JPH0813164A - 金属板のパターンエッチング方法 - Google Patents
金属板のパターンエッチング方法Info
- Publication number
- JPH0813164A JPH0813164A JP14998594A JP14998594A JPH0813164A JP H0813164 A JPH0813164 A JP H0813164A JP 14998594 A JP14998594 A JP 14998594A JP 14998594 A JP14998594 A JP 14998594A JP H0813164 A JPH0813164 A JP H0813164A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- metal plate
- spraying
- liquid
- rear surface
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- Pending
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- Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】エッチング液ノズル部と洗浄液ノズル部との間
隔を最小限に止めてエッチング処理及び洗浄処理するこ
とによって、不均一なエッチング処理の発生を回避する
ことにある。 【構成】水平姿勢で搬送されるパターンエッチング用レ
ジスト膜を形成した金属板1の下面に向かって、エッチ
ング液ノズル部2よりエッチング液を吹き付けながらエ
ッチング処理した後、水平姿勢で搬送される該金属板1
の下面に向かって搬送方向とは反対方向の斜め上向き
に、洗浄液ノズル部4より洗浄液bを吹き付けて洗浄す
る。
隔を最小限に止めてエッチング処理及び洗浄処理するこ
とによって、不均一なエッチング処理の発生を回避する
ことにある。 【構成】水平姿勢で搬送されるパターンエッチング用レ
ジスト膜を形成した金属板1の下面に向かって、エッチ
ング液ノズル部2よりエッチング液を吹き付けながらエ
ッチング処理した後、水平姿勢で搬送される該金属板1
の下面に向かって搬送方向とは反対方向の斜め上向き
に、洗浄液ノズル部4より洗浄液bを吹き付けて洗浄す
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、金属板をエッチング液
によりエッチング処理した後に、洗浄液にて洗浄処理す
る金属板のパターンエッチング方法に関する。
によりエッチング処理した後に、洗浄液にて洗浄処理す
る金属板のパターンエッチング方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の金属板エッチング方法は、図2に
示すように、エッチングチャンバーA内に設置されたエ
ッチング液ノズル部2のノズル2aから、金属エッチン
グ用のエッチング液aを、水平搬送されるパターンエッ
チング用レジスト膜(パターン露光と現像処理にて形成
されたパターン状のフォトレジスト膜など)を形成した
金属板1の下面(下面がエッチング処理面となる)に向
かって吹き付けながら、金属板1のエッチング処理面1
a側をエッチング処理する。
示すように、エッチングチャンバーA内に設置されたエ
ッチング液ノズル部2のノズル2aから、金属エッチン
グ用のエッチング液aを、水平搬送されるパターンエッ
チング用レジスト膜(パターン露光と現像処理にて形成
されたパターン状のフォトレジスト膜など)を形成した
金属板1の下面(下面がエッチング処理面となる)に向
かって吹き付けながら、金属板1のエッチング処理面1
a側をエッチング処理する。
【0003】続いて、直ちに、金属板1を、駆動回転す
る搬送ロール3によって、エッチング液を洗浄除去する
ための洗浄処理チャンバーB内に水平に搬入して、チャ
ンバーB内に設置された洗浄液ノズル部4のノズル4a
より、洗浄液bを金属板1の下面に向かって吹き付け、
金属板1のエッチング処理面1aに付着するエッチング
液aを洗浄除去することにより、エッチングの進行を停
止させ、その後、必要に応じて、金属板1の下面、及び
上面に対して、適宜に洗浄処理を行って、パターンエッ
チングを終了するものである。
る搬送ロール3によって、エッチング液を洗浄除去する
ための洗浄処理チャンバーB内に水平に搬入して、チャ
ンバーB内に設置された洗浄液ノズル部4のノズル4a
より、洗浄液bを金属板1の下面に向かって吹き付け、
金属板1のエッチング処理面1aに付着するエッチング
液aを洗浄除去することにより、エッチングの進行を停
止させ、その後、必要に応じて、金属板1の下面、及び
上面に対して、適宜に洗浄処理を行って、パターンエッ
チングを終了するものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のパターンエ
ッチング方法によれば、エッチング処理すべき処理面1
a(被エッチング処理面)を下側にして、金属板1を水
平搬送しながら、エッチング液aを下から吹き付けるエ
ッチング方式を用いているため、水平状態の被エッチン
グ処理面には、部分的に粒状のエッチング液a1 (例え
ば、平面的な直径が0.5cm〜2.0cm程度)が垂
れ下がった状態で滞留付着する。
ッチング方法によれば、エッチング処理すべき処理面1
a(被エッチング処理面)を下側にして、金属板1を水
平搬送しながら、エッチング液aを下から吹き付けるエ
ッチング方式を用いているため、水平状態の被エッチン
グ処理面には、部分的に粒状のエッチング液a1 (例え
ば、平面的な直径が0.5cm〜2.0cm程度)が垂
れ下がった状態で滞留付着する。
【0005】上記金属板1の処理面1aに滞留したエッ
チング液a1 は、処理面1aを過剰にエッチングして、
結果的に、不均一なエッチングの発生原因となる。その
ため、上記エッチング液ノズル部2によるエッチング液
aの吹き付け領域を通過した金属板1が、洗浄液ノズル
4による洗浄液bの吹き付け領域に到達するまでの時間
(距離はL)が掛かり過ぎずに適正であることが、エッ
チング処理における重要課題となる。
チング液a1 は、処理面1aを過剰にエッチングして、
結果的に、不均一なエッチングの発生原因となる。その
ため、上記エッチング液ノズル部2によるエッチング液
aの吹き付け領域を通過した金属板1が、洗浄液ノズル
4による洗浄液bの吹き付け領域に到達するまでの時間
(距離はL)が掛かり過ぎずに適正であることが、エッ
チング処理における重要課題となる。
【0006】本発明は、エッチング液ノズル部と洗浄液
ノズル部との間隔を最小限に止めてエッチング処理及び
洗浄処理することによって、不均一なエッチング処理の
発生を回避することにある。
ノズル部との間隔を最小限に止めてエッチング処理及び
洗浄処理することによって、不均一なエッチング処理の
発生を回避することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、水平姿勢で搬
送されるパターンエッチング用レジスト膜を形成した金
属板1の下面に向かって、エッチング液ノズル部2より
エッチング液を吹き付けながらエッチング処理した後、
水平姿勢で搬送される該金属板1の下面に向かって搬送
方向とは反対方向の斜め上向きに、洗浄液ノズル部4よ
り洗浄液bを吹き付けて洗浄することを特徴とする金属
板のパターンエッチング方法である。
送されるパターンエッチング用レジスト膜を形成した金
属板1の下面に向かって、エッチング液ノズル部2より
エッチング液を吹き付けながらエッチング処理した後、
水平姿勢で搬送される該金属板1の下面に向かって搬送
方向とは反対方向の斜め上向きに、洗浄液ノズル部4よ
り洗浄液bを吹き付けて洗浄することを特徴とする金属
板のパターンエッチング方法である。
【0008】
【実施例】本発明の金属板のパターンエッチング方法
を、図1の実施例に従って詳細に説明する。
を、図1の実施例に従って詳細に説明する。
【0009】エッチング処理すべき金属板1は、その一
面(エッチング処理面1a)に、所定パターン形状のエ
ッチングすべき領域を除いて、予めフォトレジスト(感
光性樹脂)を用いて、パターン露光と現像処理によって
レジスト膜がパターン形成され、また必要に応じて、該
金属板1の他面にも適宜パターン形状若しくは全面ベタ
状にレジスト膜が形成されている。
面(エッチング処理面1a)に、所定パターン形状のエ
ッチングすべき領域を除いて、予めフォトレジスト(感
光性樹脂)を用いて、パターン露光と現像処理によって
レジスト膜がパターン形成され、また必要に応じて、該
金属板1の他面にも適宜パターン形状若しくは全面ベタ
状にレジスト膜が形成されている。
【0010】まず、エッチング処理すべき金属板1を、
図1左方向よりエッチング処理チャンバーA内に水平に
搬入して、ロールコンベア、メッシュ(網目)状ベルト
コンベア等の適宜搬送手段(図示せず)により、該チャ
ンバーA内に設置されたエッチング液ノズル部2上方
に、そのエッチングすべき処理面1aを下側にして、水
平に連続的に搬送する。なお、搬送速度は、搬送方向へ
のエッチング液ノズル部2の設置長さに対応して、適宜
に設定できるが、例えば、30mm/秒〜150mm/
秒である。
図1左方向よりエッチング処理チャンバーA内に水平に
搬入して、ロールコンベア、メッシュ(網目)状ベルト
コンベア等の適宜搬送手段(図示せず)により、該チャ
ンバーA内に設置されたエッチング液ノズル部2上方
に、そのエッチングすべき処理面1aを下側にして、水
平に連続的に搬送する。なお、搬送速度は、搬送方向へ
のエッチング液ノズル部2の設置長さに対応して、適宜
に設定できるが、例えば、30mm/秒〜150mm/
秒である。
【0011】上記エッチング液ノズル部2の上方に、金
属板1を水平に搬送する際に、該エッチング液ノズル部
2のノズル2aより、金属板1下面に向かって上向きに
エッチング液aを吹き付け、金属板1のレジスト膜部分
以外の処理面1aにエッチング液aを接触させてエッチ
ングを行なう。
属板1を水平に搬送する際に、該エッチング液ノズル部
2のノズル2aより、金属板1下面に向かって上向きに
エッチング液aを吹き付け、金属板1のレジスト膜部分
以外の処理面1aにエッチング液aを接触させてエッチ
ングを行なう。
【0012】続いて、金属板1を継続して水平搬送し
て、駆動回転するロールコンベア3(例えば対向する上
部ロール3aと下部ロール3b)に水平姿勢で送り込
み、ロールコンベア3に送り込まれた金属板1を、洗浄
処理チャンバーB内に搬入して、洗浄液ノズル部4上方
に水平に搬送する。なお、搬送速度は、搬送方向への線
条液ノズル部4の設置長さに対応して適宜に設定でき、
上記エッチング処理チャンバーA内での搬送速度と同速
度、又はそれより速い速度若しくは遅い速度のいずれに
も設定できるが、例えば、30mm/秒〜150mm/
秒である。
て、駆動回転するロールコンベア3(例えば対向する上
部ロール3aと下部ロール3b)に水平姿勢で送り込
み、ロールコンベア3に送り込まれた金属板1を、洗浄
処理チャンバーB内に搬入して、洗浄液ノズル部4上方
に水平に搬送する。なお、搬送速度は、搬送方向への線
条液ノズル部4の設置長さに対応して適宜に設定でき、
上記エッチング処理チャンバーA内での搬送速度と同速
度、又はそれより速い速度若しくは遅い速度のいずれに
も設定できるが、例えば、30mm/秒〜150mm/
秒である。
【0013】上記洗浄液ノズル部4の上方に、金属板1
を水平に搬送する際に、該洗浄液ノズル部4のノズル4
aより、金属板1下面に向かって、搬送方向に対して反
対方向の斜め上向きに、洗浄水、アルコール液等の洗浄
液bを吹き付け、金属板1の処理面1aに付着するエッ
チング液a1 (エッチング液a本体、及びエッチング排
液)を洗浄除去する。
を水平に搬送する際に、該洗浄液ノズル部4のノズル4
aより、金属板1下面に向かって、搬送方向に対して反
対方向の斜め上向きに、洗浄水、アルコール液等の洗浄
液bを吹き付け、金属板1の処理面1aに付着するエッ
チング液a1 (エッチング液a本体、及びエッチング排
液)を洗浄除去する。
【0014】このように、金属板1の処理面1aを洗浄
した後に、該金属板1に付着する洗浄液b1 を、洗浄、
若しくは温風、熱風により乾燥させて、パターンエッチ
ングを終了するものである。
した後に、該金属板1に付着する洗浄液b1 を、洗浄、
若しくは温風、熱風により乾燥させて、パターンエッチ
ングを終了するものである。
【0015】本発明方法においては、図1に示すよう
に、洗浄液ノズル部4のノズル4aより吹き付ける洗浄
液bの吹き付け角度θは、θ=25°〜30°又はθ=
30°〜35°程度が適当である。
に、洗浄液ノズル部4のノズル4aより吹き付ける洗浄
液bの吹き付け角度θは、θ=25°〜30°又はθ=
30°〜35°程度が適当である。
【0016】また本発明方法においては、図1に示すよ
うに、上記金属板1がエッチング液ノズル部2によるエ
ッチング液aの吹き付け領域を通過するエッチング液吹
き付け終了点と、金属板1が洗浄液ノズル4による洗浄
液bの吹き付け領域に到達する洗浄液吹き付け開始点ま
での距離Lは、L=100mm以下が適当であり、L=
−10mm〜0mm(マイナスは、オーバーラップ部分
の距離を示す)、あるいはL=0mm〜+100mm程
度が適当である。
うに、上記金属板1がエッチング液ノズル部2によるエ
ッチング液aの吹き付け領域を通過するエッチング液吹
き付け終了点と、金属板1が洗浄液ノズル4による洗浄
液bの吹き付け領域に到達する洗浄液吹き付け開始点ま
での距離Lは、L=100mm以下が適当であり、L=
−10mm〜0mm(マイナスは、オーバーラップ部分
の距離を示す)、あるいはL=0mm〜+100mm程
度が適当である。
【0017】また、図1に示すように、エッチング液ノ
ズル部2と洗浄液ノズル部4との間には、金属板1下面
に向かって、搬送方向に対して反対方向の斜め上向きに
洗浄液bを吹き付けた際に、エッチング液ノズル2方向
に洗浄液bが飛散しないように、金属板1の搬送路上側
に、防御板5を設置することは可能である。
ズル部2と洗浄液ノズル部4との間には、金属板1下面
に向かって、搬送方向に対して反対方向の斜め上向きに
洗浄液bを吹き付けた際に、エッチング液ノズル2方向
に洗浄液bが飛散しないように、金属板1の搬送路上側
に、防御板5を設置することは可能である。
【0018】また、図1におけるエッチング処理チャン
バーAは、洗浄処理チャンバーBを兼ねるようにして、
エッチング処理チャンバーA内に、エッチング液ノズル
部2と洗浄液ノズル部4とを設置するようにしてもよ
い。
バーAは、洗浄処理チャンバーBを兼ねるようにして、
エッチング処理チャンバーA内に、エッチング液ノズル
部2と洗浄液ノズル部4とを設置するようにしてもよ
い。
【0019】次に、本発明方法の具体的実施例を以下に
示す。
示す。
【0020】<実施例1>厚さ5mmのステンレス鋼板
(50cm角)の表面を研磨処理した後、厚さ3μmに
ニッケルメッキによりエッチング停止用ニッケル層を形
成し、その上に厚さ10μmの銅メッキ層を施した。
(50cm角)の表面を研磨処理した後、厚さ3μmに
ニッケルメッキによりエッチング停止用ニッケル層を形
成し、その上に厚さ10μmの銅メッキ層を施した。
【0021】上記銅メッキ層上に、感光性レジスト樹脂
(PMER N−HC40;東京応化工業(株)製)
を、厚さ10μmに塗布して感光性レジスト樹脂層を形
成し、原版マスク(フォトマスク)を介して、感光性レ
ジスト樹脂層をパターン露光して、現像処理し、ポスト
ベーク処理(120℃、30分間加熱)を行って、凹版
印刷版のインキセル部とすべき個所の銅面が露出したパ
ターンレジスト膜を形成して、凹版印刷版用のエッチン
グ製版用材を作成した。
(PMER N−HC40;東京応化工業(株)製)
を、厚さ10μmに塗布して感光性レジスト樹脂層を形
成し、原版マスク(フォトマスク)を介して、感光性レ
ジスト樹脂層をパターン露光して、現像処理し、ポスト
ベーク処理(120℃、30分間加熱)を行って、凹版
印刷版のインキセル部とすべき個所の銅面が露出したパ
ターンレジスト膜を形成して、凹版印刷版用のエッチン
グ製版用材を作成した。
【0022】次に、上記エッチング製版用材の被エッチ
ング処理面を下向きにして、ロールコンベアにて、エッ
チング処理チャンバー内に水平搬送し、圧力1.5kg
/cm2 、温度35℃、濃度38°ボーメにて、塩化第
二鉄水溶液を下方より吹き付けてスプレーエッチングを
行い、エッチング終了後は、搬送方向下流側のエッチン
グ液の吹き付け領域端部と、搬送方向上流側の洗浄液の
吹き付け領域端部との間の離間距離Lを10mmを以て
洗浄液ノズルを設置した洗浄処理チャンバー内に水平搬
送して、直ちに、被エッチング面を、圧力2kg/cm
2 、エッチング製版用材の水平搬送面とのなす角度θ=
30°にて、被エッチング面の進行方向とは逆方向か
ら、洗浄水を吹き付けて洗浄を行った。
ング処理面を下向きにして、ロールコンベアにて、エッ
チング処理チャンバー内に水平搬送し、圧力1.5kg
/cm2 、温度35℃、濃度38°ボーメにて、塩化第
二鉄水溶液を下方より吹き付けてスプレーエッチングを
行い、エッチング終了後は、搬送方向下流側のエッチン
グ液の吹き付け領域端部と、搬送方向上流側の洗浄液の
吹き付け領域端部との間の離間距離Lを10mmを以て
洗浄液ノズルを設置した洗浄処理チャンバー内に水平搬
送して、直ちに、被エッチング面を、圧力2kg/cm
2 、エッチング製版用材の水平搬送面とのなす角度θ=
30°にて、被エッチング面の進行方向とは逆方向か
ら、洗浄水を吹き付けて洗浄を行った。
【0023】上記方法によりエッチング処理したエッチ
ング製版用材のエッチング処理面には、均一なエッチン
グ面が得られた。
ング製版用材のエッチング処理面には、均一なエッチン
グ面が得られた。
【0024】
【作用】本発明の金属板のエッチング方法は、レジスト
膜をパターン形成した金属板1の下面に向かってエッチ
ング液ノズル部2よりエッチング液を吹き付けながらエ
ッチング処理した後に、水平姿勢で搬送される該金属板
1の下面に向かって搬送方向とは反対方向の斜め上向き
に、洗浄液ノズル部4より洗浄液bを吹き付けて洗浄す
るようにしたので、洗浄液bの吹き付けによる洗浄処理
操作は、エッチング液aの吹き付けによるエッチング処
理操作領域に近接した領域、又はエッチング処理操作領
域に僅かにオーバーラップした領域にて開始される。
膜をパターン形成した金属板1の下面に向かってエッチ
ング液ノズル部2よりエッチング液を吹き付けながらエ
ッチング処理した後に、水平姿勢で搬送される該金属板
1の下面に向かって搬送方向とは反対方向の斜め上向き
に、洗浄液ノズル部4より洗浄液bを吹き付けて洗浄す
るようにしたので、洗浄液bの吹き付けによる洗浄処理
操作は、エッチング液aの吹き付けによるエッチング処
理操作領域に近接した領域、又はエッチング処理操作領
域に僅かにオーバーラップした領域にて開始される。
【0025】そのため、エッチング液aの吹き付け領域
を通過した金属板1のエッチング処理面1aに粒状のエ
ッチング液a1 が滞留する時間を短縮、又は解消するこ
とができ、エッチング液aの吹き付け領域を通過した処
理面1a、又はエッチング液aの吹き付け領域を通過終
了する直前の処理面1aに対して直ちに、洗浄液bを吹
き付け供給して、エッチングの過剰進行を回避すること
ができ、また、処理面1aに粒状に滞留するエッチング
液a1 による不均一なエッチングの発生を回避すること
ができる。
を通過した金属板1のエッチング処理面1aに粒状のエ
ッチング液a1 が滞留する時間を短縮、又は解消するこ
とができ、エッチング液aの吹き付け領域を通過した処
理面1a、又はエッチング液aの吹き付け領域を通過終
了する直前の処理面1aに対して直ちに、洗浄液bを吹
き付け供給して、エッチングの過剰進行を回避すること
ができ、また、処理面1aに粒状に滞留するエッチング
液a1 による不均一なエッチングの発生を回避すること
ができる。
【0026】
【発明の効果】本発明の金属板のエッチング方法は、金
属板を水平搬送しながらエッチング液aを金属板の下面
から吹き付けるエッチング方式を用いた場合において有
効であり、エッチング液ノズル部と洗浄液ノズル部との
間隔を最小限に止めてエッチング処理及び洗浄処理する
ことによって、水平状態に下向きとなっている金属板の
被エッチング処理面に、部分的に粒状に垂れ下がった状
態で滞留付着し易いエッチング液を直ちに洗浄除去でき
る効果があり、不均一なエッチング処理の発生を回避で
きる効果がある。
属板を水平搬送しながらエッチング液aを金属板の下面
から吹き付けるエッチング方式を用いた場合において有
効であり、エッチング液ノズル部と洗浄液ノズル部との
間隔を最小限に止めてエッチング処理及び洗浄処理する
ことによって、水平状態に下向きとなっている金属板の
被エッチング処理面に、部分的に粒状に垂れ下がった状
態で滞留付着し易いエッチング液を直ちに洗浄除去でき
る効果があり、不均一なエッチング処理の発生を回避で
きる効果がある。
【図1】本発明の金属板のエッチング方法の一実施例を
説明する側面図である。
説明する側面図である。
【図2】従来の金属板のエッチング方法を説明する側面
図である。
図である。
A…エッチング処理チャンバー B…洗浄処理チャンバ
ー a…エッチング液 b…洗浄液 1…金属板 1a…処理面 2…エッチング液ノズル
2a…ノズル 3…搬送ロール 4…洗浄液ノズル 4a…ノズル 5
…飛散防御板
ー a…エッチング液 b…洗浄液 1…金属板 1a…処理面 2…エッチング液ノズル
2a…ノズル 3…搬送ロール 4…洗浄液ノズル 4a…ノズル 5
…飛散防御板
Claims (2)
- 【請求項1】水平姿勢で搬送されるパターンエッチング
用レジスト膜を形成した金属板1の下面に向かって、エ
ッチング液ノズル部2よりエッチング液を吹き付けなが
らエッチング処理した後、水平姿勢で搬送される該金属
板1の下面に向かって搬送方向とは反対方向の斜め上向
きに、洗浄液ノズル部4より洗浄液bを吹き付けて洗浄
することを特徴とする金属板のパターンエッチング方
法。 - 【請求項2】前記エッチング液ノズル部2から吹き付け
られるエッチング液aの金属板1下面に対する吹き付け
終了地点と、前記洗浄液ノズル部から吹き付けられる洗
浄液bの金属板1下面に対する吹き付け開始地点との設
定間隔が、−10mm〜+100mmである請求項1記
載の金属板のパターンエッチング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14998594A JPH0813164A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 金属板のパターンエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14998594A JPH0813164A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 金属板のパターンエッチング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0813164A true JPH0813164A (ja) | 1996-01-16 |
Family
ID=15486955
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14998594A Pending JPH0813164A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 金属板のパターンエッチング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0813164A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0836370A1 (en) * | 1996-10-08 | 1998-04-15 | Takanori Tsubaki | Method and system for etching substrates for printed circuit boards |
JP2011016217A (ja) * | 2009-07-07 | 2011-01-27 | Lai Chu Tsai | 一回のエッチングによりダイカットを直接形成する方法及びその方法により形成されたダイカット |
CN113862674A (zh) * | 2021-11-09 | 2021-12-31 | 贵州航天南海科技有限责任公司 | 一种仰喷腐蚀加工系统及其加工方法 |
-
1994
- 1994-06-30 JP JP14998594A patent/JPH0813164A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0836370A1 (en) * | 1996-10-08 | 1998-04-15 | Takanori Tsubaki | Method and system for etching substrates for printed circuit boards |
JP2011016217A (ja) * | 2009-07-07 | 2011-01-27 | Lai Chu Tsai | 一回のエッチングによりダイカットを直接形成する方法及びその方法により形成されたダイカット |
CN113862674A (zh) * | 2021-11-09 | 2021-12-31 | 贵州航天南海科技有限责任公司 | 一种仰喷腐蚀加工系统及其加工方法 |
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