JPH065394A

JPH065394A - 粒子加速器における冷却水路部の連結構造

Info

Publication number: JPH065394A
Application number: JP16123092A
Authority: JP
Inventors: Koichi Katayama; 康一片山
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 1992-06-19
Filing date: 1992-06-19
Publication date: 1994-01-14

Abstract

(57)【要約】【目的】真空チェンバの連結箇所において、冷却水路
部同士の連結作業を容易にするとともに各種装置の良好
な取り付けを可能とする。【構成】真空ダクト状の本体部２と、本体部２を冷却
すべく本体部２に沿って設けられて内部に冷却水が通さ
れる冷却水路部３とを一体に成型して真空チェンバ１１
を構成する。冷却水路部３を本体部２よりも短く形成す
る。本体部２同士を連結することにより形成される冷却
水路部３の端部同士の間にて、冷却水路部３の開口部４
に真直な配管１２のそれぞれの端部を熔接により接合す
る。配管１２と冷却水路部３との連結箇所における配管
１２の外周と本体部２の周面との間に、開口部４へ配管
１２を熔接する際の逃げとなるクリアランスｔ２を設け
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、シンクロトロン等の
粒子加速器の蓄積リングを構成する真空チェンバ同士の
連結箇所における冷却水路部の連結構造に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】近年、粒子加速器としてシンクロトロン
が開発されており、このシンクロトロンから放射される
放射光であるシンクロトロン放射光（ＳＯＲ光）を利用
して、例えば超ＬＳＩ回路の作成、医療分野における診
断、分子解析、構造解析等の様々な分野への適用が期待
されている。この種のシンクロトロンは、電子銃等の電
子発生装置によって発生させた電子ビームを直線加速器
（ライナック）で光速近くに加速し、偏向電磁石で偏向
させてインフレクタを介して、所定長さの真空チェンバ
同士を連結させてリング状に形成した蓄積リングに入射
させるようになっている。そして、この蓄積リングに入
射させた電子ビームを高周波加速空洞によりエネルギを
与えながら収束電磁石で収束させ、偏向電磁石で偏向さ
せて蓄積リング内を周回し続けさせ、偏向電磁石によっ
て偏向させる際に発生するＳＯＲ光を光取り出しライン
であるビームラインを介して例えば露光装置に出射させ
ていた。

【０００３】ところで、図４に示すように、上記蓄積リ
ングを構成する真空チェンバ１は、真空ダクト状の本体
部２の内部を電子ビーム等の加速粒子が通過する際に、
その壁面にＳＯＲ光の一部が照射することからその温度
が上昇してしまうため、押し出し成型法によって本体部
２に沿って一体に成型した冷却水路部３に冷却水を通し
て加熱を防止していた。

【０００４】また、それぞれの真空チェンバ１、１同士
の連結箇所においては、冷却水路部３、３の端部の開口
部４、４を塞ぎ、冷却水路部３、３の端部近傍における
側部に孔部５、５を形成し、これら孔部５、５へコ字状
に形成されたバイパス配管６の端部をそれぞれ熔接する
ことにより、それぞれの真空チェンバ１、１の冷却水路
部３、３同士を連通させて一方側の冷却水路部３からバ
イパス配管６を介して他方側の冷却水路部３へ冷却水を
流すようにしていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来技
術にあっては、それぞれの真空チェンバ１、１の冷却流
路部３、３同士を連通させるために、冷却水路部３、３
の開口部４、４の閉塞作業及び冷却水路部３、３の側部
への孔部５、５の形成作業を行わなければならず、これ
ら作業に多大な時間を費やしていた。また、上記のよう
に、バイパス配管６を取り付けると、このバイパス配管
６が真空チェンバ１、１の外周側へ突出した状態とな
り、前記収束電磁石及び偏向電磁石等の各種装置の取り
付けに支障を来たすことがあった。

【０００６】この発明は、上記事情に鑑みてなされたも
ので、真空チェンバ同士の連結箇所において、極めて容
易に冷却水路部同士を接続することができ、かつ各種装
置の良好な取り付け状態を確保することが可能な粒子加
速器における冷却水路部の連結構造を提供することを目
的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明の粒子加速器に
おける冷却水路部の連結構造は、加速された粒子が内部
を通過する真空ダクト状の本体部と、その本体部を冷却
すべく本体部に沿って設けられて内部に冷却水が通され
る冷却水路部とが一体に成型されてなる真空チェンバ同
士の連結箇所にて連結される前記冷却水路部の連結構造
において、前記冷却水路部は、前記本体部よりも短く形
成され、前記本体部同士を連結することにより形成され
る前記冷却水路部の端部同士の間には、これら冷却水路
部の開口部にそれぞれ端部が熔接により接合された真直
な配管が配設されてなり、該配管と前記冷却水路部との
連結箇所における前記配管の外周と前記本体部の周面と
の間には、前記開口部へ前記配管を熔接する際の逃げと
なるクリアランスが設けられてなることを特徴としてい
る。

【０００８】

【作用】この発明の粒子加速器における冷却水路部の連
結構造によれば、配管の外周と本体部の周面との間に、
冷却水路部の開口部へ配管を熔接する際の逃げとなるク
リアランスが設けられているので、冷却水路部の開口部
への配管の接続作業を容易にすることが可能となる。ま
た、それぞれの冷却水路部の対向する開口部同士の間に
真直な配管を連結するものであるので、真空チェンバ同
士の連結箇所における外方への突出部分がなくされ、各
種装置の良好な取り付けが可能となる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の粒子加速器における冷却水路
部の連結構造の一実施例を図１及び図２によって説明す
る。なお、従来例と同一構造部分には、同一符号を付し
て説明を省略する。図に示すように、この実施例の真空
チェンバ１１、１１は、冷却流路部３、３が、本体部
２、２よりも短くされており、それぞれの真空チェンバ
１１、１１同士を連結した際に、冷却流路部３、３の開
口部４、４同士の間に間隔が形成されるようになってい
る。

【００１０】また、これら真空チェンバ１１、１１の連
結箇所における冷却水路部３、３の対向する開口部４、
４同士の間には、真直な配管１２が配設されており、こ
の配管１２の端部がそれぞれの冷却水路部３、３の開口
部４、４に熔接されて連結されている。即ち、この配管
１２によって冷却水路部３、３同士が連通された状態と
なり、一方側の冷却水路部３から配管１２を介して他方
側の冷却水路部３へ冷却水が流されるようになってい
る。

【００１１】また、この真空チェンバ１１、１１の連結
箇所においては、本体部２の周面と冷却水路部３、３の
開口縁部との間隔が寸法Ｔとされている。ところで、冷
却水路部３、３の開口部４、４へ配管１２を熔接して連
結させる場合、これらの熔接箇所の周囲には、ある程度
の範囲の逃げが必要である。

【００１２】ここで、上記実施例の真空チェンバ１１、
１１は、前述した本体部２、２の周面と冷却水路部３、
３の開口縁部との間隔の寸法Ｔが、前記配管１２の肉厚
ｔ１よりも大きく、したがって、上記のように冷却水路
部３、３の開口部４、４間に配管１２を接続した際に、
連結箇所において配管１２と本体部２、２の周面との間
にクリアランスｔ２（ｔ２＝Ｔ−ｔ１）が形成されるよ
うになっている。即ち、このクリアランスｔ２が配管１
２の端部を冷却水路部３、３の開口部４、４へ熔接する
際の逃げとなっている。なお、本体部２の肉厚及び配管
１２の肉厚ｔ１は、それぞれ強度上必要な最小肉厚以上
に設定されている。

【００１３】このように、上記実施例の冷却水路部の連
結構造によれば、冷却水路部３、３の開口部４、４へ配
管１２の端部を熔接する際に、この配管１２と本体部
２、２の周面との間に熔接の逃げとなるクリアランスｔ
２が確保されるので、真空チェンバ１１、１１同士の連
結箇所において、それぞれの冷却水路部３、３の開口部
４、４間に真直な配管１２を配設することができる。

【００１４】即ち、従来のように、冷却水路部３、３の
開口部４、４の閉塞作業及び冷却水路部３、３の側部へ
の孔部５、５の形成作業を不要とすることができ、冷却
水路部３、３の接続作業を大幅に簡略化させることがで
きる。また、それぞれの冷却水路部３、３に接続する配
管として真直なものを使用することができるので、従来
のようにコ字状に曲げたバイパス配管６を使用する必要
がなく、曲げ加工等のコストを削減することができる。

【００１５】また、真空チェンバ１１、１１同士を連結
して蓄積リングを形成した際に、この真空チェンバ１
１、１１の連結箇所における外方への突出をなくすこと
ができ、この真空チェンバ１１、１１の外周側への収束
電磁石及び偏向電磁石等の各種装置の良好な取り付け状
態を確保することができる。

【００１６】なお、上記実施例では、冷却水路部３、３
同士を一本の真直な配管１２を使用したが、熔接の作業
性を向上させるために、図３に示すように、二本の短い
真直な配管１３、１３をそれぞれ冷却水路部３、３の開
口部４、４へ接続し、さらに、これら配管１３、１３同
士の間を、両端部に接続部材が設けられたユニオン継手
１４によって連結するようにしても良い。また、真空チ
ェンバ１１の断面形状は、実施例に限定されることな
く、楕円、矩形等の断面形状の真空チェンバであっても
良い。

【００１７】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明の粒子加
速器における冷却水路部の連結構造によれば、下記の効
果を得ることができる。冷却水路部の開口部へ配管の端
部を熔接する際に、この配管と本体部の周面との間に熔
接の逃げとなるクリアランスが確保されるので、真空チ
ェンバ同士の連結箇所において、それぞれの冷却水路部
の開口部間に真直な配管を配設することができる。即
ち、従来のように、冷却水路部の開口部を塞いだり、冷
却水路部の側部に孔部を形成したりする作業を不要とす
ることができ、冷却水路部の接続作業を大幅に簡略化さ
せることができる。また、それぞれの冷却水路部に接続
する配管としてコ字状に曲げたバイパス配管を使用する
必要がないので、この配管の曲げ加工等のコストを削減
することができる。また、真空チェンバ同士を連結して
蓄積リングを形成した際に、この真空チェンバの連結箇
所における外方への突出をなくすことができ、この真空
チェンバの外周側への各種装置の良好な取り付け状態を
確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の冷却水路部の連結構造を説明する真空
チェンバ同士の連結箇所の断面図である。

【図２】本発明の冷却水路部の連結構造を説明する真空
チェンバ同士の連結箇所の側断面図である。

【図３】本発明の他の実施例の冷却水路部の連結構造を
説明する真空チェンバ同士の連結箇所の側断面図であ
る。

【図４】従来の冷却水路部の連結構造を説明する真空チ
ェンバ同士の連結箇所の側断面図である。

【符号の説明】

２本体部３冷却水路部４開口部１１真空チェンバ１２、１３配管ｔ２クリアランス

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】加速された粒子が内部を通過する真空ダ
クト状の本体部と、その本体部を冷却すべく本体部に沿
って設けられて内部に冷却水が通される冷却水路部とが
一体に成型されてなる真空チェンバ同士の連結箇所にて
連結される前記冷却水路部の連結構造において、前記冷却水路部は、前記本体部よりも短く形成され、前
記本体部同士を連結することにより形成される前記冷却
水路部の端部同士の間には、これら冷却水路部の開口部
にそれぞれ端部が熔接により接合された真直な配管が配
設されてなり、該配管と前記冷却水路部との連結箇所における前記配管
の外周と前記本体部の周面との間には、前記開口部へ前
記配管を熔接する際の逃げとなるクリアランスが設けら
れてなることを特徴とする粒子加速器における冷却水路
部の連結構造。