JPS6215242Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 本考案は、カラーブラウン管用シヤドウマスク
の製造に好適する現像およびエツチング装置に関
する。

〔考案の技術的背景とその問題点〕

一般にカラーブラウン管用シヤドウマスクはフ
オトエツチング法によつて製造されている。

このフオトエツチング法による製造工程は大別
して次の４工程からなる。すなわち、鉄帯に感光
膜を塗布形成する塗布工程、鉄帯にパターンを焼
きつける露光工程、パターンを現像して焼込む現
像工程及び蝕刻するエツチング工程からなる。

上記現像工程は、従来それぞれ独立した工程と
して行われているかあるいは特公昭55−8591号に
示されているように鉄帯を水平状態で送り、現像
工程とエツチング工程を一連の装置で行うように
したものである。後者は鉄帯を水平状態で送るた
め、従来、鉄帯を縦形にして送る時に生ずる現像
液及び蝕刻液の流れの影響が少なくなり、対称パ
ターンや微細蝕刻など精度、品位の高いものを得
ることができるとされている。しかしここで問題
となるのは水平方式における現像工程での現像液
の切れ、及び鉄帯の不安定走行であり、これを解
決する手段として実公昭55−7943号に鉄帯の両エ
ツヂに傾斜状にしたローラを当接し、鉄帯を上方
に向つて彎曲保持したまま走行する手段が考案さ
れている。こうすることにより現像処理後の乾燥
及びバーニングを安定させることができるとされ
ている。又、現像液の切れがよく、さらに現像後
の界面活性剤をふりかけた後の水切れがよく、そ
の後、板材の上部と下部より清浄エアーを吹きつ
けることによつて界面活性剤をほとんどふり落し
均一乾燥及びバーニングすることができしかも鉄
帯はエツヂ部だけでローラーに当接している為、
レジスト膜にはほとんど影響を及ぼさないとされ
ている。

しかし、この方式でも基本的には水平状態であ
りいくら鉄板を彎曲に保持しても現像液の切れの
よさには限度があり、今後ますます微細化エツチ
ング（たとえば0.2ミリピツチシヤドウマスク）
が要望されるに伴い、現像液の流れによるムラが
生じ易く、またこの鉄板をフラツトマスクにした
場合のムラ品位が低下するという欠点がある。加
えてバーニング処理において鉄板が上方に彎曲し
ているため、均一加熱には不向きでありシヤドウ
マスク品位の安定化は図りずらいという欠点があ
る。

〔考案の目的〕

本考案の目的は上記の欠点をなくすために鑑み
なされたものであり、鉄板はエツヂ部のみが当接
するようにして現像で膨潤したレジスト面にはロ
ーラーが触れないようにしかつ、現像液の切れ及
び乾燥及びバーニングの均一加熱を図るため、特
に現像のための工程のみ鉄板が当接するようにし
あわせてエツチング工程まで一連の装置で行うよ
うにしたものである。

〔考案の概要〕

現像工程の現像槽、硬膜処理槽、水洗槽、ベー
キングオーブンおよびエツチング工程の蝕刻槽、
洗浄槽、ドライヤーを順次連設し、これらに帯状
体を水平状態で送るとともに少くとも上記現像
槽、硬膜処理槽、水洗槽およびベーキングオーブ
ンにおいては帯状体をエツヂ部分のみが当接する
ようにしたことを特徴とする現像およびエツチン
グ装置により所期の目的を達成するものである。

〔考案の実施例〕

本考案の一実施例につき第１図ないし第４図を
参照して説明する。

１は帯状体６２のアンワインダーで前記アンワ
インダー１の前方にガイドローラー２，３を介し
てステツチヤー４及び上下一対のローラ５を有す
るドライブ装置６が連設され、前記現像槽７内に
は上下部に対向してノズル８が配設されている。
１０は硬膜処理槽であり、鉄帯６２両面に塗布さ
れているレジストのしみ出しを防ぐ為に浸漬方式
にて処理する。また水洗槽１２は前記硬膜処理槽
１０で処理された前記鉄帯６２を洗浄するための
ものであり、上下部に対向してノズル１３ａ，１
３ｂが配設されている。さらに前記水洗槽１２の
前部の上下部に対向してスポンジローラ１８が配
設されるとともに前記スポンジローラ１８の前方
にローラ１６及び上下部にエアノズル１９が配設
されている。次に前記エアノズル１９の前方には
バーニングオーブン２０が配設され、前記バーニ
ングオーブン２０内には鉄帯６２の表裏から乾燥
及びベーキングするようにヒータ２２が配設され
ている。又、前記現像槽７硬膜処理槽１０水洗槽
１２及びバーニングオーブン２０内外に配設され
ているローラ９，１１，１４，１６，２１は第３
図に示すように前記鉄帯６２のエツヂ部分だけが
接触するローラである。前記バーニングオーブン
２０の前方に、上下一対のローラ２４を有する中
間ドライブ装置２３を介して第１の蝕刻槽２５第
２の蝕刻槽３０、第３の蝕刻槽３４及び第１の洗
浄槽３９が順次連設される。これらの各槽２５，
３０，３４，３６内の上下部には対向してノズル
２７，３１，３７，４０が配設されているととも
に各槽２５，３０，３４，３９の入口部及び出口
部に上下一対のローラワイパー２６，２８，２
９，３２，３３，３６，３８−１，３８−２）が
軸架される。さらに各槽２５，３０，３４の中間
部にはサポートローラ３５−１，３５−２，３５
−３が軸架されている。前記第１の洗浄槽３９の
前方には上下一対のローラ４１を有する中間ドラ
イブ装置４２を介して保護膜剥離槽４４、第２の
洗浄槽４８及び第３の洗浄槽５０が順次連設され
る。さらにこれらの各槽４４，４８，５０内の上
下部に対向してノズル４５，４９，５１が配設さ
れているとともに各槽４４，４８，５０の入口部
及び出口部に上下一対のローラワイパー４３，４
６，４７，５２−１，５２−２が軸架されてい
る。上記第３の洗浄槽５０の前方には上下部に対
向してエアノズル５３を介してドライヤー５４が
連設されこのドライヤー５４内の上下部に対向し
てヒータ５５が配設されている。上記ドライヤー
５４の前方には上下一対のローラ５６を有するピ
ンチドライブ装置５７及びガイドローラ５８を介
してワインダー５９及び自動切断装置６０が連設
され、前記自動切断装置６０の前方にキヤリア６
１が設けられている。そしてアンワインダー１に
帯状体即ち露光工程を経て両面の感光膜にパター
ンを焼付けられ芯金にコイル状に巻いた鉄帯６２
を水平状態で巻き戻せるようにセツトされる。こ
の鉄帯６２はガイドローラ２，３、ステツチヤー
４、ドライブ装置６のローラ５間を通りさらに現
像槽７硬膜処理槽１０水洗槽１２バーニングオー
ブン２０、第１の蝕刻槽２５、第２の蝕刻槽３
０、第３の蝕刻槽３４、第１の洗浄槽３９、保護
膜剥離槽４４、第２の洗浄槽４８、第３の洗浄槽
５０及びドライヤー５４内を順次送られる。次い
で鉄帯６２は前記現像槽７のローラ９前記硬膜処
理槽１０のローラ１１、前記水洗槽１２のローラ
１４を介して水平状態に上下される。さらに鉄板
６２はスポンジローラ１８、ローラ１６を通り、
次にバーニングオーブン２０のローラー２１を介
して水平状態で上下され中間ドライブ装置２３の
ローラ２４各ローラワイパー２６，２８，３０，
３２，３３，３６，３８−１，３８−２、各サポ
ートローラー３５−１，３５−２，３５−３、中
間ドライブ装置４２のローラ４１、各ローラワイ
パー４３，４６，４７，５２−１，５２−２を介
して水平状態にて送られる。さらに鉄帯６２はピ
ンチドライブ装置５７のローラ５６及びガイドロ
ーラ５８を介して自動切断装置６０に導かれる。
そして鉄帯６２はドライブ装置６中間ドライブ装
置２３，４２、ピンチドライブ装置５７の駆動に
よりアンワインダー１から連続的に繰り出され
る。

次に上記現像槽７のローラ９硬膜処理槽１０の
ローラ１１、水洗槽１２のローラ１４、ローラ１
６及びバーニングオーブン２０のローラ２１につ
いて第３図及び第４図を参照して説明する。

第３図においてローラ１０８ａ，１０８ｂは前
記ローラ９，１１，１４，１６，２１と同等のも
のである。ブラケツト１０２，１０３に配設した
軸受１０４，１０５を介してシヤフト１０１が配
設してある。前記シヤフト１０１はその左右に左
ネジ部および右ネジ部を有しておりローラ１００
ａ，１００ｂに第４図で示すように軸受１０９，
１１０を介してローラ１０８ａ，１０８ｂが配設
してあり、このローラ１０８ａ，１０８ｂが鉄帯
の走行とともに回転する。１１４はカラーであ
り、前記ローラ１０８ａはワツシヤー１１１をし
てロツクナツト１１２でローラ１００ｂを締めつ
けることにより保持されている。又１１３はブツ
シユでシヤフト１０７は前記ローラ１００ａ，１
００ｂをシヤフト１０１の一方の端に固着してい
るハンドル１０６を回して巾寄せする時のガイド
の役目をしている。従つて前記ハンドル１０６を
回せば鉄帯の巾に応じてローラ１０８ａ，１０８
ｂのスパンを決めることができる。

以上のように前記鉄帯６２は感光膜面が触れる
ことなくエツヂ部だけが接触して各槽の内を走行
する為、膨潤したレジスト面に傷がつくことはな
い。

上記のようにして送られる鉄帯６２はアンワイ
ンダー１からガイドローラ２，３を介してドライ
ブ装置６に至り常時一定の電磁ブレーキ力によつ
て鉄帯６２は一定の張力で支持される。そして鉄
帯６２は現像槽７内に導かれノズル８から噴霧さ
れる温水によつて現像され、次に硬膜処理槽１０
で浸漬方式により無水クロム酸により表面処理さ
れ、ついで鉄帯は水洗槽１２内に導かれ、前半の
ノズル１３ａで水洗、後半のノズル１３ｂはスイ
ーパー用のノズルでこれにより純水が噴霧され、
浮遊している感光剤が洗い流される。ついで鉄帯
６２はスポンジローラ１８で水が吸いとられ次に
エアノズル１９から噴出する清浄空気によつて水
分を取り除きバーニングオーブン２０に導かれ
る。このバーニングオーブン２０は前半が乾燥、
後半がバーニングでありヒータ２２によつて乾燥
及びパターンの焼込みが行なわれる。ここでのロ
ーラ２１は第３図に示すように鉄帯６２のエツヂ
部のみを保持するローラである。

ついで鉄帯６２は第１、第２、及び第３の蝕刻
槽２５，３０，３４内に導かれノズル２７，３
１，３７から噴霧される塩化第２鉄溶液などの蝕
刻液によつて水洗される。さらに鉄帯６２は保護
膜剥離槽４４内に導かれ、ノズル４５から噴霧さ
れる剥離液によつて保護膜が剥離される。鉄帯６
２はさらに第２の洗浄槽４８内に導かれ、ノズル
４９から噴霧される洗浄水によつて洗浄されると
ともに第３の洗浄槽５０内に導かれノズル５１か
ら噴霧される純水リンスによつて洗浄仕上げされ
る。

そして鉄帯６２はエアノズル５３から噴出され
る空気によつて水分を吹きとばされる。鉄帯６２
はさらにドライヤー５４内を導かれヒータ５５に
よつて乾燥される。さらに鉄帯６２はピンチドラ
イブ装置５７及びガイドローラ５８を介して送ら
れ自動切断装置６０で各パターンごとに自動的に
切断されキヤリヤ６１に順次受けられる。なお、
鉄帯６２を切断しない場合は、鉄帯６２はワイン
ダー５９に接続され鉄帯６２を巻きとられるもの
である。

〔考案の効果〕

本考案は上述のように現像およびエツチングを
経てシヤドウマスク用フラツトマスクを製造する
装置において、少なくとも現像槽からバーニング
オーブン内では帯状体のエツヂの部分しかローラ
が接触しないため、現像液の切れがよくさらに現
像処理後の乾燥及びバーニングを安定させること
ができ、その結果、従来得られ難かつた高精細度
シヤドウマスク用フラツトマスクを安定に製作で
きる利点を有する。

なお、本実施例では帯状体を一貫して水平状態
に送行する方式について詳述したがエツチング工
程では帯状体を垂直または垂直に近い状態で送行
する方式にも適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の現像およびエツチング装置の
一実施例の現像装置を示す概略図、第２図は同じ
くエツチング装置を示す概略図、第３図は第１図
のＡ−Ａ方向からみた断面を具体的に示す断面
図、第４図は第３図の一部を拡大して示す断面図
である。 ７……現像槽、１０……硬膜処理槽、１２……
水洗槽、２０……バーニングオーブン、２５，３
０，３４……蝕刻槽、３９……洗浄槽、４４……
保護膜剥離槽、４８，５０……洗浄槽、５４……
ドライヤー、６２……帯状体。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 現像工程の現像槽、硬膜処理槽、水洗槽、バー
   ニングオーブンおよびエツチング工程の蝕刻槽、
   洗浄槽、ドライヤーを順次設置しこれらに帯状体
   を水平状態に送るとともに少くとも上記現像槽、
   硬膜処理槽、水洗槽およびバーニングオーブンに
   おいては帯状体をエツジの部分のみが当接するよ
   うにしたことを特徴とする現像およびエツチング
   装置。