JP3572187B2

JP3572187B2 - ワイヤ放電加工装置

Info

Publication number: JP3572187B2
Application number: JP33322097A
Authority: JP
Inventors: 俊夫毛呂; 章人安達
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1997-12-03
Filing date: 1997-12-03
Publication date: 2004-09-29
Anticipated expiration: 2017-12-03
Also published as: JPH11165218A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ワイヤ放電加工装置に関し、特に、加工槽に対する下部アームの突入部のシール構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１１、図１２は、従来における加工槽移動型のワイヤ放電加工装置の構成を示している。このワイヤ放電加工装置は機械の基台であるベッド１を有している。ベッド１上にはベッド１に固定されたＸ軸ガイド２に案内されてＸ軸方向（図１１の紙面を垂直に貫通する方向）に移動可能なＸ軸テーブル３が載置されている。Ｘ軸テーブル３はＸ軸モータ４によって回転駆動されるＸ軸ボールねじ５とＸ軸ボールねじ５に螺合した送りナット６によりＸ軸方向に移動する。
【０００３】
Ｘ軸テーブル３上には加工液を溜める加工槽７が載置され、加工槽７内に被加工物Ｗを固定するワークテーブル８が固定配置されている。ベッド１上にはベッド１に固定されたＹ軸ガイド９に案内されてＹ軸方向（図１１の左右方向）に移動可能な可動コラム１０が載置されている。可動コラム１０はＹ軸モータ１１によって回転駆動されるＹ軸ボールねじ１２とＹ軸ボールねじ１２に螺合した送りナット（図示省略）によりＹ軸方向に移動する。
【０００４】
可動コラム１０には、可動コラム１０に固定されたＺ軸ガイド１３に案内されてＺ軸方向（上下方向）に移動可能な可動上部アーム１４と、可動コラム１０に固定配置の下部アーム１５とがそれぞれ水平に設けられている。可動上部アーム１４には上部ワイヤガイドローラ１６と上部ガイド部材１７が取り付けられている。下部アーム１５の先端部は加工槽７の側壁を貫通し、延在して加工槽７内に突入しており、この先端部に下部ワイヤガイドローラ１８が取り付けられている。
【０００５】
ワイヤ電極２０は可動コラム１０に取り付けられたワイヤボビン２１より繰り出され、上部ワイヤガイドローラ１６、上部ガイド部材１７、下部ワイヤガイドローラ１８に案内されて上部ガイド部材１７と下部ワイヤガイドローラ１８との間で所定のテンションを与えられた状態で垂直に延在し、この垂直区間を降下方向に走行し、下部アーム１５内を通って可動コラム１０の背面部の後部延長部２２に至り、後部延長部２２の先端部に設けられているワイヤ回収ローラ２３に案内されてワイヤ回収箱２４内に回収される。
【０００６】
加工槽７の側壁にはパッキン取付板３０が固定されており、パッキン取付板３０にはゴム状弾性部材によるパッキン３１が取り付けられている。パッキン取付板３０はパッキン３１を納める溝を加工するため加工性の良い樹脂により構成されることがある。
【０００７】
パッキン取付板３０のＯパッキン装着面にはシール板３２が支持ローラ３３によって支持されている。シール板３２は押さえローラ３４によてパッキン取付板３０に対してＸ軸方向に相対変位可能に押し付けられている。シール板３２は、連結部材３５によりベッド１と連結され、Ｘ軸テーブル３によって加工槽７がＸ軸方向に移動する際に連れ動きしないよう、ベッド１に固定されている。
【０００８】
下部アーム１５は、シール板３２に形成されている貫通孔３６とパッキン取付板３０に形成されてＸ軸方向に長い開口３７と加工槽７の側壁を貫通して加工槽７内に突出している。シール板３２はパッキン３１を介して開口３７を覆蓋シールする。下部アーム１５の基端部側とパッキン取付板３０との間には、この間の下部アーム１５を被覆するＹ軸方向に伸縮自在の蛇腹３８が取り付けられている。蛇腹３８はシール板３２と共に加工槽７内の加工液が外部に漏れないようシールする。
【０００９】
以上の構成において、加工槽７に対する下部アーム１５の突入部のシールは、パッキン取付板３０、パッキン３１、シール板３２および蛇腹３８により行われ、加工液は加工槽７内に滞留することができる。
【００１０】
加工槽７がＸ軸方向に移動しても、シール板がパッキン取付板３０に対してパッキン３１を挟んで押し付けられ、パッキン３１のシール効果により加工液の加工槽７外への漏れは最小限に押さえることができる。当然ながら、加工槽７の移動ストロークを十分カバーするだけの長さはパッキン取付板３０とシール板３２にあらかじめ付与されているものとする。なお、パッキン取付板３０、パッキン３１、シール板３２によるシール部の下部には漏洩加工液回収樋３９が設けられている。
【００１１】
上述のようなシール構造において、加工槽７がＸ軸方向に移動すれば、加工槽７と共にＸ軸方向へ移動するパッキン３１とＸ軸方向には変位しないシール板３２との間において大きな摩擦力が作用する。
【００１２】
図１３〜図１５は、従来における加工槽固定型のワイヤ放電加工装置の構成を示している。なお、図１３〜図１５において、図１１、図１２に対応する部分は、図１１、図１２に付した符号と同一の符号を付けて、その説明を省略する。
【００１３】
このワイヤ放電加工装置では、加工槽７がベッド１上に固定され、可動コラム１０、Ｙ軸ガイド９の全体がＸ軸テーブル３上に搭載され、可動コラム１０がＸ軸方向とＹ軸方向とに軸移動する。シール板３２は、可動コラム１０のＸ軸移動に伴ってＸ軸移動するよう、連結部材３５’によりＸ軸テーブル３と固定連結されている。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
従来のワイヤ放電加工装置では、加工槽７に対する下部アーム１５の突入部のシールが上述のようなシール構造により行われるため、加工粉によるパッキン取付板３０、シール板３２の摩耗、さらにシール板３２の接触面の荒れなどが手伝い、さらにはシール板３２が樹脂製の場合には磨耗が加速し、ついにはシール効果が徐々に低下し、シール部からの加工液の漏れは増大していく。
【００１５】
これに対抗するため押さえローラ３４によるシール板３２に対する押し付け力を増大し、漏れ量を低下させるが、押し付け力の増大は、摩擦力によりＸ軸方向の駆動抵抗を増加し、ロストモーションによる送り誤差を誘発する要因を醸成することになる。また、パッキン３１の摩損もあり、パッキン３１を定期的に交換する必要がある。シール板３２の押し付け力の増加は、パッキン３１の摩耗およびシール板３２などの接触移動部材の摩耗を速め、定期的に部品交換などの修理を要する必要があり、維持費が高く付くことになる。
【００１６】
また、加工槽７における加工液の水面の高さによる水頭圧がシール部に作用し、水面が高くなると、水圧によってシール板３２が外方向に押され、漏れ量が増加する。これを防ぐために、従来のシール構造では、押さえローラ３４によるシール板３２に対する押し付け力をさらに大きく設定する必要が生じる。
【００１７】
また、従来のシール構造では、シール板３２の押し付け力は、加工液の高さに応じて水圧が大きくなる最大高さを想定して設定されるため、常に最大の摩擦力が作用することになり、加工液位が低い場合でも大きいシール板押し付け力が作用し、送り精度が低下する要因となっている。
【００１８】
また、従来のシール構造では、加工の内容に関係なく常に一定のシール板押し付け力（シール圧）が作用するため、たとえば高精度加工する場合には加工液漏れを犠牲にしてシール圧を低減させて精度を向上させたり、これとは逆に被加工物の板厚が厚く、漏れ量が大きくなることを回避するためにシール圧を大きくしたい場合でも、これらに対応してシール板押し付け力を変更することは不可能であった。また、時間経過とともにスラッジの固着などによるシール板３２の摩擦抵抗が増大することにより送り精度が低下した場合に、シール板３２の押さえ力を低減することによって送り精度の低下を軽減させることもできない。
【００１９】
また、従来のシール構成では、シール板３２の全周より加工液が漏れ出すことになり、特に上部より漏れ出した加工液は外部へ飛散しやすい傾向があり、飛散加工液を回収するための漏洩加工液回収樋３９を大きくしたり、飛散防止カバーを設ける必要が生じる。
【００２０】
また、可動コラム１０がＸ軸方向に軸移動するので、シール板３２が連結部材３５’によりＸ軸テーブル３と固定連結されているものでは、加工槽シールの抵抗により可動コラム１０が全体として大きな曲げモーメントを受け、この外力が各ガイド側面に作用して弾性変形を引き起こし、図１４に示されているように、捻れ角（Θ）が生じる。上部および下部ワイヤガイドは可動コラム１０の中心部から上部アーム１４、下部アーム１５などを経由して大きく離れた位置にあるため、ワイヤガイドの中心がＸ軸方向に変位し、誤差を生じる。この誤差は、一般的にヨーイングと云われ、Ｙ軸のストローク位置により決定され、手前側へワイヤ電極が移動すると大きくなる。このようにヨーイングの捻れ角度に比例して旋回半径が大きくなれば、その分、誤差が拡大することになるからである。
【００２１】
この発明は、上述の如き問題点を解消するためになされたもので、加工槽シールによる摩擦抵抗に起因する送り系の誤差を低減でき、構造が簡単で、摩耗消耗品を使用することがなく保守点検作業性に優れ、また加工槽シール部に作用する水圧や要求特性等に応じてシール圧を可変設定でき、またヨーイングの発生を抑えて高精度な加工が行われるようにするワイヤ放電加工装置を得ることを目的としている。
【００２９】
【課題を解決するための手段】
また上述の目的を達成するために、この発明によるワイヤ放電加工装置は、内部にワークテーブルを配置された加工槽とワイヤ電極の案内部を有する下部アームとが送り軸方向に相対変位し、前記加工槽の側面に送り軸方向に長い下部アーム貫通孔が形成され、前記下部アームが機体より前記下部アーム貫通孔を貫通して加工槽内に突入し、前記下部アーム側に前記下部アーム貫通孔のシールを行うシール板が設けられた加工槽シール構造を有するワイヤ放電加工装置において、前記加工槽の側壁に、送り軸方向に長い下部アーム貫通孔が形成されたプレートが固定され、前記シール板が加工槽の内側に存在し前記プレートに面接触する内側シール板と加工槽の外側に存在し前記プレートに面接触する外側シール板により構成されて前記内側シール板と前記外側シール板とがリング状のスペーサにより連結され、前記スペーサ内を前記下部アームが貫通し、前記スペーサにより隔置されている前記内側シール板と前記外側シール板との間の空間に加工液を供給するものである。
【００３０】
つぎの発明によるワイヤ放電加工装置は、前記外側シール板の外周縁部に斜め外側に折り曲げられた傾斜折曲片が設けられているものである。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下に添付の図を参照してこの発明に係るワイヤ放電加工装置の実施の形態を詳細に説明する。なお、以下に説明するこの発明の実施の形態において上述の従来例と同一構成の部分は、上述の従来例に付した符号と同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００３５】
実施の形態１．
図１〜図３は、この発明によるワイヤ放電加工装置の実施の形態１を示している。加工槽７の側壁には下部アーム１５が貫通する下部アーム貫通孔５１が設けられている。下部アーム貫通孔５１は、Ｘ軸テーブル３と一体に加工槽７が下部アーム１５と干渉することなくＸ軸方向に移動できるよう、Ｘ軸方向に長い長孔になっている。
【００３６】
加工槽７の側壁外面には、下部アーム貫通孔５１の全周を取り囲む環状をなし、シール板３２に対して開放されたチューブ保持溝５２が形成されている。チューブ保持溝５２には弾性変形可能なゴム状弾性体性の環状のチューブ５３が嵌め込まれている。チューブ５３の底部は接着剤によってチューブ保持溝５２の底部に接着固定することができる。
【００３７】
下部アーム貫通孔５１には下部アーム貫通孔５１と同形状の押さえ枠５４が前後進可能に係合している。押さえ枠５４はフランジ面部５４ａを有し、フランジ面部５４ａは、チューブ保持溝５２を塞ぐ形態でチューブ５３とシール板３２との間に存在し、チューブ５３の膨張によってシール板３２に押し付けられる。押さえ枠５４のフランジ面部５４ａがシール板３２と接触する面にはスライドプレート５５が貼り付けられている。スライドプレート５５は、特に摩擦係数の少ない材質が選択される。たとえばフッ素系樹脂などが摩擦係数を低減させるためには効果ある。
【００３８】
これにより加工槽７がＸ軸移動すると、シール板３２とスライドプレート５５との間で相対移動が起こり、摩擦力が作用する。この摩擦力によってシール板３２が連れ動きしないよう、シール板３２は連結部材３５によってベット１に係止されている。
【００３９】
チューブ５３は配管５６によって圧力源５７に接続されており、チューブ５３には配管５６の途中に設けられた圧力調整弁５８、５９あるいは６０により圧力制御された流体圧が供給される。圧力調整弁５８、５９、６０は、互いに並列に接続され、それぞれ異なる圧力設定値を有しており、数値制御装置６１からの指令によって選択されることにより、チューブ５３に供給する流体圧を変更することができる。
【００４０】
シール板３２は外周縁部に加工槽７側に向かって折り曲げられた折曲片部３２ａを有しており、支持ローラ３３は上縁部の折曲片部３２ａを下側より受けることによりシール板３２を落下しないように支持している。なお、シール板３２は押さえローラ３４により加工槽７より遠ざかる方向への移動を制限されている。シール板３２には蛇腹３８が接続されており、加工液は蛇腹３８内を通ってコラム１０より接続部まで滞留することになる。
【００４１】
つぎに上述の構成によるシール構造の動作について説明する。チューブ５３には圧力源５７により圧力調整弁５８、５９あるいは６０のいずれかにより圧力設定された流体圧が供給され、この流体圧によりチューブ５３がチューブ保持溝５２内において膨張する。これによりチューブ５３は押さえ枠５４をシール板３２へ向けて押すことになり、この結果、スライドプレート５５がシール板３２の内面に接するようになる。
【００４２】
この接触圧力は、摩擦係数と加工液の漏れ量を考慮して決定され、漏れが完全無い状態まで圧力を上げる必要はなく、漏れた加工液は漏洩加工液回収樋３９にて回収されるため、必要最低限の圧力でよい。
【００４３】
加工液は押さえ枠５４と加工槽７との隙間から外部へ漏れようとするが、チューブ５３の底部は接着剤によりチューブ保持溝５２の底部に固定され、チューブ５３自身によってもシール可能なため、ここからは漏れることはなく、またチューブ５３の頭部は押さえ枠５４のフランジ面部５４ａに十分接触するため、ここに加工液が漏れるような隙間は生じない。このため、加工液は相対滑りするシール板３２とスライドプレート５５との接触移動面から僅かに漏れるだけとなり、かりに漏れても、加工液は漏洩加工液回収樋３９に入って十分回収可能である。
【００４４】
この状態で、加工槽７がＸ方向（図３で見て上下方向）に移動すると、スライドプレート５５はシール板３２に対して相対的に滑りながら移動する。水圧は内部より作用し、最初にシール板３２を外側へ変形させるよう作用する。薄板によるシール板３２は水圧によって反るが、チューブ５３には圧力が常時作用しているため、その変形に追従して膨張し、押さえ枠５４が押されるため、スライドプレート５５がシール板３２にしっかり密着した状態が維持される。これにより、水圧によるシール板３２の変形に拘わらず、常に安定した状態で加工液の漏洩を防止するシールが可能となる。
【００４５】
また、加工槽７における加工液の水位の上昇とともにシール板３２に作用する水圧は大きくなるが、同時にチューブ５３に供給する流体圧をそれに応じて高く設定することにより、加工液の高さに応じて加工液の漏れ量を一定にすることが可能である。
【００４６】
また、圧力調整弁を、圧力調整弁５８、５９、６０と云うように、複数個準備し、それに対応する指令コードを準備すれば、数値制御装置６１からの指令により任意にチューブ５３の供給圧力を制御できる。これは、たとえば、特に高精度を必要とする加工を実施する場合には、加工液の漏れを犠牲にして精度優先加工をするとか、精度を必要としない比較的ラフな加工をする場合には、加工液の漏れを制限したいとか、色々な要求に応じて数値制御装置６１からの指令により応じることが可能となり、使用条件、さらには使用環境に応じてプログラムコントロールが可能なことは便利である。
【００４７】
また、チューブ５３に作用する圧力をあらかじめ指令コードに対応して複数個準備すると共に、数値制御装置６１からの指令に応じて指令コードを任意に選択可能とし、指令コードを選択する命令を機械の送り系のバックラッシュあるいはロストモーションを評価する物理量に応じて決定するようにすれば、摩擦抵抗が増大し、送り系のバックラッシュが増大して精度が低下しても、それに対応してチューブ５３の圧力を低下させ、摩擦抵抗を軽減させることにより、精度維持が可能となり、使用時間の経過からくる時間的変化にも十分対応できることになる。
【００４８】
このことはきわめて重要なことであり、従来であれば、定期的な保守点検により、あるいは分解清掃などにより一定の抵抗になるよう管理する必要が有ったが、このシステムを使用すれば自動化でき、保守の費用も不要で、機械の稼働率を上げることが可能となる。
【００４９】
また、上述の構成によるシール構造では、シール板３２の外周縁部に、９０度、加工槽７側に折り曲った折曲片部３２ａがあることにより、これが加工液飛散防止カバーとして機能し、シール部の上部あるいは両側において加工液が漏れても加工液が外部に飛散することがなく、下部に設けられた漏洩加工液回収樋３９へ集められ、結果として、全量、加工液タンクに回収されることになる。
【００５０】
上述の構成によるシール構造では、従来のごとくＯリング等のパッキンを必要としないから、消耗品が廃止され、定期的な交換などの点検および分解作業を完全に省略できる。また、シール板３２および押さえ枠５４は、樹脂でなく、耐食性のあるステンレス材などで構成できるため長期間使用に耐え、また、たとえ加工粉が侵入しても傷が付き難い。
【００５１】
また、シール板３２の外縁部に折曲片部３２ａがあることにより、シール板３２を落下させないための支持ローラ３３による支持が容易となり、落下防止のための特別の配慮をする必要がなくなる。
【００５２】
実施の形態２．
図４〜図６は、この発明によるワイヤ放電加工装置の実施の形態２を示している。この実施の形態では、加工槽７に側壁にプレート７１が貼り付け固定されている。プレート７１にはＸ軸方向に長い長孔（下部アーム貫通孔）７２が形成されている。プレート７１の両側には内側シール板７３と外側シール板７４とが配置されている。内側シール板７３と外側シール板７４とはプレート７１の厚みとほぼ同一の厚みを有するリング状のスペーサ７５により固定連結されていており、スペーサ７５の内側には下部アーム１５が通り、外側にはプレート７１との間に閉じた空間７６を画定する。
【００５３】
換言すれば、加工槽７に固定の長孔付きのプレート７１はリング状のスペーサ７５により相互に固定連結された内側シール板７３と外側シール板７４により挟まれており、加工槽７のＸ軸方向に移動によりこれらに対して摺動し、スペーサ７５は内側シール板７３と外側シール板７４を伴って長孔７２内を相対的に変位させることになる。
【００５４】
外側シール板７４の上縁部および両側縁部は斜め外側に折り曲げられており、この傾斜折曲片７４ａは漏れ出た加工液のガイド板の役目を果たす。これにより、特に外側シール板７４の上部より漏れた加工液は両側へ導かれ、下側の漏洩加工液回収樋３９にて回収される。
【００５５】
内側シール板７３と外側シール板７４とスペーサ７５との組立体は、外側シール板７４より出された金具７７がベッド１より出された支持板７８と軸７９により連結されていることにより上下方向および左右方向（加工槽７の移動方向）に動かないようにベッド１より支えらている。
【００５６】
以上の構成において、加工槽７がＸ方向に移動すると、プレート７１が内側シール板７３と外側シール板７４に対して相対的に滑りながら移動し、スペーサ７５を挟んで空間７６の一方は小さくなり、もう一方は大きくなる。
【００５７】
加工槽７内の加工液による水圧は内部より作用し、加工液は最初にプレート７１と内側シール板７３との間に構成される微少な隙間に侵入する。隙間による圧力損失により加工液の水圧は減少し、漏れた加工液は空間７６内に到達する。空間７６内に到達した加工液は、さらにプレート７１と外側シール板７４との間に構成される微少な隙間を通って外部へ漏れ出る。漏れた加工液は漏洩加工液回収樋３９により回収される。
【００５８】
上述の空間７６内に到達した加工液はプレート７１と外側シール板７４との間の全周方向より外部に向かって漏れるが、外側シール板７４の上縁部および両側縁部には斜め傾斜して折り曲げられた傾斜折曲片７４ａがあることにより、漏れた加工液を導く樋の作用を働き、外側シール板７４の上部より漏れた加工液は両側へ導かれ、下方の漏洩加工液回収樋３９において全量回収される。このため、飛散防止用のカバーを小さくでき、漏洩加工液回収樋３９も小型化できる。
【００５９】
水位の上昇とともに、内側シール板７３に作用する水圧は大きくなるが、この水圧によって内側シール板７３をプレート７１に押し付ける力が比例して大きくなり、シール効果を増長させる。この結果として隙間より漏れ出る加工液の量は減少する。
【００６０】
リング状のスペーサ７５の厚みはプレート７１の厚みとほぼ同一の寸法であるから、プレート７１を両側から強く押し付けることがないため、シール部に作用する抵抗は水圧による内側シール板７３とプレート７１との間の摩擦力だけによるものになる。
【００６１】
また、従来のごとくローラによるシール板のガイドを必要としないため、構成が簡単になり、Ｏリングも必要としない。このため消耗品が廃止され、定期的な交換などの点検および分解作業を完全に省略できる。さらに、プレート７１、内側シール板７３、外側シール板７４は、樹脂で構成する必要はなく、耐食性のあるステンレス材などで構成できるため長期間使用に耐え、たとえ加工粉が侵入しても傷が付き難い。
【００６２】
実施の形態３．
図７は、この発明のワイヤ放電加工装置の実施の形態３を示している。なお、図７において、図４に対応する部分は、図４に付した符号と同一の符号を付けて、その説明を省略する。
【００６３】
この実施の形態では、加工液タンク８０よりポンプ８１によって汲み上げられた加工液を配管８２によって空間７６内に導くようになっている。空間７６内に供給する加工液の圧力は加工槽７の水圧より高めに設定し、空間７６内に流入された加工液は加工槽７内および外部へ漏れ出るようにする。
【００６４】
これにより、内側シール板７３とプレート７１との間、および外側シール板７４とプレート７１との間にできる微少な隙間に水圧が作用し、内側シール板７３、外側シール板７４をそれぞれ両側へ少し押し開くことになり、機械的な接触が減少し、シール部での抵抗が大きく減少する。
【００６５】
この結果、加工槽７の送り誤差は大きく改善され、送り精度が向上すると共に、加工液の漏洩を防止するシールも併せてできることになる。なお、シール効果を向上させるため、図示しないが、内側シール板７３とプレート７１との間の間隙や、外側シール板７４とプレート７１との間の隙間に１個以上の溝を設けることにより、ラビリンス効果を持たせることもできる。
【００６６】
実施の形態４．
図８、図９は、この発明によるワイヤ放電加工装置の実施の形態４を示している。なお、図８、図９において、図１３〜図１５に対応する部分は、図１３〜図１５に付した符号と同一の符号を付けて、その説明を省略する。
【００６７】
この実施の形態では、ベッド１上に固定された２個のブラケット９１よりＸ軸方向に移動可能に支持されたガイドバー９２が設けられ、ガイドバー９２の両端に接続されているシール側連結アーム９３、９４によってガイドバー９２の両端とシール板３２の両端とが固定連結されている。
【００６８】
ガイドバー９２の両端近傍にはテーブル側連結アーム９５、９６の一端が固定されている。テーブル側連結アーム９５、９６はそれぞれＹ軸方向に延在しており、、各テーブル側連結アーム９５、９６の先端部には連接棒９７、９８の基端部が固定されている。連接棒９７、９８はそれぞれＹ軸方向に延在しており、連接棒９７はＸ軸テーブル３の一方の端面に当接し、連接棒９８はＸ軸テーブル３の他方の端面に当接している。連接棒９７、９８はそれぞれ先端部でＸ軸テーブル３の端面に接触するだけで、固定接続されていない。
【００６９】
なお、この実施の形態における加工槽シールは、実施の形態１における場合と同等に、チューブ５３により行われる。
【００７０】
上述のような構成により、Ｘ軸テーブル３がＸ軸方向に移動すると（ここでは、図８で見て上側に移動したとする）、Ｘ軸テーブル３の移動方向前側の端面によって移動方向前側の連接棒９７が押され、この移動力がテーブル側連結アーム９５によってガイドバー９２に伝達される。
【００７１】
ガイドバー９２は２個のブラケット９１より支持されているため、作用力は直進運動に規制され、ガイドバー９２がＸ軸テーブル３のＸ軸方向の移動に伴ってＸ軸方向に移動する。この移動はシール側連結アーム９３、９４によってシール板３２に伝えられ、この結果、シール板３２がＸ軸テーブル３のＸ軸方向の移動に同期してＸ軸方向に移動する。
【００７２】
シール板３２のＸ軸方向の移動に伴い発生する摩擦力は、当然、Ｘ軸テーブル３のＸ軸送り系に作用するが、この摩擦力は、Ｘ軸ボールねじ５の軸線方向にしか作用せず、Ｘ軸テーブル３に曲げモーメントとして作用しない。これは、連接棒９７、９８が単なる接触状態でＸ軸テーブル３に当接し、Ｘ軸テーブル３にＸ軸方向の反力しか伝えないからであり、これをＸ軸テーブル３に剛固に固定すると、従来と同様に、Ｘ軸テーブル３に曲げモーメントが作用することになる。
【００７３】
シール板３２の摩擦抵抗が送り系に作用し、送り系の弾性変形によりロストモーションの発生があるが、Ｙ軸位置により誤差が異なるヨーイングの発生がないため、ロストモーションはバックラッシュ補正などの手段で解決できる。
【００７４】
さらに、負荷に見合ったサイズの送りねじを採用すれば、さらに改善できることは自明である。要するにＸ軸テーブル３に曲げモーメントを、どのように作用しないようにするかが重要で、摩擦抵抗の大小は大きな問題ではない。ガイドバー９２は軽く動く必要があり、ブラケット９１によるガイドバー９２の支持には、ボールブッシュやメタルスリーブの採用などは当然のことである。
【００７５】
実施の形態５．
図１０は、この発明によるワイヤ放電加工装置の実施の形態５を示している。なお、図１０において、図８に対応する部分は、図８に付した符号と同一の符号を付けて、その説明を省略する。
【００７６】
この実施の形態では、一方のＸ軸カイド２に２個のスライダ９９、１００がそれぞれＸ軸方向に移動可能に設けられ、このそれぞれにテーブル側連結アーム９５、９６と連接棒９７、９８の連結体が固定接続されている。スライダ９９、１００は連結棒１０１により相互接続され、連結棒１０１の両端がシール側連結アーム９３、９４によってシール板３２の両端と固定連結されている。
【００７７】
この実施の形態でも、連接棒９７、９８は単なる接触状態でＸ軸テーブル３に当接し、Ｘ軸テーブル３にＸ軸方向の反力しか伝えない構造であるから、実施の形態３における場合と同様に、シール板３２のＸ軸方向の移動に伴い発生する摩擦力がＸ軸テーブル３に曲げモーメントとして作用することがなく、ヨーイングの発生がない。
【００７８】
この実施の形態では、ガイドバーの構成をＸ軸カイド２の一部と供用することが可能であり、この構成にすれば、部品点数を大きく削減することができる。
【００８６】
【発明の効果】
以上の説明から理解される如く、この発明によるワイヤ放電加工装置によれば、加工槽の側壁に、送り軸方向に長い下部アーム貫通孔が形成されたプレートが固定され、シール板が加工槽の内側に存在し前記プレートに面接触する内側シール板と加工槽の外側に存在し前記プレートに面接触する外側シール板により構成され、加工液の圧を利用してシール効果を得るから、構成簡単にして加工槽シール部に発生する抵抗を押さえて送り精度を改善でき、またシール部の加工粉の蓄積などによる経時的な抵抗増大変化を減少させることができる。また、加工液の水位の上昇に比例して作用する水圧を利用してシール効果を高めることができ、また従来のようにパッキンなどを使用することがないため摩損部品がなく、保守点検などの作業が大きく低減できる。また、スペーサにより隔置されている内側シール板と外側シール板との間の空間に加工液を供給するから、液圧により内側シール板と外側シール板をそれぞれ両側へ少し押し開くことになり、機械的な接触が減少し、シール部での抵抗が大きく減少する。この結果、加工槽の送り精度の向上が大きく期待できる。
【００８７】
つぎの発明によるワイヤ放電加工装置によれば、外側シール板の外周縁部に斜め外側に折り曲げられた傾斜折曲片が設けられていることにより、傾斜折曲片が漏れ出る加工液の樋として作用するから、回収樋の小型化や飛散防止用の部材の削減などにより部品構成を簡単にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるワイヤ放電加工装置の実施の形態１の要部を示す平断面図である。
【図２】この発明によるワイヤ放電加工装置の実施の形態１の要部を示す縦断面図である。
【図３】この発明によるワイヤ放電加工装置の実施の形態１の要部を示す拡大断面図である。
【図４】この発明によるワイヤ放電加工装置の実施の形態２の要部を示す平断面図である。
【図５】この発明によるワイヤ放電加工装置の実施の形態２の要部を示す縦断面図である。
【図６】この発明によるワイヤ放電加工装置の実施の形態２の要部を示す別の縦断面図である。
【図７】この発明によるワイヤ放電加工装置の実施の形態３の要部を示す平断面図である。
【図８】この発明によるワイヤ放電加工装置の実施の形態４の要部を示す平断面図である。
【図９】この発明によるワイヤ放電加工装置の実施の形態４の要部を示す縦断面図である。
【図１０】この発明によるワイヤ放電加工装置の実施の形態５の要部を示す平断面図である。
【図１１】加工槽移動型のワイヤ放電加工装置の全体を示す概略構成図である。
【図１２】従来における加工槽移動型のワイヤ放電加工装置の加工槽シール部を示す構成図である。
【図１３】加工槽固定型のワイヤ放電加工装置の全体を示す概略構成図である。
【図１４】加工槽固定型のワイヤ放電加工装置を示す平面図である。
【図１５】従来における加工槽固定型のワイヤ放電加工装置の加工槽シール部を示す構成図である。
【符号の説明】
１ベッド，３Ｘ軸テーブル，７加工槽，１０可動コラム，１５下部アーム，３２シール板３２ａ折曲片部，５１下部アーム貫通孔，５３チューブ，５４押さえ枠，５５スライドプレート，５７圧力源，５８，５９，６０圧力調整弁，６１数値制御装置，７１プレート，７３内側シール板，７４外側シール板，７４ａ傾斜折曲片，７５スペーサ，７６空間，８０加工液タンク，８１ポンプ，９１ブラケット，９２ガイドバー，９３，９４シール側連結アーム，９５，９６テーブル側連結アーム９７，９８連接棒，９９，１００スライダ，１０１連結棒。

Claims

内部にワークテーブルを配置された加工槽とワイヤ電極の案内部を有する下部アームとが送り軸方向に相対変位し、前記加工槽の側面に送り軸方向に長い下部アーム貫通孔が形成され、前記下部アームが機体より前記下部アーム貫通孔を貫通して加工槽内に突入し、前記下部アーム側に前記下部アーム貫通孔のシールを行うシール板が設けられた加工槽シール構造を有するワイヤ放電加工装置において、
前記加工槽の側壁に、送り軸方向に長い下部アーム貫通孔が形成されたプレートが固定され、
前記シール板が加工槽の内側に存在し前記プレートに面接触する内側シール板と加工槽の外側に存在し前記プレートに面接触する外側シール板により構成されて前記内側シール板と前記外側シール板とがリング状のスペーサにより連結され、前記スペーサ内を前記下部アームが貫通し、
前記スペーサにより隔置されている前記内側シール板と前記外側シール板との間の空間に加工液を供給することを特徴とするワイヤ放電加工装置。
前記外側シール板の外周縁部に斜め外側に折り曲げられた傾斜折曲片が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のワイヤ放電加工装置。