KR930011209B1 - 방전가공에 의한 절삭기계 - Google Patents

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KR930011209B1
KR930011209B1 KR1019880010960A KR880010960A KR930011209B1 KR 930011209 B1 KR930011209 B1 KR 930011209B1 KR 1019880010960 A KR1019880010960 A KR 1019880010960A KR 880010960 A KR880010960 A KR 880010960A KR 930011209 B1 KR930011209 B1 KR 930011209B1
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레만 한스
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샤를미유 떼끄놀로지 에스. 아.
아. 제. 쓰니에르, 에프.코셀르
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Abstract

내용 없음.

Description

방전가공에 의한 절삭기계
제1도는 탱크의 미끄러짐 벽을 통과하는 패싱 암(passing arm)의 실링판과 미끄러짐 벽에 작용하는 가공액의 압력에 의해 실링판과 미끄러짐벽 사이에 발생하는 마찰에 의한 편향(偏向) 공정의 상기 벽에 수직한 수평면의 개략도.
제2도는 본 발명에 따른 장치의 상기 벽을 통과하는 암을 실링 장치로부터 덮개에 의해 분리시킨 제1의 변형을 설명하는 상기 벽에 수직한 수평면의 단면도.
제3도는 본 발명에 따른 장치의 EDM 기계의 고정요소에 실링판을 고정시키는 시스템에 의한 제2의 변형의 2종의 단면 개략도.
제4도는 본 발명에 따른 장치의 실링판과 패싱 암을 따라서 미끄러지는 조립체 사이를 탄성요소로 연결한 제3의 변형의 상기 벽에 수직한 수평면의 단면도.
제5도는 암이 통과하는 벽에 수직이고, 이 암의 축을 포함하는 수직면 내의 단면을 요약한 실링장치의 다종의 가능한 설비의 예를 도시한 단면도.
* 도면의 주요부분에대한 부호의 설명
1 : (실링)판 2 : 벽
3 : 실(seal) 4 : 환상실
5 : 암 6 : 덮개
7 : 공간 8 : 기둥(column)
9 : 가이드 부품 10 : 슬라이드
11 : 판 고정장치 14 : 링크
15 : 가공헤드
본 발명은 각각 암(arm)에 부착되어 있는 2개의 안내 헤드 사이에서 작동되는 선전극(wire electrode)을 사용한 방전부식(electrical discharge erosion)을 사용하여 전극 시편을 절삭하는 기계에 관한 것이다. 상기 암 중 적어도 하나는 가공액을 함유하는 빈틈이 없는 탱크의 벽들중 하나를 통과하고, 이것은 상기 벽내의 적어도 하나의 개구에 의하여 가능하게 된다. 이 후에 상기 탱크의 적어도 하나의 벽을 통과하는 암을 "패싱 암"이라 부른다. 실링 장치는 액체가 흘러 나오는 것을 방지한다. 탱크와 패싱 암이 서로 두 직교하는 방향에서 상대 운동하는 것을 허용하는 동시에 시편-전극은 일반적으로 가공액 내에 침전되며, 탱크에 고정되게 장착되어 있다. 탱크는 X,Y 방향으로 미끄럼 운동하는 이송대를 사용하여 움직일 수 있다. 일반적으로, 탱크는 사각형이고, 그의 바닥에 평행한 두 직각 방향, 즉 한 방향은 패싱암의 축에 평행이고(Y방향), 다른 방향은 암이 통과하는 개구의 벽에 평행(X방향)하게 움직인다.
실링 장치들의 작동에 해로운 변형없이 탱크의 벽들에 대한 액체 압력을 견디어 낼 수 있는 그러한 실링 장치들은 종래의 기술, 특히 유럽 특허 EP 133,160에 묘사되어 있는 장치에 있어, 공지이다. 상기의 기술은 판이, 암이 통과하는 개구를 가지며, 그 판을 따라 암이 통과하는 개구부가 형성된 탱크 내의 벽이 이동하며, 상기 개구는 이 패싱암의 종방향 운동에 대하여 탱크의 횡방향 이동을 허용하는 그러한 단면을 가진다. 이 판의 면적은 벽의 위치에 관계없이 이 벽의 개구를 가리기에 충분하다. 적어도 하나의 실이 판과 벽 사이에 위치하고, 적어도 다른 하나의 실은 판과 암 사이에 제공된다. 판과 암 사이의 상기 판과 실에 의하여 형성된 조립체는 상기 암을 따라 미끄러질 수 있다.
그러나, 상기 판상에 작용하는 가공액의 압력은 벽의 자유운동을 막는 힘을 실에 발생시킨다. 판 상에 작용하는 압력은 탱크의 벽에 대하여 밀리게 되고, 상기 판과 탱크 벽 사이에 제공된 실을 압축하는 압력이 발생한다. 이것은 상기 판 또는 벽 중의 하나가 다른 하나를 따라 미끄러질 때 벽과 판 사이에 마찰력을 발생시킨다.
본 발명에 의한 패싱암이 고정된 채로 탱크가 움직이는 기계에 있어서, 고정된 상태의 상기 판에 평행하게 상기 탱크 벽이 미끄러지며, 그 반대의 경우도 또한 상상할 수 있다. 특허 EP 133,160에서 묘사하는 장치의 형태의 수평적인 단면을 나타내는 제1도에서 도식적으로 보여주는 것처럼, 탱크의 상기 벽(2)은 화살표 F로 표시된 방향으로 움직인다. 상기에서 언급한 마찰력 때문에, 그것이 판(1)(특허 상기 벽과 판 사이에 제공된 실(3)이 가공액의 압력에 의하여 그들 사이에서 압착이 되므로)의 운동을 발생시키는 경향이 있고, 그래서 이 판의 원하지 않은 운동을 발생시킨다(화살표 f의 방향으로).따라서 상기 판은 판과 암 사이에 제공된 환상 실(4)을 압축하면서 패싱 암에 대하여 격렬하게 밀어서, 상기 암의 표면에 수직한 압력을 가한다. 특히, 이것은 상기 암의 편향 또는 굽힘, 결과적으로 미끄러짐 벽이 미끄러지는 방향과 같은 방향에서 안내 헤드(또는 가공헤드)(15)를 동반하는 패싱 암 단부의 원하지 않는 운동, 즉 벽에 대한 그의 본래의 방향(상기 벽에 수직인 방향)으로부터 암의 축이 벗어나게 한다. 이것은 고려되어지는 정확성의 손실을 야기한다. 더구나, 상기한 암의 변형은 또한 그 안에 상기 암이 편향의 진폭을 강조하는 기계의 프레임에 고정되어 있는 기둥(8)면의 변형을 야기한다.
운동이 X와 Y 방향에서 동시에 발생한다는 사실 때문에, 상기한 편향은 더한 결점을 가진다. 사실, 이 운동 X 방향에서 발생하는 동시에, 상기 실(4)은 암(5)(Y 방향에서)을 따라 미끄러지고, Y 방향에서 반대운동을 하는 경향이 있는 실과 암 사이의 마찰력은 패싱 암의 한 측면만을 따라 실(4)이 패싱 암의 축에 대하여 그 중심에서 벗어나므로 비대칭적으로 작용한다. 상기 실(4) (그리고 판(1))의 운동은 암(5)의 단지 한측면 상에서만 제동되므로, 상기 판(1)과 암(5)은 더 이상 수직으로 되는 경향이 없으며, 이것은 부가적인 변형의 발생과 정확성의 손실을 야기한다.
끝으로, 상기 암에 대하여 실(4)을 비대칭적으로 압축함에 의한, 상기 판(1)의 방향 f로의 원하지 않는 운동은 상기 실이 결과적 손실인 상기 암의 표면과 접촉을 잃게 하는 것을 야기할 수도 있다.
상기 벽과 판 사이 그리고 상가 암과 그 둘레의 실 사이의 마찰력을 감소시키는 방법으로 특허 EP 133,160에 묘사한 장치를 개선할 수 있다. 여러 가지 가능한 기술(특수한 실과 코팅, 윤활 등)을 아래에 설명한다. 그러나 가공액에 의해 가해지는 압력과 그 결과로 발생하는 마찰력의 크기는, 그래서 얻어진 정확도의 향상이 여전히 작으며, 하부 암(패싱 암)의 수평 편향을 제거하는 점까지 마착력에 의한 효과를 감소시킬 가능성이 없었던 정도였다.
본 발명의 목적은 상기 결점들을 극복하는 것이다. 본 발명의 목적은 특히 상기한 비대칭력에 의한 안내헤드의 원하지 않는 수평운동, 즉 패싱 암의 어떤 변형을 방지하기 위해서 설비된, 패싱 암 상에 압력과 마찰이 비대칭적으로 작용하기 때문에 발생하는 상기 비대칭력을 방지하는 편향, 또는 보호 장치(또한 "반-굽힘 장치"라고도 함)이다.
상기 장치는 상기 패싱암의 축에 수직인 방향에서 상기 판과 패싱암 사이의 어떤 상대적인 운동을 방지하기 위해서 설비되어 있는데, 예를 들면, -X 방향에서 고정되어 있는 기체의 요소 상에 상기 판을 고정되게 설치함에 의하여 (이것은 벽의 이동에 의해 암까지 횡단방향으로 이동하는 것을 방지한다), 또는 그밖에 -상기 판으로부터의 비대칭 압력이 상기 판과 암 사이에 제공된 상기 실 상에 작용하는 것을 방지함에 의하여, 또는 -X 방향에서 상기 판의 어떠한 원하지 아는 운동이 상기 판과 암 사이에 제공된 상기 실을 고정하거나 안내하는 안내 시스템으로 전달되는 것을 방지함에 의하여 설비되어 질 수 있다.
그런고로, 본 발명은 고압하에서 담그어진 시편을 적어도 부분적으로 작동하고, 가공액을 포함하는 빈틈이 없는 탱크의 벽을 통과하는 적어도 하나의 암과 상기 암이 통과하는 개구를 덮는 실링판을 가지고, 적어도 하나의 실에 의해 상기 패싱 암에 연결되고, 그리고 암이 통과하는 벽이 판을 따라 미끄러질 수 있으며, 상기 패싱 암 상에 비대칭적으로 작용하는 암력과 마찰에 의한 힘 그리고 상기 암이 통과하는 상기 판과 벽 사이에서 일어나는 마찰력에 의한 힘을 편향하는 장치를 가지며, 상기 암에 수직인 X 방향에서 상기 판의 어떤 이동이 패싱 암에 전달되는 것을 방지하기 위하여 설비되어 있는 선전극을 사용하는 방전가공에 의한 절삭 기계에 관한 것이다.
제1의 변형(제2도 참조)은 기계의 프레임에 고정되어 있는 덮개(sheath)에 의해 형성되며, 상기 덮개가 패싱 암과 접촉함이 없이 패싱암을 둘러싸고, 상기 판과 암 상이에 제공된 상기 암과 실(판과 덮개 사이에 제공된 실) 사이에 상기 덮개가 끼워진다. 실에 의해 전달되고, 판에 의해 수직으로 작용되는 마찰력과 압력이 단지 한 측면 상에만 가해지는 것은 패싱 암이 아니라 덮개가 된다.
상기 덮개와 암 사이의 간격은 덮개가 최대 편향한 경우에도 그들 사이의 모든 장소에 항상 확실한 공간이 있도록 충분하여야만 한다. 예를 들면, 상기 간극은 1㎜ 내지 15㎜ 사이의 범위에서 변한다. 덮개의 단면은 암의 단면과 같은 모양일 필요는 없다. 그래서 사각형 단면을 가지는 상기 덮개가 둥근 단면을 가지는 암을 둘러쌀 수 있다. 그러나, 상기 암과 덮개는 2개의 동심원의 실린더형인 것이 바람직하다.
제2의 변형(제3도 참조)은 패싱 암의 축에 평행한 이동(Y 이동)에 대응하는 X방향의 미끄럼 방지 운동하는 테이블의 슬라이드에 상기 판을 고정하기 의한 시스템의 의해 형성된다. 그래서, 가공액에 의하여 상기 판상에 작용하는 압력에 의한, 상기 판을 이동벽을 따라서 이동시키는 경향이 있는 힘은 상기 시스템을 경유하여 슬라이드까지는 전달되지만, 판-암 실과 상기 패싱 암(또는 예를 들면, 두 개의 변형이 결합될때는 덮개)까지는 전달되지 않는다. 반응력이 상기 슬라이드에서 발생하므로, 패싱 암(또는 덮개)의 어떤 변위도 발생하지 않는다.
제3의 변형은 상기 판이 패싱암 둘레의 환형실을 고정하고 안내하는 안내 시스템에 더 이상 단단하게 결합되지 않으며, 상기 안내 시스템에 탄력있게 연결된다. 판의 X 방향에서의 원하지 않은 운동은 상기 시스템에 더 이상 전달하지 않으며, 또한 암 둘레의 실까지도 전달되지 않는다(제4도 참조).
본 발명에 의한 EDM 기계 상에 설치된 장치는 실시예로 상기에서 언급한 세 개의 변형과는 다르게 형성되어 있다. 특히 그 자체 각각이 효과적이라고 증명된 상기 변형들은 실링 장치의 실 마찰력을 감소시키는 경향이 있는 다른 개량점과 결합 및/또는 연합해서 사용될 수 있다.
이하 도면을 참조하여 본 별명을 상세히 설명한다.
제2도에서 보여지는 것처럼 본 발명의 현실화의 제1의 형식에 따라서, 판(1)은, 암(5)이 지나가는 둘레에 동축으로 설비된 덮개(6)를 따라 미끄러질 때 하나 또는 복수개의 암-판 실들(4)을 삽입하고, 상기 실(4)을 안내하는 여러 가지 단면의 홈이 제공되어 있는 부품(9)에 의하여 신장된다. 상기 판(1)은 가공액의 압력에 의하여 실(3)에 대하여 단단하게 압축되고, 그래서 만족스러운 실링이 보장된다(가공 공정 중 시편이 침전되지 않았을 때, 판(1)은 어떤 적당한 공지의 시스템에 의하여 실들(3)에 대하여 압축될 수 있다). 압력에 의한 비대칭적인 힘을 이끌고, 상기 힘은 안내 부품(9) 내에 고정된 환상 실(4)에 의하여 상기 덮개(6)의 벽에 대하여 단지 한쪽면에 작용하고, 상기 덮개의 편향을 발생시키면서 상기 벽이 X 방향에서 이동할 때 그 벽(2)은 상기 판의 이동을 야기한다. 상기 덮개(6)와 암(5) 사이에 설비된 공간(7)은 상기 편향을 상기 암(5)까지 전달하지 않을 만큼 충분하다. 상기 덮개(6)는 상기 암(5)이 끼워 넣어져서 있는 위치로부터 가능한 먼곳의 기계 프레임에 고정되어 있다. 상기 암은 암(5)이 통과하는 탱크의 벽의 반대쪽에 위치한 기둥(8)의 면내에 끼워 넣어져 있고, 상기 덮개는 그 이면에 인접한 기둥의 측면에 고정될 수 있게 하기 위한 모양을 갖고 있다. 덮개를 고정하는 상기의 방법은 상기 덮개의 굽힘에 의한 힘과 상기 프레임 내에 상기 덮개를 끼워 넣음에 의해 상기 기둥에 전달되는 힘이 패싱 암(5)이 끼워 넣어져 있는 곳 근처의 상기 기둥을 변형하는 것을 방지한다. 이것은 상기 패싱 암(5)의 편향을 야기하는 프레임의 변형을 방지한다.
상기한 덮개(6)는 상기 암(5)에 의해 지지되는 가공 헤드(15)까지 연장되거나 또는, 상기 암이 통과하는 개구를 지나는 상당한 거리까지 연장될 수 있다.
유연성 실은 상기 암과 덮개 사이의 공간(7)을 밀폐하며, 그러나 상기 덮개(6)의 변형을 암(5)까지 전달하지 않으면서, 덮개(6)와 암(5) 사이에서 설비될 수 있다. 특히, 제2도에서 보여지는 것처럼 상기 유연성 실은 벨로우즈(bellows)(6)일 수 있으며, 그것은 가공 헤드(15) 근처에 배열된다.
다른 형태가 또한 있을 수 있으며, 예를 들면 이는 상기 암(5)이 기둥(8)에 고정되어 있는 점 가까이 위치하고 있다. 상기 덮개(6)는 다른 벽이거나 다중벽을 가질 수 있으며, 예를 들면 이중벽 실린더를 가질 수 있다. 상기 공간(7)과 같은 방법으로, 상기 두 벽 사이의 공간은 실링되거나 또는 실링되지 않을 수도 있다.
일반적으로 수 밀리미터인 상기 공간(7) 또는 상기 덮개의 이중벽 사이에 설비된 공간은 가공 헤드(15)에 특정한 배선을 하기 위하여 또는 선전극의 귀환을 위하여 요구되는 장치를 설치하기 위하여 실링되고 건조될 때 유리하게 사용된다. 가공액의 온도로 암(5)의 온도를 안정시키기 위하여 이 공간 중의 하나를 사용하는 것이 특히 유리하며, 그 예로 적당한 유체, 예를 들면 탱크 안에 유지되는 유체의 온도로서, 예를 들면 20℃인 일정한 온도로 유지되는 물 또는 가공액을 그 공간내에 순환 시키는 방법이 있다.
상기 패싱 암의 온도 안정화는 부분적으로 침전 또는 잠긴체로 작업할 때 주로 유용하다.
상기 공간(7)을 폐쇄하기 위한 실을 가지지 않는 덮개-암 조립체를 침전시키는 것도 또한 가능하다. 그러면 상기 공간에는 가공액이 채워질 수 있다. 그 후 상기 공간(7)이 막히는 것을 방지하기 위하여 이 가공액을 걸르기 위한 유동투과성막과 같은 부품을 제공하는 것도 가능하다.
상기 기둥(8)의 측면에 고정되는 대신에, 상기 암의 경우에서 처럼, 상기 덮개도 기둥을 통과할 수 있다. 또한 다른 현상의 기계에 있어서는 빔(beam) 또는 고정된 테이블 등에 고정될 수도 있다.
제3도에서 도시된 바와 같은 본 발명을 현실화 하는 특히 유리한 제2의 변형에 따르면, X 방향의 미끄럼 방지운동을 하는 테이블의 슬라이드(10)에 장치(11)에 의하여 판(1)이 고정되어 있다. 제3도에 도시된 실시예에서, 상기의 고정 장치는 가이드 부품(9)에 위치된다. Y 방향의 운동을 허용하는 슬라이드(10)는 X 방향의 운동 중에는 고정된다. 그러므로, 상기 판(1)은 상기 벽(2)의 미끄럼 운동에 의하여 X 방향에서는 더 이상 움직이지 않는다. 그러므로, 환상 실(4)을 밀거나 압축하지 않으며, 그것에 의하여 그의 축에 수직인 상기 암(5) 상의 어떠한 비대칭적인 압력을 제거하며, 상기 암이 굽혀지는 어떤 위험도 제거된다. 또한, 상기 암(5) 둘레의 환상 실(4)에는 더 이상 비대칭적인 압력이 가하여지지 않으며, 한 측면상에서 상기 실(4)이 파손되는 위험도 더 이상 없다. 이것은 실링을 향상시키고, 탱크가 Y 방향에서 운동할 때 상기 암(5)을 따라 실이 용이하게 미끄러지게 한다. 두 개의 다른 변형과 특허 제 133,160호에서 묘사한 장치에 있어서 이 변형의 다른 장점은 슬라이드(10)의 운동에 의하여 조절되는 Y 방향에서의 운동이 실(4)까지 전달되는 것을 개선하였다는 것이다. 상기의 변형에 따르면, 상기 슬라이드(10)의 운동은 상기 판(1)에 연장된 환상 실(4) 둘레의 안내 부품(9)까지 상기 장치(11)에 의하여 실질적으로 직접 전달된다. 반면에 다른 변형에 있어서, 상기 슬라이드(1)의 운동은 우선 탱크, 특히 상기 벽(2)에 전달되고 그 후에 판 탱크-벽실(3)을 통하여 상기 판(1)과 실(4)을 둘러싼 부품(9)까지 전달된다.
제4도에 도시된 제3의 변형에 따르면, 유럽 특허 제133,160호에 발표된 실링 장치에 있어서 환상 실(4)을 포함하는 부품(9)은 더 이상 판(1)에 단단하게 접합되지 않으며, 실을 형성하는 링크(link)(14)에 의하여 판에 연결되며, 부품(1)과 (9)중의 하나로부터 다른 하나까지 운동, 특히 상기 판(1)의 어떠한 원하지 않는 운동을 가이드 부품(9)까지, 즉 암(5) 또는 덮개(6) 둘레의 실(4)까지 전달하지 않을 만큼 충분한 탄성체이다. 그 후 상기 실(4)은 상기 암(5) 상에 비대칭적인 압력을 가하지 않으며, 판(1)이 f로 지시된 방향으로 움직인다 해도 확실하게 실링하면서 상기 실(4)은 Y 방향에서 상기 암을 따라서 자유롭게 미끄러질 수 있다. 이것은 특히 상기 유체의 압력이 너무 높지 않거나 판과 벽 사이의 마찰력이 비교적 작은 어느 하나의 결과로서 상기 판의 원하지 않는 운동이 상대적으로 작을 때 효과적이다.
그 반면에, Y 방향의 운동이 상기 판(1)에 의하여 상기 실(4)까지 더 이상 전달될 수 없으므로, Y 방향에서 상기 판의 운동은 상기 암(5)을 따라 실(4)이 미끄러지는 것을 더 이상 조절할 수가 없다. 부품(9)에 연결된 제4a도에 도시되지 않은 적당한 시스템은 그 후 상기 부품의 미끄러짐을 조절한다. 상기한 시스템은 전술한 변형과 연합하여 설명한 형태의 시스템, 즉 X 방향의 미끄럼 방지운동하는 테이블의 상기 슬라이드(10)에 부품(9)을 연결시키는 것이다(제5k도). 그래서 이들 두 변형의 결합은 특히 유용하다고 할 수 있다.
그러나, 상기 부품(9)의 적당한 형상은 상기 판(1)에 의하여 Y방향으로 이동하는 것을 허용한다(제4b도). 상기 부품(9)과 판(1) 사이의 상기 링크는 예를 들면 0-링 실에 의해 제공된다. 상기 실은 비대칭적으로 압축되지만(14b에서, 14a가 아님), 상기 부품(9)까지 판(1)의 f 방향에서의 운동을 전달하지는 않을 것이다.
상기 부품(9)과 실(4)로 형성된 조립체가 상기 암(5)에 대하여 고정 된체로, 상기 탱크가 Y 방향에서 움직이는 동안 상기 판(1)만이 Y 방향에서 이동하도록 설비된 벨로우즈 또는 실린더형 막을 상기 링크(14)로서 제공할 수도 있다. 상기의 경우 실(4)은 단지 실링만하게 된다. Y 방향에는 더 이상의 어떤 마찰력도 없다. 이것은 주로 Y 방향에서의 작은 이동에 대하여 실용적이다(제5l도 참조).
마지막으로, 이 제3의 변형은 또 다른 장점을 가진다 : 상기 판(1)이 실(4)과 그의 안내부품(9)에 더 이상 견고하게 연결되어 있지 않으므로, 이 Y 방향과 완전하게 평행하지 않을 수 있는 상기 암(5)을 따라 상기 실링 장치가 Y 방향에서 미끄러질 때 X방향에서 다소간 움직이는 것은 자유롭다. 그래서 이 변형은 상기 암(5)의 불완전한 정렬로 보상할 수 있다.
상기 실시예는 한정적인 것은 아니며, 설명을 위한 도면일 뿐이다. 또한 여기에 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 여러 가지 변형이 있을 수 있으며, 특히 제3의 변형에서 사용된 실링판의 조성, 실의 형태, 판을 따라 미끄러지는 탱크벽의 형상, 암을 따라 미끄러지는 환상 실의 안내부품과 판을 연결하는 탄성 실링 시스템의 형태, 제1의 변형에 있어서의 덮개와 암 사이의 공간의 사용, 고려된 EDM 기계의 형태는 물론 Y 방향 이동의 책임이 있는 X 방향 미끄럼 방지운동을 하는 테이블의 슬라이드에 판을 고정하는 제2의 변형에서 사용된 시스템 등에 관한 것들이 있다. 한쌍으로 또는 세가지 모두를 함께 결합하여 사용할 수도 있다.
또한, 전술한 바와 같이, 상기 판과 벽 사이의 마찰과 상기 판과 암 사이의 마찰을 감소시키는 어떤 장치가 본 발명에 따른 장치와 연합하여 사용될 수 있다. 그래서, 실링판은 강성이거나 가공액의 오염에 대한 저항성이 있는 알루미늄 또는 PVC의 판과 스테인레스강 또는 방식성 재료의 띠나 가요성 판, 또는 띠에 의하여 형성될 수 있다. 상기 실은 그 실이 이동벽에 고정되어 있는 경우에, 판-벽 실이 가능한 최소한으로 마찰되며 미끄러지는 것을 허용하는 재료로 만들어지거나 또는 코팅될 수 있다. 상기 판이 밴드의 형태일때와 이러한 목적으로 제공된 두 시스템을 사용할 경우, 상기 판은 X 방향에서 매우 큰 운동을 허용하기 위해서 실링장치의 양측면 상에서 감싸지거나 또는 이동벽(2)에 수직인 탱크의 벽들을 따라 미끄러진다. 예를 들면, 이 감싸진(rolling up)은 상기 액체의 압력에 의해서 발생하는 휨을 보상하도록 얇은 판에 휨을 전달하여 실현될 수 있다.
제5도는 여러 가지 다른 시스템들에 있어서, 상기 실링판을 따라 슬라이드가 미끄러지게 하는 슬라이드들 내의 상기 탱크의 이동벽, 여러 가지 가능한 실들의 형태같은 상기 슬라이드들에 결합된 보강 부품들과 상기 판의 단부들의 여러 가지 단면들을 요약 도시한 것이다. 상기 실링판과 상기 패싱암 또는 덮개 둘레의 환상실(4)을 안내하는 신장부, 이동벽, 패싱암, 덮개와 판-벽 실을 각각 참고번호 (1),(9),(2),(5),(6)과 (3)으로 나타낸다.
그래서, 상기 판(1)을 따라 미끄러지는 탱크의 상기 벽(2)은 제2의 평행벽(12)(제5a도)에 의하여 또는 적어도 탱크의 전체 높이보다 작은 높이까지의 판(제5b,5c,5d도)에 의하여 지원이 되며, 그리고 덮개(6)에 의하여 둘러싸여질 수 있는 암(5)이 통과하기 위한 개구가 또한 제공된다. 그 안에 상기 실링(1)이 결합되는 두 개의 슬라이드(20,2l)를 합병할 수도 있다(제5b,5e,5f,5i,5k,5l).
상기 벽(2)은 일반적으로 비교적 유연하고 변형가능한 재료인 강재의 판으로 만든다. 그러나, 가능한 최소의 마찰로 상기 판을 따라 미끄러질 수 있게 하기 위해서 실링판(1)에 정확하게 평행하게 남아있는 것이 중요하므로, 실링판의 각 측면 상에서 미끄러지는, 예를 들면, 단단한 프레임(30)(제5f와 5g도) 및/또는 이중가이드 프레임(31,32)에 의하여 판을 강화시키는 것이 유리한데(탱크 내의 유체의 압력 아래서 판이 굽혀지지 않기 위해서), 그것에 의하여 상기 뿐만 아니라 실링판(1)의 기하학적 구조도 향상시킬 수 있다(제5g,5h도). 사실, 예를 들면 상기 판은 일반적으로 유연한 스테인레스강 띠로 만든다. 보강 부품(33)은 탱크의 외부에 또한 고정되어 있다(제5f,5h,5i 와 5j도). 이것은 상기 이동벽(2)의 운동을 안내하는 슬라이드를 한정할 수 있다(제5i도). 또한 이것은 실링판(1)을 위한 슬라이드와 안내 시스템으로서 작용하는데, 그 자체는 탱크 외부에 위치하고 있다(제5j도). 상기 이동벽(2)은 쉽게 변형되기 때문에, 종래의 방법을 사용함에 의해 판에 자국이 나는 것을 피하기 위해서 EDM 기술의 방법에 의하여 슬라이드를 고정시키거나 또는 부품을 강화하기 위해서 요구되는 구멍을 만드는 것을 생각할 수 있다. 이러한 방법으로, 그의 평탄성에 영향을 미침이 없이 상기 판에 구멍을 만들 수 있다. 주조 알루미늄 같은 단단한 재료로 일정한 기하형상을 가지는 탱크를 주조할 수도 있다.
또한, 만약 상기 이동벽과 이동벽에 고정된 보강 부품에 의하여 형성된 조립품이 실링판을 수용하는 슬롯(slot)을 제공하도록 설비된다면, 누설이 조절되는 공정이 사용되는 경우 사소한 누설은 인정할 수 있으므로 벽-판 실은 선택적이 된다(예를 들면, 제5g,5j도 참조). 상기의 것은 실링판(1)의 단부를 수용하는 슬라이드(20)과 (21)를 적절한 형태로하고, 상기 실링판의 단부들을 적절한 형태로 함으로써 달성된다(제5i도). 그래서, PVC 또는 알루미늄으로 형성된 실링판(1)의 둥근 모서리들은 미끄러질 수 있으며, 테프론코팅된 V-홈 내에서 실을 형성한다.
전술한 장치에 사용된 실들은 가장 변화된 형태일 것이며, 공지된 기술상의 재료들 중 어느 하나로 형성된다 : 상기 재료들의 예로서는 발포 고무재질의 원형실 또는 막, PVC, 네오프렌, 폴리테트라플루오로에틸렌과 다른 플라스틱류(테프론, 루브리프론, 리나텍스, 나일론, 털사이트)방수섬유, 스테인레스강이나 동재질의 스트립이나, 밴드, 또는 가공액의 압력을 받는 경우에도 이동벽이 실링판을 따라 쉽게 미끄러지게 하거나, 원형실이나 실들이 암을 따라 미끄러지게 하면서 가공액내에 잠긴채로 실링을 훌륭하게 수행하는 또다른 재료들도 사용될 수 있다. 상기의 것들은 이동벽(2) 또는 실링판(1)에 기계적인 방법으로 부착 또는 고정될 것이다. 또한 상기의 것들은, 가능한한 적게 마찰되며 미끄러짐, 훌륭한 실링이라는 그들의 양 기능들을 고려하여, 상기 실들이 그 표면상에서 미끄러질 표면에 적절한 것으로 선택되어진다. 그래서, 스테인레스강재의 암 또는 덮개를 따라 미끄러질 스크레핑 캐드는 그 본체는 적당한 기계적 성질을 가지는 탄성중합체로 만들어지고 상기 미끄러지는 운동에 대응하는 실의 접촉면은 테프론 코팅하는 것이 유리할 것이다. 예를 들면, 적게마찰되며 미끄러지는 것은 크롬 도금된 암 또는 덮개 상에서 미끄러지는 테프론 실에 의하여 얻어진다. 그와 유사하게, 환상 실(4)의 가이드부품(9)은 일반적으로 단단한 금속, 세라믹 또는 테프론이다. 안내 기능을 제공하기 위한 낮은 마찰계수의 볼베어링 또는 테프론링 같은 환상부품과 함께 실링을 제공하기 위해서 스크레이퍼 실 형태의 유연한 환상실이 제공되는 가이드 시스템을 사용하는 것이 유리하다(제1,2와 4도). 또한, 단일 실은 이들 두 형태의 표현을 결합 할 수 있다(제3a와 3b도). 스크레퍼 실은 암 또는 덮개 상에 가공액에 의하여 남은 잔류물을 유지하기 위하여 위치하며, 그래서 가이드 실을 보호하고, 상기 실이 쉽게 미끄러지게 한다. 특히, SIMRIT, NEOTECHNA, MAAG TECHNIC, PERROT, ANGST & PFISTER과 ELASTOFLON 사에서 만든 실들을 언급한다. 상기 판과 이동벽 사이의 실링은 상기 실링판의 모서리, 예를 들면 테프론 코팅된 슬라이드에 결합된 이들 모서리를 적당한 모양으로 형성하면 만족스럽게 형성된다. 이 경우에, 상기 판과 벽 사이에 실을 제공할 필요가 없다. 제2의 변형에 있어서, 상기 탱크의 운동이 Y 방향에서 이동하는 테이블의 슬라이드에 대응하여 직접 조정이 되므로, 실이 암을 따라 미끄러지게 하기 위하여 Y 방향에서의 상기 탱크의 운동을 상기 판과 원형실에 전달하는 상기 판과 벽 사이의 상기 실은 더 이상 필요치 않다. 전술한 것에 의해 상기 판에 기대치 않았던 운동을 전달함이 없이 X 방향에서 간단하게 변형되는 실을 선택할 수 있다. 이 변형이 제3의 변형과 결합되면 상기 암 둘레의 상기 환상실의 가이드 시스템에서 X 방향의 이동을 발생시키는 경향이 있는 힘이 발생하는 위험을 또한 더욱 감소시킬 수 있다 : 실링판(1)의 운동은 가이드 부품(9)과 환상실(4)로 형성된 조립품의 운동과는 완전하게 독립된다(제5k와 5l도). 상기의 경우에 있어서, 가이드 부품(9)의 운동을 발생시킴이 없이 상기 판이 Y 방향에서 이동거리 전체에 걸쳐서 이동하고, X 방향에서 원하지 않는 운동을 가지도록 충분히 유연한 벨로우즈 또는 실린더 형의 막에 의하여 형성되는 환상실(4)을 위한 실링판(1)과 가이드 부품(9) 사이의 링크는 유연할 것이고, 실링을 제공할 것이다. 상기 암(5)(또는 덮개(6))을 따라 미끄러지는 가이드 부품(9)의 미끄러짐은 슬라이드(10)에 고정된 시스템(11)에 의하여 조정된다(제5k도). Y 방향에서 비교적 작은 병진운동에 선호적으로 대응하는 구조의 다른 방법에 있어서, 상기 가이드 부품(9)과 환상실(4)에 의하여 형성된 조립품은 상기 암(5)에 대하여 고정되어 있고, 간단하게 실링을 제공한다(제5l도). 이 구조는 Y방향에서의 모든 마찰을 분명하게 제거한다.
판-벽 실에서 및 상기 암주위를 포위한 실에서 발생하는 마찰력은 상기 실의 재료에 의하여 크게 좌우될뿐 아니라, 또한 그 표면의 기하학적 모양 뿐만 아니라, 그들이 미끄러지는 표면의 상태(또는 거칠기) 및 그 형상에 따라 좌우된다.
상기 실들에서 상대적으로 이동하는 상기 표면부터 평행을 개선하는 여러 가지 방법이 상기 언급되었다. 실링판 상의 판-암 실의 마찰면적을 축소시킴으로써, 이 상대적 이동의 정확도를 더 개선할 수가 있다. 따라서, 유럽 특허 제133 160호(제5a도, 제5b도, 제5c도, 제5k도 및 제5l도)에 설명된 것과 같이 상기 판상에 실을 고정하는 대신에, 상기 실이 이동벽에 고정되어 있다(제5d도, 제5e도 및 제5f도). 이와 유사하게 단일벽을 갖는 탱크, 즉 상기 특허에서 설명된 2개를 갖는 대신에, 판과 벽 사이에 단일 실을 갖는 탱크를 사용하여, 마찰 면적을 절반으로 감소시킬 수 있다. 이미 전술한 바와 같이(제5g도, 제5i도 및 제5j도) 상기 실을 제거할 수도 있다.
또한, 상기 실이 마찰하는 표면(패싱암 및 이동벽 또는 실링판)은 더 미끄럽게, 예를 들면 적절한 코팅(암의 크롬 도금, EMATAL 코팅, 에나멜칠된 이동벽), 윤활(실리콘 그리스) 또는, 가공액에 의해 잔류된 침전물을 제거하고, 이 실이 암을 따라 미끄러지는데 영향을 미치는 고착의 궤적을 제거하기 위하여, 예를 들면 환상 실의 일단부에 배치된 스크랩핑장치에 의해 더 미끄럽게 만들어진다.
튜브 또는 보올베어링케이지 조립체(가공액과 접촉하지 않는)에 의한 환상실, 또는 예를 들면 나이론 또는 테플론로울러(제5d도, 제5i도 및 제5k도)에 의한 환상실의 미끄러짐을 안내하는 가능성에 대해서 또한 언급되어야 한다.
상기 이동벽 뒤로 즉, 탱크밖으로(제5j도) 상기 판의 모서리와 계합된 슬라이드를 배치함으로써 또는 그들을 적절한 방법으로 형상화시킴으로써 (제5k도 및 제5l도), 또는 상기 실을 판과 보강패널(제5b도 및 제5d도) 사이에 위치시킴으로써, 실의 파손(그리고 마찰력)을 또한 감소시킬 수 있다. 본 발명의 실링장치에 사용된 이동실에 의해 가해지는 마찰력과 상기 실들의 누설방지도 사이에 타협점이 얻어지도록 완전한 실링을 얻으려고 시도하는 대신에, 윤활목적의 소정의 제어된 양의 가공액이 누설되는 것이 바람직하다. 누설에 의해 손실된 액체는 탱크의 이동벽 뒤에 배치되고, 가공액 저장조로 복귀되는 거터(제5a도 및 제5g도에 참고 번호 40으로 개략적으로 도시된)에 의해 보충되고, 제거된다.
따라서 상기 설명된 장치는 만족스런 실링과 함께, 하부 가이드 헤드가 X,Y 축에 대하여 매우 정확하게 위치되며, 더욱 정확하게 개선된 신뢰도와 정확도를 유지하면서, 덮개를 사용함으로써 패싱암의 온도 안정화를 얻을 수 있다.

Claims (14)

  1. 암(5)과 공작물이 잠겨있는 가공액 탱크의 벽(2)들중 하나에 만들어진 개구부를 암들중 하나 이상이 통과하며, 상기 암(5)과 상기 탱크가 상호 각각에 대하여 이동가능한 동시에, 상기 암(5)이 관통하는 상기 벽(2)을 따라 미끄러지며 상기 탱크의 개구를 차폐하는 실링판(1)과 상기 암(5)이 관통하도록 상기 판(1)을 상기 암(5)에 연결하는 하나 이상의 실(4)이 끼워진 개구를 구비한, 암에 장착된 두 안내 헤드 사이에 인장되고 배선된 전극선을 사용하여 액중 방전 가공하는 절삭기계에 있어서, 상기 실(4)이 상기 암(5)을 상기 실링판(1)에 연결하며 상기 암(5)과 접촉함 없이 상기 암(5)을 둘러싸며 상기 암(5)이 내부에 끼워진 면에 인접한 칼럼(columm)(8)의 측면쪽으로 절삭기계의 프레임에 고정되는 동시에, 상기 암(5)과 상기 실(4) 사이에 덮개(6)를 구비함으로써 상기 암(5)이 통과하는 상기 실링판(1)과 상기 벽(2)이 상호에 대하여 미끄러질 때 상기 실링판(1)과 상기 벽(2) 사이에 발생하는 마찰에 의해 생성된 비대칭 마찰력과 압력이 상기 실(4)의 위치에서 상기 암(5)에 가해지는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 방전절삭기.
  2. 제1항에 있어서, 하나 이상의 실(3)이 상기 실링판(1)과 상기 벽(2)사이에 배치됨을 특징으로 하는 방전 절삭기.
  3. 제1항에 있어서, 상기 실링판(1)이 상기 벽(2)에 고정된 2개의 슬라이드에 계합되고, 상기 슬라이드와 마찬가지로, 상기 벽(2)과 누설방지 접속하기 위한 형태를 취하는 것을 특징으로 하는 방전 절삭기.
  4. 제1항에 있어서, 상기 암(5)과 상기 덮개(6) 사이의 공간(7)을 상기 탱크내의 가공액으로부터 격리하기 위하여 유연성 누설방지 링크(16)에 의해 상기 암(5)에 연결된 덮개(6)를 구비함을 특징으로 하는 방전 절삭기.
  5. 제4항에 있어서, 상기 암(5)의 온도를 안정화시키는 유체가 상기 공간(7)을 통하여 흐르는 것을 특징으로 하는 방전 절삭기.
  6. 제1항에 있어서, 상기 덮개(6)가 2중벽을 구비함을 특징으로 하는 방전 절삭기.
  7. 암(5)과 공작물이 잠겨 있는 가공액 탱크의 벽(2)들중 하나에 만들어진 개구부를 암들중 하나 이상이 통과하며, 상기 암(5)과 상기 탱크가 상호 각각에 대하여 이동가능한 동시에, 상기 암(5)이 관통하는 상기 벽(2)을 따라 미끄러지며 상기 탱크의 개구를 차폐하는 실링판(1)과 상기 암(5)이 관통하도록 상기 판(1)을 상기 암(5)에 연결하는 하나 이상의 실(4)이 끼워진 개구를 구비한 암에 장착된 두 안내 헤드 사이에 인장되고 배선된 전극선을 사용하여 액중 방전 가공하는 절삭기계에 있어서, 상기 암(5)의 축에 평행한 상기 탱크의 이동을 작동시키는 미끄러짐 테이블의 슬라이드(10)에 상기 실링판(1)을 고정하는 판고정수단(9,11)을 구비함으로서 상기 암(5)이 통과하는 상기 실링판(1)과 상기 벽(2)이 상호에 대하여 미끄러질 때 상기 실링판(1)과 상기 벽(2) 사이에 발생하는 마찰에 의해 생성된 비대칭 마찰력과 압력이 상기 실(4)의 위치에서 상기 암(5)에 가해지는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 방전 절삭기.
  8. 제7항에 있어서, 하나 이상의 실(3)이 상기 실링판(1)과 상기 벽(2) 사이에 배치됨을 특징으로 하는 방전 절삭기.
  9. 제7항에 있어서, 상기 실링판(1)이 상기 벽(2)에 고정된 2개의 슬라이드에 계합되고, 상기 슬라이드와 마찬가지로, 상기 벽(2)과 누설 방지 접속하기 위한 형태를 취하는 것을 특징으로 하는 방전 절삭기.
  10. 암(5)과 공작물이 잠겨있는 가공액 탱크의 벽(2)들중 하나에 만들어진 개구부를 암들중 하나 이상이 통과하며, 상기 암(5)과 상기 탱크가 상호 각각에 대하여 이동가능한 동시에, 상기 암(5)이 관통하는 상기 벽(2)을 따라 미끄러지며 상기 탱크의 개구를 차폐하는 실링판(1)과 상기 암(5)이 관통하도록 상기 판(1)을 상기 암(5)에 연결하는 하나 이상의 실(4)이 끼워진 개구를 구비한 암에 장착된 두 안내 헤드 사이에 인장되고 배선된 전극선을 사용하여 액중 방전 가공하는 절삭기계에 있어서, 상기 실링판(1)과 상기 암(5) 둘레에 위치한 하나 또는 그 이상의 실(4)을 감싸거나 안내하는 안내요소(9) 사이에 탄성 연결을 제공하며 상기 판(1)의 이동이 상기 안내 요소(9)에 전달되는 것을 방지하기 위한 누설방지 연결요소(14)를 구비함으로써 상기 암(5)이 통과하는 상기 실링판(1)과 상기 벽(2)이 상호에 대하여 미끄러질 때 상기 실링판(1)과 상기 벽(2) 사이에 발생하는 마찰에 의해 생성된 마찰력과 압력이 상기 실(4)의 위치에서 상기 암(5)에 가해지는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 방전 절삭기.
  11. 제10항에 있어서, 하나 이상의 실(3)이 상기 실링판(1)과 상기 벽(2) 사이에 배치됨을 특징으로 하는 방전 절삭기.
  12. 제10항에 있어서, 상기 실링판(1)이 상기 벽(2)에 고정된 2개의 슬라이드에 계합되고, 상기 슬라이드와 마찬가지로, 상기 벽(2)과 누설방지 접속하기 의한 형태를 취하는 것을 특징으로 하는 방전 절삭기
  13. 제10항에 있어서, 상기 암(5)의 축에 평행한 상기 탱크의 이동을 작동시키는 미끄러짐 테이블의 슬라이드(10)에 견고히 연결된 안내요소(9)를 구비함을 특징으로 하는 방전 절삭기.
  14. 제10항에 있어서, 상기 실(4)과 안내 요소(9)가 상기 암(5)에 대하여 고정되어 있음을 특징으로 하는 방전 절삭기.
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Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2637453B2 (ja) * 1988-02-10 1997-08-06 株式会社アマダ ワイヤカット放電加工装置
JPH0739056B2 (ja) * 1988-10-17 1995-05-01 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置
JPH0724169Y2 (ja) * 1989-01-27 1995-06-05 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置
JPH0735709Y2 (ja) * 1989-03-28 1995-08-16 株式会社牧野フライス製作所 ワイヤ放電加工機
DE4019662C2 (de) * 1990-06-20 1994-07-14 Agie Ag Ind Elektronik Maschine zum funkenerosiven Schneiden mit einem die Rückwand des Arbeitsflüssigkeits-Behälters durchquerenden Führungsarm
JPH04146025A (ja) * 1990-10-03 1992-05-20 Sodick Co Ltd ワイヤカット放電加工機のアームのシール装置
EP0483071B1 (en) * 1990-10-26 1995-03-01 Sodick Company, Ltd. A wire-cut electroerosion apparatus
JP2691487B2 (ja) * 1992-01-18 1997-12-17 ファナック株式会社 ワイヤカット放電加工装置
US6380751B2 (en) * 1992-06-11 2002-04-30 Cascade Microtech, Inc. Wafer probe station having environment control enclosure
JP3310355B2 (ja) * 1992-10-26 2002-08-05 ファナック株式会社 浸漬型ワイヤカット放電加工装置の水密構造
ES1034074Y (es) * 1996-05-06 1997-05-01 Ona Electro Erosion Dispositivo de semi-estanqueidad entre elementos moviles en maquinas de electroerosion.
US6073935A (en) * 1998-03-17 2000-06-13 Ona Electro-Erosion, S.A. Leaktight seal device for lower arm of a spark erosion machine or electrical discharge machining (EDM) device
US6445202B1 (en) 1999-06-30 2002-09-03 Cascade Microtech, Inc. Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current
JP3827894B2 (ja) * 1999-10-12 2006-09-27 株式会社ソディック ワイヤカット放電加工機のシール装置
US6403910B1 (en) 1999-12-14 2002-06-11 Hi-Tek Manufacturing, Inc. EDM apparatus and method for performing EDM operation
JP2001277049A (ja) * 2000-03-30 2001-10-09 Brother Ind Ltd ワイヤ放電加工機
US6965226B2 (en) 2000-09-05 2005-11-15 Cascade Microtech, Inc. Chuck for holding a device under test
US6914423B2 (en) 2000-09-05 2005-07-05 Cascade Microtech, Inc. Probe station
US7492172B2 (en) 2003-05-23 2009-02-17 Cascade Microtech, Inc. Chuck for holding a device under test
US7250626B2 (en) 2003-10-22 2007-07-31 Cascade Microtech, Inc. Probe testing structure
US7187188B2 (en) 2003-12-24 2007-03-06 Cascade Microtech, Inc. Chuck with integrated wafer support
US7656172B2 (en) 2005-01-31 2010-02-02 Cascade Microtech, Inc. System for testing semiconductors
US7535247B2 (en) 2005-01-31 2009-05-19 Cascade Microtech, Inc. Interface for testing semiconductors
DE102005024771B4 (de) * 2005-05-20 2008-08-21 Hansgrohe Ag Vorrichtung zum Behandeln von Waren
US8319503B2 (en) * 2008-11-24 2012-11-27 Cascade Microtech, Inc. Test apparatus for measuring a characteristic of a device under test
CN102489804B (zh) * 2011-11-30 2013-07-10 苏州三光科技股份有限公司 单向走丝线切割机床的密封结构
JP6280010B2 (ja) * 2014-09-25 2018-02-14 ファナック株式会社 回転軸装置および前記回転軸装置を備えた放電加工機

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH654777A5 (fr) * 1983-07-27 1986-03-14 Charmilles Sa Ateliers Machine pour decouper par electro-erosion.
JPS60186319A (ja) * 1984-02-29 1985-09-21 Brother Ind Ltd ワイヤ−カツト放電加工機
KR900009029B1 (ko) * 1986-10-07 1990-12-17 미쓰비시덴기 가부시기가이샤 와이어 방전 가공장치
JPH01109025A (ja) * 1986-10-07 1989-04-26 Mitsubishi Electric Corp ワイヤ放電加工装置
JP2555357B2 (ja) * 1987-06-03 1996-11-20 株式会社 放電精密加工研究所 ワイヤ放電加工機におけるワイヤ下部支持装置

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