JP4681662B2 - レジストパターンの形成方法 - Google Patents
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Description
充分に洗浄したガラス基板の表面全体にクロム等からなる遮光膜を被膜する(遮光膜形成工程)。この遮光膜上に、スピンコートやスリットコートによって感光性のレジストを塗布する(レジスト塗布工程)。レジストは、ポジ型とネガ型に分類できる。塗布したレジストをプリベーク(最初の焼き)した後、所望のパターンに沿って露光する(露光工程)。ポジ型のレジストにおいては、露光部分が分解して可溶性になる。ネガ型のレジストにおいては、露光部分が重合して不溶性になる。露光後、場合によっては再度ベークする。その後、現像液をレジストに接触させ、パターンを現像する(現像工程)。ポジ型のレジストの場合、露光部分を溶かす現像液を用いる。ネガ型のレジストの場合、露光部分以外のレジストを溶かす現像液を用いる。これにより、ポジ型のレジストは露光部分が除去され、ネガ型のレジストは露光部分が残る。現像後、リンス液で洗浄し、水分を充分に除去したうえで、ポストベーク(最終の焼き)を行なう。ここまでの工程は、フォトリソグラフィ法と呼ばれる。その後、レジストが被さっていない部分の遮光膜をエッチングする(エッチング工程)。そして、残った遮光膜を覆っているレジストを有機溶媒に溶かす等して除去する(レジスト除去工程)。
上記のフォトリソグラフィ法は、液晶ディスプレイのカラーフィルタの製造にも適用されている。
ディップ現像は、被現像基板を現像液の中に浸漬して揺動させる現像方式である。量産初期の手作業による現像作業に適用されることが多い。多数枚の被現像基板をまとめて専用の懸架器具に取り付けて行うのが一般的である。
特許文献2には、フッ化物を含むガスを大気圧放電させ、レジストをアッシングすることが記載されている。
ディップ現像において、被現像基板を現像液中で揺動させるのは、現像の進行を促進させるためであるが、シャワー現像と比べると、被現像基板表面での現象液の流れが悪い。
一対の電極間に大気圧近傍の放電空間を形成し、前記放電空間で発生するプラズマ光が前記放電空間の外部の前記レジスト層に当らないようにしながら、親液化用処理ガスを前記放電空間に通して吹出し前記レジスト層に接触させる大気圧リモートプラズマ親液化工程と、
前記レジスト層に現像液を接触させる現像工程と、
を順次実行することを特徴とする。
大気圧リモートプラズマ親液化工程によって、レジスト層の表面を親液化でき、濡れ性を向上できる。したがって、その後の現像工程において、現像液をレジスト層の表面に均一に被膜でき、現像を均一に行なうことができる。濡れ性が良いため、シャワー現像においても現像の均一性を十分に確保できる。ディップ現像において被現像基板表面での現象液の流れが多少悪くても現像の均一性を十分に確保できる。よって、良好なレジストパターンを形成でき、良好な品質の製品を作製できる。また、濡れ性が良いため、現像液の消費量を低減できる。特に、パドル現像において、レジスト層の表面が凸凹になっていても、現像液の膜厚をあまり大きくする必要がなく、現像液の消費量を確実に低減できる。
真空下で酸素プラズマに曝すことで濡れ性を付与することも考えられるが、被処理基板を真空装置に入れ、プラズマ処理後、取り出して次工程に進めるのは、工程が増え、設備コストの増大及び処理時間の増大を招く。
大気圧リモートプラズマアッシング工程は、大気圧を含む大気圧近傍下で、レジスト層の表層部分を軽くアッシング(ライトアッシング)する。アッシングの時間や処理ガス条件などを調節することで、レジスト層の表層より下側の層部分は残置されるようにする。リモートプラズマアッシングにおいては、被処理体の盛り上がっている部分のほうが凹んでいる部分よりも、より活性のアッシングガスと接触しやすく、アッシング速度が大きい。これによって、レジスト層の厚さを均一化でき、レジスト層の表面を平坦化できる。したがって、その後の露光工程において、露光すべきレジスト部分を均一に露光して均一に変質させることができ、該変質されたレジスト部分と変質されていないレジスト部分とを明瞭に区分けできる。よって、現像工程において、現像液によって除去されるレジスト部分と残るレジスト部分とを明瞭に区分けできる。この結果、一層良好なレジストパターンを形成できる。さらに、被処理基板1枚あたりの現像液の消費量を一層低減できる。特にパドル現像において、レジスト層上に張る現像液の膜の厚さをより小さくでき、現像液の消費量を確実に低減できる。
レジストが感光性であるため、紫外線アッシャーにてライトアッシングすることもできない。紫外線アッシャーとは、オゾン等のガスを導入したアッシング室内で、紫外線の照射下でガスとレジストの化学反応を使ってレジストを剥離する光励起アッシング装置である。
図7に示すように、この実施形態において製造対象とするデバイスは、フォトマスク9である。フォトマスク9は、ガラス基板91を有している。ガラス基板91の表面に遮光膜92が被膜されている。遮光膜92に所定のパターン92aが形成されている。
[洗浄工程]
まず、ガラス基板91の表面を洗浄し、基板91の表面の有機物や脂質を落す。これにより、遮光膜92やレジスト93の付着性を確保できる。
次に、図1に示すように、ガラス基板91の全面に遮光膜92を被膜し、フォトマスクブランク90を形成する。遮光膜92の成分は、例えばクロム等の金属である。被膜方法は例えばスパッタリングである。
次に、遮光膜92上に液状の感光性樹脂からなるレジストを塗布し、レジスト層93を形成する。この実施形態では、ポジ型のレジストを用いているが、ネガ型のレジストを用いてもよい。レジスト層93の厚さは、数μm〜100μm程度である。塗布機として、スピンコータを用いてもよく、スリットコータを用いてもよい。レジストをスピンコートにて塗布すると、フォトマスクブランク90の外周部のレジストの厚さがフォトマスクブランク90の内側部のレジストの厚さに比べて大きくなりやすい。スリットコートにて塗布すると、塗り始めの部分のレジストの厚さが他の部分に比べて大きくなりやすい。したがって、図1において誇張して示すように、レジスト層93の表面(上面)が凸凹になりやすい。
次に、フォトマスクブランク90を焼き、レジスト層93を硬化させる。
次に、図2に示すように、フォトマスクブランク90を大気圧リモートプラズマアッシング装置1に導入する。大気圧リモートプラズマアッシング装置1は、処理ヘッド10を有している。処理ヘッド10内に一対の電極11,11が互いに対向して設けられている。各電極11の対向面には固体誘電体層(図示省略)が形成されている。一方の電極11が電源12に接続されている。他方の電極11が電気的に接地されている。電源12からの電圧供給によって、電極11,11間の空間が大気圧近傍の放電空間13になる。電源12の供給電圧の波形は、パルス波でもよく連続波でもよい。
処理ヘッド10の底部には電界遮蔽部材16を設けることが好ましい。電界遮蔽部材16は、金属で構成され、電気的に接地されている。電界遮蔽部材16は、電源12に接続された電極11からの電界を遮蔽し、ひいては、電極11から遮光膜92にアーク放電が落ちるのを防止する。これにより、フォトマスクブランク90が電界ダメージを受けるのを防止できる。
処理ヘッド10とフォトマスクブランク90との間の距離WDは、小さいほど有効であるが、フォトマスクブランク90の反りなどがあった場合でも処理ヘッド10が接触しない程度の大きさにする。通常、距離WDは、WD=0.3〜10mmとするのが好ましく、0.5〜3mmとするのがより好ましい。
次に、図4に示すように、電子ビーム照射装置3にてフォトマスクブランク90に電子ビーム3aを照射し、かつ電子ビーム3aの照射点を、所望のパターンを描画するようにフォトマスクブランク90に対し相対移動させる。これにより、レジスト層93を部分的に露光できる。レジスト層93の表面が充分に平坦化されているため、レジスト層93のうち露光すべきレジスト部分93aを均一に露光して均一に変質させることができる。したがって、当該露光により変質されたレジスト部分93aと、露光されず変質していないレジスト部分93bとを明瞭に区分けすることができる。
露光後のフォトマスクブランク90を焼く。この工程は、省略される場合が多い。
次に、図4に示すように、フォトマスクブランク90を大気圧リモートプラズマ親液化装置2に導入する。大気圧リモートプラズマ親液化装置2は、処理ヘッド20を有している。処理ヘッド20内に一対の電極21,21が互いに対向して設けられている。各電極21の対向面には固体誘電体層(図示省略)が形成されている。一方の電極21が電源22に接続されている。他方の電極21が電気的に接地されている。電源22からの電圧供給によって、電極21,21間の空間が大気圧近傍の放電空間23になる。電源22の供給電圧の波形は、パルス波でもよく連続波でもよい。
処理ヘッド20の底部には電界遮蔽部材26を設けることが好ましい。電界遮蔽部材26は、金属で構成され、電気的に接地されている。電界遮蔽部材26は、電源22に接続された電極21からの電界を遮蔽し、ひいては、電極21から遮光膜92にアーク放電が落ちるのを防止する。これにより、フォトマスクブランク90が電界ダメージを受けるのを防止できる。
次に、図5に示すように、現像液5をフォトマスクブランク90に接触させる。前工程の大気圧リモートプラズマ処理によってレジスト層93の表面が親水化されているため、現像液5をレジスト層93の表面に速やかに均一に接触させることができる。これにより、ポジ型レジスト層93の光照射された変質部分93aが現像液5に溶けて除去され、光照射されていない非変質部分93bだけが残る。なお、ネガ型のレジストを用いた場合には、光照射されていない非変質部分が除去され、光照射された変質部分が残る。変質部分93aと非変質部分93bとが明瞭に区分けされているため、所望のレジストパターンを得ることができる。
現像後、リンス液で洗浄する。リンス液は、純水でもよい。
次に、現像工程及びリンス工程で付着した水分を充分に除去したうえで、最終の焼きを行ない、残ったレジストを充分に硬化させる。
洗浄工程からポストベークまでの工程が、フォトリソグラフィ法と呼ばれている。
次に、図6に示すように、レジスト層93が被さっていない部分の遮光膜92をエッチングする。レジスト層93に覆われている部分の遮光膜92が残される。
次に、図7に示すように、残った遮光膜92を覆っているレジスト層93を有機溶剤で溶解する等して除去する。これにより、遮光膜92が露出する。現像工程において所望のレジストパターンが得られているため、遮光膜92についても所望のパターン92aを得ることができる。これにより、良好な品質のフォトマスク9を形成することができる。
例えば、1つの大気圧リモートプラズマ処理装置を、大気圧リモートプラズマアッシング装置1及び大気圧リモートプラズマ親液化装置2として兼用してもよい。
各工程の具体的手順は適宜変更してもよく、洗浄工程、ベーク工程等は適宜省略してもよい。
本発明は、フォトマスクの製造に限られず、カラーフィルタ等の、フォトリソグラフィ法による他のデバイスの製造にも適用できる。
ガラス基板91の全面にポジ型レジストをスリットコートにて塗布し、更にプリベークした。ガラス基板のサイズは、510mm×610mmであった。レジスト層93の初期平均厚さは、500nmであった。レジストとして、日本ゼオン社製のZEP520を用いた。プリベークの温度は、150℃とした。
図2又は図4に示す大気圧リモートプラズマ処理装置1,2と実質的に同じ構造の装置を用い、上記のサンプルに大気圧リモートプラズマ処理を施した。処理ガスとして、窒素 600L/minと、酸素 0.15L/minの混合ガスを用いた。電源12から電極11への投入電力は、3kWとした。移動機構17による搬送速度は、1.2m/minとした。移動回数(処理回数)は、片道移動を1回として20回とした、処理ヘッド10とサンプルとの距離は、WD=1mmとした。処理温度は室温とし、加熱は行なわなかった。
その後、現像工程、リンス工程、ポストベーク工程を順次行なった。現像工程の現像方式は、ディップ現像とした。現像液としてZED−50N(日本ゼオン社製)を用いた。現像液の浸漬時間は90secとした。リンス工程のリンス液として純水を用いた。ポストベークの温度は、150℃とした。
表2から明らかなように、大気圧リモートプラズマ処理を行なうことによって、レジスト層の親水性を大きく向上できた。よって、その後の現像工程において、現像液をレジスト層の表面に速やかに均一に接触させることができ、均一に現像できることが確認された。
10 処理ヘッド
11 電極
12 電源
13 放電空間
14 アッシング用処理ガス供給源
15 吹出し口
16 電界遮蔽部材
17 移動機構
18 加熱部
2 大気圧リモートプラズマ親液化装置
20 処理ヘッド
21 電極
22 電源
23 放電空間
24 親液化用処理ガス供給源
25 吹出し口
26 電界遮蔽部材
27 移動機構
3 電子ビーム照射機
3a 電子ビーム
5 現像液
9 フォトマスク(デバイス)
90 フォトマスクブランク(被処理物)
91 ガラス基板
92 遮光膜
92a パターン
93 レジスト
93a 変質部分
93b 非変質部分
93e アッシング除去部
Claims (2)
- デバイスの基板に感光性のレジストを塗布してレジスト層を形成するレジスト塗布工程と、
前記レジスト層に部分的に光を照射する露光工程と、
一対の電極間に大気圧近傍の放電空間を形成し、前記放電空間で発生するプラズマ光が前記放電空間の外部の前記レジスト層に当らないようにしながら、親液化用処理ガスを前記放電空間に通して吹出し前記レジスト層に接触させる大気圧リモートプラズマ親液化工程と、
前記レジスト層に現像液を接触させる現像工程と、
を順次実行することを特徴とするレジストパターンの形成方法。 - 前記親液化用処理ガスが、窒素ガス又は窒素と酸素の混合ガスであり、酸素含有量が0〜20体積%であることを特徴とする請求項1に記載のレジストパターンの形成方法。
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