JPH08146613A - 長尺素材の処理装置 - Google Patents
長尺素材の処理装置Info
- Publication number
- JPH08146613A JPH08146613A JP6309913A JP30991394A JPH08146613A JP H08146613 A JPH08146613 A JP H08146613A JP 6309913 A JP6309913 A JP 6309913A JP 30991394 A JP30991394 A JP 30991394A JP H08146613 A JPH08146613 A JP H08146613A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- long material
- main surface
- cleaning liquid
- cleaning
- long
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C3/00—Apparatus in which the work is brought into contact with a bulk quantity of liquid or other fluent material
- B05C3/02—Apparatus in which the work is brought into contact with a bulk quantity of liquid or other fluent material the work being immersed in the liquid or other fluent material
- B05C3/12—Apparatus in which the work is brought into contact with a bulk quantity of liquid or other fluent material the work being immersed in the liquid or other fluent material for treating work of indefinite length
- B05C3/125—Apparatus in which the work is brought into contact with a bulk quantity of liquid or other fluent material the work being immersed in the liquid or other fluent material for treating work of indefinite length the work being a web, band, strip or the like
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
- B05C9/08—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation
- B05C9/10—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation the auxiliary operation being performed before the application
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/02—Local etching
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0091—Apparatus for coating printed circuits using liquid non-metallic coating compositions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 長尺素材をその長手方向に正確に搬送させつ
つ、長尺素材を洗浄した後、長尺素材の主面にレジスト
を均一に塗布することができる長尺素材の処理装置を提
供する。 【構成】 長尺素材５に洗浄液２７を供給して長尺素材
５を洗浄する洗浄装置１と、洗浄装置１により洗浄され
た長尺素材５の主面にレジスト２６を塗布する塗布装置
２と、洗浄装置１と塗布装置２との間に配置され、長尺
素材５の主面の端部を支持しつつ、長尺素材５を洗浄装
置１から塗布装置２へ搬送する搬送装置３と、洗浄装置
１と搬送装置３との間に配置され、搬送装置３に支持さ
れるべき長尺素材５の主面の端部に付着した洗浄液２７
を除去する洗浄液除去装置４とを有することを特徴とす
る。
つ、長尺素材を洗浄した後、長尺素材の主面にレジスト
を均一に塗布することができる長尺素材の処理装置を提
供する。 【構成】 長尺素材５に洗浄液２７を供給して長尺素材
５を洗浄する洗浄装置１と、洗浄装置１により洗浄され
た長尺素材５の主面にレジスト２６を塗布する塗布装置
２と、洗浄装置１と塗布装置２との間に配置され、長尺
素材５の主面の端部を支持しつつ、長尺素材５を洗浄装
置１から塗布装置２へ搬送する搬送装置３と、洗浄装置
１と搬送装置３との間に配置され、搬送装置３に支持さ
れるべき長尺素材５の主面の端部に付着した洗浄液２７
を除去する洗浄液除去装置４とを有することを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、長尺素材をその長手方
向に搬送させつつ洗浄した後、その主面にレジストを塗
布する長尺素材の処理装置に関し、特に、カラーＣＲＴ
用のシャドウマスクやアパーチャグリル、半導体素子用
のリードフレーム、プリント基板等をフォトエッチング
法で製造する際に用いられる長尺素材の処理装置に関す
る。
向に搬送させつつ洗浄した後、その主面にレジストを塗
布する長尺素材の処理装置に関し、特に、カラーＣＲＴ
用のシャドウマスクやアパーチャグリル、半導体素子用
のリードフレーム、プリント基板等をフォトエッチング
法で製造する際に用いられる長尺素材の処理装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、カラーＣＲＴに用いられるシャ
ドウマスクやアパーチャグリルをフォトエッチング法で
製造する場合、まず、板厚が３０μｍから３００μｍ程
度の低炭素アルミキルド鋼やニッケルを３６％含むイン
バー材等からなる長尺素材をその長手方向に搬送させつ
つ洗浄した（洗浄処理）後、その洗浄された主面にレジ
スト膜が形成される（コーティング処理）。
ドウマスクやアパーチャグリルをフォトエッチング法で
製造する場合、まず、板厚が３０μｍから３００μｍ程
度の低炭素アルミキルド鋼やニッケルを３６％含むイン
バー材等からなる長尺素材をその長手方向に搬送させつ
つ洗浄した（洗浄処理）後、その洗浄された主面にレジ
スト膜が形成される（コーティング処理）。
【０００３】図７は、上述の長尺素材に洗浄及びコーテ
ィング処理を施す処理装置を示す側面模式図である。こ
の装置は、長尺素材５１をその長手方向に搬送させつ
つ、その主面に付着した油分を脱脂装置５２により除去
した後、第１洗浄装置５３により洗浄する。そして、そ
の主面に被着した酸化被膜を整面装置５４により除去し
た後、第２洗浄装置５５により洗浄する。次に洗浄され
た長尺素材５１の主面にレジストを塗布装置５７により
塗布して、乾燥装置５８により長尺素材５１に塗布され
たレジストを乾燥させる。
ィング処理を施す処理装置を示す側面模式図である。こ
の装置は、長尺素材５１をその長手方向に搬送させつ
つ、その主面に付着した油分を脱脂装置５２により除去
した後、第１洗浄装置５３により洗浄する。そして、そ
の主面に被着した酸化被膜を整面装置５４により除去し
た後、第２洗浄装置５５により洗浄する。次に洗浄され
た長尺素材５１の主面にレジストを塗布装置５７により
塗布して、乾燥装置５８により長尺素材５１に塗布され
たレジストを乾燥させる。
【０００４】図７において、脱脂装置５２は、長尺素材
５１を製造する際に長尺素材５１の主面に塗布された防
錆油や圧延油等の油分を除去する。脱脂槽５９は、ケイ
酸ソーダ、界面活性剤等を含んだ脱脂液７２を貯留す
る。第１液切りローラ６０、６０は、吸液性を有する円
筒状のスポンジローラであり、脱脂装置５２の出口付近
において、長尺素材５１を挟持するように一対設けら
れ、長尺素材５１に付着した脱脂液７２を除去して、脱
脂槽５９からの脱脂液７２の持ち出しを防止する。
５１を製造する際に長尺素材５１の主面に塗布された防
錆油や圧延油等の油分を除去する。脱脂槽５９は、ケイ
酸ソーダ、界面活性剤等を含んだ脱脂液７２を貯留す
る。第１液切りローラ６０、６０は、吸液性を有する円
筒状のスポンジローラであり、脱脂装置５２の出口付近
において、長尺素材５１を挟持するように一対設けら
れ、長尺素材５１に付着した脱脂液７２を除去して、脱
脂槽５９からの脱脂液７２の持ち出しを防止する。
【０００５】第１洗浄装置５３は、複数の第１シャワー
ノズル６２により洗浄液である水を長尺素材５１に吹き
付けて長尺素材５１を洗浄する。第１洗浄槽６１は、長
尺素材５１から垂れ落ちる洗浄液を受けるとともに洗浄
液の周囲への飛散を防止する。第２液切りローラ６３、
６３は、上述の第１液切りローラ６０、６０と同じ構成
であり、長尺素材５１に付着した洗浄液を除去して、第
１洗浄槽６１からの洗浄液の持ち出しを防止する。
ノズル６２により洗浄液である水を長尺素材５１に吹き
付けて長尺素材５１を洗浄する。第１洗浄槽６１は、長
尺素材５１から垂れ落ちる洗浄液を受けるとともに洗浄
液の周囲への飛散を防止する。第２液切りローラ６３、
６３は、上述の第１液切りローラ６０、６０と同じ構成
であり、長尺素材５１に付着した洗浄液を除去して、第
１洗浄槽６１からの洗浄液の持ち出しを防止する。
【０００６】整面装置５４は、長尺素材５１の主面に被
着した酸化膜を除去する。整面槽６４は、リン酸溶液、
塩酸溶液、硝酸溶液、水酸化ナトリウム溶液等の整面液
７３を貯留する。第３液切りローラ６５、６５は、上述
の第１液切りローラ６０、６０と同じ構成であり、長尺
素材５１に付着した洗浄液を除去して、整面槽６４から
の整面液７３の持ち出しを防止する。
着した酸化膜を除去する。整面槽６４は、リン酸溶液、
塩酸溶液、硝酸溶液、水酸化ナトリウム溶液等の整面液
７３を貯留する。第３液切りローラ６５、６５は、上述
の第１液切りローラ６０、６０と同じ構成であり、長尺
素材５１に付着した洗浄液を除去して、整面槽６４から
の整面液７３の持ち出しを防止する。
【０００７】第２洗浄装置５５は、複数の第２シャワー
ノズル６７により洗浄液である水を長尺素材５１に吹き
付けて長尺素材５１を洗浄する。第２洗浄槽６６は、長
尺素材５１から垂れ落ちる洗浄液を受けるとともに洗浄
液の周囲への飛散を防止する。
ノズル６７により洗浄液である水を長尺素材５１に吹き
付けて長尺素材５１を洗浄する。第２洗浄槽６６は、長
尺素材５１から垂れ落ちる洗浄液を受けるとともに洗浄
液の周囲への飛散を防止する。
【０００８】搬送装置５６は、第２洗浄装置５５と塗布
装置５７との間に配置され、長尺素材５１を第２洗浄装
置５５から塗布装置５７へと搬送する。テンションロー
ラ７４は、長尺素材５１に所定の張力を付与するように
設けられている。第１駆動ローラ７１ａは、回転手段
（図示せず）によりその軸を中心に図７における反時計
回りの方向に回転させられる。第２駆動ローラ７１ｂ
は、回転手段（図示せず）によりその軸を中心に図７に
おける時計回りの方向に回転させられる。
装置５７との間に配置され、長尺素材５１を第２洗浄装
置５５から塗布装置５７へと搬送する。テンションロー
ラ７４は、長尺素材５１に所定の張力を付与するように
設けられている。第１駆動ローラ７１ａは、回転手段
（図示せず）によりその軸を中心に図７における反時計
回りの方向に回転させられる。第２駆動ローラ７１ｂ
は、回転手段（図示せず）によりその軸を中心に図７に
おける時計回りの方向に回転させられる。
【０００９】塗布装置５７は、長尺素材５１をレジスト
７５に浸漬させて、長尺素材５１の両主面にレジスト７
５を塗布する。レジスト槽６８は、例えば、カゼインと
重クロム酸塩とからなる水溶性のレジスト７５を貯留す
る。スクィージローラ６９、６９は、それぞれ表面に複
数の溝を有する円筒状のものであり、レジスト槽６８に
貯留されたレジスト７５の液面付近に設けられ、レジス
ト７５から引き上げられた長尺素材５１を挟持して、両
主面に付着した余分なレジスト７５を掻き取ることによ
り、長尺素材５１に被着したレジスト７５を均一にす
る。
７５に浸漬させて、長尺素材５１の両主面にレジスト７
５を塗布する。レジスト槽６８は、例えば、カゼインと
重クロム酸塩とからなる水溶性のレジスト７５を貯留す
る。スクィージローラ６９、６９は、それぞれ表面に複
数の溝を有する円筒状のものであり、レジスト槽６８に
貯留されたレジスト７５の液面付近に設けられ、レジス
ト７５から引き上げられた長尺素材５１を挟持して、両
主面に付着した余分なレジスト７５を掻き取ることによ
り、長尺素材５１に被着したレジスト７５を均一にす
る。
【００１０】乾燥装置５８は、熱風や赤外線ヒータ（図
示せず）により長尺素材５１に塗布されたレジスト７５
を乾燥させ、厚さ数μｍのレジスト膜を形成する。
示せず）により長尺素材５１に塗布されたレジスト７５
を乾燥させ、厚さ数μｍのレジスト膜を形成する。
【００１１】搬送ローラ７０は、上述の脱脂装置５２、
第１洗浄装置５３、整面装置５４、第２洗浄装置５５、
塗布装置５７にそれぞれ複数設けられており、長尺素材
５１をそれぞれの装置に正確に導くものである。
第１洗浄装置５３、整面装置５４、第２洗浄装置５５、
塗布装置５７にそれぞれ複数設けられており、長尺素材
５１をそれぞれの装置に正確に導くものである。
【００１２】また、上述の第１駆動ローラ７１ａ、第２
駆動ローラ７１ｂ、搬送ローラ７０、テンションローラ
７４は、例えば実公昭６２−１５２４２号公報に開示さ
れているように、長尺素材５１の主面の中央部には触れ
ることなく長尺素材５１の両端部のみを支持することに
より、長尺素材５１の主面を傷つける、或いは汚染する
ことをできるだけ防止するための構成を有するものであ
る。
駆動ローラ７１ｂ、搬送ローラ７０、テンションローラ
７４は、例えば実公昭６２−１５２４２号公報に開示さ
れているように、長尺素材５１の主面の中央部には触れ
ることなく長尺素材５１の両端部のみを支持することに
より、長尺素材５１の主面を傷つける、或いは汚染する
ことをできるだけ防止するための構成を有するものであ
る。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図７に
示す構成によると、搬送装置５６において、第２洗浄装
置５５により長尺素材５１の主面に吹き付けられた洗浄
液が長尺素材５１の主面の両端部に付着しており、この
付着した洗浄液のために該両端部と第１駆動ローラ７１
ａ及び第２駆動ローラ７１ｂとが接している部分ですべ
りが生じ長尺素材を正確に搬送できないという問題が発
生する。
示す構成によると、搬送装置５６において、第２洗浄装
置５５により長尺素材５１の主面に吹き付けられた洗浄
液が長尺素材５１の主面の両端部に付着しており、この
付着した洗浄液のために該両端部と第１駆動ローラ７１
ａ及び第２駆動ローラ７１ｂとが接している部分ですべ
りが生じ長尺素材を正確に搬送できないという問題が発
生する。
【００１４】そこで、第２洗浄装置５５の出口付近に第
１液切りローラ６０、６０と同じ液切りローラを設け
て、長尺素材５１の主面に付着した洗浄液を除去するこ
とが考えられるが、このように液切りローラにより長尺
素材の主面の全面から洗浄液を除去してしまうと、塗布
装置５７において、長尺素材５１をレジスト７５に浸漬
させる際に、長尺素材５１の主面に気泡が発生して均一
にレジスト７５を塗布できないという別の問題が発生す
る。
１液切りローラ６０、６０と同じ液切りローラを設け
て、長尺素材５１の主面に付着した洗浄液を除去するこ
とが考えられるが、このように液切りローラにより長尺
素材の主面の全面から洗浄液を除去してしまうと、塗布
装置５７において、長尺素材５１をレジスト７５に浸漬
させる際に、長尺素材５１の主面に気泡が発生して均一
にレジスト７５を塗布できないという別の問題が発生す
る。
【００１５】上述のような点に鑑み、本発明の目的は、
長尺素材をその長手方向に正確に搬送させつつ、長尺素
材を洗浄した後、長尺素材の主面にレジストを均一に塗
布することができる長尺素材の処理装置を提供すること
にある。
長尺素材をその長手方向に正確に搬送させつつ、長尺素
材を洗浄した後、長尺素材の主面にレジストを均一に塗
布することができる長尺素材の処理装置を提供すること
にある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る長尺素材
の処理装置は、長尺素材をその長手方向に搬送させつつ
洗浄した後、その主面にレジストを塗布する長尺素材の
処理装置において、長尺素材に洗浄液を供給して長尺素
材を洗浄する洗浄手段と、洗浄手段により洗浄された長
尺素材の主面にレジストを塗布する塗布手段と、洗浄手
段と塗布手段との間に配置され、長尺素材の主面の端部
を支持しつつ、長尺素材を洗浄手段から塗布手段へ搬送
する搬送手段と、洗浄手段と搬送手段との間に配置さ
れ、搬送手段に支持されるべき長尺素材の主面の端部に
付着した洗浄液を除去する洗浄液除去手段とを有するこ
とを特徴とする。
の処理装置は、長尺素材をその長手方向に搬送させつつ
洗浄した後、その主面にレジストを塗布する長尺素材の
処理装置において、長尺素材に洗浄液を供給して長尺素
材を洗浄する洗浄手段と、洗浄手段により洗浄された長
尺素材の主面にレジストを塗布する塗布手段と、洗浄手
段と塗布手段との間に配置され、長尺素材の主面の端部
を支持しつつ、長尺素材を洗浄手段から塗布手段へ搬送
する搬送手段と、洗浄手段と搬送手段との間に配置さ
れ、搬送手段に支持されるべき長尺素材の主面の端部に
付着した洗浄液を除去する洗浄液除去手段とを有するこ
とを特徴とする。
【００１７】請求項２に係る長尺素材の処理装置は、請
求項１に記載の長尺素材の処理装置において、洗浄液除
去手段が長尺素材の主面の端部に当接する当接部材を有
することを特徴とする。
求項１に記載の長尺素材の処理装置において、洗浄液除
去手段が長尺素材の主面の端部に当接する当接部材を有
することを特徴とする。
【００１８】請求項３に係る長尺素材の処理装置は、請
求項２に記載の長尺素材の処理装置において、洗浄液除
去手段が当接部材が当接している主面に向けて当接部材
を付勢する付勢手段を有することを特徴とする。
求項２に記載の長尺素材の処理装置において、洗浄液除
去手段が当接部材が当接している主面に向けて当接部材
を付勢する付勢手段を有することを特徴とする。
【００１９】請求項４に係る長尺素材の処理装置は、請
求項３に記載の長尺素材の処理装置において、搬送手段
が長尺素材の主面を水平に支持する支持部材を有し、付
勢手段が所定の位置に固定された固定軸と、固定軸に回
転自在に取り付けられ、かつ当接部材が長尺素材の下側
の主面の端部に当接するように取り付けられた取付部材
と、取付部材に取り付けられ当接部材に上向きの力を与
える重りとを有することを特徴とする。
求項３に記載の長尺素材の処理装置において、搬送手段
が長尺素材の主面を水平に支持する支持部材を有し、付
勢手段が所定の位置に固定された固定軸と、固定軸に回
転自在に取り付けられ、かつ当接部材が長尺素材の下側
の主面の端部に当接するように取り付けられた取付部材
と、取付部材に取り付けられ当接部材に上向きの力を与
える重りとを有することを特徴とする。
【００２０】請求項５に係る長尺素材の処理装置は、請
求項３に記載の長尺素材の処理装置において、付勢手段
が当接部材に取り付けられ弾性力を有する弾性体と、弾
性体の弾性力により当接部材が当接している主面に向け
て当接部材を付勢するように弾性体を保持する保持部材
とを有することを特徴とする。
求項３に記載の長尺素材の処理装置において、付勢手段
が当接部材に取り付けられ弾性力を有する弾性体と、弾
性体の弾性力により当接部材が当接している主面に向け
て当接部材を付勢するように弾性体を保持する保持部材
とを有することを特徴とする。
【００２１】請求項６に係る長尺素材の処理装置は、請
求項２から請求項５のいずれかに記載の長尺素材の処理
装置において、当接部材が長尺素材の主面の端部に付着
した洗浄液を掻き取るドクターブレードであることを特
徴とする。
求項２から請求項５のいずれかに記載の長尺素材の処理
装置において、当接部材が長尺素材の主面の端部に付着
した洗浄液を掻き取るドクターブレードであることを特
徴とする。
【００２２】請求項７に係る長尺素材の処理装置は、請
求項２から請求項５のいずれかに記載の長尺素材の処理
装置において、当接部材が長尺素材の主面の端部に付着
した洗浄液を吸収する吸液性を有する吸液部材であるこ
とを特徴とする。
求項２から請求項５のいずれかに記載の長尺素材の処理
装置において、当接部材が長尺素材の主面の端部に付着
した洗浄液を吸収する吸液性を有する吸液部材であるこ
とを特徴とする。
【００２３】請求項８に係る長尺素材の処理装置は、請
求項１に記載の長尺素材の処理装置において、洗浄液除
去手段が長尺素材の主面の端部に向けてエアーを吹き付
けるエアー吹付ノズルを有することを特徴とする。
求項１に記載の長尺素材の処理装置において、洗浄液除
去手段が長尺素材の主面の端部に向けてエアーを吹き付
けるエアー吹付ノズルを有することを特徴とする。
【００２４】請求項９に係る長尺素材の処理装置は、請
求項１から請求項８のいずれかに記載の長尺素材の処理
装置において、搬送手段が長尺素材の一方の主面の両端
部を支持しつつ、その軸を中心に所定の方向に回転する
第１駆動ローラと、長尺素材の他方の主面の両端部を支
持しつつ、その軸を中心に第１駆動ローラの回転方向と
逆の方向に回転する第２駆動ローラとを有し、第１駆動
ローラ及び第２駆動ローラが長尺素材をＳ字状に折り曲
げるようにそれぞれ配置されていることを特徴とする。
求項１から請求項８のいずれかに記載の長尺素材の処理
装置において、搬送手段が長尺素材の一方の主面の両端
部を支持しつつ、その軸を中心に所定の方向に回転する
第１駆動ローラと、長尺素材の他方の主面の両端部を支
持しつつ、その軸を中心に第１駆動ローラの回転方向と
逆の方向に回転する第２駆動ローラとを有し、第１駆動
ローラ及び第２駆動ローラが長尺素材をＳ字状に折り曲
げるようにそれぞれ配置されていることを特徴とする。
【００２５】請求項１０に係る長尺素材の処理装置は、
請求項１から請求項９のいずれかに記載の長尺素材の処
理装置において、板厚が３０μｍから１００μｍの範囲
の長尺の金属薄板を処理することを特徴とする。
請求項１から請求項９のいずれかに記載の長尺素材の処
理装置において、板厚が３０μｍから１００μｍの範囲
の長尺の金属薄板を処理することを特徴とする。
【００２６】
【作用】請求項１に係る長尺素材の処理装置によると、
長尺素材は、その長手方向に搬送されつつ、洗浄手段に
より洗浄液を供給されて洗浄される。そして、洗浄液除
去手段により搬送手段に支持されるべき長尺素材の主面
の端部に付着した洗浄液が除去され、長尺素材が搬送手
段により該端部が支持されつつ、洗浄手段から塗布手段
へ搬送される。次に、塗布手段により長尺素材の主面に
レジストが塗布される。
長尺素材は、その長手方向に搬送されつつ、洗浄手段に
より洗浄液を供給されて洗浄される。そして、洗浄液除
去手段により搬送手段に支持されるべき長尺素材の主面
の端部に付着した洗浄液が除去され、長尺素材が搬送手
段により該端部が支持されつつ、洗浄手段から塗布手段
へ搬送される。次に、塗布手段により長尺素材の主面に
レジストが塗布される。
【００２７】請求項２に係る長尺素材の処理装置による
と、洗浄液除去手段の当接部材が長尺素材の主面の端部
に当接される。
と、洗浄液除去手段の当接部材が長尺素材の主面の端部
に当接される。
【００２８】請求項３に係る長尺素材の処理装置による
と、付勢手段により当接部材がその当接している主面に
向けて付勢される。
と、付勢手段により当接部材がその当接している主面に
向けて付勢される。
【００２９】請求項４に係る長尺素材の処理装置による
と、長尺素材は、支持部材により水平に支持され、取付
部材に取り付けられた重りにより上向きの力を与えられ
た当接部材が長尺素材の下側の主面の端部に当接され
る。
と、長尺素材は、支持部材により水平に支持され、取付
部材に取り付けられた重りにより上向きの力を与えられ
た当接部材が長尺素材の下側の主面の端部に当接され
る。
【００３０】請求項５に係る長尺素材の処理装置による
と、当接部材が取り付けられ、保持手段により保持され
た弾性体は、当接部材が当接している主面に向けて当接
部材を付勢する。
と、当接部材が取り付けられ、保持手段により保持され
た弾性体は、当接部材が当接している主面に向けて当接
部材を付勢する。
【００３１】請求項６に係る長尺素材の処理装置による
と、ドクターブレードが長尺素材の主面の端部に当接し
て、長尺素材の主面の端部に付着した洗浄液を掻き取
る。
と、ドクターブレードが長尺素材の主面の端部に当接し
て、長尺素材の主面の端部に付着した洗浄液を掻き取
る。
【００３２】請求項７に係る長尺素材の処理装置による
と、吸液部材が長尺素材の主面の端部に当接して、長尺
素材の主面の端部に付着した洗浄液を吸収する。
と、吸液部材が長尺素材の主面の端部に当接して、長尺
素材の主面の端部に付着した洗浄液を吸収する。
【００３３】請求項８に係る長尺素材の処理装置による
と、エアー吹付ノズルによりエアーが長尺素材の端部に
向けて吹き付けられる。
と、エアー吹付ノズルによりエアーが長尺素材の端部に
向けて吹き付けられる。
【００３４】請求項９に係る長尺素材の処理装置による
と、第１駆動ローラ及び第２駆動ローラにより、長尺素
材は、その両主面の両端部がそれぞれ支持されつつ、Ｓ
字状に折り曲げられながら搬送される。
と、第１駆動ローラ及び第２駆動ローラにより、長尺素
材は、その両主面の両端部がそれぞれ支持されつつ、Ｓ
字状に折り曲げられながら搬送される。
【００３５】請求項１０に係る長尺素材の処理装置によ
ると、板厚が３０μｍから１００μｍの範囲の長尺の金
属薄板が処理される。
ると、板厚が３０μｍから１００μｍの範囲の長尺の金
属薄板が処理される。
【００３６】
【実施例】次に本発明の一実施例について図１、図２及
び図３を用いて説明する。
び図３を用いて説明する。
【００３７】図１は、本発明の一実施例を示す側面模式
図である。但し、図１において、洗浄装置１の長尺素材
５の搬送方向の上流側には、図７における脱脂装置５
２、第１洗浄装置５３、整面装置５４がそれぞれ配置さ
れ、塗布装置２の長尺素材５の搬送方向の下流側には、
図７における乾燥装置５８が配置されている。
図である。但し、図１において、洗浄装置１の長尺素材
５の搬送方向の上流側には、図７における脱脂装置５
２、第１洗浄装置５３、整面装置５４がそれぞれ配置さ
れ、塗布装置２の長尺素材５の搬送方向の下流側には、
図７における乾燥装置５８が配置されている。
【００３８】図１において、長尺素材５は、板厚が３０
μｍから３００μｍ程度の低炭素アルミキルド鋼やニッ
ケルを３６％含むインバー材等からなる長尺の金属薄板
である。
μｍから３００μｍ程度の低炭素アルミキルド鋼やニッ
ケルを３６％含むインバー材等からなる長尺の金属薄板
である。
【００３９】洗浄装置１は、長尺素材５に洗浄液を供給
して洗浄するものである。複数のシャワーノズル７は、
長尺素材５の両主面に向けて洗浄液である水２７を噴射
する。洗浄槽６は、長尺素材５から垂れ落ちる洗浄液を
受けるとともにシャワーノズル７から噴射された洗浄液
の周囲への飛散を防止する。搬送ローラ８ａ、８ｂ、８
ｃは、側面視Ｖ字状に配置され長尺素材５を長尺素材５
の両主面の両端部で水平にそれぞれ支持し、長尺素材５
の搬送につれてその軸を中心に従動して回転させられ
る。
して洗浄するものである。複数のシャワーノズル７は、
長尺素材５の両主面に向けて洗浄液である水２７を噴射
する。洗浄槽６は、長尺素材５から垂れ落ちる洗浄液を
受けるとともにシャワーノズル７から噴射された洗浄液
の周囲への飛散を防止する。搬送ローラ８ａ、８ｂ、８
ｃは、側面視Ｖ字状に配置され長尺素材５を長尺素材５
の両主面の両端部で水平にそれぞれ支持し、長尺素材５
の搬送につれてその軸を中心に従動して回転させられ
る。
【００４０】塗布装置２は、洗浄装置１により洗浄され
た長尺素材５の主面に例えば、カゼインと重クロム酸塩
からなる水溶性のレジスト２６を塗布するものである。
レジスト槽２５は、レジスト２６を貯留する。スクィー
ジローラ１４、１４は、それぞれ表面に複数の溝を有す
る円筒状であり、レジスト槽２５に貯留されたレジスト
２６の液面付近に長尺素材５を挟持するように設けられ
ている。搬送ローラ８ｄ、８ｅ、８ｆは、長尺素材５を
長尺素材５の両主面の両端部で水平にそれぞれ支持しつ
つ、長尺素材５の搬送につれてその軸を中心に従動して
回転させられ、レジスト槽２５の内部に長尺素材５を導
くものである。
た長尺素材５の主面に例えば、カゼインと重クロム酸塩
からなる水溶性のレジスト２６を塗布するものである。
レジスト槽２５は、レジスト２６を貯留する。スクィー
ジローラ１４、１４は、それぞれ表面に複数の溝を有す
る円筒状であり、レジスト槽２５に貯留されたレジスト
２６の液面付近に長尺素材５を挟持するように設けられ
ている。搬送ローラ８ｄ、８ｅ、８ｆは、長尺素材５を
長尺素材５の両主面の両端部で水平にそれぞれ支持しつ
つ、長尺素材５の搬送につれてその軸を中心に従動して
回転させられ、レジスト槽２５の内部に長尺素材５を導
くものである。
【００４１】搬送装置３は、第１駆動ローラ１１ａ及び
第２駆動ローラ１１ｂを備えており、長尺素材５を洗浄
装置１から塗布装置２へ搬送するものである。第１駆動
ローラ１１ａは、長尺素材５を水平に上側の主面の端縁
から幅２０ｍｍ程度の両端部で支持するとともに、図１
における反時計回りの方向にその軸を中心にモータ等の
回転手段（図示せず）により回転させられる。第２駆動
ローラ１１ｂは、長尺素材５を水平に下側の主面の端縁
から幅２０ｍｍ程度の両端部で支持するとともに、図１
における時計回りの方向にその軸を中心にモータ等の回
転手段（図示せず）により回転させられる。また、第１
駆動ローラ１１ａ及び第２駆動ローラ１１ｂは、長尺素
材５を側面視Ｓ字状に折り曲げるようにそれぞれ配置さ
れている。
第２駆動ローラ１１ｂを備えており、長尺素材５を洗浄
装置１から塗布装置２へ搬送するものである。第１駆動
ローラ１１ａは、長尺素材５を水平に上側の主面の端縁
から幅２０ｍｍ程度の両端部で支持するとともに、図１
における反時計回りの方向にその軸を中心にモータ等の
回転手段（図示せず）により回転させられる。第２駆動
ローラ１１ｂは、長尺素材５を水平に下側の主面の端縁
から幅２０ｍｍ程度の両端部で支持するとともに、図１
における時計回りの方向にその軸を中心にモータ等の回
転手段（図示せず）により回転させられる。また、第１
駆動ローラ１１ａ及び第２駆動ローラ１１ｂは、長尺素
材５を側面視Ｓ字状に折り曲げるようにそれぞれ配置さ
れている。
【００４２】テンションローラ１２は、付勢機構（図示
せず）により下向きの力が加えられて、長尺素材５に所
定の張力を付与するものである。
せず）により下向きの力が加えられて、長尺素材５に所
定の張力を付与するものである。
【００４３】洗浄液除去装置４は、搬送装置３に支持さ
れるべき長尺素材５の両主面の両端部に付着した洗浄液
である水を除去するものである。支持ローラ９は、長尺
素材５の上側の主面からその両端部を支持するものであ
り、長尺素材５の搬送につれてその軸を中心に従動して
回転させられる。第１ドクターブレード１０ａは、長尺
素材５の下側の主面の端部に当接して、その端部に付着
した水を掻き取る。第２ドクターブレード１０ｂは、長
尺素材５の上側の主面の端部に当接して、その端部に付
着した水を掻き取る。第１ドクターブレード１０ａ及び
第２ドクターブレード１０ｂは、支持ローラ９の軸に支
持されており、長尺素材５に当接する先端部が鋭利であ
り、その幅は２０ｍｍ程度で、厚みは、０．１５ｍｍか
ら３ｍｍの範囲である。また、その材質は、ポリアミ
ド、ポリ塩化ビニール、ポリエステル等のプラスチック
又は金属等である。
れるべき長尺素材５の両主面の両端部に付着した洗浄液
である水を除去するものである。支持ローラ９は、長尺
素材５の上側の主面からその両端部を支持するものであ
り、長尺素材５の搬送につれてその軸を中心に従動して
回転させられる。第１ドクターブレード１０ａは、長尺
素材５の下側の主面の端部に当接して、その端部に付着
した水を掻き取る。第２ドクターブレード１０ｂは、長
尺素材５の上側の主面の端部に当接して、その端部に付
着した水を掻き取る。第１ドクターブレード１０ａ及び
第２ドクターブレード１０ｂは、支持ローラ９の軸に支
持されており、長尺素材５に当接する先端部が鋭利であ
り、その幅は２０ｍｍ程度で、厚みは、０．１５ｍｍか
ら３ｍｍの範囲である。また、その材質は、ポリアミ
ド、ポリ塩化ビニール、ポリエステル等のプラスチック
又は金属等である。
【００４４】次に図２及び図３を用いて本発明の一実施
例に採用された洗浄液除去装置４について説明する。図
２は、本発明の一実施例に採用された洗浄液除去装置４
を示す概略斜視図であり、図３は、図２に示される洗浄
液除去装置４の側面図である。
例に採用された洗浄液除去装置４について説明する。図
２は、本発明の一実施例に採用された洗浄液除去装置４
を示す概略斜視図であり、図３は、図２に示される洗浄
液除去装置４の側面図である。
【００４５】図２において、洗浄液除去装置４は、第１
ドクターブレード１０ａと、第２ドクターブレード１０
ｂと、第１ドクターブレード１０ａを長尺素材５の下側
の主面に向けて付勢する付勢手段２８とを長尺素材５の
両端部にそれぞれ備えている。付勢手段２８は、固定軸
１６、取付部材１７、重り１５、第１取付軸１８、第１
保持部材２３とを備えている。固定軸１６は、支持ロー
ラ９の軸であり、固定手段（図示せず）により固定され
ている。支持ローラ９は、固定軸１６に対して回転自在
に取り付けられている。
ドクターブレード１０ａと、第２ドクターブレード１０
ｂと、第１ドクターブレード１０ａを長尺素材５の下側
の主面に向けて付勢する付勢手段２８とを長尺素材５の
両端部にそれぞれ備えている。付勢手段２８は、固定軸
１６、取付部材１７、重り１５、第１取付軸１８、第１
保持部材２３とを備えている。固定軸１６は、支持ロー
ラ９の軸であり、固定手段（図示せず）により固定され
ている。支持ローラ９は、固定軸１６に対して回転自在
に取り付けられている。
【００４６】図３において、取付部材１７は、取付部材
１７の一方の端部と第１取付ブロック２９とにより固定
軸１６を挟持して、固定軸１６に対して回転自在に取り
付けられている。重り１５は、取付部材１７の一方の端
部に取り付けられ、固定軸１６を支点に取付部材１７を
介して第１ドクターブレード１０ａに上向きの力を与え
る。また、重り１５は、着脱可能な複数のウェイト１５
ａを備えおり、このウェイト１５ａの個数を増減させて
重り１５の重量を変化させることにより第１ドクターブ
レード１０ａに与える力を調整する。重り１５の重量が
重い場合、第１ドクターブレード１０ａを付勢する力が
大きくなり、第１ドクターブレード１０ａが当接した長
尺素材５の主面の端部が折れたり、傷ついたりする。こ
の場合、重り１５のウェイト１５ａの個数を減らして、
第１ドクターブレード１０ａに与える力を小さくして端
部が折れたり、傷ついたりすることを防止する。重り１
５の重量が軽いと固定軸１６から重り１５までの総重量
より、固定軸１６から第１ドクターブレード１０ａまで
の総重量のほうが重くなり、その結果、第１ドクターブ
レード１０ａが下に下がってしまい長尺素材５の主面の
端部に当接させることができない。この場合、重り１５
のウェイト１５ａの個数を増やして、第１ドクターブレ
ード１０ａに与える上向きの力を大きくして、第１ドク
ターブレード１０ａを端部に当接させる。本実施例にお
いては、重り１５の重量は、ウェイト１５ａの数を増減
させて、固定軸１６から重り１５までの総重量が固定軸
１６から第１ドクターブレード１０ａまでの総重量より
５ｋｇ重くなるように調整されている。
１７の一方の端部と第１取付ブロック２９とにより固定
軸１６を挟持して、固定軸１６に対して回転自在に取り
付けられている。重り１５は、取付部材１７の一方の端
部に取り付けられ、固定軸１６を支点に取付部材１７を
介して第１ドクターブレード１０ａに上向きの力を与え
る。また、重り１５は、着脱可能な複数のウェイト１５
ａを備えおり、このウェイト１５ａの個数を増減させて
重り１５の重量を変化させることにより第１ドクターブ
レード１０ａに与える力を調整する。重り１５の重量が
重い場合、第１ドクターブレード１０ａを付勢する力が
大きくなり、第１ドクターブレード１０ａが当接した長
尺素材５の主面の端部が折れたり、傷ついたりする。こ
の場合、重り１５のウェイト１５ａの個数を減らして、
第１ドクターブレード１０ａに与える力を小さくして端
部が折れたり、傷ついたりすることを防止する。重り１
５の重量が軽いと固定軸１６から重り１５までの総重量
より、固定軸１６から第１ドクターブレード１０ａまで
の総重量のほうが重くなり、その結果、第１ドクターブ
レード１０ａが下に下がってしまい長尺素材５の主面の
端部に当接させることができない。この場合、重り１５
のウェイト１５ａの個数を増やして、第１ドクターブレ
ード１０ａに与える上向きの力を大きくして、第１ドク
ターブレード１０ａを端部に当接させる。本実施例にお
いては、重り１５の重量は、ウェイト１５ａの数を増減
させて、固定軸１６から重り１５までの総重量が固定軸
１６から第１ドクターブレード１０ａまでの総重量より
５ｋｇ重くなるように調整されている。
【００４７】第１取付軸１８は、第２取付ブロック１９
により取付部材１７の他方の端部に固定されている。第
１保持部材２３は、第１ドクターブレード１０ａが取り
付けられ、第１取付軸１８を中心に調節手段（図示せ
ず）により回転可能に取り付けられている。この第１保
持部材２３を第１取付軸１８を中心に回転させることに
より第１ドクターブレード１０ａが長尺素材５に当接す
る角度を調節することができる。
により取付部材１７の他方の端部に固定されている。第
１保持部材２３は、第１ドクターブレード１０ａが取り
付けられ、第１取付軸１８を中心に調節手段（図示せ
ず）により回転可能に取り付けられている。この第１保
持部材２３を第１取付軸１８を中心に回転させることに
より第１ドクターブレード１０ａが長尺素材５に当接す
る角度を調節することができる。
【００４８】第２ドクターブレード１０ｂは、第２保持
部材２４に取り付けられ、第２保持部材２４は、第２取
付軸２２に固定されている。第２取付軸２２は、取付部
材１７に取り付けられた第３取付ブロック２０と第４取
付ブロック２１とにより挟持されて固定されている。第
２ドクターブレード１０ｂが長尺素材５に当接する角度
は、第２取付軸２２と第２保持部材２４及び第２ドクタ
ーブレード１０ｂを一体に第２取付軸２２の軸を中心に
回転させることにより調整することができる。
部材２４に取り付けられ、第２保持部材２４は、第２取
付軸２２に固定されている。第２取付軸２２は、取付部
材１７に取り付けられた第３取付ブロック２０と第４取
付ブロック２１とにより挟持されて固定されている。第
２ドクターブレード１０ｂが長尺素材５に当接する角度
は、第２取付軸２２と第２保持部材２４及び第２ドクタ
ーブレード１０ｂを一体に第２取付軸２２の軸を中心に
回転させることにより調整することができる。
【００４９】次に上述の実施例の動作について説明す
る。
る。
【００５０】長尺素材５は、その長手方向に搬送されつ
つ洗浄装置１において、複数のシャワーノズル７により
洗浄液である水を吹き付けられて洗浄される。次に、洗
浄液除去装置４において、長尺素材５の下側の主面の両
端部にそれぞれ当接された第１ドクターブレード１０
ａ、１０ａ及び上側の主面の両端部にそれぞれ当接され
た第２ドクターブレード１０ｂ、１０ｂにより、長尺素
材５の両主面の端縁から幅２０ｍｍ程度の両端部に付着
した洗浄液が掻き取られて除去される。このとき、第１
ドクターブレード１０ａ、１０ａは、付勢手段２８、２
８により上向き、即ち第１ドクターブレード１０ａ、１
０ａが当接している長尺素材５の下側の主面に向けて付
勢されているので、長尺素材５が上下方向に蛇行した場
合においても、第１ドクターブレード１０ａ、１０ａ
を、長尺素材５の主面に常に当接させることが可能とな
る。また、第２ドクターブレード１０ｂ、１０ｂは、第
１ドクターブレード１０ａ、１０ａと長尺素材５を挟ん
で対向配置されているので、第２ドクターブレード１０
ｂ、１０ｂを常に長尺素材５の上側の主面に当接させる
ことができる。
つ洗浄装置１において、複数のシャワーノズル７により
洗浄液である水を吹き付けられて洗浄される。次に、洗
浄液除去装置４において、長尺素材５の下側の主面の両
端部にそれぞれ当接された第１ドクターブレード１０
ａ、１０ａ及び上側の主面の両端部にそれぞれ当接され
た第２ドクターブレード１０ｂ、１０ｂにより、長尺素
材５の両主面の端縁から幅２０ｍｍ程度の両端部に付着
した洗浄液が掻き取られて除去される。このとき、第１
ドクターブレード１０ａ、１０ａは、付勢手段２８、２
８により上向き、即ち第１ドクターブレード１０ａ、１
０ａが当接している長尺素材５の下側の主面に向けて付
勢されているので、長尺素材５が上下方向に蛇行した場
合においても、第１ドクターブレード１０ａ、１０ａ
を、長尺素材５の主面に常に当接させることが可能とな
る。また、第２ドクターブレード１０ｂ、１０ｂは、第
１ドクターブレード１０ａ、１０ａと長尺素材５を挟ん
で対向配置されているので、第２ドクターブレード１０
ｂ、１０ｂを常に長尺素材５の上側の主面に当接させる
ことができる。
【００５１】そして、長尺素材５は、搬送装置３の第１
駆動ローラ１１ａ及び第２駆動ローラ１１ｂにより、洗
浄液除去装置４により洗浄液が掻き取られた長尺素材５
の両主面の端縁から幅２０ｍｍ程度の両端部が支持され
つつ側面視Ｓ字状に折り曲げられ、塗布装置２へと搬送
される。
駆動ローラ１１ａ及び第２駆動ローラ１１ｂにより、洗
浄液除去装置４により洗浄液が掻き取られた長尺素材５
の両主面の端縁から幅２０ｍｍ程度の両端部が支持され
つつ側面視Ｓ字状に折り曲げられ、塗布装置２へと搬送
される。
【００５２】塗布装置２において、長尺素材５は、レジ
スト槽２５に貯留されたレジスト２６に浸漬された後、
引き上げられる。レジスト２６から引き上げられた長尺
素材５は、レジスト２６の液面付近で両主面にそれぞれ
当接したスクィージローラ１４、１４により、両主面に
被着した余分なレジスト２６がそれぞれ掻き取られて、
長尺素材５の両主面に均一にレジスト２６が塗布され
る。
スト槽２５に貯留されたレジスト２６に浸漬された後、
引き上げられる。レジスト２６から引き上げられた長尺
素材５は、レジスト２６の液面付近で両主面にそれぞれ
当接したスクィージローラ１４、１４により、両主面に
被着した余分なレジスト２６がそれぞれ掻き取られて、
長尺素材５の両主面に均一にレジスト２６が塗布され
る。
【００５３】次に本発明の変形例について説明する。
尚、以下に示す変形例において、上述の実施例に示され
る符号と同一の符号が示すものは同一の機能を有する。
尚、以下に示す変形例において、上述の実施例に示され
る符号と同一の符号が示すものは同一の機能を有する。
【００５４】（イ） 洗浄液除去装置が有する長尺素材
に当接する当接部材として、上述の実施例の第１ドクタ
ーブレード１０ａ、第２ドクターブレード１０ｂに代え
て、吸液性を有する吸液部材を用いてもよい。図４は、
本変形例を示す側面図である。図４において、第１スポ
ンジローラ３０ａ及び第２スポンジローラ３０ｂは、吸
液性を有する円筒状の吸液部材であり、長尺素材５に当
接する部分の幅は、２０ｍｍ程度である。第１スポンジ
ローラ３０ａは、付勢手段２８により上向きに付勢され
るとともに第３取付軸３１ａに回転自在に取り付けられ
ている。第２スポンジローラ３０ｂは、第４取付軸３１
ｂに回転自在に取り付けられている。第３取付軸３１ａ
及び第４取付軸３１ｂは、それぞれ第１保持部材２３及
び第２保持部材２４に固定されている。第１スポンジロ
ーラ３０ａ及び第２スポンジローラ３０ｂは、それぞれ
長尺素材５の両主面の端縁から幅２０ｍｍ程度の端部に
当接し、長尺素材５の搬送につれて、それぞれ第３取付
軸３１ａ、第４取付軸３１ｂを中心に従動して回転しつ
つ、その端部に付着した洗浄液を吸収する。
に当接する当接部材として、上述の実施例の第１ドクタ
ーブレード１０ａ、第２ドクターブレード１０ｂに代え
て、吸液性を有する吸液部材を用いてもよい。図４は、
本変形例を示す側面図である。図４において、第１スポ
ンジローラ３０ａ及び第２スポンジローラ３０ｂは、吸
液性を有する円筒状の吸液部材であり、長尺素材５に当
接する部分の幅は、２０ｍｍ程度である。第１スポンジ
ローラ３０ａは、付勢手段２８により上向きに付勢され
るとともに第３取付軸３１ａに回転自在に取り付けられ
ている。第２スポンジローラ３０ｂは、第４取付軸３１
ｂに回転自在に取り付けられている。第３取付軸３１ａ
及び第４取付軸３１ｂは、それぞれ第１保持部材２３及
び第２保持部材２４に固定されている。第１スポンジロ
ーラ３０ａ及び第２スポンジローラ３０ｂは、それぞれ
長尺素材５の両主面の端縁から幅２０ｍｍ程度の端部に
当接し、長尺素材５の搬送につれて、それぞれ第３取付
軸３１ａ、第４取付軸３１ｂを中心に従動して回転しつ
つ、その端部に付着した洗浄液を吸収する。
【００５５】（ロ） ドクターブレードを付勢する付勢
手段を図５に示す構成にしてもよい。図５は、本変形例
の付勢手段を示す概略側面図である。図５において、第
１ドクターブレード１０ａ、第２ドクターブレード１０
ｂは、それぞれ弾性力を有する第１バネ３２ａ、第２バ
ネ３２ｂが取り付けられ、第１バネ３２ａ、第２バネ３
２ｂは、それぞれ第１固定部材３３ａ、第２固定部材３
３ｂに固定されている。第１ドクターブレード１０ａ及
び第２ドクターブレード１０ｂは、それぞれ第１バネ３
２ａ及び第２バネ３２ｂの弾性力により、その当接して
いる長尺素材５の主面に向けて付勢される。
手段を図５に示す構成にしてもよい。図５は、本変形例
の付勢手段を示す概略側面図である。図５において、第
１ドクターブレード１０ａ、第２ドクターブレード１０
ｂは、それぞれ弾性力を有する第１バネ３２ａ、第２バ
ネ３２ｂが取り付けられ、第１バネ３２ａ、第２バネ３
２ｂは、それぞれ第１固定部材３３ａ、第２固定部材３
３ｂに固定されている。第１ドクターブレード１０ａ及
び第２ドクターブレード１０ｂは、それぞれ第１バネ３
２ａ及び第２バネ３２ｂの弾性力により、その当接して
いる長尺素材５の主面に向けて付勢される。
【００５６】（ハ） 洗浄液除去手段として、長尺素材
の端部に向けてエアーを吹き付けるエアー吹付ノズルを
用いてもよい。図６は、本変形例を示す概略断面図であ
る。図６において、第１ノズル３４ａは、長尺素材５の
下側の主面の端部に向けてエアーを吹き付けて、その端
部に付着した洗浄液を吹き飛ばすものである。第２ノズ
ル３４ｂは、長尺素材５の上側の主面の端部に向けてエ
アーを吹き付けて、その端部に付着した洗浄液を吹き飛
ばすものである。
の端部に向けてエアーを吹き付けるエアー吹付ノズルを
用いてもよい。図６は、本変形例を示す概略断面図であ
る。図６において、第１ノズル３４ａは、長尺素材５の
下側の主面の端部に向けてエアーを吹き付けて、その端
部に付着した洗浄液を吹き飛ばすものである。第２ノズ
ル３４ｂは、長尺素材５の上側の主面の端部に向けてエ
アーを吹き付けて、その端部に付着した洗浄液を吹き飛
ばすものである。
【００５７】（ニ） 長尺素材をその主面を垂直に支持
して、その長手方向に搬送させつつ処理してもよい。
して、その長手方向に搬送させつつ処理してもよい。
【００５８】（ホ） 洗浄液除去装置により長尺素材の
両主面の両端部の少なくとも一つの端部に付着した洗浄
液を除去して、搬送装置により洗浄液が除去された端部
を支持しつつ長尺素材を搬送してもよい。
両主面の両端部の少なくとも一つの端部に付着した洗浄
液を除去して、搬送装置により洗浄液が除去された端部
を支持しつつ長尺素材を搬送してもよい。
【００５９】また近年、カラーＣＲＴの軽量化やカラー
ＣＲＴに設けられた電子銃から発射された電子ビームが
シャドウマスクやアパーチャグリルに衝突にしてシャド
ウマスクやアパーチャグリルが部分的に熱変形すること
（ドーミング現象）を防止するために、シャドウマスク
やアパーチャグリルの板厚は、薄くなる傾向にある。こ
のため、シャドウマスクやアパーチャグリル用の長尺素
材として、板厚が３０μｍから１００μｍの範囲の極薄
の金属薄板が用いられるようになってきた。この長尺素
材を図７に示す従来の長尺素材の処理装置で処理する
と、第１駆動ローラ７１ａ及び第２駆動ローラ７１ｂに
おいて、長尺素材５１と接触している部分ですべりが特
に発生し易くなり、長尺素材５１を第２洗浄装置５５か
ら塗布装置５７へ正確に搬送できないという問題が発生
する。これは、長尺素材５１の板厚が薄い場合、長尺素
材５１がその長手方向に伸びたり、長尺素材５１は、そ
の両端部でのみ支持されているので、その幅方向の中央
付近で折れたりするという問題を防止するためにテンシ
ョンローラ７４により長尺素材５１に与える張力を、長
尺素材５１の板厚が厚い場合と比較して、弱くしなけれ
ばならないことに起因している。
ＣＲＴに設けられた電子銃から発射された電子ビームが
シャドウマスクやアパーチャグリルに衝突にしてシャド
ウマスクやアパーチャグリルが部分的に熱変形すること
（ドーミング現象）を防止するために、シャドウマスク
やアパーチャグリルの板厚は、薄くなる傾向にある。こ
のため、シャドウマスクやアパーチャグリル用の長尺素
材として、板厚が３０μｍから１００μｍの範囲の極薄
の金属薄板が用いられるようになってきた。この長尺素
材を図７に示す従来の長尺素材の処理装置で処理する
と、第１駆動ローラ７１ａ及び第２駆動ローラ７１ｂに
おいて、長尺素材５１と接触している部分ですべりが特
に発生し易くなり、長尺素材５１を第２洗浄装置５５か
ら塗布装置５７へ正確に搬送できないという問題が発生
する。これは、長尺素材５１の板厚が薄い場合、長尺素
材５１がその長手方向に伸びたり、長尺素材５１は、そ
の両端部でのみ支持されているので、その幅方向の中央
付近で折れたりするという問題を防止するためにテンシ
ョンローラ７４により長尺素材５１に与える張力を、長
尺素材５１の板厚が厚い場合と比較して、弱くしなけれ
ばならないことに起因している。
【００６０】しかしながら、本発明の長尺素材の処理装
置によれば、図１に示すテンションローラ１２により長
尺素材５に与える張力を弱くしても、搬送装置４に支持
されるべき長尺素材５の両端部に付着した洗浄液が洗浄
液除去装置４により除去されるので、板厚が薄い、例え
ば板厚が３０μｍから１００μｍの範囲である場合にお
いても、上述のような第１駆動ローラ１１ａ及び第２駆
動ローラ１１ｂの長尺素材５と接触している部分ですべ
りが発生することなく、長尺素材５を洗浄装置１から塗
布装置２へと正確に搬送することが可能となる。
置によれば、図１に示すテンションローラ１２により長
尺素材５に与える張力を弱くしても、搬送装置４に支持
されるべき長尺素材５の両端部に付着した洗浄液が洗浄
液除去装置４により除去されるので、板厚が薄い、例え
ば板厚が３０μｍから１００μｍの範囲である場合にお
いても、上述のような第１駆動ローラ１１ａ及び第２駆
動ローラ１１ｂの長尺素材５と接触している部分ですべ
りが発生することなく、長尺素材５を洗浄装置１から塗
布装置２へと正確に搬送することが可能となる。
【００６１】
【発明の効果】請求項１に係る長尺素材の処理装置によ
れば、洗浄液除去手段が長尺素材の主面の端部に付着し
た洗浄液を除去して、搬送手段が該端部を支持しつつ長
尺素材を洗浄手段から塗布手段へ搬送するので、長尺素
材をその長手方向に正確に搬送させつつ、長尺素材を洗
浄した後、長尺素材の主面にレジストを均一に塗布する
ことが可能となる。
れば、洗浄液除去手段が長尺素材の主面の端部に付着し
た洗浄液を除去して、搬送手段が該端部を支持しつつ長
尺素材を洗浄手段から塗布手段へ搬送するので、長尺素
材をその長手方向に正確に搬送させつつ、長尺素材を洗
浄した後、長尺素材の主面にレジストを均一に塗布する
ことが可能となる。
【００６２】請求項２に係る長尺素材の処理装置によれ
ば、洗浄液除去手段が有する当接部材を長尺素材の主面
の端部に当接して、該端部に付着した洗浄液を除去する
ことが可能となる。
ば、洗浄液除去手段が有する当接部材を長尺素材の主面
の端部に当接して、該端部に付着した洗浄液を除去する
ことが可能となる。
【００６３】請求項３に係る長尺素材の処理装置によれ
ば、付勢手段により当接部材が当接している長尺素材の
主面に向けて当接部材を付勢することができて、長尺素
材がその主面と直交する方向に蛇行しても常に当接部材
を主面の端部に当接させることが可能となる。
ば、付勢手段により当接部材が当接している長尺素材の
主面に向けて当接部材を付勢することができて、長尺素
材がその主面と直交する方向に蛇行しても常に当接部材
を主面の端部に当接させることが可能となる。
【００６４】請求項４に係る長尺素材の処理装置によれ
ば、支持部材により長尺素材の主面を水平に支持して、
付勢手段により長尺素材の下側の主面の端部に当接した
当接部材を上向きに付勢することが可能となる。
ば、支持部材により長尺素材の主面を水平に支持して、
付勢手段により長尺素材の下側の主面の端部に当接した
当接部材を上向きに付勢することが可能となる。
【００６５】請求項５に係る長尺素材の処理装置によれ
ば、当接部材に取り付けられ弾性力を有する弾性体と、
弾性体を保持する保持部材とを有する付勢手段により、
簡単な構成で当接部材が当接している主面に向けて当接
部材を付勢することが可能となる。
ば、当接部材に取り付けられ弾性力を有する弾性体と、
弾性体を保持する保持部材とを有する付勢手段により、
簡単な構成で当接部材が当接している主面に向けて当接
部材を付勢することが可能となる。
【００６６】請求項６に係る長尺素材の処理装置によれ
ば、ドクターブレードが長尺素材の主面の端部に当接し
て、該端部に付着した洗浄液を掻き取ることが可能とな
る。
ば、ドクターブレードが長尺素材の主面の端部に当接し
て、該端部に付着した洗浄液を掻き取ることが可能とな
る。
【００６７】請求項７に係る長尺素材の処理装置によれ
ば、吸液性を有する吸液部材が長尺素材の主面の端部に
当接して、該端部に付着した洗浄液を吸収することが可
能となる。
ば、吸液性を有する吸液部材が長尺素材の主面の端部に
当接して、該端部に付着した洗浄液を吸収することが可
能となる。
【００６８】請求項８に係る長尺素材の処理装置によれ
ば、洗浄液除去手段が有するエアー吹付ノズルにより、
長尺素材の主面の端部に向けてエアーを吹き付けて、該
端部に付着した洗浄液を吹き飛ばすことが可能となる。
ば、洗浄液除去手段が有するエアー吹付ノズルにより、
長尺素材の主面の端部に向けてエアーを吹き付けて、該
端部に付着した洗浄液を吹き飛ばすことが可能となる。
【００６９】請求項９に係る長尺素材の処理装置によれ
ば、長尺素材をＳ字状に折り曲げるようにそれぞれ配置
された第１駆動ローラ及び第２駆動ローラにより長尺素
材を確実に支持して搬送させることが可能となる。
ば、長尺素材をＳ字状に折り曲げるようにそれぞれ配置
された第１駆動ローラ及び第２駆動ローラにより長尺素
材を確実に支持して搬送させることが可能となる。
【００７０】請求項１０に係る長尺素材の処理装置によ
れば、板厚が３０μｍから１００μｍの範囲の長尺の金
属薄板を処理することが可能となる。
れば、板厚が３０μｍから１００μｍの範囲の長尺の金
属薄板を処理することが可能となる。
【図１】本発明の一実施例を示す側面模式図。
【図２】本発明の一実施例に採用された洗浄液除去装置
を示す概略斜視図。
を示す概略斜視図。
【図３】図２に示される洗浄液除去装置の側面図。
【図４】本発明の変形例（イ）を示す側面図。
【図５】本発明の変形例（ロ）を示す概略側面図。
【図６】本発明の変形例（ハ）を示す概略側面図。
【図７】長尺素材に洗浄及びコーティング処理を施す従
来の処理装置を示す側面模式図。
来の処理装置を示す側面模式図。
１：洗浄装置 ２：塗布装置 ３：搬送装置 ４：洗浄液除去装置 １０ａ：第１ドクターブレード １０ｂ：第２ドクターブレード １１ａ：第１駆動ローラ １１ｂ：第２駆動ローラ ２８：付勢手段 ３２ａ：第１バネ ３２ｂ：第２バネ ３４ａ：第１ノズル ３４ｂ：第２ノズル
Claims (10)
- 【請求項１】 長尺素材をその長手方向に搬送させつつ
洗浄した後、その主面にレジストを塗布する長尺素材の
処理装置において、 長尺素材に洗浄液を供給して長尺素材を洗浄する洗浄手
段と、 前記洗浄手段により洗浄された長尺素材の主面にレジス
トを塗布する塗布手段と、 前記洗浄手段と塗布手段との間に配置され、長尺素材の
主面の端部を支持しつつ、長尺素材を洗浄手段から塗布
手段へ搬送する搬送手段と、 前記洗浄手段と搬送手段との間に配置され、前記搬送手
段に支持されるべき長尺素材の主面の端部に付着した前
記洗浄液を除去する洗浄液除去手段と、を有することを
特徴とする長尺素材の処理装置。 - 【請求項２】 前記洗浄液除去手段が長尺素材の主面の
端部に当接する当接部材を有することを特徴とする請求
項１に記載の長尺素材の処理装置。 - 【請求項３】 前記洗浄液除去手段が前記当接部材が当
接している主面に向けて当接部材を付勢する付勢手段を
有することを特徴とする請求項２に記載の長尺素材の処
理装置。 - 【請求項４】 前記搬送手段が前記長尺素材の主面を水
平に支持する支持部材を有し、 前記付勢手段が所定の位置に固定された固定軸と、 前記固定軸に回転自在に取り付けられ、かつ前記当接部
材が長尺素材の下側の主面の端部に当接するように取り
付けられた取付部材と、 前記取付部材に取り付けられ当接部材に上向きの力を与
える重りとを有することを特徴とする請求項３に記載の
長尺素材の処理装置。 - 【請求項５】 前記付勢手段が前記当接部材に取り付け
られ弾性力を有する弾性体と、 前記弾性体の弾性力により当接部材が当接している主面
に向けて当接部材を付勢するように弾性体を保持する保
持部材と、を有することを特徴とする請求項３に記載の
長尺素材の処理装置。 - 【請求項６】 前記当接部材が長尺素材の主面の端部に
付着した洗浄液を掻き取るドクターブレードであること
を特徴とする請求項２から請求項５のいずれかに記載の
長尺素材の処理装置。 - 【請求項７】 前記当接部材が長尺素材の主面の端部に
付着した洗浄液を吸収する吸液性を有する吸液部材であ
ることを特徴とする請求項２から請求項５のいずれかに
記載の長尺素材の処理装置。 - 【請求項８】 前記洗浄液除去手段が長尺素材の主面の
端部に向けてエアーを吹き付けるエアー吹付ノズルを有
することを特徴とする請求項１に記載の長尺素材の処理
装置。 - 【請求項９】 前記搬送手段が長尺素材の一方の主面の
両端部を支持しつつ、その軸を中心に所定の方向に回転
する第１駆動ローラと、 長尺素材の他方の主面の両端部を支持しつつ、その軸を
中心に第１駆動ローラの回転方向と逆の方向に回転する
第２駆動ローラとを有し、 前記第１駆動ローラ及び第２駆動ローラが長尺素材をＳ
字状に折り曲げるようにそれぞれ配置されていることを
特徴とする請求項１から請求項８のいずれかに記載の長
尺素材の処理装置。 - 【請求項１０】 板厚が３０μｍから１００μｍの範囲
の長尺の金属薄板を処理することを特徴とする請求項１
から請求項９のいずれかに記載の長尺素材の処理装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6309913A JPH08146613A (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 長尺素材の処理装置 |
| US08/544,731 US5688326A (en) | 1994-11-18 | 1995-10-18 | Apparatus for coating elongated material with photoresist |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6309913A JPH08146613A (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 長尺素材の処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08146613A true JPH08146613A (ja) | 1996-06-07 |
Family
ID=17998854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6309913A Pending JPH08146613A (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 長尺素材の処理装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5688326A (ja) |
| JP (1) | JPH08146613A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19755411A1 (de) * | 1997-12-12 | 1999-06-17 | Voith Sulzer Papiertech Patent | Rakelvorrichtung |
| US7819079B2 (en) | 2004-12-22 | 2010-10-26 | Applied Materials, Inc. | Cartesian cluster tool configuration for lithography type processes |
| US7699021B2 (en) | 2004-12-22 | 2010-04-20 | Sokudo Co., Ltd. | Cluster tool substrate throughput optimization |
| US20060130767A1 (en) | 2004-12-22 | 2006-06-22 | Applied Materials, Inc. | Purged vacuum chuck with proximity pins |
| US7651306B2 (en) | 2004-12-22 | 2010-01-26 | Applied Materials, Inc. | Cartesian robot cluster tool architecture |
| US7798764B2 (en) | 2005-12-22 | 2010-09-21 | Applied Materials, Inc. | Substrate processing sequence in a cartesian robot cluster tool |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6196085A (ja) * | 1984-10-17 | 1986-05-14 | Toshiba Corp | シヤドウマスクの製造方法 |
| JPS6215242A (ja) * | 1985-07-15 | 1987-01-23 | Sakai Chem Ind Co Ltd | 樹脂組成物 |
| US4721645A (en) * | 1986-12-22 | 1988-01-26 | General Electric Company | Material for four directional reinforcement of conical shaped object, method for fabricating same and object formed therewith |
| JP3002616B2 (ja) * | 1993-02-16 | 2000-01-24 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 金属薄板の洗浄装置 |
-
1994
- 1994-11-18 JP JP6309913A patent/JPH08146613A/ja active Pending
-
1995
- 1995-10-18 US US08/544,731 patent/US5688326A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5688326A (en) | 1997-11-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100841501B1 (ko) | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 | |
| JPH08146613A (ja) | 長尺素材の処理装置 | |
| JP2008268284A (ja) | 基板の処理装置 | |
| JPWO2002049087A1 (ja) | 揺動シャワー型搬送式基板処理装置 | |
| JP4602567B2 (ja) | 基板の洗浄装置 | |
| TW535195B (en) | A carrying-typed device for treating substrate | |
| JP3579348B2 (ja) | 傾斜式液切り装置 | |
| JP4031629B2 (ja) | 基材洗浄装置およびその方法 | |
| JP3866856B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JP4542448B2 (ja) | レジスト剥離除去装置 | |
| JP4598911B2 (ja) | 基板から処理液を除去する方法及び装置 | |
| JPH07308642A (ja) | 基板表面乾燥装置 | |
| JP4043410B2 (ja) | インライン式現像処理装置 | |
| JP2656980B2 (ja) | ガラス基板洗浄方法 | |
| JPH11204490A (ja) | 付着液除去装置 | |
| JP2004127998A (ja) | 基板搬送装置および、基板処理システム | |
| JPH11283951A (ja) | 半導体ウエーハ等用洗浄装置 | |
| JP4365192B2 (ja) | 搬送式基板処理装置 | |
| JP2002141269A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
| JPH0889921A (ja) | 長尺素材乾燥装置 | |
| JP3165883B2 (ja) | フォトレジスト除去方法および装置 | |
| JP3441559B2 (ja) | 基板の液切り装置 | |
| WO2023181274A1 (ja) | 洗浄装置及び洗浄方法 | |
| JP2002346485A (ja) | 液晶表示パネルの洗浄方法及び洗浄装置 | |
| WO2011010585A1 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 |