外部から冷却媒体１２を冷却媒体流路１１へ供給して流
通させるための冷却媒体入口ノズル１３が設けられ、ま
た、冷却ジャケット形成体１０の他端部には、冷却媒体
流路１１を流通する冷却媒体１２を外部へ流出させるた
めの冷却媒体出口ノズル１４が設けられている。

【００２２】そして、前記の第１のダクト６の基端部に
は、他のダクト１５を介して電子発生装置（図示せず）
が接続され、第２のダクト７の先端部には、他のダクト
１６を介して実験機器（図示せず）が接続され、第３の
ダクト８の先端部には、他のダクト１７を介して他の実
験機器（図示せず）が接続されている。

【００２３】また、前記の分岐ボックス９の付近には、
電子発生装置から出射される電子ｅに対して磁場を発生
させ、該電子ｅが第１のダクト６の先端部から第３のダ
クト８へ向かうように、電子ｅの軌道を曲げる偏向電磁
石（図示せず）が設けられている。

【００２４】次に作動について説明する。

【００２５】前記の第１のダクト６と第２のダクト７及
び第３のダクト８の内部を超高真空状態に減圧したう
え、電子発生装置（図示せず）から電子ｅを出射させる
と、該電子ｅは、第１のダクト６から分岐ボックス９を
介して第２のダクト７を経る直線的な軌道を通って、第
２のダクト７に他のダクト１６を介して接続されている
実験装置（図示せず）に入射する。

【００２６】また、分岐ボックス９付近に設けた偏向電
磁石（図示せず）により磁場を発生させると、図示しな
い電子発生装置から出射される電子ｅは、その軌道を曲
げられ、第１のダクト６から分岐ボックス９を介し第３
のダクト８を経て、他のダクト１７を介して接続されて
いる他の実験装置（図示せず）に入射する。

【００２７】更に、前述のように偏向電磁石（図示せ
ず）により磁場を発生させて電子ｅの軌道を曲げた場合
には、前記の分岐ボックス９の第２のダクト７の基端部
を固着したダクト取付部９ｂと第３のダクト８の基端部
を固着したダクト取付部９ｃとの間の部分にも放射光が
入射されるが、このときに、冷却媒体入口ノズル１３か
ら冷却媒体１２を供給し且つ冷却媒体出口ノズル１４か
ら冷却媒体１２を流出させて冷却媒体流路１１に冷却媒
体１２を連続的に流通させることにより、先に述べた放
射光ビームの入射による分岐ボックス９の温度上昇を防
止し、該温度上昇に起因する放出ガスの発生を抑制す
る。

【００２８】図１及び図２に示す分岐真空ダクトでは、
分岐ボックス９を介して第１のダクト６と第２のダクト
７及び第３のダクト８を接続し得るように形成したの
で、部材の加工及び組立が容易であり且つ接続部付近に
断面の変形が生じ難い。

【００２９】また、第２のダクト７と第３のダクト８と
の各ダクト取付部９ｂ，９ｃの間に冷却ジャケット形成
体１０を設け、前記の各ダクト取付部９ｂ，９ｃの間を
冷却し得るようにしたので、電子ｅの軌道を曲げる場合
に第２のダクト７と第３のダクト８との各ダクト取付部
９ｂ，９ｃの間に入射する放射光による温度の上昇を防
止することが可能となり、分岐ボックス９の内側面に付
着している気体分子が放出されるガス放出を抑制し、第
１のダクト６と第２ダクト７及び第３のダクト８の内部
の真空度の低下を防止できる。

【００３０】なお、本発明の分岐真空ダクトは上述した
実施の形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要
旨を逸脱しない範囲内において、種々変更を加え得るこ
とは勿論である。

【００３１】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の分岐真空ダ
クトによれば、下記のような種々の優れた効果を奏し得
る。

【００３２】（１）分岐真空ダクトを構成する部材の加
工及び組立が容易であり且つ部材の相互の接続部付近に
おける断面変形が生じ難い。

【００３３】（２）電子の軌道を曲げる場合に第２のダ
クトと第３のダクトの各ダクト取付部の間に入射する放
射光による当該部分の温度の上昇を防止することが可能
となり、分岐ボックスの内側面に付着している気体分子
が放出されるガス放出を抑制し、分岐真空ダクトの内部
の真空度の低下を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の分岐真空ダクトの実施の形態の一例を
示す平面図である。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ矢視拡大図である。

【図３】従来の分岐真空ダクトの一例を示す平面図であ
る。

【符号の説明】

６ 第１のダクト ７ 第２のダクト ８ 第３のダクト ９ 分岐ボックス ９ａ ダクト取付部 ９ｂ ダクト取付部 ９ｃ ダクト取付部 １０ 冷却ジャケット形成体 １２ 冷却媒体

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 直管状の第１のダクトと直管状の第２の
   ダクトとを同軸に且つ該第２のダクトの基端部が第１の
   ダクトの先端部に対して所定の間隔を隔てて正対するよ
   うに配置し、湾曲管状の第３のダクトを該第３のダクト
   の基端部が第１のダクトの先端部及び第２のダクトの基
   端部の近傍に位置するように配置し、第１のダクトと第
   ２のダクトとの間に、第１のダクトの先端部、第２のダ
   クトの基端部、第３のダクトの基端部に正対するダクト
   取付部を有する分岐ボックスを配置し、該分岐ボックス
   の第２のダクトの基端部が対峙するダクト取付部と第３
   のダクトの基端部が対峙するダクト取付部との間の部分
   に、冷却媒体が流通可能な冷却ジャケット形成体を設
   け、前記の分岐ボックスのダクト取付部と該ダクト取付
   部に正対する第１のダクトの先端部、第２のダクトの基
   端部、第３のダクトの基端部とを気密に固着したことを
   特徴とする分岐真空ダクト。