JPS5954563U - 現像およびエツチング装置 - Google Patents

現像およびエツチング装置

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JPS5954563U
JPS5954563U JP14697382U JP14697382U JPS5954563U JP S5954563 U JPS5954563 U JP S5954563U JP 14697382 U JP14697382 U JP 14697382U JP 14697382 U JP14697382 U JP 14697382U JP S5954563 U JPS5954563 U JP S5954563U
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JP
Japan
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tank
developing
development
etching
etching equipment
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JP14697382U
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JPS6215242Y2 (ja
Inventor
平山　和成
Original Assignee
株式会社東芝
凸版印刷株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の現像およびエツチング装置の一実施例
の現像装置を示す概略図、第２図は同じくエツチング装
置を示す概略図、第３図は第１図のＡ−Ａ方向からみた
断面を具体的に示す断面図、第４図は第３図の一部を拡
大して示す断面図である。 ７・・・現像槽、１０・・・硬膜処理槽、１２・・・水
洗槽、２０・・・ベーキングオーブン、２５．　３０．
　３４・・・蝕刻槽、３９・・・洗浄槽、４４・・・保
護膜剥離槽、４８．５０・・・洗浄槽、５４・・・ドラ
イヤー、６２・・・帯状体。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 現像工程の現像槽、硬膜処理槽、水洗槽、ベーキングオ
    ーブンおよびエツチング工程の蝕刻槽、洗浄槽、ドライ
    ヤーを順次設置しこれらに帯状体を水平状態に送るとと
    もに少くとも上記現像槽、硬膜処理槽、水洗槽およびベ
    ーキングオーブンにおいては帯状体をエツジの部分だけ
    が当接するようにしたことを特徴とする現像およびエツ
    チング装置。
JP14697382U 1982-09-30 1982-09-30 現像およびエツチング装置 Granted JPS5954563U (ja)

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JP14697382U JPS5954563U (ja) 1982-09-30 1982-09-30 現像およびエツチング装置

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JP14697382U JPS5954563U (ja) 1982-09-30 1982-09-30 現像およびエツチング装置

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Publication Number Publication Date
JPS5954563U true JPS5954563U (ja) 1984-04-10
JPS6215242Y2 JPS6215242Y2 (ja) 1987-04-17

Family

ID=30326973

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JP14697382U Granted JPS5954563U (ja) 1982-09-30 1982-09-30 現像およびエツチング装置

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JP (1) JPS5954563U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61284577A (ja) * 1985-06-10 1986-12-15 Futaba Corp 薄膜形成装置
JPS621780U (ja) * 1985-06-19 1987-01-08

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61284577A (ja) * 1985-06-10 1986-12-15 Futaba Corp 薄膜形成装置
JPS621780U (ja) * 1985-06-19 1987-01-08

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JPS6215242Y2 (ja) 1987-04-17

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