JPH0815689B2 - 放電加工機 - Google Patents

放電加工機

Info

Publication number
JPH0815689B2
JPH0815689B2 JP63210830A JP21083088A JPH0815689B2 JP H0815689 B2 JPH0815689 B2 JP H0815689B2 JP 63210830 A JP63210830 A JP 63210830A JP 21083088 A JP21083088 A JP 21083088A JP H0815689 B2 JPH0815689 B2 JP H0815689B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
arm
seal
tank
plate member
seal plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP63210830A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6471625A (en
Inventor
ベルナール・バベル
ジョセフ・ジョズラン
ハンス・レーマン
ジャン・アンドレ・ルーファン
Original Assignee
シャミーユ テクノロジー ソシエテ アノニム
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by シャミーユ テクノロジー ソシエテ アノニム filed Critical シャミーユ テクノロジー ソシエテ アノニム
Publication of JPS6471625A publication Critical patent/JPS6471625A/ja
Publication of JPH0815689B2 publication Critical patent/JPH0815689B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H1/00Electrical discharge machining, i.e. removing metal with a series of rapidly recurring electrical discharges between an electrode and a workpiece in the presence of a fluid dielectric
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/54Other sealings for rotating shafts
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/02Wire-cutting
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/56Other sealings for reciprocating rods

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Sealing Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明は各々のアームに取付けられる2個のヘッド間
に張設した電極ワイヤによる放電加工で電極加工片を切
断するようにした放電加工機に関するものである。これ
らアームの少なくとも一方は加工液収容タンクの1個の
壁に形成した開口に貫通する。
タンク及びアームの直交方向相対移動中液が漏れるの
を防止するシール装置を設ける。加工片電極を加工液中
に浸漬させ、タンクに固定する。タンクは十字動テーブ
ルにより移動可能とする。一般にタンクは矩形とし、基
部に平行な直交方向に移動させる。直交方向の一方はア
ーム軸線に平行な方向(Y方向)とし、他方はアーム貫
通開口付壁に平行な方向(X方向)とする。
〔従来の技術〕
かかるシール装置は、従来装置、特にヨーロッパ特許
第133160号に記載の装置におけるような作動への悪影響
を生ずる変形なしにタンク壁に対する液圧に耐えること
ができる。シール装置はシール板部材を具え、これにア
ーム貫通孔を設けてアーム貫通開口付タンク壁をこれに
沿い移動可能とする。これがため、開口はタンクがアー
ムに対し横動し得るような形状とする。シール板部材の
大きさは、タンク壁の位置に関係なくタンク壁開口を塞
ぐに十分な大きさとする。シール板部材及びタンク壁間
に少なくとも1個のシールを設け、シール板部材及びア
ーム間に別の少なくとも1個のシールを設ける。シール
板部材及びアーム間に設けたシール板部材及びシールに
より構成される組立体はアームに沿って滑動可能とす
る。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし、シール板部材への加工液圧はシールに力を及
ぼし、タンク壁の自由な動きを妨げる。シール板部材へ
の圧力はシール板部材をタンク壁に押圧し、シール板部
材及びタンク壁間のシール圧縮する。これによりタンク
壁及びシール板部材間に摩擦力が発生する。
本発明放電加工機においては、アームが固定したまま
タンクが移動する場合、タンク壁が動かないシール板部
材に対し平行に滑動する。ヨーロッパ特許第133160号に
記載の装置から明らかなように、タンク壁は矢Fの方向
に移動する。上述の摩擦力はシール板部材を動かす傾向
を生じ(特にタンク壁及びシール板部材間のシールが加
工液圧でこれらの間に挟圧されるため)、シール板部材
に不所望な(矢f方向の)移動を生じさせる。従って、
シール板部材はこれとアームとの間に設けた環状シール
をアーム5に押圧する。これにともなうアームの撓曲及
びガイドヘッド支持端部の不所望な移動は可動壁の滑動
と同方向に生じ、アーム軸線はタンク壁に対し元の位置
(好ましくはタンク壁に直角)からずれる。これは相当
な精度の低下を生ずる。又かかるアームのずれはコラム
8のアーム取付面を変形させ、アームのずれを増幅させ
る。
アームに対するシールの不均一な押圧にともなうf方
向における板の不所望な動きはこのシールをアームの面
に接触不良となし、シール不良を生ずる。
ヨーロッパ特許第133160号に記載の装置はこれを改良
して、壁及びシール板部材間の摩擦力、又アーム及びシ
ール間の摩擦力を減ずることができる。種々の改良案
(特殊なシール、被覆、潤滑)を後で説明する。しか
し、加工液による圧力及びこれにともなう摩擦力では精
度の改良が尚小さい。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の目的はこれらの欠点を除去するにある。本発
明は、各々のアームに取り付けられる2個のガイドヘッ
ド間に張設した電極ワイヤを具え、少なくとも一方のア
ームを加工液収容タンクの壁の一つに配設した開口に貫
通し、この貫通アームと加工物は加工液中に浸漬され、
これらタンク及びアームが相互に移動可能で、前記タン
クの開口全部を被いタンクの壁面を滑動するよう接触し
加工液の漏洩を防止するようにしたシール板部材を設け
た、電極を加工液中に浸漬させた放電加工機において、
水平方向であるY方向に延在するアームを上下間隔を保
って並行に配設し、各々のアーム先端に取り付けたガイ
ドヘッド間に電極ワイヤを張設し、内部に加工物を固定
した加工液収容タンクとアーム、ガイドヘッド、電極ワ
イヤとの間で、Y方向と、水平方向でかつY方向に直交
するX方向との、両方向に相対移動を可能とするため
に、前記タンクを、X方向とY方向とに移動自在なテー
ブル上に載置し、少なくとも一方のアームを前記タンク
の壁の一つに配設した開口に貫通させ、前記タンクの開
口全部を覆う封鎖部材を設け、該封鎖部材は、前記タン
ク内の加工液中の漏洩を防止するシール状態で、タンク
壁面が封鎖部材に対して滑動可能となるように取り付け
られており、さらに、該封鎖部材は、貫通したアームの
周囲にガイド部材を設け、貫通したアームの外周面とガ
イド部材の内周面間にシールを設け、ガイド部材を収容
する開口部を中央に備えたシール板部材を垂直方向でか
つX方向に延在するように取り付け、該シール板部材と
ガイド部材の外周との間には、力を伝達せず、柔軟性を
有し、タンク内の加工液中の漏洩を防止する機機を有す
る部材、例えばベローズ、円筒膜等を介在させて、両部
材を連結し、シール板部材はシールを介して、タンク壁
面がシール板部材1に対して滑動可能となるようにタン
ク壁面に取り付けられている構造を備え、さらに、貫通
したアーム、ガイドヘッド、加工物等を前記タンクの加
工液中に浸漬させたことを特徴とする。
この装置は、シール板部材及びアームの軸直角方向
(X方向)におけるいかなる相対移動も防止するよう構
成する。そうしてシール板部材からのX方向の力がガイ
ド部材及びアーム間のシールに作用することのないよう
にする。
本発明の実施例では、シール板部材をアーム周辺の環
状シール用のガイドに剛結合せず、柔軟性を有する部材
で連結する。シール板部材の不所望なX方向移動はこの
ガイドにも、又アーム周辺のシールにも伝達されない
(第2図参照)。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面に基き詳細に説明する。
第1図は放電加工機において、シール板部材1及びタ
ンク壁2に作用する加工液の圧力により、シール板部材
及びタンク壁面に生ずる摩擦に起因したアーム5の偏倚
状態を、アーム貫通壁に直角な面で断面として示す従来
例で、シール3、4は夫々シール板部材1とタンク壁
2、アーム5とをシールしている。アーム5にはコラム
8及びガイドヘッド15が取り付けられる。
第2図に示す本発明の実施例では、水平方向であるY
方向に延在するアーム5を上下間隔を保って並行に配設
し、各々のアーム5先端に取り付けたガイドヘッド15間
に電極ワイヤを張設し、内部に加工物を固定した加工液
収容タンクとアーム5、ガイドヘッド15、電極ワイヤと
の間で、Y方向と、水平方向でかつY方向に直交するX
方向との、両方向に相対移動を可能とするために、前記
タンクを、X方向とY方向とに移動自在なテーブル上に
載置し、少なくとも一方のアーム5を前記タンクの壁2
の一つに配設した開口に貫通させ、前記タンクの開口全
部を覆う封鎖部材を設ける。封鎖部材はシール板部材
1、ガイド部9及びこれらを連結する柔軟性を有する部
材14とからなり、タンク壁2との間には、該壁面に固着
された二つのシール3を介し、またアーム5との間には
環状シール4を介して、前記タンク内の加工液中の漏洩
を防止するシール状態で、タンク壁面2が封鎖部材に対
して滑動可能となるように取り付けられている。さら
に、シール4のガイド部9をシール板部材1に剛結合せ
ず、部材14で連結する。部材14はシールを形成し、又十
分な柔軟性を有してシール板部材1及びガイド部9の一
方から他方へシール板部材1の不所望な動きをガイド部
9の周りのシール4に伝えることのないものとする。こ
のシール4はアーム5に不釣合な圧力を作用させず、こ
のアームに沿ってY方向へ自由に移動することができ
る。従って、シール板部材1がf方向へ動く場合でも十
分なシールが確保される。これは、板及び壁間の摩擦力
が比較的小さい結果として板の不所望な動きが少ない場
合、特に有効である。また、シール板部材1とガイド部
9との間の間隙は十分取ってあるので、シール板部材1
の不所望な動きによっても、ガイド部9と直接接触する
ようなことは無い。
部材14はベローズ又は円筒膜とすることができ、これ
を適切に配置してシール板部材1のみがタンクと共にY
方向へ移動するが、ガイド部9及びシール4はアーム5
と共に固定されたままにされるようにする。シール4は
封止作用のみを行う。従ってY方向の摩擦力は存在しな
い。
上述したように、板及び壁間の摩擦、並びに板及びア
ーム間の摩擦を低下させるために任意の手段を用いるこ
とができる。これがため、シール板部材を可撓シート、
ステンレス鋼バンド、アルミニウム又はPVCの板で造
り、加工液により腐蝕されることのないようにする。
この装置に使用するシールは発泡ラバー、PVC、ネオ
プレン、ポリテトラフルオロエチレン、その他のプラス
チック、防水布、ステンレス鋼又は鋼の金属帯、で造っ
た円形シール又は膜とする。この場合、加工液の圧力を
受けても良好なシールが保たれ、可動壁をシール板部材
又は円形シールに沿って容易に滑動させることができ
る。これらは機械的にタンク壁2又はシール板部材1に
固定できる。又これらの表面は摩擦が最少になり、良好
なシールが得られるようなものとする。このためには、
ステンレス鋼のアーム又は外被に沿って滑動するパッド
にテフロンを被覆するのが有利である。低摩擦の滑動を
得るためには、硬質クロム鍍金したアーム又は外被上で
テフロンシールを滑動させるようにする。同様に、環状
シール4のガイド部9も硬質金属、セラミック又はテフ
ロンで造る。スクレーパシール型の可撓性環状シールを
具えたガイドシステムの使用が環状部分の低摩擦シール
に有利である。又、これら2型式の面を単一シールで構
成することもできる。スクレーパシールは加工液により
アーム又は外被上で左に抑止されるよう配置し、これに
よりガイドシールを保護すると共に、シールをガイドし
易くする。特に、シムリット(SIMRIT)(商標)、ネオ
テクナ(NEOTECHNA)(商標)、マーグテクナ(MAAGTEC
HNA)(商標)、パーロット(PERROT)(商標)、アン
グスト(ANGST)(商標)及びエラストフロン(ELASTFL
ON)(商標)で造ったシールが良い。板及び可動壁間の
シールを十分なものとするために、シール板部材の端縁
を適切な形状とし、これら端縁をテフロン被覆したスラ
イドに係合させる。この場合、板及び壁間のシールが不
要である。又、シール面(アーム及び可動壁又はシール
板部材)の接触面を適当な被覆(アームのクロム鍍金、
EMATAL(商標)被覆、可動壁のエナメル引き)により滑
り易くすることができる。環状シールの一端に潤滑(シ
リコングリース)又はスクレーパ装置を設けて加工液を
除去することにより、アームに沿ったシールの滑動を滑
らかにすることができる。
シールの滑動はチューブ又はボールベアリングケージ
(加工液から隔離する)又はナイロンやテフロンのロー
ラで案内することができる。
シールのつぶれ(摩擦力)を防止するたためには、可
動壁の背後、つまりタンクの外側における板の端部が係
合するスライドを設けたり、これを適当な形状とした
り、板及び補強パネル間にシールを設ける。本発明のシ
ール装置で用いる可動シールの摩擦力と漏洩との間には
妥協が必要であるから、完全なシールを得ようとする代
りに許容漏洩の範囲内で公差を設定する。漏洩で失う液
を補うために溝をタンク壁の背後に設けて液をリザーバ
に戻す。
上述した装置はX及びY軸に対する下方ガイドヘッド
の正確な位置決めを可能にすると共に、十分なシールを
提供し得る。又、アームの温度を安定させるためには、
外被を用いる。
【図面の簡単な説明】
第1図はシール板部材及びタンク壁に作用する加工液の
圧力により、シール板部材及びタンク壁面に生ずる摩擦
に起因したアームの偏倚状態を、アーム貫通壁に直角な
面で断面として示す放電加工機の従来例を示す。 第2図はシール板部材及びアームに沿い滑動する組立体
間に柔軟性封鎖部材を設けた本発明の実施例を示す断面
図である。 〔符号の説明〕 1……シール板部材 2……タンク壁 4……シール 5……アーム 9……ガイド部 14……部材 15……ガイドヘッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジョセフ・ジョズラン フランス国エフ‐74350 クルセイル ル ート ドゥ シュ(番地なし) (72)発明者 ハンス・レーマン スイス国ツェーハー‐1234 ベシー シュ マン ドゥ スージェ6 (72)発明者 ジャン・アンドレ・ルーファン フランス国エフ‐74380 ボンヌ ラ ベ ルグ(番地なし) (56)参考文献 特開 昭63−306827(JP,A) 特開 平1−109025(JP,A)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】水平方向であるY方向に延在するアーム5
    を上下間隔を保って並行に配設し、各々のアーム5を先
    端に取り付けたガイドヘッド15間に電極ワイヤを張設
    し、内部に加工物を固定した加工液収容タンクとアーム
    5、ガイドヘッド、電極ワイヤとの間で、Y方向と、水
    平方向でかつY方向に直交するX方向との、両方向に相
    対移動を可能とするために、前記タンクを、X方向とY
    方向とに移動自在なテーブル上に載置し、少なくとも一
    方のアーム5を前記タンクの壁2の一つに配設した開口
    に貫通させ、前記タンクの開口全部を覆う封鎖部材を設
    け、該封鎖部材は、前記タンク内の加工液中の漏洩を防
    止するようにしたシール板部材を設けた、電極を加工液
    中に浸漬させた放電加工機において、 タンク壁面2が封鎖部材に対して滑動可能となるように
    取付けられており、さらに、該封鎖部材は、貫通したア
    ーム5の周囲にガイド部材9を設け、貫通したアーム5
    の外周面とガイド部材9の内周面間にシール4を設け、
    ガイド部材9を収容する開口部を中央に備えたシール板
    部材1を垂直方向でかつX方向に延在するように取り付
    け、該シール板部材1とガイド部材9の外周との間に
    は、力を伝達せず、柔軟性を有し、タンク内の加工液中
    の漏洩を防止する機能を有する部材14を介在させて、両
    部材1,9を連結し、シール板部材1はシール3を介し
    て、タンク壁面2がシール板部材1に対して滑動可能と
    なるようにタンク壁面2に取り付けられている構造を備
    え、さらに、貫通したアーム5、ガイドヘッド15、加工
    物等を前記タンクの加工液中に浸漬させたことを特徴と
    する放電加工機。
  2. 【請求項2】シール板部材とガイド部材の外周との間の
    部材14はベローズによって構成されることを特徴とす
    る、請求項1に記載の放電加工機。
  3. 【請求項3】シール板部材とガイド部材の外周との間の
    部材14は円筒膜によって構成されることを特徴とする、
    請求項1に記載の放電加工機。
  4. 【請求項4】シール板部材はアームが横断する壁面に固
    着された二つのシールと係合し、これらシールが壁面と
    の間に加工液漏洩防止の滑動接触を行うことを特徴とす
    る、請求項1に記載の放電加工機。
JP63210830A 1987-08-28 1988-08-26 放電加工機 Expired - Lifetime JPH0815689B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH3307/87-7 1987-08-28
CH3307/87A CH673248A5 (ja) 1987-08-28 1987-08-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6471625A JPS6471625A (en) 1989-03-16
JPH0815689B2 true JPH0815689B2 (ja) 1996-02-21

Family

ID=4253154

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63210830A Expired - Lifetime JPH0815689B2 (ja) 1987-08-28 1988-08-26 放電加工機

Country Status (8)

Country Link
US (1) US4918279A (ja)
EP (1) EP0304882B1 (ja)
JP (1) JPH0815689B2 (ja)
KR (1) KR930011209B1 (ja)
CN (1) CN1017690B (ja)
CH (1) CH673248A5 (ja)
DE (1) DE3875197T2 (ja)
ES (1) ES2035896T3 (ja)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2637453B2 (ja) * 1988-02-10 1997-08-06 株式会社アマダ ワイヤカット放電加工装置
JPH0739056B2 (ja) * 1988-10-17 1995-05-01 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置
JPH0724169Y2 (ja) * 1989-01-27 1995-06-05 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置
JPH0735709Y2 (ja) * 1989-03-28 1995-08-16 株式会社牧野フライス製作所 ワイヤ放電加工機
DE4019662C2 (de) * 1990-06-20 1994-07-14 Agie Ag Ind Elektronik Maschine zum funkenerosiven Schneiden mit einem die Rückwand des Arbeitsflüssigkeits-Behälters durchquerenden Führungsarm
JPH04146025A (ja) * 1990-10-03 1992-05-20 Sodick Co Ltd ワイヤカット放電加工機のアームのシール装置
EP0483071B1 (en) * 1990-10-26 1995-03-01 Sodick Company, Ltd. A wire-cut electroerosion apparatus
JP2691487B2 (ja) * 1992-01-18 1997-12-17 ファナック株式会社 ワイヤカット放電加工装置
US6380751B2 (en) * 1992-06-11 2002-04-30 Cascade Microtech, Inc. Wafer probe station having environment control enclosure
JP3310355B2 (ja) * 1992-10-26 2002-08-05 ファナック株式会社 浸漬型ワイヤカット放電加工装置の水密構造
ES1034074Y (es) * 1996-05-06 1997-05-01 Ona Electro Erosion Dispositivo de semi-estanqueidad entre elementos moviles en maquinas de electroerosion.
US6073935A (en) * 1998-03-17 2000-06-13 Ona Electro-Erosion, S.A. Leaktight seal device for lower arm of a spark erosion machine or electrical discharge machining (EDM) device
US6445202B1 (en) 1999-06-30 2002-09-03 Cascade Microtech, Inc. Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current
JP3827894B2 (ja) * 1999-10-12 2006-09-27 株式会社ソディック ワイヤカット放電加工機のシール装置
US6403910B1 (en) 1999-12-14 2002-06-11 Hi-Tek Manufacturing, Inc. EDM apparatus and method for performing EDM operation
JP2001277049A (ja) * 2000-03-30 2001-10-09 Brother Ind Ltd ワイヤ放電加工機
US6914423B2 (en) 2000-09-05 2005-07-05 Cascade Microtech, Inc. Probe station
US6965226B2 (en) 2000-09-05 2005-11-15 Cascade Microtech, Inc. Chuck for holding a device under test
US7492172B2 (en) 2003-05-23 2009-02-17 Cascade Microtech, Inc. Chuck for holding a device under test
US7250626B2 (en) 2003-10-22 2007-07-31 Cascade Microtech, Inc. Probe testing structure
US7187188B2 (en) 2003-12-24 2007-03-06 Cascade Microtech, Inc. Chuck with integrated wafer support
US7656172B2 (en) 2005-01-31 2010-02-02 Cascade Microtech, Inc. System for testing semiconductors
US7535247B2 (en) 2005-01-31 2009-05-19 Cascade Microtech, Inc. Interface for testing semiconductors
DE102005024771B4 (de) * 2005-05-20 2008-08-21 Hansgrohe Ag Vorrichtung zum Behandeln von Waren
US8319503B2 (en) * 2008-11-24 2012-11-27 Cascade Microtech, Inc. Test apparatus for measuring a characteristic of a device under test
CN102489804B (zh) * 2011-11-30 2013-07-10 苏州三光科技股份有限公司 单向走丝线切割机床的密封结构
JP6280010B2 (ja) * 2014-09-25 2018-02-14 ファナック株式会社 回転軸装置および前記回転軸装置を備えた放電加工機

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH654777A5 (fr) * 1983-07-27 1986-03-14 Charmilles Sa Ateliers Machine pour decouper par electro-erosion.
JPS60186319A (ja) * 1984-02-29 1985-09-21 Brother Ind Ltd ワイヤ−カツト放電加工機
JPH01109025A (ja) * 1986-10-07 1989-04-26 Mitsubishi Electric Corp ワイヤ放電加工装置
KR900009029B1 (ko) * 1986-10-07 1990-12-17 미쓰비시덴기 가부시기가이샤 와이어 방전 가공장치
JP2555357B2 (ja) * 1987-06-03 1996-11-20 株式会社 放電精密加工研究所 ワイヤ放電加工機におけるワイヤ下部支持装置

Also Published As

Publication number Publication date
US4918279A (en) 1990-04-17
CH673248A5 (ja) 1990-02-28
CN1033251A (zh) 1989-06-07
KR930011209B1 (ko) 1993-11-29
ES2035896T3 (es) 1993-05-01
EP0304882A1 (fr) 1989-03-01
JPS6471625A (en) 1989-03-16
CN1017690B (zh) 1992-08-05
KR890003483A (ko) 1989-04-15
DE3875197T2 (de) 1993-05-06
EP0304882B1 (fr) 1992-10-07
DE3875197D1 (de) 1992-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0815689B2 (ja) 放電加工機
EP2255111B1 (en) Dynamic sealing
BR8405422A (pt) Eletrodo destinado especialmente a exames por meio de eletrocardiogramas e chapa de eletrodo
KR970045063A (ko) 금속 가스킷
BE903868A (fr) Assemblage de scellage a joint coulissant.
US4208060A (en) Sealed shaft
US5028757A (en) Sealing structure for use in wire cut electric discharge machining apparatus
GB2119476A (en) Piston sealing and guide unit
US2208700A (en) Bearing seal
JPH0914451A (ja) ピストン及びシリンダ
US2971800A (en) Means for sealing and rotatably mounting a rotary shaft in a liquid-filled container
US6193639B1 (en) Deflection compensation roll
JP3107408B2 (ja) ワイヤカット放電加工装置
JPH0733016Y2 (ja) 偏心動用耐圧オイルシール
JP3310355B2 (ja) 浸漬型ワイヤカット放電加工装置の水密構造
CN216742787U (zh) 密封结构及其用于的活塞
JPH0539239Y2 (ja)
JPH074365Y2 (ja) 往復動用オイルシール
CN211570453U (zh) 锡槽边封组件及玻璃成型装置
JP2576611Y2 (ja) 流体圧シリンダ装置
JPH0678787B2 (ja) 環状封止体
JP4080633B2 (ja) 空気圧シリンダ装置
CN213839536U (zh) 一种背压式双机械密封
JP3318614B2 (ja) 可動栓
JPH0625746Y2 (ja) 軸封装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080221

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090221

Year of fee payment: 13

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090221

Year of fee payment: 13