JPH0813164A - 金属板のパターンエッチング方法 - Google Patents
金属板のパターンエッチング方法Info
- Publication number
- JPH0813164A JPH0813164A JP14998594A JP14998594A JPH0813164A JP H0813164 A JPH0813164 A JP H0813164A JP 14998594 A JP14998594 A JP 14998594A JP 14998594 A JP14998594 A JP 14998594A JP H0813164 A JPH0813164 A JP H0813164A
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- JP
- Japan
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- etching
- metal plate
- spraying
- liquid
- rear surface
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】エッチング液ノズル部と洗浄液ノズル部との間
隔を最小限に止めてエッチング処理及び洗浄処理するこ
とによって、不均一なエッチング処理の発生を回避する
ことにある。 【構成】水平姿勢で搬送されるパターンエッチング用レ
ジスト膜を形成した金属板１の下面に向かって、エッチ
ング液ノズル部２よりエッチング液を吹き付けながらエ
ッチング処理した後、水平姿勢で搬送される該金属板１
の下面に向かって搬送方向とは反対方向の斜め上向き
に、洗浄液ノズル部４より洗浄液ｂを吹き付けて洗浄す
る。
隔を最小限に止めてエッチング処理及び洗浄処理するこ
とによって、不均一なエッチング処理の発生を回避する
ことにある。 【構成】水平姿勢で搬送されるパターンエッチング用レ
ジスト膜を形成した金属板１の下面に向かって、エッチ
ング液ノズル部２よりエッチング液を吹き付けながらエ
ッチング処理した後、水平姿勢で搬送される該金属板１
の下面に向かって搬送方向とは反対方向の斜め上向き
に、洗浄液ノズル部４より洗浄液ｂを吹き付けて洗浄す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属板をエッチング液
によりエッチング処理した後に、洗浄液にて洗浄処理す
る金属板のパターンエッチング方法に関する。
によりエッチング処理した後に、洗浄液にて洗浄処理す
る金属板のパターンエッチング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の金属板エッチング方法は、図２に
示すように、エッチングチャンバーＡ内に設置されたエ
ッチング液ノズル部２のノズル２ａから、金属エッチン
グ用のエッチング液ａを、水平搬送されるパターンエッ
チング用レジスト膜（パターン露光と現像処理にて形成
されたパターン状のフォトレジスト膜など）を形成した
金属板１の下面（下面がエッチング処理面となる）に向
かって吹き付けながら、金属板１のエッチング処理面１
ａ側をエッチング処理する。
示すように、エッチングチャンバーＡ内に設置されたエ
ッチング液ノズル部２のノズル２ａから、金属エッチン
グ用のエッチング液ａを、水平搬送されるパターンエッ
チング用レジスト膜（パターン露光と現像処理にて形成
されたパターン状のフォトレジスト膜など）を形成した
金属板１の下面（下面がエッチング処理面となる）に向
かって吹き付けながら、金属板１のエッチング処理面１
ａ側をエッチング処理する。
【０００３】続いて、直ちに、金属板１を、駆動回転す
る搬送ロール３によって、エッチング液を洗浄除去する
ための洗浄処理チャンバーＢ内に水平に搬入して、チャ
ンバーＢ内に設置された洗浄液ノズル部４のノズル４ａ
より、洗浄液ｂを金属板１の下面に向かって吹き付け、
金属板１のエッチング処理面１ａに付着するエッチング
液ａを洗浄除去することにより、エッチングの進行を停
止させ、その後、必要に応じて、金属板１の下面、及び
上面に対して、適宜に洗浄処理を行って、パターンエッ
チングを終了するものである。
る搬送ロール３によって、エッチング液を洗浄除去する
ための洗浄処理チャンバーＢ内に水平に搬入して、チャ
ンバーＢ内に設置された洗浄液ノズル部４のノズル４ａ
より、洗浄液ｂを金属板１の下面に向かって吹き付け、
金属板１のエッチング処理面１ａに付着するエッチング
液ａを洗浄除去することにより、エッチングの進行を停
止させ、その後、必要に応じて、金属板１の下面、及び
上面に対して、適宜に洗浄処理を行って、パターンエッ
チングを終了するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のパターンエ
ッチング方法によれば、エッチング処理すべき処理面１
ａ（被エッチング処理面）を下側にして、金属板１を水
平搬送しながら、エッチング液ａを下から吹き付けるエ
ッチング方式を用いているため、水平状態の被エッチン
グ処理面には、部分的に粒状のエッチング液ａ1 （例え
ば、平面的な直径が０．５ｃｍ〜２．０ｃｍ程度）が垂
れ下がった状態で滞留付着する。
ッチング方法によれば、エッチング処理すべき処理面１
ａ（被エッチング処理面）を下側にして、金属板１を水
平搬送しながら、エッチング液ａを下から吹き付けるエ
ッチング方式を用いているため、水平状態の被エッチン
グ処理面には、部分的に粒状のエッチング液ａ1 （例え
ば、平面的な直径が０．５ｃｍ〜２．０ｃｍ程度）が垂
れ下がった状態で滞留付着する。
【０００５】上記金属板１の処理面１ａに滞留したエッ
チング液ａ1 は、処理面１ａを過剰にエッチングして、
結果的に、不均一なエッチングの発生原因となる。その
ため、上記エッチング液ノズル部２によるエッチング液
ａの吹き付け領域を通過した金属板１が、洗浄液ノズル
４による洗浄液ｂの吹き付け領域に到達するまでの時間
（距離はＬ）が掛かり過ぎずに適正であることが、エッ
チング処理における重要課題となる。
チング液ａ1 は、処理面１ａを過剰にエッチングして、
結果的に、不均一なエッチングの発生原因となる。その
ため、上記エッチング液ノズル部２によるエッチング液
ａの吹き付け領域を通過した金属板１が、洗浄液ノズル
４による洗浄液ｂの吹き付け領域に到達するまでの時間
（距離はＬ）が掛かり過ぎずに適正であることが、エッ
チング処理における重要課題となる。
【０００６】本発明は、エッチング液ノズル部と洗浄液
ノズル部との間隔を最小限に止めてエッチング処理及び
洗浄処理することによって、不均一なエッチング処理の
発生を回避することにある。
ノズル部との間隔を最小限に止めてエッチング処理及び
洗浄処理することによって、不均一なエッチング処理の
発生を回避することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、水平姿勢で搬
送されるパターンエッチング用レジスト膜を形成した金
属板１の下面に向かって、エッチング液ノズル部２より
エッチング液を吹き付けながらエッチング処理した後、
水平姿勢で搬送される該金属板１の下面に向かって搬送
方向とは反対方向の斜め上向きに、洗浄液ノズル部４よ
り洗浄液ｂを吹き付けて洗浄することを特徴とする金属
板のパターンエッチング方法である。
送されるパターンエッチング用レジスト膜を形成した金
属板１の下面に向かって、エッチング液ノズル部２より
エッチング液を吹き付けながらエッチング処理した後、
水平姿勢で搬送される該金属板１の下面に向かって搬送
方向とは反対方向の斜め上向きに、洗浄液ノズル部４よ
り洗浄液ｂを吹き付けて洗浄することを特徴とする金属
板のパターンエッチング方法である。
【０００８】
【実施例】本発明の金属板のパターンエッチング方法
を、図１の実施例に従って詳細に説明する。
を、図１の実施例に従って詳細に説明する。
【０００９】エッチング処理すべき金属板１は、その一
面（エッチング処理面１ａ）に、所定パターン形状のエ
ッチングすべき領域を除いて、予めフォトレジスト（感
光性樹脂）を用いて、パターン露光と現像処理によって
レジスト膜がパターン形成され、また必要に応じて、該
金属板１の他面にも適宜パターン形状若しくは全面ベタ
状にレジスト膜が形成されている。
面（エッチング処理面１ａ）に、所定パターン形状のエ
ッチングすべき領域を除いて、予めフォトレジスト（感
光性樹脂）を用いて、パターン露光と現像処理によって
レジスト膜がパターン形成され、また必要に応じて、該
金属板１の他面にも適宜パターン形状若しくは全面ベタ
状にレジスト膜が形成されている。
【００１０】まず、エッチング処理すべき金属板１を、
図１左方向よりエッチング処理チャンバーＡ内に水平に
搬入して、ロールコンベア、メッシュ（網目）状ベルト
コンベア等の適宜搬送手段（図示せず）により、該チャ
ンバーＡ内に設置されたエッチング液ノズル部２上方
に、そのエッチングすべき処理面１ａを下側にして、水
平に連続的に搬送する。なお、搬送速度は、搬送方向へ
のエッチング液ノズル部２の設置長さに対応して、適宜
に設定できるが、例えば、３０ｍｍ／秒〜１５０ｍｍ／
秒である。
図１左方向よりエッチング処理チャンバーＡ内に水平に
搬入して、ロールコンベア、メッシュ（網目）状ベルト
コンベア等の適宜搬送手段（図示せず）により、該チャ
ンバーＡ内に設置されたエッチング液ノズル部２上方
に、そのエッチングすべき処理面１ａを下側にして、水
平に連続的に搬送する。なお、搬送速度は、搬送方向へ
のエッチング液ノズル部２の設置長さに対応して、適宜
に設定できるが、例えば、３０ｍｍ／秒〜１５０ｍｍ／
秒である。
【００１１】上記エッチング液ノズル部２の上方に、金
属板１を水平に搬送する際に、該エッチング液ノズル部
２のノズル２ａより、金属板１下面に向かって上向きに
エッチング液ａを吹き付け、金属板１のレジスト膜部分
以外の処理面１ａにエッチング液ａを接触させてエッチ
ングを行なう。
属板１を水平に搬送する際に、該エッチング液ノズル部
２のノズル２ａより、金属板１下面に向かって上向きに
エッチング液ａを吹き付け、金属板１のレジスト膜部分
以外の処理面１ａにエッチング液ａを接触させてエッチ
ングを行なう。
【００１２】続いて、金属板１を継続して水平搬送し
て、駆動回転するロールコンベア３（例えば対向する上
部ロール３ａと下部ロール３ｂ）に水平姿勢で送り込
み、ロールコンベア３に送り込まれた金属板１を、洗浄
処理チャンバーＢ内に搬入して、洗浄液ノズル部４上方
に水平に搬送する。なお、搬送速度は、搬送方向への線
条液ノズル部４の設置長さに対応して適宜に設定でき、
上記エッチング処理チャンバーＡ内での搬送速度と同速
度、又はそれより速い速度若しくは遅い速度のいずれに
も設定できるが、例えば、３０ｍｍ／秒〜１５０ｍｍ／
秒である。
て、駆動回転するロールコンベア３（例えば対向する上
部ロール３ａと下部ロール３ｂ）に水平姿勢で送り込
み、ロールコンベア３に送り込まれた金属板１を、洗浄
処理チャンバーＢ内に搬入して、洗浄液ノズル部４上方
に水平に搬送する。なお、搬送速度は、搬送方向への線
条液ノズル部４の設置長さに対応して適宜に設定でき、
上記エッチング処理チャンバーＡ内での搬送速度と同速
度、又はそれより速い速度若しくは遅い速度のいずれに
も設定できるが、例えば、３０ｍｍ／秒〜１５０ｍｍ／
秒である。
【００１３】上記洗浄液ノズル部４の上方に、金属板１
を水平に搬送する際に、該洗浄液ノズル部４のノズル４
ａより、金属板１下面に向かって、搬送方向に対して反
対方向の斜め上向きに、洗浄水、アルコール液等の洗浄
液ｂを吹き付け、金属板１の処理面１ａに付着するエッ
チング液ａ1 （エッチング液ａ本体、及びエッチング排
液）を洗浄除去する。
を水平に搬送する際に、該洗浄液ノズル部４のノズル４
ａより、金属板１下面に向かって、搬送方向に対して反
対方向の斜め上向きに、洗浄水、アルコール液等の洗浄
液ｂを吹き付け、金属板１の処理面１ａに付着するエッ
チング液ａ1 （エッチング液ａ本体、及びエッチング排
液）を洗浄除去する。
【００１４】このように、金属板１の処理面１ａを洗浄
した後に、該金属板１に付着する洗浄液ｂ1 を、洗浄、
若しくは温風、熱風により乾燥させて、パターンエッチ
ングを終了するものである。
した後に、該金属板１に付着する洗浄液ｂ1 を、洗浄、
若しくは温風、熱風により乾燥させて、パターンエッチ
ングを終了するものである。
【００１５】本発明方法においては、図１に示すよう
に、洗浄液ノズル部４のノズル４ａより吹き付ける洗浄
液ｂの吹き付け角度θは、θ＝２５°〜３０°又はθ＝
３０°〜３５°程度が適当である。
に、洗浄液ノズル部４のノズル４ａより吹き付ける洗浄
液ｂの吹き付け角度θは、θ＝２５°〜３０°又はθ＝
３０°〜３５°程度が適当である。
【００１６】また本発明方法においては、図１に示すよ
うに、上記金属板１がエッチング液ノズル部２によるエ
ッチング液ａの吹き付け領域を通過するエッチング液吹
き付け終了点と、金属板１が洗浄液ノズル４による洗浄
液ｂの吹き付け領域に到達する洗浄液吹き付け開始点ま
での距離Ｌは、Ｌ＝１００ｍｍ以下が適当であり、Ｌ＝
−１０ｍｍ〜０ｍｍ（マイナスは、オーバーラップ部分
の距離を示す）、あるいはＬ＝０ｍｍ〜＋１００ｍｍ程
度が適当である。
うに、上記金属板１がエッチング液ノズル部２によるエ
ッチング液ａの吹き付け領域を通過するエッチング液吹
き付け終了点と、金属板１が洗浄液ノズル４による洗浄
液ｂの吹き付け領域に到達する洗浄液吹き付け開始点ま
での距離Ｌは、Ｌ＝１００ｍｍ以下が適当であり、Ｌ＝
−１０ｍｍ〜０ｍｍ（マイナスは、オーバーラップ部分
の距離を示す）、あるいはＬ＝０ｍｍ〜＋１００ｍｍ程
度が適当である。
【００１７】また、図１に示すように、エッチング液ノ
ズル部２と洗浄液ノズル部４との間には、金属板１下面
に向かって、搬送方向に対して反対方向の斜め上向きに
洗浄液ｂを吹き付けた際に、エッチング液ノズル２方向
に洗浄液ｂが飛散しないように、金属板１の搬送路上側
に、防御板５を設置することは可能である。
ズル部２と洗浄液ノズル部４との間には、金属板１下面
に向かって、搬送方向に対して反対方向の斜め上向きに
洗浄液ｂを吹き付けた際に、エッチング液ノズル２方向
に洗浄液ｂが飛散しないように、金属板１の搬送路上側
に、防御板５を設置することは可能である。
【００１８】また、図１におけるエッチング処理チャン
バーＡは、洗浄処理チャンバーＢを兼ねるようにして、
エッチング処理チャンバーＡ内に、エッチング液ノズル
部２と洗浄液ノズル部４とを設置するようにしてもよ
い。
バーＡは、洗浄処理チャンバーＢを兼ねるようにして、
エッチング処理チャンバーＡ内に、エッチング液ノズル
部２と洗浄液ノズル部４とを設置するようにしてもよ
い。
【００１９】次に、本発明方法の具体的実施例を以下に
示す。
示す。
【００２０】＜実施例１＞厚さ５ｍｍのステンレス鋼板
（５０ｃｍ角）の表面を研磨処理した後、厚さ３μｍに
ニッケルメッキによりエッチング停止用ニッケル層を形
成し、その上に厚さ１０μｍの銅メッキ層を施した。
（５０ｃｍ角）の表面を研磨処理した後、厚さ３μｍに
ニッケルメッキによりエッチング停止用ニッケル層を形
成し、その上に厚さ１０μｍの銅メッキ層を施した。
【００２１】上記銅メッキ層上に、感光性レジスト樹脂
（ＰＭＥＲ Ｎ−ＨＣ４０；東京応化工業（株）製）
を、厚さ１０μｍに塗布して感光性レジスト樹脂層を形
成し、原版マスク（フォトマスク）を介して、感光性レ
ジスト樹脂層をパターン露光して、現像処理し、ポスト
ベーク処理（１２０℃、３０分間加熱）を行って、凹版
印刷版のインキセル部とすべき個所の銅面が露出したパ
ターンレジスト膜を形成して、凹版印刷版用のエッチン
グ製版用材を作成した。
（ＰＭＥＲ Ｎ−ＨＣ４０；東京応化工業（株）製）
を、厚さ１０μｍに塗布して感光性レジスト樹脂層を形
成し、原版マスク（フォトマスク）を介して、感光性レ
ジスト樹脂層をパターン露光して、現像処理し、ポスト
ベーク処理（１２０℃、３０分間加熱）を行って、凹版
印刷版のインキセル部とすべき個所の銅面が露出したパ
ターンレジスト膜を形成して、凹版印刷版用のエッチン
グ製版用材を作成した。
【００２２】次に、上記エッチング製版用材の被エッチ
ング処理面を下向きにして、ロールコンベアにて、エッ
チング処理チャンバー内に水平搬送し、圧力１．５ｋｇ
／ｃｍ2 、温度３５℃、濃度３８°ボーメにて、塩化第
二鉄水溶液を下方より吹き付けてスプレーエッチングを
行い、エッチング終了後は、搬送方向下流側のエッチン
グ液の吹き付け領域端部と、搬送方向上流側の洗浄液の
吹き付け領域端部との間の離間距離Ｌを１０ｍｍを以て
洗浄液ノズルを設置した洗浄処理チャンバー内に水平搬
送して、直ちに、被エッチング面を、圧力２ｋｇ／ｃｍ
2 、エッチング製版用材の水平搬送面とのなす角度θ＝
３０°にて、被エッチング面の進行方向とは逆方向か
ら、洗浄水を吹き付けて洗浄を行った。
ング処理面を下向きにして、ロールコンベアにて、エッ
チング処理チャンバー内に水平搬送し、圧力１．５ｋｇ
／ｃｍ2 、温度３５℃、濃度３８°ボーメにて、塩化第
二鉄水溶液を下方より吹き付けてスプレーエッチングを
行い、エッチング終了後は、搬送方向下流側のエッチン
グ液の吹き付け領域端部と、搬送方向上流側の洗浄液の
吹き付け領域端部との間の離間距離Ｌを１０ｍｍを以て
洗浄液ノズルを設置した洗浄処理チャンバー内に水平搬
送して、直ちに、被エッチング面を、圧力２ｋｇ／ｃｍ
2 、エッチング製版用材の水平搬送面とのなす角度θ＝
３０°にて、被エッチング面の進行方向とは逆方向か
ら、洗浄水を吹き付けて洗浄を行った。
【００２３】上記方法によりエッチング処理したエッチ
ング製版用材のエッチング処理面には、均一なエッチン
グ面が得られた。
ング製版用材のエッチング処理面には、均一なエッチン
グ面が得られた。
【００２４】
【作用】本発明の金属板のエッチング方法は、レジスト
膜をパターン形成した金属板１の下面に向かってエッチ
ング液ノズル部２よりエッチング液を吹き付けながらエ
ッチング処理した後に、水平姿勢で搬送される該金属板
１の下面に向かって搬送方向とは反対方向の斜め上向き
に、洗浄液ノズル部４より洗浄液ｂを吹き付けて洗浄す
るようにしたので、洗浄液ｂの吹き付けによる洗浄処理
操作は、エッチング液ａの吹き付けによるエッチング処
理操作領域に近接した領域、又はエッチング処理操作領
域に僅かにオーバーラップした領域にて開始される。
膜をパターン形成した金属板１の下面に向かってエッチ
ング液ノズル部２よりエッチング液を吹き付けながらエ
ッチング処理した後に、水平姿勢で搬送される該金属板
１の下面に向かって搬送方向とは反対方向の斜め上向き
に、洗浄液ノズル部４より洗浄液ｂを吹き付けて洗浄す
るようにしたので、洗浄液ｂの吹き付けによる洗浄処理
操作は、エッチング液ａの吹き付けによるエッチング処
理操作領域に近接した領域、又はエッチング処理操作領
域に僅かにオーバーラップした領域にて開始される。
【００２５】そのため、エッチング液ａの吹き付け領域
を通過した金属板１のエッチング処理面１ａに粒状のエ
ッチング液ａ1 が滞留する時間を短縮、又は解消するこ
とができ、エッチング液ａの吹き付け領域を通過した処
理面１ａ、又はエッチング液ａの吹き付け領域を通過終
了する直前の処理面１ａに対して直ちに、洗浄液ｂを吹
き付け供給して、エッチングの過剰進行を回避すること
ができ、また、処理面１ａに粒状に滞留するエッチング
液ａ1 による不均一なエッチングの発生を回避すること
ができる。
を通過した金属板１のエッチング処理面１ａに粒状のエ
ッチング液ａ1 が滞留する時間を短縮、又は解消するこ
とができ、エッチング液ａの吹き付け領域を通過した処
理面１ａ、又はエッチング液ａの吹き付け領域を通過終
了する直前の処理面１ａに対して直ちに、洗浄液ｂを吹
き付け供給して、エッチングの過剰進行を回避すること
ができ、また、処理面１ａに粒状に滞留するエッチング
液ａ1 による不均一なエッチングの発生を回避すること
ができる。
【００２６】
【発明の効果】本発明の金属板のエッチング方法は、金
属板を水平搬送しながらエッチング液ａを金属板の下面
から吹き付けるエッチング方式を用いた場合において有
効であり、エッチング液ノズル部と洗浄液ノズル部との
間隔を最小限に止めてエッチング処理及び洗浄処理する
ことによって、水平状態に下向きとなっている金属板の
被エッチング処理面に、部分的に粒状に垂れ下がった状
態で滞留付着し易いエッチング液を直ちに洗浄除去でき
る効果があり、不均一なエッチング処理の発生を回避で
きる効果がある。
属板を水平搬送しながらエッチング液ａを金属板の下面
から吹き付けるエッチング方式を用いた場合において有
効であり、エッチング液ノズル部と洗浄液ノズル部との
間隔を最小限に止めてエッチング処理及び洗浄処理する
ことによって、水平状態に下向きとなっている金属板の
被エッチング処理面に、部分的に粒状に垂れ下がった状
態で滞留付着し易いエッチング液を直ちに洗浄除去でき
る効果があり、不均一なエッチング処理の発生を回避で
きる効果がある。
【図１】本発明の金属板のエッチング方法の一実施例を
説明する側面図である。
説明する側面図である。
【図２】従来の金属板のエッチング方法を説明する側面
図である。
図である。
Ａ…エッチング処理チャンバー Ｂ…洗浄処理チャンバ
ー ａ…エッチング液 ｂ…洗浄液 １…金属板 １ａ…処理面 ２…エッチング液ノズル
２ａ…ノズル ３…搬送ロール ４…洗浄液ノズル ４ａ…ノズル ５
…飛散防御板
ー ａ…エッチング液 ｂ…洗浄液 １…金属板 １ａ…処理面 ２…エッチング液ノズル
２ａ…ノズル ３…搬送ロール ４…洗浄液ノズル ４ａ…ノズル ５
…飛散防御板
Claims (2)
- 【請求項１】水平姿勢で搬送されるパターンエッチング
用レジスト膜を形成した金属板１の下面に向かって、エ
ッチング液ノズル部２よりエッチング液を吹き付けなが
らエッチング処理した後、水平姿勢で搬送される該金属
板１の下面に向かって搬送方向とは反対方向の斜め上向
きに、洗浄液ノズル部４より洗浄液ｂを吹き付けて洗浄
することを特徴とする金属板のパターンエッチング方
法。 - 【請求項２】前記エッチング液ノズル部２から吹き付け
られるエッチング液ａの金属板１下面に対する吹き付け
終了地点と、前記洗浄液ノズル部から吹き付けられる洗
浄液ｂの金属板１下面に対する吹き付け開始地点との設
定間隔が、−１０ｍｍ〜＋１００ｍｍである請求項１記
載の金属板のパターンエッチング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14998594A JPH0813164A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 金属板のパターンエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14998594A JPH0813164A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 金属板のパターンエッチング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0813164A true JPH0813164A (ja) | 1996-01-16 |
Family
ID=15486955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14998594A Pending JPH0813164A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 金属板のパターンエッチング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0813164A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0836370A1 (en) * | 1996-10-08 | 1998-04-15 | Takanori Tsubaki | Method and system for etching substrates for printed circuit boards |
| JP2011016217A (ja) * | 2009-07-07 | 2011-01-27 | Lai Chu Tsai | 一回のエッチングによりダイカットを直接形成する方法及びその方法により形成されたダイカット |
| CN113862674A (zh) * | 2021-11-09 | 2021-12-31 | 贵州航天南海科技有限责任公司 | 一种仰喷腐蚀加工系统及其加工方法 |
-
1994
- 1994-06-30 JP JP14998594A patent/JPH0813164A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0836370A1 (en) * | 1996-10-08 | 1998-04-15 | Takanori Tsubaki | Method and system for etching substrates for printed circuit boards |
| JP2011016217A (ja) * | 2009-07-07 | 2011-01-27 | Lai Chu Tsai | 一回のエッチングによりダイカットを直接形成する方法及びその方法により形成されたダイカット |
| CN113862674A (zh) * | 2021-11-09 | 2021-12-31 | 贵州航天南海科技有限责任公司 | 一种仰喷腐蚀加工系统及其加工方法 |
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