JPH08146088A - 集積回路の自動試験方法及び装置 - Google Patents

集積回路の自動試験方法及び装置

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JPH08146088A
JPH08146088A JP6151257A JP15125794A JPH08146088A JP H08146088 A JPH08146088 A JP H08146088A JP 6151257 A JP6151257 A JP 6151257A JP 15125794 A JP15125794 A JP 15125794A JP H08146088 A JPH08146088 A JP H08146088A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ガリウムヒ素集積回路によりパターンバース
トをディジタル的に生成することにより、改善された集
積回路自動試験装置を提供する。 【構成】 電圧トレースを変更するように構成された複
数のプログラム可能指令手段を有するルックアップ・パ
レット46を組み込んで、バースト波形を生成し試験結
果を評価するガリウムヒ素バースト集積回路160が試
験すべきデバイス10に接続される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、集積回路(IC)の試
験(テスト)に関し、特に大規模集積(VLSI)回路
の自動テストにおける関する。
【0002】
【従来の技術】従来技術において、幾つかの端子に電気
的バーストを送って、結果として得る端子出力を選択さ
れた基準と比較することにより、VLSIチップを評価
する自動テスト装置(automatic test
equipment;ATE)を提供することは既知で
ある。
【0003】また、ATEのアナログ回路(例えば、ド
ライバおよびコンパレータ)にガリウムヒ素(ヒ化ガリ
ウム)チップを使用することも既知である。
【0004】特にタイミング発生器において生じる遅延
をバースト内の周期毎に変化させることによりドライバ
のエッジ・ポジショニング(positioning)
をシリコンにおいて作ることは既知である。
【0005】更に、シリコンの従来技術において、時に
付加的補正回路を含む複雑かつ高価なIC回路により、
バーニア(vernier)が与える改善された精度を
用いてタイミング発生器により生じる遅延をより正確に
することは既知である。
【0006】更にまた、DUT(テストされるデバイス
(device under test))端子におい
て要求されるエッジ遅延が各チャンネルに対して共線的
(colinearly)に、コンピュータにおける指
令に直線的にそして直接的に応答するように、従来のシ
リコンATE技術において、ICの内部に精巧な較正回
路を提供することは既知である。
【0007】最後に、シリコンATE技術において、特
別の(例えば、「奇数/偶数の」)タイミング発生器を
用いることにより、ある周期より大きな長さの選択され
た遅延のDUT端子エッジを作ることは既知である。
【0008】
【発明が解決しようとする課題および課題を解決するた
めの手段】ガリウムヒ素ICにおいてパターン・バース
トをディジタル的に生成して比較することにより、改善
されたATEおよび方法が提供されることが発見され
た。
【0009】本発明の別の特徴においては、DUT端子
における所望のバースト波形が、実際には、パレット
(palette)を構成する複数の周期波形をバース
ト間にタイミング発生器に設定することによって容易に
供給され、そのパレットから連続的な選択によりDUT
端子ドライバおよびコンパレータの波形が形成される。
各周期ドライバ波形は予め定めた数(ゼロを含む)の立
上がりエッジあるいは立下がりエッジを含み、特定の周
期ドライバ波形における特定のこのようなエッジがタイ
ミング発生器により提供され、各周期コンパレータ波形
が比較される電圧レベルとタイミング発生器を介して与
えられるエッジとを含み、このタイミング発生器はバー
スト間のみで設定でき、所望のパレット波形の選択がパ
ターン・メモリーにより各周期毎に与えられる。
【0010】別の特徴において、各セットが共働するコ
ンピュータ・プログラム可能なレジスタと、マルチプレ
クサと、パルス変調器とを含む複数のセットを含み、こ
れらの3つは1つのセットとして、または複数即ち多数
のセットとして、パルス変調器における選択された波形
形成動作を指令するように働く。
【0011】別の特徴においては、プログラムされる遅
延の設定の処理における直接的なソフトウエアの使用に
より、ICに複雑かつ高価な回路を含むことなく、選択
された波形エッジが、予め定めた数のクロック・サイク
ルと予め定めた数の半クロック・サイクルと半クロック
・サイクルより小さな予め定めたバーニアが与える時間
との和に選択的に対応する時間だけ遅延されて、および
余分なタイミング発生器を用いることなくそれぞれ予め
定めた数のクロック・サイクルを含む予め定めた数の周
期を含むことにより、遅延が増加されることが判った。
【0012】別の特徴においては、それぞれが1つのタ
イミング・イネーブル・レジスタとの1つ以上の接続を
有する多数のタイミング発生器が選択的に提供され、特
定のタイミング発生器をパルス変調器によって始動(点
弧)させまたは始動させない、あるいは特定のタイミン
グ発生器を回路全体のコンパレータ部分に用いられるよ
うにこのタイミング発生器をオーバーライドする信号を
提供する。
【0013】別の特徴においては、本発明は、可能な限
り遅延を短縮することにより、また測定された予調整
(pre−match)遅延(クロックに対して)およ
び後調整(post−match)(バーニアによる)
遅延を処理して残る遅延エラーを最小化するためソフト
ウエアを用いることによって、変動し得るデューティ・
サイクル(時間的な周期の幅に対する波形の幅の割合)
と周波数によるガリウムヒ素における変動し得る遅延の
影響を、バースト間に含み、かつ(例えば、バーニアの
前段の整合ブロックではなく)バーニアの後段のパルス
変調器にパレット・データを導入することを含み全体に
わたりバーニアの動作を保持することにより補償する。
【0014】
【実施例】以下、本発明の望ましい実施例について説明
する。
【0015】構造 望ましい実施例においては、テストのための集積回路
は、ピンと電気的に接続されてハウジング内に取付けら
れ、しばしばテスト中のデバイス(DUT)と呼ばれ
る。
【0016】図1に示されるように、512ピンを有す
るDUT10が、DUTのピンと相互に嵌合するような
配置およびサイズを有する512ソケットを有するデバ
イス・インターフェース・ボード(DIB)12に収受
されている。DIBに対しては、64個のチャンネル・
カード(CC)14を介してバックプレーン16が電気
的に結合され、このバックプレーンは更にコンピュータ
18に電気的に結合されている。
【0017】コンピュータ18は、無論、2種類のソフ
トウエア、即ち、DUTの2つ以上のモデルと共に使用
される汎用ソフトウエアと、テスト中のDUTの特定モ
デルに関する特定ソフトウエアとを含む。望ましい実施
例においては、この2種類のソフトウエアは、1つの磁
気ディスクの2つの部分としてDUTの各個のモデルに
対して存在する。
【0018】バックプレーンは、所定の出力を200な
いし300メガヘルツ(MHz)の範囲(必要に応じ
て、更にある波形エッジ遅延調整を可能にするように提
供された範囲)内の周波数で送るようにプログラムされ
ることを可能にする分割比を有する、フェーズロック・
ループ(PLL)タイプのクロック20を含み、本文に
述べる望ましい実施例の動作においては、250MHz
にセットされている。
【0019】ガリウムヒ素バースト集積回路、あるいは
バースト波形生成およびその結果の評価チップ(バース
ト・チップ;BC)160(図1および図2乃至図4)
が、DUTにおける各ピンに対して(即ち、またテスト
装置の対応するチャンネルまたはスライスの各々に対し
ても)専用化されている。このバースト・チップ160
は、標準的なセル設計の方法論および直結FETロジッ
ク(DCFL)を用いて設計される。このBCは、大き
さが5mm×8mmであり、消費電力は僅かに5ワット
である。各BCは、スルーホールおよび面実装の混合技
術(図示せず)を用いて、各々がヒート・シンク下方に
ありかつ10層の回路板チャンネル・カード上にある7
つの他のものとと共に164ピンのセラミック・クワッ
ド・フラット・パック(quad−flat pac
k)内にパッケージされている。図2、図3および図4
は一緒に本発明によるBC160(あるいは、160
a、160b、160c)のブロック図である。但し、
各BCにおける8つのタイミング発生器(以下本文にお
いて、詳細に説明する)の僅かに1つが図3に示され、
他は例えばT3またはT8と呼ばれる。(コンピュータ
18は、明らかになるように、このBCの種々の構成要
素と共働するようにバスが設けられている(図示せ
ず)。)各CCは、8つのBC160を含んでいる(例
えば、BC64(a〜h))。
【0020】パワー「オン」ボタンが押される時から機
能するクロック即ち発振器20が、クロック・コンディ
ショナ22(図2)へ信号を送り、このコンディショナ
が周期カウンタ23に送信し、このカウンタが更に、周
期レジスタ24における予めセットされたカウント時に
「周期の開始(BOP)」信号をクロック・コンディシ
ョナ22へ送る。この信号もまたあるいは代替的に、全
てのチャンネルに対して同時に、「テスト」の開始と同
時に(以下に述べるように)最初の立上がりエッジと同
時に送られ、OR動作遷移検出器が、全てのチャンネル
にクロックをゼロにリセットするよう指令して、周期レ
ジスタ24がカウントを終了するか、さもなければ「テ
スト」が開始される時、次のクロック・パルスと同時に
BOPパルスを送出する。クロック・コンディショナ2
2は、発振器20を動作させる早期(early)カウ
ンタ26と、クロック・コンディショナ22において反
転された発振器20の波形を実行する後期(late)
カウンタ28の双方へBOP信号を送って、波形の前エ
ッジを時間的に180°だけ遅らせる。
【0021】各BCはそれ自体に、各々が対で(即ち、
タイミング発生器「TG」毎に1対ずつ)配置されたク
ロック・マルチプレクサ30とカウント・マルチプレク
サ32とを持つ8つのタイミング発生器160b(その
1つが図3に示される)を有し、各対(1カウントおよ
び1クロック)がそれ自体の8つの早期/後期レジスタ
34に連動されて、コンピュータにより各レジスタ毎に
与えられる早期または後期のいずれかの設定が各対の連
動マルチプレクサ30、32を両方の早期(「後期」設
定と比較して)あるいは両方の後期のいずれかにさせる
ようにする。
【0022】各BC160は、8個のマッチ(整合)要
素36と、8個のバーニア38(各々が1つの粗バーニ
アと1つのバーニアとを含み、かつそれぞれ関連する粗
レジスタ40と微細レジスタ42とを含む)と、8個の
パルス変調器44とを含み、ならびに8個のパレット・
ルックアップ46と、8個の第1のパイプ48と、8個
のパイプ・レジスタ52と連動された4個の第2のパイ
プ50(TGの5〜8)とを含んでいる。
【0023】構造の他の特徴については、望ましい実施
例の動作の論述に関して適宜記述される。
【0024】動作 コンピュータが、パターン・メモリーを約10分を必要
とするなにかを自動的にロードする。この時間中、コン
ピュータはまた全てのレジスタをプログラムし、障害捕
捉メモリー(以前のテストにより設定されたもの全て)
をクリヤし、パターン・メモリーに最初のバーストで使
用する最初のアドレスをセットし、所定のレベルをドラ
イバ、デュアル・コンパレータおよびI−ロードにセッ
トして、これらの全てに図示しないバスにより接続され
る。
【0025】クロックが、以下に述べる動作においてパ
ワー「オン」ボタンが押される時から、250MHzの
出力を提供する。
【0026】先に述べたように、このクロック出力は、
ファンアウト(fan out)され、種々の段階でバ
ッファされ、かつクロック・コンディショナ22へ導入
され、ここでこの出力は3つの出力ライン60、62、
64の各々へバッファ(電力増幅)され、更に(「後期
クロック」を与えるため)この3つのラインの1つに対
して180°だけ遅れさせられる。
【0027】単にバッファされたクロック出力ライン6
0の1つは、クロック・コンディショナから周期カウン
タ23へ進み、この周期カウンタへは周期レジスタ24
から、調時において使用される「周期」(整数個の発振
器20の360°のサイクル:「サイクル」)に対して
選択されたサイクル数カウントも送られる(かつ、既に
述べたように、コンピュータ18により周期レジスタ2
4に対して導入される)。周期カウンタ23が周期レジ
スタにおいてセットされたサイクル数までカウントする
と、この周期カウンタは高い前エッジを持つパルス(周
期の始め、即ち「BOP」パルス)を生じ、この周期カ
ウンタをゼロにリセットし、このBOPパルスを線66
により再びクロック・コンディショナへ送出する。
【0028】前記BOPパルス(実際に、周期レジスタ
によりゲートされたクロック・サイクル)はクロック・
コンディショナにあり、次に(それぞれ、ライン68お
よび70により)2つの出力パルスに形成され、これら
パルスの1つはクロックの各々でクロックされ、他の1
つは後期クロックでクロックされて、後期クロック(B
OPL)でクロックされたものの前エッジが他方(BO
PE)の前エッジより半サイクルだけ時間的に遅れるよ
うにする。BOPLは、早期クロック62におけるBO
PEと同様に、後期クロック出力64のパルスと同期し
ている。
【0029】また、クロック・コンディショナ22から
は、先に述べたバッファされたクロック出力、早期(O
SC E)が出現し、他はそれぞれライン62、64に
おける後期出力(OSC L)である。
【0030】BCの9ワイヤ・ライン300が早期カウ
ンタ26に出力し、カウント・マルチプレクサ32に入
力し、9ワイヤ・ライン302が後期カウンタ28に出
力し、かつカウント・マルチプレクサ32を入力し、O
SC Eライン62がクロック・コンディショナ22か
らクロック・マルチプレクサ30へ出力され、OSCL
ライン64がクロック・コンディショナ22からクロッ
ク・マルチプレクサ30へ出力され、BOPライン30
4がクロック・コンディショナ22から入力されてパイ
プ48へ出力され、ライン306を介してパレット・ル
ックアップ46へ出力され、データ・シリアライザ96
からパレット・ルックアップ46へ出力されることが判
る。
【0031】BOPEの早期カウンタに達すると、この
カウンタの次のクロックの前エッジで0へリセットし、
これと同時に早期に記録されたカウント・マルチプレク
サを介して早期サイクルのカウントを開始する。同時
に、早期クロックが、早期に記録されたカウント・マル
チプレクサを通過する。8個(例えば、TG 1)の内
の1つの早期/後期(E/L)レジスタ34が例えば
「早期」にセットされ、またTG 1のカウント・レジ
スタ54が例えば3にセットされるならば、早期カウン
タがTG 1クロック・マルチプレクサ30を3つのサ
イクルが通過したことを意味する3までカウントする
時、TG 1整合要素36が、対応する(TG1)のク
ロック・マルチプレクサ30のTG 1バーニア38へ
の通過を増幅的にゲートする。この整合機能は、排他的
OR(X−OR)ゲートを用いてカウント値とカウント
・レジスタに含まれる値との間の比較を行う。BOPL
は、BOPEが早期カウンタに達する時より半カウンタ
遅く後期カウンタに達し、同様に、後期に記録されたど
れかの対の連動マルチプレクサ(例えば、TG 2にお
ける)および3が信号がその(TG 2の)整合要素を
経てTG 2のバーニアに達することを許容する。
【0032】E/Lレジスタ34の1乃至8(例えば、
E/L 1)、クロック・マルチプレクサ30の1乃至
8(例えば、CM 1)、カウント・マルチプレクサ3
2の1乃至8(例えば、Co.M 1)、カウント・レ
ジスタ54の1乃至8(例えば、Co.R 1)、整合
装置36の1乃至8(例えば、MI)、バーニア38の
1乃至8(例えば、VI)、粗レジスタ40の1乃至8
(例えば、CR 1)、および微細レジスタ42の1乃
至8(例えば、FR 1)の8セットが、他の要素を、
それぞれがその対応する数の要素(例えば、E/L
1、CM 1およびCo.M 1;M1;およびV1、
FR 1)をそれぞれ有する8×8回反復されるタイミ
ング発生器(TG 1乃至TG 8)に提供する。
【0033】1つのパルスが、各周期中に各タイミング
発生器により生成される(そのカウント・レジスタが周
期レジスタより高く設定されなければ。このことは通常
は無意味である)。早期クロックおよびカウンタが特定
のタイミング発生器に対して選定されたならば、早期カ
ウンタにより生じる遅延と対応する時間における1つの
サイクルの前エッジと同期されるパルスの前エッジが各
バーニアに入る。
【0034】バーニアに対する4本のワイヤを持つ粗レ
ジスタは、バーニアの遅延に、各々が約300ピコ秒で
ある0乃至15ステップの遅延の粗レジスタにおける設
定を提供し、また各々が約25ピコ秒である0乃至31
ステップの微細レジスタにおける設定を提供するため、
そのレジスタにおいてバーニアにより設定可能である。
【0035】図12は、バーニアを示している。
【0036】整合要素36からのライン150は、32
個の抵抗が並列に接続されたライン154に対して増幅
器152においてバッファされ、抵抗はそれぞれ、最も
低い抵抗156のそれぞれ2倍、3倍、および32倍ま
でである。各抵抗と接地との間にはキャパシター(コン
デンサ)158が接続され、全てのキャパシターが同じ
キャパシタンスを有する。並列ライン159がマルチプ
レクサ162に入り、各ライン159がR156の値の
少数倍のその前段よりも約25ピコ秒の遅延を生じ、マ
ルチプレクサ162が選択されたものを伝送するように
設定されて、バーニアの結果を提供する。
【0037】次に、この結果はライン164を経て粗バ
ーニアへ移動し、ここでマルチプレクサ166が所要の
遅延経路を、もし遅延がなければ、ライン168を、ま
た300ピコ秒であれば、ライン174を選択するよう
に設定され、各々が150ピコ秒の遅延を生じて合計3
00ピコ秒となる2つの増幅器インバータ172を含
む。600ピコ秒の遅延を得るには、ライン176がマ
ルチプレクサ166へ、、、の如くライン168に加え
て合計15ラインまで設定され、4500ピコ秒までの
遅延に対してはバーニアのこの粗部分となる。
【0038】製造時のばらつきに対して補正するためソ
フトウエアがバーニア各部と共に適切に使用されるとい
うことが発見されたので、数値25および300ピコ秒
は単なる目標数字に過ぎず、数十%変動し得る。
【0039】クロック20と共に、これまでに動作につ
いて論述された全ての要素は、バーストを生じるため
「テスト」信号が与えられなくとも、バックプレーン電
力を投入してから連続的に機能する。
【0040】バースト前およびバースト間に機能する正
確な方法で、タイミング発生器の諸要素が伝送するドラ
イバのトレース整形エッジ(バーニアをまっすぐに通
る)のバースト前およびバースト間の動作を規定するこ
とは、各タイミング発生器のこれら部分による遅延の非
常に大きな一定性を提供し、BC外でソフトウエア内の
本発明の一部である新規な遅延補正のモードを助長す
る。
【0041】当技術において周知の如く、コンピュータ
によりレジスタに設定される予め定めた周期カウントに
達する時にバーストが終了し、パターン発生器146か
らのバースト信号がゼロになる。当技術において理解さ
れるように、そのうちにコンピュータ・プログラムが連
続する「テスト」またはバースト信号を送出する。
【0042】(タイプすることにより「テスト」が指令
されると)コンピュータ18がパターン発生器146に
その出力をハイで送出し、テストの第1のセットのバー
ストを生じるため信号を全てのチャンネルへ送出するよ
うに指令する(この第1のセットは、以降のセットと同
様に、チャンネル毎に1つずつ512の同時のバースト
を含み、各セットにおけるバーストは、先に述べたよう
に各々が同期された同じサイクル・カウントを有する同
数の周期を有する)。
【0043】各TGパルス変調器44は、タイミング発
生器のパイプ要素48を介するパレット・ルックアップ
46(図3)からの指令に従って、当該TGの各バーニ
ア38からのパルスを通すように選択的にゲートする。
第2に、到来するパルスを2つのパルスに分け、これら
2つのパルスの一方を遅らせて反転させ、これら2つの
パルスの反転しない方を遅延され反転されたパルスで
「AND」することによって、各パルス変調器が、通過
してスパイクになるようにゲートされた各パルスの形状
を再整形する。第3に、各タイミング発生器のパルス変
調器が、図4の単一のタイミング発生器イネーブル・レ
ジスタ(TER)200と共働し、このレジスタが、以
下で判るように12ビットのリード202を経て前記パ
ルスと接続する。
【0044】図3および図4において、12ワイヤのラ
イン202がパルス変調器44とTER200を結合
し、ライン252および250がパルス変調器とドライ
バ・フォーマッタ208を結合し、ライン310がバー
ニア38とコンパレータ・フォーマッタ128を結合
し、ライン312がパルス変調器とコンパレータ・フォ
ーマッタを結合し、ライン314がパルス変調器と故障
捕捉メモリーを結合する。
【0045】パルス変調器44から送られたパルスは全
て、図5に部分的に示される単一のドライバ・フォーマ
ッタ208へ移動する。奇数番目のタイミング発生器
(TGの1、3、5および7)からのラインは第1のO
Rゲート72に達し、このゲートからの出力はS−R
(セット−リセット)フリップフロップ80の(ハイに
なる出力電圧を指令する)「設定」端子74に至る。偶
数番目のタイミング発生器2、4、6、8からのライン
は第2のORゲート76に達し、このゲートから同じフ
リップフロップ80のリセット端子78に至る。いずれ
か一方のORゲートに至るラインがスパイクを含む(8
つのラインのうちの唯1つのラインは、正常動作におい
て如何なる時もスパイクを含む)ならば、その出力線の
スパイクがセット(奇数)端子またはリセット(偶数)
端子のいずれかをそれぞれ動作させる。S−Rフリップ
フロップ80の出力が従来のATEピン・ドライバ82
のデータ入力に入り、その8つが各チャンネルに1つず
つ各チャンネル・カード14により運ばれる。
【0046】前記ドライバ・フォーマッタはまた、僅か
に2つの入力が2つのORゲートの一方に信号を送り、
2つの他の入力が他方に信号を送ることを除いて、図5
と同じものであるオン/オフ回路(図示せず)を含んで
いる。TG 3およびTG5のパルス変調器からの出力
は、S−Rフリップフロップの設定端子を制御するOR
ゲートに対する入力であり、これらTG 4およびTG
6からの出力は、フリップフロップのリセット端子を
制御するORゲートに対する入力である。もしどれかの
入力が(4つの内の1つのみが同時に)スパイクを生じ
るならば、そのORゲートがスパイクを生じ、セット
(ドライバのターン・オフ)またはリセット(ドライバ
のターン・オン)のいずれかを生じる。ドライバがオン
である時はI−ロードがオフとなり、またその反対とな
る。
【0047】クロック・コンディショナ22の更に別の
機能は、BOP信号をパターン・メモリー制御装置90
へ与えることであり、この特定のBOP出力は、パター
ン発生器146からのバースト起生信号がハイでありか
つハイのままである時にのみ出力されるように条件付け
られる。このBOP信号(バーストBOP、即ち「BB
OP」)は、先に述べたようにパターン・メモリー制御
装置(PMC)90へ行き、この制御装置に対して初期
アドレスがコンピュータ18によって設定されている。
次に、PMCは、この初期アドレスをパターン・メモリ
ー92へ与え、このメモリーはチャンネル・カード14
上に各BCの外部に載置された並列接続の3つの高速の
静的なバイト幅(8ビット)メモリーからなっている。
メモリー制御装置90におけるアドレス・カウンタ(図
示せず)が、パターン・メモリー92のアドレス端子に
コンピュータにより与えられた初期アドレスに続くアド
レス(それぞれ24ビットのデータを含む)を与える。
メモリー制御装置90はまた、更に別の条件付けBBO
P、即ち、各8番目のBBOP毎に1回のみ出力される
ように更に条件付けられた「BBOPL」をラッチ94
へ送る。バーストの開始時に、BBOPLの1サイクル
の間にBBOPLがラッチをしてパターン・メモリーか
ら24ビットをコピーさせる。BBOPは、その各パル
スの間に、データ・シリアライザ96をしてラッチ94
からの3ビットのグループを連続的にコピーさせる。各
BBOPL信号において、更に別の連続するアドレスに
おける更に別の24ビットが、ラッチ94によりメモリ
ー92からコピーされる。データ・シリアライザ96
は、ラッチ94が1回充填する毎に8回充填する。
【0048】BBOP信号と同時に、BCの8つのパレ
ット・ルックアップ46の各々が、当該BCのデータ・
シリアライザ96から全ての8番目に対して3ビット次
のグループを引出す。
【0049】パレット・ルックアップ46は、BCの8
つのTGの1つ(例えば、それぞれTG 2の8に関す
るL2〜L8のようにTG 1と共に働くように配置さ
れた「L1」)に対して、図6において更に詳細に示さ
れている。今述べた3ビット出力は、3つのライン98
上を8:1開始(点弧)制御マルチプレクサ100へ送
られる。このビット入力は、マルチプレクサをしてラッ
チ104に対する点弧制御レジスタ102へプログラム
される選定された0または1間で回路を閉路させ、この
回路を経てBOPについて選定された0または1がパイ
プ48を介してパルス変調器44へ通過する。
【0050】BCの8つのTGの1つ(例えば、TG
2乃至TG 8のそれぞれにおけるP2乃至P8のよう
に、TG 1と共に働く「P1」)に対するパイプ48
が、図7において更に詳細に示される。パレット・ルッ
クアップ46の出力が入力端子106へ進み、その後に
それぞれがデータ入力Dおよび出力Qを持つ7つのD−
フリップフロップ108a〜gが直列に続いている。B
OPは、(先に述べたように、クロックではなくBOP
について矢印で示した「クロック」端子110を介し
て)各D−フリップフロップに並列に接続されている。
マルチプレクサ入力線112a〜hが、各D−フリップ
フロップ108a〜gの前および最後のD−フリップフ
ロップ108gの後に、D−フリップフロップ直列線か
らライン116上でBCにおける8つのパイプ・レジス
タ52の1つからバースト全体における適用性のためコ
ンピュータによりプログラムされた3ビット信号を受取
るように構成された8:1マルチプレクサ114の8つ
の入力122a〜hへ延在している。ラッチにおけるデ
ータを解放するBBOP後の次のBOPのパイプライン
動作が、第1のD−フリップフロップ108へ当該デー
タを導入する。マルチプレクサ114が0に設定される
ならば、データもまた直接このマルチプレクサを経て出
力端子118へ進む。マルチプレクサ114が次のBO
Pにおいて1に設定されるならば、最初のD−フリップ
フロップにあったデータが第2のマルチプレクサ・ライ
ン122bを、次いで出力端子118を移動して、1つ
の周期の遅延がこのように達成される。マルチプレクサ
における2の設定も、同様に第2のD−フリップフロッ
プ108bにおける移動を結果として生じ、2つの周期
の遅延を生じる。このように続けて、7周期までの遅延
の可能性をもたらす。
【0051】データは、パイプ出力端子118から各パ
ルス変調器44へ進み、ここでドライバ・フォーマッタ
208に対する出力の指令に際して先に述べたように、
このデータが各タイミング発生器の出力と共働し、更に
ドライバ82を経てDUTに至る。
【0052】バーストがDUTを介するその過程をとっ
た後、出力はDUT入出力線および出力線を経てデュア
ル・コンパレータへ進む。
【0053】ドライバ82およびデュアル・コンパレー
タ123は、各チャンネル毎に1つずつ、各カードに8
つずつチャンネル・カードに載置される。
【0054】各デュアル・コンパレータは、当技術にお
いて周知のように、ハイ・コンパレータとロー・コンパ
レータとを含んでいる。
【0055】各デュアル・コンパレータ123は、ほと
んど従来のコンパレータ・フォーマッタ回路の一部であ
り、この回路もまたライン134、136に達して、B
Cにおけるコンパレータ・フォーマッタ128に含ま
れ、かつ図8に更に詳細に示されるエッジ・ストローブ
回路126を含む。
【0056】従来技術における如く、デュアル・コンパ
レータは、そのハイ部分ライン134とロー部分ライン
136の各々で、DUTからの実際のリターン電圧が連
続的に比較される一定のハイ閾値電圧またはロー閾値電
圧の出力が与えられる。
【0057】図8の左方において、ラインT5、T6、
D5(ドライバに対してはT5と共に用いられるが、パ
ルス変調器ではT5で再クロックされ、パイプから送出
されるデータ)、D6(T5に対するD5の如くT6と
関連する)、B5、B6、B7、B8(それぞれT5〜
T8と共に働くようにパルス変調器において条件付けさ
れた第2のパイプからのバースト信号)、D7、D8、
T7、およびT8が降順で示される。B5およびB6
は、コンピュータが設定したレジスタ(図示せず)によ
り指令されるように選定してシフト・イネーブル信号を
第1の障害捕捉メモリー部分130におけるシフト・レ
ジスタへ与える2:1マルチプレクサ(図示せず)を含
む第1の障害捕捉メモリー130へ進む。このシフト・
イネーブル信号の機能は、バースト(パターン・バース
ト)の間にのみシフト・レジスタが進むことを許容する
ことである。B7およびB8は、それ自体の2:1マル
チプレクサおよびシフト・レジスタ(図示せず)を持つ
このような第2の障害捕捉メモリー部分132へ進む。
各シフト・レジスタは32個のD−フリップフロップを
有する。障害捕捉メモリー130、132の各々におけ
る第2のフリップフロップの出力は、別の(33番目
の)フリップフロップの設定端子に結合し、このフリッ
プフロップの出力はANDゲート258を経てORゲー
ト142の2つの入力138、140のそれぞれに接続
されている。障害フラッグ144がバッファされて、他
の511のBCの対応する出力と共にBCから「OR」
ツリーへ送られて、パターン発生器146に障害が少な
くとも1つのチャンネルに生じたことを通知して、バー
スト信号をローにさせてバーストを停止させる。コンピ
ュータが、次のバースト前に障害メモリーをゼロにリセ
ットする。バーストの終りに、シフト・レジスタが最後
の30周期に対する合格/不良データを保持し、コンピ
ュータがこのデータを読出す。図面の右側に降順で示さ
れるのは、ハイ・コンパレータ・ライン134およびロ
ー・コンパレータ・ライン136である。
【0058】各デュアル・コンパレータ123もまた大
部分は従来のウインドウ・ストローブ回路の一部であ
り、この回路の残部は、BC内にありかつその右半分が
図9に更に詳細に示されるコンパレータ・フォーマッタ
128内にあり、前記ウインドウ・ストローブ回路の左
半分の回路は図8の左半分(図示しないマルチプレクサ
が両者間を切換える)と共通であり、他の半分は従来の
ものである。
【0059】第1のパイプ48と共にパイプ・レジスタ
にまとめられた前述の第2のパイプ50は、バースト
(テスト)信号を受取りこれを第1のパイプ48におけ
る遅延と同じ数の周期だけ遅延させる(2つのパイプは
同一に構成される)。第2のパイプの出力は、そのT
5、T6、T7あるいはT8の各々に対して再クロック
されて、それぞれB5乃至B8として障害捕捉メモリー
部分130、132の各々に現れる。
【0060】ドライバのオフがイネーブルにされて(そ
れぞれ図14(c)のTER200のブロック内のXに
より、また図14(b)のC2におけるT3のXによる
如く)指令される時、T5乃至T8はコンパレータの周
期関数に対して用意ができる。コンパレータ機能のため
には、T5は常にT6と対にされ、それらの結合2ビッ
ト出力は4つの周期コンパレータ・モードから選択する
ため使用される。
【0061】コンパレータ機能周期に対してなされなけ
ればならないもう1つのことは、レジスタ254、25
6の一方または両方がコンピュータ18を介してAND
ゲート258および260の一方または両方を通過する
ようにバースト間に設定されねばならないことである。
【0062】エッジ・ストローブ機能が選択されるなら
ば、T5および(または)T7がハイにストローブし、
T6および(または)T8がローにストローブする。ス
トローブ対のパレット・ルックアップ出力からの2ビッ
トが、周期に対する次の4つの条件の1つを選択する指
令を提供する。即ち、「ドント・ケア」(00)、「ハ
イを予期」(01)、「ローを予期」(10)、および
「中間を予期」(11)である。
【0063】ウインドウ・ストローブが選択されると、
対をなすタイミング発生器の奇数個のメンバーがウイン
ドウを開き(オープン)(即ち、「始動」)、また偶数
個のメンバーがウインドウを閉じる(クローズ)(即
ち、「停止」)ことを除いて、全てが同じである。この
ため、5番目および7番目の周期の各々において図15
(a)のT7がウインドウを開きT8がウインドウを閉
じるが、図15(b)に示されるように、7〜8対が異
なる出力を生じて5番目の周期のローの予期および7番
目の周期のハイの予期をそれぞれ呼出す。
【0064】次に図10において、出力番号0乃至7を
付された1組の8つのボックスが左側に示される(抽象
的に、かつユーザの視点から)。各ボックスには、特定
の周期だけパレット・ルックアップ46へデータ・シリ
アライザ96により送られる関連して働く、特定の3ビ
ット・グループ、および共にTGが選択される当該3ビ
ット・グループにより点弧するため選択されたタイミン
グ発生器、および選択されたTGに対する遅延設定によ
って指定される如き1つの周期(各ボックス内に示さ
れ、図10では隣接する垂直の破線対により示される出
力トレース上に示される)内に整形されて置かれた波形
が示される。最も上のボックスには、特定のバーストに
対する1つの周期内で1つのチャンネルに対して8つの
マルチプレクサ100の0設定時に8つのパレット・ル
ックアップ・マルチプレクサを与えた3ビットにより生
じるパルスのタイミング、幅および極性が示される。下
方のボックスは、降順で、それぞれルックアップ・パレ
ット・マルチプレクサ設定1、2、3、4(パルスな
し)、および(未使用の)5、6、7により当該チャン
ネルおよびバーストの他の周期に生じたパルス(もしあ
れば)を同様に示す。(各ルックアップ・パレットは、
1つのマルチプレクサ100を含み、その1つがその関
連するレジスタ102と共に図6に示される。8つのル
ックアップ・パレットの各々は、1つのBCの8つのT
Gの各々の一部である。) 図10の右側部分のトレースは、図10の縦方向に並ん
だボックスに示された3ビットの選択を用いてデータ・
シーケンス0123421によりドライバ波形に生じた
パルスを示している。
【0065】図10に示されたマルチプレクサ100′
は、各々が図10に示された8つのボックスの1つの内
容に寄与する8つのマルチプレクサ100の抽象的な効
果の合成である。
【0066】7つの周期波形が図10のトレースに示さ
れ、その第1はグループ98′として示される8つの8
ビット入力のグループの1つの0設定により、第2は1
の設定により、第3は2の設定により、第4は3の設定
により、第5は4の設定により、かつ第6および第7は
それぞれ再び2および1の設定によって示されている。
【0067】他のトレース波形部分が図11(d)(4
つの周期のみ)、図13(d)(7つの周期のみ)、図
14(d)(8つの周期)、および図15(d)(8つ
の周期)に示され、後者の2つはそれぞれエッジ・スト
ローブおよびウインドウ・ストローブの周期を含む。本
発明のパレット・ルックアップは、これら全てと有効有
限数の他のもののあり得る選択的な生成を行う。
【0068】図11(d)は、図10におけるように、
7つではなく4つの周期のシーケンス・ドライバのトレ
ースを示す。しかし、図11の最初の周期は、図11
(a)と同様に、図10の最初の周期と対応し、図10
のゼロのボックスに示された周期波形を生じるため、最
初の周期中にTG 1およびTG 2が(スパイクによ
りあちこちに示される如く)命令0により点弧するよう
に命令され、当該周期中に点弧する時は先に述べたよう
に各々に設定される遅延によって支配されることを示し
ている。図11(b)は、最初の周期中に、指令(C
O)における0命令がTG 1およびTG 2の両方を
点弧させたことを示す。奇数番目のタイミング発生器が
立上がりエッジを生じると、TG 1が図11(d)に
示される最初の周期パルスの立上がりエッジを生じ、偶
数番目のタイミング発生器が立下がりエッジを生じる
と、TG 2が当該パルスの立下がりエッジを生じ、そ
の間これらが一緒に極性を制御する。パルスの幅(を含
む)の位置もまたTG 1およびTG 2に設定された
遅延により影響を受ける。
【0069】任意の特定の周期に対して各タイミング発
生器のルックアップ・パレットに設定されたデータは、
全てが8つの選択のうちの同じものに対するものであ
り、このため図11(a)乃至図11(d)に対する最
初の周期では選択はゼロであり、ゼロに対しては、8つ
のパレットの各設定は図11(b)のCOに示される如
くである。
【0070】図6では、当該バーストにおけるTG 1
マルチプレクサが示され、図11(b)の「CO」(0
設定のための指令)で示されるように、図11(a)で
示された最初の周期におけるスパイクにより示される如
く、ゼロの3ビットの設定がTG 1を点弧するように
0に設定して、図11(d)に示されたドライバ・パル
スの立上がりエッジを生じる。
【0071】図10および図11(a)乃至図11
(d)のバーストの間、タイミング・イネーブル・レジ
スタ200の設定のみが図11(c)に示される如くで
ある。
【0072】パレット・ルックアップ46にはそれぞれ
1つの共通の3ビットの8−選択制御を含む、8つの図
6のマルチプレクサ構成が存在するため、実際には図1
1(b)に示される如き64ボックス・マトリックスが
生じる。図11(b)には、図11(d)に示されたド
ライバ・バーストのトレースについてコンピュータによ
りマトリックスへ入れられる8つの選択が示される。図
示の如く、COの設定もまた図11(a)におけるスパ
イクにより示されるTG 2の点弧を、再び図11
(d)の立下がりパルス・エッジに呼出す。同様に、周
期2におけるC1の設定は、図11(a)乃至図11
(d)に明瞭に示されるように、立上がりエッジについ
てはTG 3を、また立下がりエッジについてはTG
4を点弧する、、、の如くである。
【0073】図11(a)ならびに図13(a)、図1
4(a)および図15(a)の最上部の数字は、周期内
のサイクル数を指し、各周期の6番目のサイクルが、連
続するサイクルの0サイクルおよび連続する周期の始め
と一致し、番号「0」が付される。
【0074】図11(a)、図13(a)、図14
(a)および図15(a)は、実際に、パルス変調器4
4によりゲート処理される8つのタイミング発生器T1
〜T8におけるパルスのプロットであり、またそれらの
図示されたスパイク形状はゲートするパルス変調器にお
いてのみ与えられる。図示しないが、各TGが周期毎に
1つのパルスを生じる、例えば、T1は実際に周期毎に
0カウントでパルスを生じるが、ゼロの指令周期内での
みゲートされる。
【0075】図13(a)乃至図13(d)は、それぞ
れ図11(a)乃至図11(d)に類似するが、7つの
周期の1つのチャンネルのバースト部分を示し、これに
おいては、パルスは図11(a)乃至図11(d)のそ
れと極性が反対であり、かつパルス幅が変化している。
ここで、タイミング・イネーブル・レジスタ(TER)
200のみの設定は、図13(b)により要求される如
きハイまたはローの6つのイネーブル点弧である。この
ように、図示された最初の周期では、図13(d)に示
される反転パルスが、同図に示される時間(図13
(a)の最も上の行のカウント2および3)においてT
G 8およびTG 7を点弧することにより生成され
る。(図11(c)、図13(c)、図14(c)およ
び図15(d)のボックス内のXは、どのTGが特定の
周期中に点弧し得る−おそらくは許容される(イネーブ
ルされる)かを示し、どれが周期中に点弧するかは、各
周期についてはパレット・ルックアップ46−図13
(c)のC3により、かつパターン・メモリー92によ
って他の方法で制御される。) 第2の周期では、最初の周期から受取られるトレースに
おいて変化を生じないようにC1がプログラムされる。
TGが点弧しない、即ち、図13(a)はこの周期には
スパイクが存在しない。従って、ドライバ・パルスはこ
の周期には結果として生じない。
【0076】第3の周期においては、広い反転パルスが
カウント1において(C2)TG6の点弧から生じて立
下がりエッジを生じ、カウント5においてTG 5から
立上がりエッジを生じる。4番目および5番目の周期
は、4番目の周期におけるカウント5での(C7)TG
2および5番目の周期におけるカウント2でのTG1
の点弧から生じる周期が重なる反転パルスを一緒に生じ
る。(実際には、TG 1の点弧は、図示される4番目
の周期の始めから8(パイプ1、プラス、カウント2)
のカウントとなり、2つ以上の周期を越える遅延を生じ
る如き可能性は、本発明の比較的安価な実施例の重要な
プログラミング能力である。)6番目の周期(C3)で
は、パルスは、カウント2におけるTG 8およびカウ
ント3におけるTG 7の点弧によって生成される。7
番目の周期においては、TG6がカウント1において点
弧され、次いでTG 7がカウント3で点弧される。
【0077】図14(a)乃至図14(d)において
は、先に示した他の点では類似する図におけるように、
単に駆動するのではなく比較も行うように構成する本発
明のパレットの使用が示される。
【0078】8つのI−ロード装置140は、1つのチ
ャンネルに1つずつ、各チャンネル・カード14により
支持される。
【0079】TERの設定は、図14(c)に示され
る。
【0080】最初の周期においては、前の(I−ロー
ド、図示せず)周期の電圧における、中間のI−ロード
電圧でトレースを開始する。しかし、これは駆動周期で
あり、従って、カウント2では、図14(b)および図
14(c)に示すように、TG4が点弧して(図14
(a)に示されるように)ドライバをターンオンし、こ
のドライバは、(図示しない)最後のオンの時、その状
態であった故にローになる。カウント3で点弧するTG
1は、ドライバをハイに駆動し、カウント5で点弧す
るTG 2はこのドライバを再びローに駆動して、図示
した最初の周期パルスを完了する。
【0081】トレースは、次に図示された第2の周期
(コンパレータ周期)へ進む。ロー駆動電圧は、カウン
ト1におけるT3がドライバをターンオフするまで継続
して、I−ロードをして前記電圧を中間I−ロード・レ
ベルへ駆動させる。次いで、T6が(遅延レジスタを用
いて)カウント1 1/2で点弧して、ここでは「ロー
を予期」比較によりエッジ・ストローブする(図14
(b)のC2)。
【0082】奇数番目のタイミング発生器T5およびT
7を用いてハイにストローブし、偶数番目の発生器T6
およびT8がローのストローブを行う。
【0083】コンパレータ・モード電圧は、別のコンパ
レータ・モード周期である第3の周期まで継続し、ここ
でカウント1でT3が本例では(ドライバが既にオフで
ある故に)冗長である「ドライバ・オフ」を点弧し、次
にカウント1 1/2でT5がエッジ・ストローブ・ハ
イ指令C3(図14(b))を点弧して「ハイを予期」
を指令する。
【0084】中間電圧は4番目の周期に続き、ここでド
ライバがカウント2においてT4によりターンオンさ
れ、(周期2において)最も後のドライバ・オン電圧の
ローへの戻しを生じる。この状況は5番目の周期に続
き、その時ドライバはカウント1でT3によりターンオ
フされる。TG 3がドライバをターンオフした後、T
G8が周期5のカウント5でローにストローブし、C4
が「ローを予期」を指令する。
【0085】6番目の周期は別のドライバ周期であり、
図示された最初の周期と同一である。7番目の周期は、
ストローブがカウント5でTG 7によりハイでありか
つC5により指令される「ハイを予期」であることを除
いて、2番目の周期と同一である。8番目の周期では、
何も起きず、TG−T−3を示すスパイクさえも冗長で
ある。
【0086】このように、本発明は、多くの変化を即時
に(1つのバースト内に)生じることを可能にする。こ
のため、例えば、7番目の周期においてストローブがカ
ウント5であるが、3番目の周期ではストローブはカウ
ント1 1/2であった。これはTER設定(例えば、
図14(c)におけるように)は真でないが、(例え
ば、図14(b)におけるように)メモリー指令が真で
ある。
【0087】図14(a)乃至図14(c)に関して述
べたように、タイミング発生器は、半カウント(持続時
間における1つの360°のクロック・サイクルと対応
するカウント)ならびにカウントで点弧され得る。無
論、早期のクロックの前エッジを用いてカウントと同時
に、かつ後期クロックの前エッジを用いて半カウントと
同時に点弧を生じる。点弧は、先に述べ以下に述べる方
法でバーニアを用いて、25ピコ秒以下の間隔の1カウ
ントまたはサイクルの360°以内の他のどこでも設定
することができる。
【0088】図15(a)乃至図15(d)は、エッジ
・ストローブではなくウインドウが用いられることを除
いて、図14(a)乃至図14(d)と類似している。
【0089】最初の周期は、図14(a)乃至図14
(d)に示されたエッジ・ストローブの最初の周期と同
一である。
【0090】2番目の周期(ディジタル数で010、即
ち、2)が再びコンパレータ周期であり、TG 3がド
ライバをターンオフし(図15(a)乃至図15
(c))、TG 5がウインドウを開き、TG 6がウ
インドウを閉じる。TG 5またはTG 6のいずれか
における図15(c)においてXが無いことは、このバ
ーストに対して、これらのTGが自由にコンパレータ機
能に対するものであることを意味し、またそれぞれ各周
期(無意味であるが、実際にはウインドウ・ストローブ
・コンパレータ周期でない周期)においてウインドウを
自由に開閉する時を意味する。「ローを予期」は、TG
5〜TG6のパレット・ルックアップ出力により図15
(b)のC2に従って送られる。
【0091】3番目の周期では、T3はカウント1で既
にオフ・ドライバを「ターンオフ」するため冗長的に点
弧し、ウインドウが2番目の周期における如く開閉さ
れ、C3(図15(b))に従ってT5〜T6がウイン
ドウにハイを予期するように命令する。
【0092】4番目の周期では、T4がドライバをター
ンオンし、当該ドライバは、次の周期にT3がドライバ
をターンオフするまで継続する条件であるその最後の状
態、即ちローになって、電圧を再びその中間位置へ戻
し、別の「ゼロへ戻し」駆動モード機能を完了する。こ
の5番目の周期の間、2番目および3番目の周期におけ
る如く開閉されるウインドウ・ストローブもまた起生す
るが、この時T7〜T8を介してC4によりローを予期
するように命令され、ウインドウでは、この時はT7お
よびT8により開閉される遅延周期が生じる。
【0093】6番目の周期は、ちょうど図14(a)乃
至図14(d)の6番目のように別のドライバ周期であ
る。
【0094】7番目の周期は、C5およびT7〜T8に
関してウインドウがハイを予期することを除いて、ちょ
うど5番目の周期と類似する。
【0095】8番目の周期は、ストローブが存在しない
「ドント・ケア」周期(C6)を除いて、3番目の周期
と類似している。
【0096】図11(c)、図13(c)、図14
(c)および図15(c)において異なる方法でプログ
ラムされるよう示されるタイミング可能化レジスタ20
0は、選択および使用の柔軟性を著しく付加する重要な
特徴を提供する。
【0097】このように、TGの1乃至8は、その2つ
以上が、ドライバのハイ(奇数番目のTG)またはロー
(偶数番目のTG)における駆動電圧への「点弧」(パ
ルス変調器44におけるゲート・スルーおよび再整形)
を可能にするようコンピュータ18を介して設定され得
る。例えば、図14(c)におけるブロック「T1H
I」乃至「T8 LO」は、これら8つのあり得るイネ
ーブル設定を反映し、またこれらブロックのあるものに
おけるXは図14(a)に示されたバースト部分に対す
る特定のイネーブル設定を反映する。これらのイネーブ
ルに従って、例えば、図14(b)のテーブルと対応的
に関連するパレット・ルックアップ46からの指令が、
例えば、図14(c)に示された点弧を生じる。このた
め、TER200は、3ビットの入力98(図6)によ
り指令される時、コンピュータ18により選択されるカ
ウンタおよびバーニアにより遅延設定が予め指定される
と、TG 1乃至8の点弧のどれかを使用可能にするよ
うコンピュータ18により設定され得る。
【0098】TG 3乃至6はまた、各ドライバ82を
ターンオフ(T3またはT5)するかあるいはターンオ
ン(T4またはT6)することを可能にするため、(前
項に述べた設定と同様に、バースト全体に対して)コン
ピュータが設定するバーストでもあり得る。TER20
0からパルス変調器44に至る12ライン202の8つ
が、先に述べた項で論述したパルスの使用可能化を生
じ、12ラインの残りの4つが今述べたドライバのオン
/オフ機能をイネーブルにする。T3〜T6のパルス変
調器の部分的に第2の部分が、第2の出力ライン250
を経て機能することにより、ドライバ・オン/オフ回路
を介してタイミング発生器のパルスの一部を選択的にゲ
ートしあるいは全くゲートしない。(第1の出力線25
2が、前項の8つのグループを取扱う。) 8つのタイミング発生器(TG(またはT)の1乃至
8)の多数のそして柔軟なエッジ機能は、下表に示され
る。即ち、 TG 駆 動 E.ストローブ ウインドウ・ストローブ T1 ハイ T2 ロー T3 ハイ オフ T4 ロー オン T5 ハイ オフ ハイ スタート T6 ロー オン ロー ストップ T7 ハイ ハイ スタート T8 ロー ロー ストップ 最初の2列が、先に述べたように、12ビット202に
より使用可能な12の使用可能化(イネーブル)を記述
している。3番目の列は、エッジ・ストローブがコンピ
ュータ18により選択されたコンパレータ・モードで、
ストローブ・ハイがT5およびT7により与えられ、ス
トローブ・ローがT6およびT8により与えられ、これ
らのエッジ・ストローブと関係のあるもの(ハイまたは
ロー、などを除いて)は、先のどこかに述べたように、
ストローブ動作に関与させられたTG対の出力によって
制御される。4番目の列は、選択されたウインドウ・ス
トローブを持ち、当該モードでは、T5およびT7がウ
インドウを開き、T6およびT8がウインドウを閉じる
ことを示している。(T5およびT6は、4つのパレッ
ト指令オプションに対して要求される2ビットをこれら
2つのパレット・ルックアップ出力から提供するため、
コンパレータ・モードに対して対をなす。)先に示した
ドライバ波形については、「ゼロへリターン」駆動モー
ドにおけるように、当業者には総合的に認識されよう。
【0099】当技術において周知のように、時間ドメイ
ンの反射率計(TDR)180を用いるテスト回路の較
正が、初期および周期的に要求される。
【0100】望ましい実施例においては、全較正が、ド
ライバとコンパレータの両機能を用いる較正と、これら
機能の1つまたはその他を用いる他の較正とを必要とす
る。
【0101】第1のカテゴリにおいて、各タイミング発
生器を交互に用いて下記の測定が行われ、コンピュータ
18のメモリー(図示せず)の較正テーブルへ入力され
る。即ち、 1.周期レジスタを除くBCの全てのタイミング・レジ
スタがゼロに設定され、周期レジスタが128に設定さ
れる時、バーニアの各ステップの設定(粗および微細)
−「ステップ測定」に対するTDR180のマスター・
コンパレータにおける遅延と比較される遅延。
【0102】2.TDR180のマスター・コンパレー
タ(図示せず)における遅延と比較して、周期レジスタ
を2、3、4、8、16、32、64および128に設
定する(バックゲート測定)、粗バーニア4およびバー
ニア6を除く、全てのタイミング・レジスタがゼロに設
定されたバックゲート遅延。
【0103】3.前項1における如きレジスタにおい
て、周波数の変化により生じるBCの(整合ブロック前
にその各部に生じる)遅延が、下記の周期(ナノ秒)と
対応する周波数でマスター・コンパレータにおいて測定
される。即ち、早期および遅延サイクルの両方における
3.33、3.75、4.17、4.58および5.0
−「クロック対称性測定」。
【0104】ドライバ機能のみに対しては、 4.全てのタイミング・レジスタがゼロに設定され、各
タイミング発生器と、ある反射率法を含む多数の測定と
を交互に用いて、DIBにおけるワイヤ長さの変動およ
び他のシステムの遅延の変動により生じるDUTにおけ
る遅延−「ドライバ・オフセット」。
【0105】最後に、コンパレータ機能のみに対して
は、 5.T5乃至T8のタイミング・レジスタがゼロに設定
されて、T5乃至T8をそれぞれ交互に用い、これも当
技術において「コンパレータ・オフセット」として知ら
れるある反射率法を含む多数の測定を再び用いて、DI
Bにおけるワイヤ長さの変動および他の遅れの変動によ
り生じるDUTにおける遅延。
【0106】全てがDIB12のように従来通りテスト
・ヘッド(図示せず)に載置された9つのTDRが存在
する。各チャンネル・カードにより示される64個のス
ライスを較正してこれら64個の共線性を確認するた
め、8つのTDRがそれぞれ8つのチャンネル・カード
のチャンネルに接続される。テスト・ヘッドにおける9
番目のTDRが、TDR 1乃至8により提供される6
4の8つのグループ間に共線性を生じる。
【0107】この時、テストが始まって、コンピュータ
のソフトウエアが、図16に示される如きソフトウエア
較正テーブルに含まれる、今述べたばかりの測定を利用
する。
【0108】第1に、コンピュータのテスト・プログラ
ムが、エッジが例えば30ナノ秒でドライバに達する要
求TR 400(図16)を行う。
【0109】次いでこの値に、例えば5.1ナノ秒のド
ライバ・オフセット(DO)と先に呼んだ較正テーブル
から加算されて(402)、35.1を得る。この数値
に、使用される周期(ここでは、6)におけるバックゲ
ート周波数の測定(BG)が加算され、これは本例にお
いては、先に述べた測定から生じる較正テーブルのカー
ブ間の内挿を必要とし、かつ合計35.3ナノ秒となる
調整されたエッジ時間(TA)に対して0.2ナノ秒
(200ピコ秒)となる。
【0110】同図は、2つの数、即ち、完全に35.3
になる時間P24の整数と、整数×24(PDP)が3
5.3から差引かれる時に残る他の数(RP)、それぞ
れ1と11.3を得るため、周期24においてナノ秒数
により除される(404)。
【0111】クロックがカウント(C)当たり4ナノ秒
の遅延を生じると、次にソフトウエアが同じように1
1.3を除して2の答えと、3.3の残り(RC)を
得、従ってカウント2を予め決める。
【0112】残り3.3は、約2ナノ秒の遅延クロック
を用いて得られる別の遅延(H)で除される(408)
が、正確な値(2.09ナノ秒)は較正テーブルにおけ
るクロック対称性測定からコンピュータによる内挿によ
り得られ、HおよびRHに対して数1および1.21n
s(0.09だけずれた遅延クロック)を生じる。
【0113】この残の遅延(RH)、1210ピコ秒に
関しては、ソフトウエアがこの量より低い最も近い粗調
整ステップを選択し(410)、本例では、このステッ
プは1100ピコ秒となり、従って、110ピコ秒がバ
ーニアの次に低いステップ(412)により処理される
べく残され、これはもし100ならば、10ピコ秒の目
標はずれ残を生じる。
【0114】パイプ・レジスタ52、カウント・レジス
タ54、E/L(早期/後期)レジスタ34、粗レジス
タ40および微細レジスタ42がこのようにコンピュー
タ18によりそれぞれ1、2、早期、ステップ4、およ
びステップ4に設定され、最初の2つが較正されたもの
であり、最後の3つはコンピュータによって「探され
た」ものである。
【0115】各合計遅延に対する結果は、コンピュータ
のメモリー・キャッシュに記憶され、その結果、このよ
うなステップを反復する必要なしに、将来の要求に対し
てこれら結果をアクセスされるようにする。
【0116】ドライバ・エッジの較正のためには、番号
を付した較正パラグラフ(第36〜37頁で述べた)
4、1、2および3が用いられる。コンパレータのエッ
ジ較正のためには、パラグラフ5、1、2および3が用
いられる。
【0117】他の実施例 当業者には他の実施例が想起されよう。
【0118】バースト・チップがシリコンで形成され
る。
【0119】望ましい実施態様の組合わせの種々の要素
を、省き、補充し、あるいは代替することができる。
【0120】バースト・チップの面積サイズおよびタイ
ミング発生器に続くBCにおける遅延は変化し得る。
【0121】更に多いか少ない数のタイミング発生器を
含めることができ、更に多いか少ない数のビットをパレ
ット・ルックアップ用とすることができ、更に多いか少
ない周期当たりカウントを用いることもできる。
【0122】これらの全ては単なる例示に過ぎず、排他
的なものではない。
【図面の簡単な説明】
【図1】望ましい実施例の主要なサブアセンブリ間の関
係を示すブロック図である。
【図2】本発明を具現したガリウムヒ素集積回路チップ
の第1の部分を示すブロック図である。
【図3】本発明を具現したガリウムヒ素集積回路チップ
の第2の部分を示すブロック図である。
【図4】本発明を具現したガリウムヒ素集積回路チップ
の第3の部分を示すブロック図である。
【図5】図4に示すドライバ・フォーマッタの一部の回
路図である。
【図6】図3のパレット・ルックアップにおけるデータ
回路の1つを示す回路図である。
【図7】図3に示したパイプの一部を示す回路図であ
る。
【図8】図4に示したコンパレータ・フォーマッタおよ
び障害捕捉メモリーの各部を示す回路図である。
【図9】図4に示したコンパレータ・フォーマッタおよ
び障害捕捉メモリーの各部を示す回路図である。
【図10】本発明によるパレット・ルックアップおよび
その結果として得るドライバのトレースの抽象的なユー
ザ指向の図である。
【図11】(a)は、タイミング・ガイド点弧を示すト
レース図、(b)は、ルックアップ・パレットのセット
アップ図、(c)は、タイミング・イネーブル・レジス
タの図、および(d)は、被駆動状態のトレース図であ
る。
【図12】本発明のバーニアを示す回路図である。
【図13】(a)は、タイミング・ガイド点弧を示すト
レース図、(b)は、ルックアップ・パレットのセット
アップ図、(c)は、タイミング・イネーブル・レジス
タの図、および(d)は、被駆動状態のトレース図であ
る。
【図14】(a)は、タイミング・ガイド点弧を示すト
レース図、(b)は、ルックアップ・パレットのセット
アップ図、(c)は、タイミング・イネーブル・レジス
タの図、および(d)は、被駆動状態のトレース図であ
る。
【図15】(a)は、タイミング・ガイド点弧を示すト
レース図、(b)は、ルックアップ・パレットのセット
アップ図、(c)は、タイミング・イネーブル・レジス
タの図、および(d)は、被駆動状態のトレース図であ
る。
【図16】エッジ遅延処理図である。
【符号の説明】 4 粗バーニア 6 バーニア 10 テスト中デバイス(DUT) 12 デバイス・インターフェース・ボード(DIB) 14 チャンネル・カード(CC) 16 バックプレーン 18 コンピュータ 20 クロック 226 クロック・コンディショナ 23 期間カウンタ 24 周期レジスタ 28 遅延カウンタ 30 マルチプレクサ 32 マルチプレクサ 34 早期/後期レジスタ 36 整合要素 38 バーニア 40 粗レジスタ 42 微細レジスタ 44 パルス変調器 46 パレット・ルックアップ 48 第1のパイプ 50 第2のパイプ 52 パイプ・レジスタ 54 カウント・レジスタ 72 ORゲート 76 ORゲート 80 S−R(セット−リセット)フリップフロップ 82 ドライバ 90 パターン・メモリー制御装置 94 ラッチ 96 データ・シリアライザ 100 点弧制御マルチプレクサ 102 点弧制御レジスタ 104 ラッチ 108 D−フリップフロップ 114 マルチプレクサ 126 エッジ・ストローブ回路 128 コンパレータ・フォーマッタ 130 第1の障害捕捉メモリー 132 第2の障害捕捉メモリー 134 ハイ・コンパレータ・ライン 136 ロー・コンパレータ・ライン 140 I−ロード装置 142 ORゲート 144 障害フラッグ 146 パターン発生器 152 増幅器 158 キャパシター 160 バースト波形生成/結果評価チップ(バースト
・チップ;BC) 162 マルチプレクサ 166 マルチプレクサ 180 時間ドメイン反射率計(TDR) 200 タイミング発生器イネーブル・レジスタ(TE
R) 208 ドライバ・フォーマッタ 254 レジスタ 256 レジスタ 258 ANDゲート 260 ANDゲート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/822 H01L 27/04 T (72)発明者 エドワード・アンダーソン・オスタータグ アメリカ合衆国カリフォルニア州93065, シミ・ヴァレー,インウッド・ロード 543 (72)発明者 リー・ヤン・ソン アメリカ合衆国カリフォルニア州93012, カマリロ,パセオ・エンカンターダ 5959

Claims (63)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ディジタル自動試験装置(ATE)のチ
    ャンネル回路を含むガリウムヒ素IC。
  2. 【請求項2】 前記回路がタイミング発生器を含む請求
    項1記載のIC。
  3. 【請求項3】 ルックアップ・パレットを含むディジタ
    ルATE回路を有するICにおいて、前記パレットが複
    数の選択的にプログラム可能な指令手段を含み、 前記各指令手段が電圧トレースにおける変更指令を与え
    るように構成され、 前記電圧トレースに前記指令を連続的、選択的に与える
    ように構成された変調手段を含む、IC。
  4. 【請求項4】 遅延のないクロック・サイクルをカウン
    トする早期カウンタと、 180°だけ遅れたクロック・サイクルをカウントする
    後期カウンタと、 早期クロック・カウントあるいは後期クロック・カウン
    トを選択的に伝送するカウント・マルチプレクサと、 早期クロック・サイクルあるいは後期クロック・サイク
    ルを選択的に伝送するクロック・マルチプレクサと、 前記カウント・マルチプレクサと前記クロック・マルチ
    プレクサを選択的に連結する早期/後期レジスタと、 次のクロックの前エッジと同時に、設定され到達した早
    期カウントまたは後期カウントのそれぞれを通過させる
    整合ブロックと、 前記整合ブロックの出力を受取るバーニアと、 前記バーニアの出力を選択的に伝送するパルス変調器
    と、を備えるバースト整形回路。
  5. 【請求項5】 早期クロック・カウントまたは後期クロ
    ック・カウントを選択的に伝送するカウント・マルチプ
    レクサと、 早期クロック・サイクルまたは後期クロック・サイクル
    を選択的に伝送するクロック・マルチプレクサと、 前記カウント・マルチプレクサと前記クロック・マルチ
    プレクサとを選択的に連結させる早期/後期レジスタ
    と、 次のクロックの前エッジと同時に、設定され到達した早
    期カウントまたは後期カウントの各々を通過させる整合
    ブロックと、 前記整合ブロックの出力を受取るバーニアと、 前記バーニアの出力を選択的に伝送するパルス変調器
    と、を備えるバースト整形回路。
  6. 【請求項6】 各々が請求項5に記載された回路要素の
    付加的な別の組合わせを含む複数のタイミング発生器を
    備える請求項5記載の回路。
  7. 【請求項7】 前記各バーニアが、粗バーニアと微細バ
    ーニアとを含む請求項5記載の回路。
  8. 【請求項8】 パイプと、パイプ・レジスタとを含み、
    該パイプが、前記パイプ・レジスタに設定される選択さ
    れた数の周期だけ、前記パルス変調器に対する入力を選
    択的に遅延させるよう構成された請求項5記載の回路。
  9. 【請求項9】 パレット・ルックアップを備え、 該パレット・ルックアップが、 複数のレジスタ手段と、 対応する数のマルチプレクサと、 パルス変調器とを含み、 前記各レジスタ手段が選択的に設定可能であり、 前記各レジスタ手段が、前記パルス変調器と対応する前
    記マルチプレクサを介して、前記レジスタの各マルチプ
    レクサと共働する前記レジスタを介して前記マルチプレ
    クサへデータ指令を送るように構成された、バースト整
    形回路。
  10. 【請求項10】 レジスタと、 マルチプレクサと、 パルス変調器とを備え、 前記レジスタが、前記マルチプレクサを介して前記パル
    ス変調器に波形変更信号を与えるようにコンピュータに
    より設定可能であるパレット・ルックアップ。
  11. 【請求項11】 1秒当たり選択された数のサイクルで
    クロック・パルスを供給するクロック手段と、 180°の遅延で反転クロック・パルスを供給する反転
    手段と、 予め定めた前記サイクル数の周期を提供するように、周
    期カウント以後ゼロにリセットする周期レジスタと、 予め定めた数の周期だけ遅延させるパイプと、 複数のタイミング発生器とを備え、 前記クロック手段が、前記クロック・パルスを前記タイ
    ミング発生器の少なくとも1つに供給し、 前記反転手段が、遅延したパルスを前記タイミング発生
    器の少なくとも1つに供給し、 前記タイミング発生器が、それぞれ、 1つ以上の予め定めた数の前記クロック・パルスと前記
    遅延パルスの受取りに続いて応答を行うように構成さ
    れ、かつパルス変調器を含み、 前記各パルス変調器が、前記応答に含まれる情報を含む
    予め選定されたトレース修正指令を伝送するバースト整
    形回路。
  12. 【請求項12】 前記パルス変調器の前に内挿されるバ
    ーニアが更に他の遅延した応答を生じる請求項11記載
    の回路。
  13. 【請求項13】 前記タイミング発生器がバーニアを含
    む請求項2記載のIC。
  14. 【請求項14】 クロック・パルスが、1つのバースト
    の間に前記バーニアを連続的に通過するように構成され
    る請求項13記載のIC。
  15. 【請求項15】 前記パルスが、複数のバースト全体に
    わたり連続的にバーニアを通過するように構成された請
    求項14記載のIC。
  16. 【請求項16】 VLSIである請求項15記載のI
    C。
  17. 【請求項17】 より大きな数のあり得る周期波形から
    比較的少数の予め定めた周期の波形を選択するようにバ
    ースト間で設定可能な手段を備え、 前記の選択された波形が、離間した異なる立上がりおよ
    び立下がりエッジによって特徴付けられ、 前記手段による指令に対する前記手段と関連して配置さ
    れた複数のタイミング発生器を備える、ATEバースト
    形成回路。
  18. 【請求項18】 前記タイミング発生器の各々が、複数
    のエッジ遅延手段を含む請求項17記載の回路。
  19. 【請求項19】 前記複数のエッジ遅延手段の各々にお
    いて生じる実際の遅延を測定する較正手段を含む請求項
    18記載の回路。
  20. 【請求項20】 クロックが、多数のバーストを連続的
    に介して前記バーニアを通してパルス化するように構成
    された請求項13記載のIC。
  21. 【請求項21】 クロックが複数の周期にわたりパルス
    を生成するように構成される請求項13記載のIC。
  22. 【請求項22】 前記複数のエッジ遅延手段がクロック
    ・サイクルとバーニアとを含む請求項18記載の回路。
  23. 【請求項23】 前記複数のエッジ遅延手段が反転され
    たクロック・カウンタをも含む請求項22記載の回路。
  24. 【請求項24】 前記複数のエッジ遅延手段が粗バーニ
    アと微バーニアをも含む請求項22記載の回路。
  25. 【請求項25】 前記回路がガリウムヒ素に集積される
    請求項5、18または24のいずれかに記載の回路。
  26. 【請求項26】 複数のタイミング発生器と、 ドライバのターンオンを選択的に可能にするタイミング
    ・イネーブル・レジスタとを備えるATE回路。
  27. 【請求項27】 前記タイミング発生器の各々がハイま
    たはローに駆動することを選択的に可能にする請求項2
    6記載の回路。
  28. 【請求項28】 前記ドライバがターンオフされる時、
    前記複数のタイミング発生器がコンパレータ機能におい
    て使用可能である請求項26記載の回路。
  29. 【請求項29】 前記タイミング発生器が、ハイまたは
    ローを予期するようにコンパレータ周期を指示するよう
    設定可能な手段を含む請求項28記載のタイミング発生
    器。
  30. 【請求項30】 前記設定可能な手段が、ドライバ・オ
    ン・モードにある時、タイミング発生器をハイまたはロ
    ーに駆動するよう点弧するように選択的に設定すること
    も可能なレジスタである請求項29記載のタイミング発
    生器。
  31. 【請求項31】 周期レジスタと、 前記周期レジスタに応答する周期カウンタと、 クロック入力に応答して、クロック出力を前記周期カウ
    ンタへ伝送し、前記周期カウンタからBOPパルスを受
    取り、かつBOPE、BOPLおよびBBOPパルス、
    およびOSC EおよびOSC Lクロックを出力する
    クロック・コンディショナと、 前記BOPEおよび前記OSC Eを受取る早期カウン
    タと、 前記BOPLおよび前記OSC Lを受取る後期カウン
    タと、 前記出力BBOPパルスを受取り、パターン・メモリー
    から記憶を受取り、かつBBOPLパルスを出力するパ
    ターン・メモリー制御部と、 前記BBOPLを受取り、前記パターン・メモリーから
    記憶を受取り、かつ記憶をデータ・シリアライザへ出力
    するラッチとを備え、 前記データ・シリアライザが、前記出力BBOPを前記
    クロック・コンディショナから受取るようにも構成さ
    れ、 前記早期カウンタと前記後期カウンタのうちの一方の出
    力をそれぞれ選択的に伝送する複数のカウント・マルチ
    プレクサと、 前記OSC EおよびOSC Lの一方の出力をそれぞ
    れ選択的に伝送する対応数のクロック・マルチプレクサ
    と、 前記カウント・マルチプレクサおよびクロック・マルチ
    プレクサの対応する1つとそれぞれ連結して、両方の早
    期カウンタか両方の後期カウンタの各対とする対応数の
    早期/後期(E/L)レジスタと、 それぞれが、対応する前記カウント・マルチプレクサお
    よび前記クロック・マルチプレクサの出力を受取るよう
    に配置された対応数の整合要素と、 対応する前記カウント・レジスタにおけるカウントと同
    時に、対応するクロック・マルチプレクサの出力を前記
    整合要素を通過するように該対応する整合要素をしてゲ
    ートさせる対応数のカウント・レジスタと、 対応する整合要素の出力を受取って対応数のパルス変調
    器へ出力する対応数のバーニアと、 前記バーニアを入力する対応数の粗レジスタと、 前記バーニアを入力する対応数の微細レジスタと、 前記BBOPおよび前記データ・シリアライザからの記
    憶を受取る対応数のパレット・ルックアップと、 対応するパレット・ルックアップの出力を受取って前記
    パルス変調器へ出力する対応数の第1のパイプと、 それぞれがBBOPを受取ってバースト入力を継続す
    る、対応数の第2のパイプと、 対応する第1のパイプと第2のパイプに連結された対応
    数のパイプ・レジスタとを備え、 前記第1および第2のパイプが対応する前記パルス変調
    器へ出力し、 対応する前記パルス変調器に入力する対応数のタイミン
    グ・イネーブル・レジスタと、 前記の対応数の前記パルス変調器とを備え、 前記パルス変調器が、ドライバ・コンパレータとコンパ
    レータ・フォーマッタと障害捕捉メモリーに対して出力
    し、 前記バーニアが前記コンパレータ・フォーマッタに出力
    するバースト・チップ。
  32. 【請求項32】 周期レジスタと、 前記周期レジスタに応答する周期カウンタと、 クロック入力に応答して、クロック出力を前記周期カウ
    ンタへ伝送し、前記周期カウンタからBOPパルスを受
    取り、かつBOPおよびBBOPパルスおよびクロック
    を出力するクロック・コンディショナと、 前記BOPおよび前記クロックを受取るカウンタと、 前記出力BBOPパルスを受取り、パターン・メモリー
    から記憶を受取り、かつBBOPLパルスを出力するパ
    ターン・メモリー制御部と、 前記BBOPLを受取り、前記パターン・メモリーから
    記憶を受取り、かつ記憶をデータ・シリアライザへ出力
    するラッチとを備え、 前記データ・シリアライザが、前記クロック・コンディ
    ショナからの前記出力BBOPパルスを受取るようにも
    構成され、 前記カウンタの出力を伝送する複数のカウント・マルチ
    プレクサと、 前記クロックの出力をそれぞれ伝送する対応数のクロッ
    ク・マルチプレクサと、 対応する前記クロック・マルチプレクサの出力を受取る
    ように配置された対応数の整合要素と、 対応する前記カウント・レジスタに設定されたカウント
    と同時に、対応する前記整合要素をして対応するクロッ
    ク・マルチプレクサの出力を前記整合要素を通過するよ
    うにゲートさせる対応数のカウント・レジスタと、 対応する整合要素の出力を受取って対応数のパルス変調
    器へ出力する対応数のバーニアと、 前記データ・シリアライザから前記BBOPおよび記憶
    を受取る対応数のパレット・ルックアップと、 対応するパレット・ルックアップの出力を受取って対応
    する前記パルス変調器へ出力する対応数の第1のパイプ
    と、 各々がBBOPを受取りバースト入力を継続する対応数
    の第2のパイプと、 対応する第1のパイプと第2のパイプに連結された対応
    数のパイプ・レジスタとを備え、 前記第1および第2のパイプが対応する前記パルス変調
    器へ出力し、 対応する前記パルス変調器に入力する対応数のタイミン
    グ・イネーブル・レジスタと、 前記対応数の前記パルス変調器とを備え、 前記パルス変調器が、ドライバ・コンパレータとコンパ
    レータ・フォーマッタと障害捕捉メモリーとに出力し、 前記バーニアが前記コンパレータ・フォーマッタへ出力
    するバースト・チップ。
  33. 【請求項33】 前記バーニアが、微細バーニア部分と
    粗バーニア部分との両方を含む請求項32記載のチッ
    プ。
  34. 【請求項34】 集積回路をテストする方法において、 クロックをクロック・コンディショナへ入力し、 前記クロックを前記クロック・コンディショナにおいて
    条件付けして、条件付けされたクロックを周期カウンタ
    へ導入し、 前記周期カウンタに指令するレジスタに設定された数に
    達するまで、前記周期カウンタにおける前記クロックの
    サイクルをカウントし、 前記数のBOPパルスに達すると同時に、前記周期カウ
    ンタから前記クロック・コンディショナへ出力し、 前記クロック・コンディショナから更に条件付けされた
    BOPパルスをサイクル・カウンタとパターン・メモリ
    ー制御部とデータ・シリアライザへ出力し、かつ更に他
    の条件付けクロックを前記サイクル・カウンタへ出力
    し、 パターン・メモリーからラッチへのメモリーの前記パタ
    ーン制御フローにより制御し、 前記ラッチからデータ・シリアライザへ記憶を転送し、 前記サイクル・カウンタおよび前記の更に条件付けされ
    たクロックをそれぞれカウント・マルチプレクサおよび
    クロック・マルチプレクサへ出力し、 前記クロック・マルチプレクサからの整合要素入力を指
    令するカウント・レジスタからの予め定めた指令と同時
    に、前記クロック・マルチプレクサに出力し、 パルス変調器に、前記整合要素からのおそらくは更に他
    の遅延出力を入力し、 前記データ・シリアライザからの記憶をパレット・ルッ
    クアップに対して周期的に移動し、 前記パレット・ルックアップおよび条件付けされたBO
    Pパルスを第1のパイプへ出力し、 前記条件付けされたBOPパルスおよび「テスト」パル
    スを、前記第1のパイプと連結された第2のパイプへ入
    力し、 前記第1のパイプと前記第2のパイプとを前記パルス変
    調器へ出力し、 前記パルス変調器においてこれを通過するように入力を
    選択的にゲートし、 前記パルス変調器からドライバ・フォーマッタおよびコ
    ンパレータ・フォーマッタへ選択的に出力する、ことを
    含む方法。
  35. 【請求項35】 タイミング・イネーブル・レジスタに
    よる前記ドライバに対するゲート動作の調整を含む請求
    項34記載の方法。
  36. 【請求項36】 前記タイミング・イネーブル・レジス
    タが更に、前記ドライバのターンオフおよびターンオン
    を可能にするように選択的に設定可能である請求項35
    記載の方法。
  37. 【請求項37】 前記周期カウンタが、「テスト」信号
    の印加と同時にゼロに設定される請求項34記載の方
    法。
  38. 【請求項38】 遷移検出器が前記ゼロへの同時の設定
    を行うようにORされる請求項37記載の方法。
  39. 【請求項39】 ガリウムヒ素からなる請求項31記載
    のチップ。
  40. 【請求項40】 回路の実行がDCFLによる請求項3
    9記載のチップ。
  41. 【請求項41】 ガリウムヒ素からなる請求項32記載
    のチップ。
  42. 【請求項42】 回路の実行がDCFLによる請求項4
    1記載のチップ。
  43. 【請求項43】 前記複数が8である請求項42記載の
    チップ。
  44. 【請求項44】 前記複数の対応する要素が8つのタイ
    ミング発生器に構成される請求項43記載のチップ。
  45. 【請求項45】 前記タイミング発生器がドライバ・フ
    ォーマッタ出力を含む請求項44記載のチップ。
  46. 【請求項46】 前記タイミング発生器の4つが、前記
    タイミング・イネーブル・レジスタにより制御される更
    に別の第2のドライバ・フォーマッタ出力を有する請求
    項45記載のチップ。
  47. 【請求項47】 前記8つのタイミング発生器の4つ
    が、各パルス変調器をバイパスしかつコンパレータ・フ
    ォーマッタに入力する出力を含む請求項46記載のチッ
    プ。
  48. 【請求項48】 ATEテスト・バーストにおける所望
    の波形エッジを生じる方法を含む集積回路のテスト方法
    において、 クロックとバーニアの一方における前記エッジを遅延さ
    せ、 測定手段により、前記クロックおよび前記バーニアの前
    記一方を含むチャンネルを経由する実際の遅延を測定
    し、 実際の遅延測定に基く計算について、前記所望の波形エ
    ッジを生じるようにレジスタを設定すること、を含む方
    法。
  49. 【請求項49】 測定手段と、前記レジスタの設定を計
    算する手段とが前記クロックおよびバーニアの前記一方
    を含むチップの外部にある請求項48記載の方法。
  50. 【請求項50】 前記エッジをクロック、 後期クロック、 粗バーニア、および微細バーニアにおいて選択的に遅延
    させ、 前記クロックと、前記後期クロックと、前記粗バーニア
    と、前記微細バーニアとを含むチャンネルを通る遅延
    を、前記各バーニアの各ステップ毎に別個に測定し、 前記クロックと、前記後期クロックと、前記粗バーニア
    と、前記微細バーニアのレジスタ設定を固定して前記所
    望の波形エッジを生じるように、遅延測定からの計算に
    従ってレジスタを設定すること、を含む請求項49記載
    の方法。
  51. 【請求項51】 前記各波形エッジ毎に前記レジスタの
    設定をキャッシュ(cache)することを含む請求項
    50記載の方法。
  52. 【請求項52】 前記チップがガリウムヒ素からなる請
    求項49記載の方法。
  53. 【請求項53】 複数のタイミング発生器を備え、該タ
    イミング発生器の各々が所定の数のカウントを決定する
    よう設定可能なカウント・レジスタと、 前記所定数に達すると同時にエッジを伝送する整合要素
    と、 バーニアと、 連続的なビット・グループにおけるメモリーからデータ
    を受取り、対応した指令を発行するパレット・ルックア
    ップと、 前記バーニアからエッジを、かつ前記パレット・ルック
    アップから前記指令を受取るパルス変調器とを含み、 前記指令が前記エッジの前記パルス変調器での通過を選
    択的に制限するATEバースト回路。
  54. 【請求項54】 前記回路が単一チップで構成される請
    求項53記載の回路。
  55. 【請求項55】 前記チップがガリウムヒ素からなる請
    求項54記載の回路。
  56. 【請求項56】 タイミング・イネーブル・レジスタを
    も含み、該タイミング・イネーブル・レジスタが、前記
    パルス変調器におけるハイ・ロー駆動か、あるいはドラ
    イバのオン・オフ機能を可能にするよう選択的に設定可
    能である請求項53記載の回路。
  57. 【請求項57】 前記タイミング発生器のあるものをコ
    ンパレータ周期モードに選択的に置くことができる請求
    項53記載の回路。
  58. 【請求項58】 前記タイミング発生器の対が前記コン
    パレータ・モードにおける共働関係に置くことができ、
    4つの異なるコンパレータ・ストローブ処理の1つを使
    用可能にする4つの選択出力を用いて、前記対がビット
    2としてパレット・ルックアップ出力および指令を受入
    れるように構成される請求項57記載の回路。
  59. 【請求項59】 前記タイミング発生器の少なくとも1
    つが、エッジのストローブ・ハイ指令能力を持ち、かつ
    少なくとも別のタイミング発生器がエッジのストローブ
    ・ロー能力を持つ請求項57記載の回路。
  60. 【請求項60】 前記タイミング発生器の少なくとも1
    つがウインドウ開放ストローブ能力を持ち、かつ前記タ
    イミング発生器の少なくとも別のタイミング発生器がウ
    インドウ閉止ストローブ能力を持つ請求項57記載の回
    路。
  61. 【請求項61】 複数のタイミング発生器を備え、少な
    くともあるタイミング発生器が、代替的に複数の機能を
    選択的に割当て可能であるATEバースト回路。
  62. 【請求項62】 前記代替的な複数の機能が4つ、即
    ち、ドライバのハイまたはロー、ドライバのオンまたは
    オフ、エッジ・ストローブのハイまたはロー、およびウ
    インドウ・ストローブの開始および停止である請求項6
    1記載の回路。
  63. 【請求項63】 前記処理が、「ドント・ケア」、「ロ
    ーを予期」、「ハイを予期」、および「中間帯域を予
    期」である請求項58記載の回路。
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