JPS5815539B2

JPS5815539B2 - シヤシンエツチングソウチ

Info

Publication number: JPS5815539B2
Application number: JP7767374A
Authority: JP
Inventors: 奥村門出; 根本稔; 小林善昭; 清水幸夫; 浅場修司
Original assignee: Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1974-07-05
Filing date: 1974-07-05
Publication date: 1983-03-26
Also published as: JPS516662A

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、写真エツチング装置に関する。

写真エツチング法は、人別して、感光液塗布、露光、現
像、バーニング、腐蝕の各工程からなっている。

そして、この写真エツチング法における従来の現像シス
テムは、保護膜を塗布するとともにパターンを焼付けた
帯状の鉄板をアンワインダ−から繰出して垂直状態で送
り、スプレィノズルを有する現像槽を通１−て温水現像
し、ついで、スプレィノズルを有する水切り槽を通（７
て界面活性剤リンスを行って水切りを行い、さらに乾燥
炉およびベーキングオーブンを通してワインダーに巻取
るようにしている。

ところで、写真エツチング法によって製品を製造する場
合、現像状態が製品の品質に非常に大きな影響を与える
。

たとえば、カラーブラウン管のシャドウマスクなどは写
真エツチング法によって多く製造されているが、現像状
態がむら品位に大きな影響を与える。

そして、現像工程で製品の品質上要求されることは、現
像むらのないこと、現像パターンがシャープであること
、乾燥が均一に行えることである。

第９図は帯状の鉄板からなを板材１を垂直状態で送った
ときの現像パターンを示したもので、第１０図は板材１
の両面における保護膜２，３がパターン部分において完
全に欠除し、理想的な現像状態を示している。

しかし、実際には、第１１図および第１２図に示すよう
に、いわゆる薄膜といわれるごく薄し・保護膜２，３が
パターン上に残る。

第１１図は第９図のＡ−Ａ断面であり、第１２図はＢ
、−、、、−Ｂ断面を示している。

すなわち第１２図は現像液の流れ方向の断面を取ってい
るが、ここで重要なのは現像後のパターンすなわち保護
膜の残りかたが非対称となることにある。

この保護膜の状態が製品むらに微妙に影響する。

したがって、保護膜の生成状態が全てのパターンを通し
て均一であることが望ましいが、従来の現像方式では液
流れなどの影響で第１１図および第１２図の状態になる
のが通當であり、シャープな現像が望めない上、板材の
下部と下部とでは現像状態が異なり、次工程のエツチン
グの制御を困難に１〜でいる。

本発明は、このような点にかんがみてなされたもので、
現像液の液流れの影響を減少させることにより、シーヤ
ープなかつ均一な現像を行い、さらに、水切り乾燥を均
一に一定状態に行い、また、次工程のエツチング゛との
連続一体化ができるようにしたものである。

本発明の一実施例を図面について説明する。

第１図および第２図において、１１はアンワインダ−で
、このアンワインダ−１１に帯状の鉄板からなる板材１
２のロールが軸架される。

上記アンワインダ−１１にローラ装＠１３が連設されて
℃・る。

このローラ装置１３は、フレーム１４に上下＝一対の口
・−ラ１５，１６が軸架されている。

上記ローラ装置１３に現像槽１γが連設されている。

この現像槽１７内の上下部に複数個のマニホールド１８
，１９が詔勅自在に設けられ、これらの上下部のマニホ
ールド１８．１９に複数個のスプレィノズル２０．２１
が上下相対向ｔ〜て取付けられている１−１そＩ〜で、
上記各マニホールド１８゜１９に導管２２、バルブ２３
、ポンプ２４を介して現像液タンク２５が連結されてい
る。

上記現像槽１７に水切り槽２６が連設されている。

この水切り槽２６内の上下部にノズノし２７゜２８が対
向して設けられている。

この上部のノズル２７は、第４図および第５図に示すよ
うに、ノズル体２９の下面に複数個のスリット状の噴出
孔３０が穿設されているとともに、下部のノズル２８は
、第６図および第７図に示１ように、ノズル体３１の土
面に約６０度程度ｆ鴫斜した方向に向って複数個の円形
の噴出孔３２が穿設されている、。

そして、第３図に示すように、上記下部のノズル２７に
導管３３およびバルブ３４を介して上部タンク３５が接
続されているとともに、水切り槽２６の中央下部に連通
管３６を介して収納タンク３７が設けられ、この収納タ
ンク３７の一側部に連通管３８を介して下部タンク３９
が連設され、このタンク３９にポンプ４０、導管４１お
よびバルブ４２を介して上記上部タンク３５が連結され
、上記導管４１の途中と上記下部ノズル２８とが導管４
３およびバルブ４４を介して連結されている。

上記水切り槽２６に乾燥炉４５が連設され、この乾燥炉
４５内の上下部に複数個のヒータ４６゜４７が取伺げら
れている。

さらに、上記乾燥炉４５の入口部の両側位置にローラ４
８が約６０度程度内側方に向って傾斜してかつ両側のロ
ーラ４８間の間隔を板材１２０幅寸法より小さくして軸
架されているとともに、乾燥炉４５の出口部にローラ４
９が水平状に軸架されている。

上記乾燥炉４５にベーキングオーブン５０が連設され、
このベーキングオーフン５０の上下部に複数個のヒータ
５１，５２が取付けられている。

Ｐ−記ベーキングオーブン５０にローラ装置５３が連設
されている。

このローラ装置５３は、フレーム５４の上下部に一対の
駆動ローラ５５，５６が軸架されて℃・る。

そうして、−ト記アンワインダ−１１、ローラ装置１３
、ローラ４８、ローラ４９およびローラ装置５３によっ
て送り装置が構成されて（・る。

つぎに作動を説明する。

アンワインダ−１１に保護膜を塗布するとともにパター
ンを焼付けた板材１２のＤ・−Ａを軸架し、板材１２を
ローラ装置１３の上−１・のローラ１５゜１６間を通し
、現像槽１７内および水切り槽２６内を通し、乾燥炉４
５０人口部における両側のローラ４８に板材１２の両側
のエツジを当接して板材１２を上方に向って彎曲させた
状態で保持するとともに乾燥炉４５内を通し、さらにロ
ーラ４９−１−を介してベーキングオーブン５０内を通
し、ローラ装置５３の上下のローラ５５．５６間を通す
。

そして、前方のローラ５５，５６を駆動し、後方のロー
ラ１５，１６との間でバックテンションをかけながら板
材１２を水平状態で連続的に搬送する。

そｌ−で、板材１２が現像槽１７内を通過するとき、タ
ンク２５からポンプ２４によって導管２２およびマニホ
ールド１８．１９を介して導かれた現像液が上下のノズ
ル２０．２１から板材１２の両面にスゲレイされ、温水
現像される。

この際、図示しない揺動機構によってノズル２０．２１
を毎分３０回程度揺動し、板材１２の保護膜面での現像
液の循環をよくする。

また、現像槽１７の先部において純水のスプレィノズル
を−Ｌ下に設けて純水のスィーパ−ゾーンを設けること
により、パターン士に現像処理によって浮し・た保護膜
を完全に洗い流すことができる。

ついで、現像された板材１２は水切り槽２６内を通過す
るどき、上部タンク３５から導管３３を介して導かれた
水切り剤としての界面活性剤が下部のノズル２７からス
ゲレイされ、自然水頭の低圧リンスを行うとともに、下
部タンク３９からポンプ４０により導管４１および導管
４３を介して導かれた界面活性剤が下部の人スル２８か
ら高圧。

リンスを行い、均一な乾燥および乾燥時間の短縮をはか
る。

この際、下部のノズル２８の噴出孔３２を一方向に傾
斜して液の衝突をさけ、界面活性剤を板材１２に沿って
流して発泡を防止する。

これとともに、上部タンク３５、導管３３、水切り槽２
６、連通管３６、収納タンク３７、連通管３８、下部タ
ンク３９および導管４１を介し７て界面活性剤を循環す
る。

ついで、この水切り処理された板材１２は乾燥炉４５を
通過するとき、ヒータ４６，４７によって乾燥される１
ｏこの際、板材１２は現像槽１７、水切り槽２６および
乾燥炉４５を通して板材１２は約２度程度の下降勾配を
附されていることにより、現像液および界面活性剤は常
に一定方向に流れるとともに、両１則のローラ４８に
よって−１−力゛に彎曲していることにより乾燥が均一
に行われる１、すなわち、一度乾燥したところに再度水
切り剤が流れた場合、保護膜の収縮状態が変り、製品に
むら、じみとなってあられれるが、板材１２の全体的な
下降状態および一ト一方への彎曲で水切り剤の乾燥が均
一に行われる。

ついで、この乾燥の終った板材１２はベーギングオーブ
ン５０を通過するとき、ヒータ５１゜５２によってパタ
ーンの焼込みが行われ、川び巻きとられる。

本発明によれば、板材を水平状態で送りつつ現像、水切
りおよび乾燥を行うことにより、現像液の液流れの影響
を減少させることにより、シャープなかつ均一な現像を
行うことができるとともに、水切り乾燥を均一に一定状
態に行うことができ、また、次工程のエツチングとの連
続一体化ができ、作業を円滑に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の装置の側面図、第２図はその平面図、
第３図は水切り槽の縦断面図、第４図は上部ノズルの下
面図、第５図はその縦断面図、第６図は下部ノズルの半
面図、第７図はその縦断面図、第８図は乾燥炉の縦断面
図、第９図は板材の平面図、第１０図はその断面図、第
１１図は第９図Ａ−Ａ断面図、第１２図は第９図Ｂ−Ｂ
断面図である。１２・・・・・・版イオ、１７・・−・・−現像槽、２
０，２１・・・・・ノズル、２６・・・・・・水切り槽
、２γ、２８・・・・・ノズル、４５・・・・・−乾燥
装置、１１，１３，４８゜４９．５３・・−・・・送り
装置としてのアンワインダ−、ローラ装置、ローラ、ロ
ーラ装置。

Claims

【特許請求の範囲】

１帯状の板材を水平状態で連続的に送る送り装置と、
この送り装置によって送られる板材の移動部に設けられ
板材面に対して現像液をスプレィするノズルを有する現
像槽と、上記送り装置によって送られる板材の移動部に
上記現像槽に連続して設けられ板材面に対して水切り剤
をスプレィするノズルを有する水切り槽と、上記送り装
置によって送られる板材の移動部に上記水切り槽に連続
して設けられ板材を乾燥する乾燥装置とを具備したこと
を特徴とする写真エツチング装置。