JPS5953655B2 - エツチング法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、カラーブラウン管用アパーチャマスクのフ
ォト・エッチング法による製造工程などに使用して好適
なエッチング法に関する。

一般にカラーブラウン管用アパーチャマスク（シヤドウ
マスク）は、フォト・エッチング法によつて製造されて
いる。

このフォト・エッチング法による製造工程は、大別して
次の４工程からなる。即ち、鉄帯に感光膜を塗布形成す
る塗布工程、鉄帯にパターンを焼付ける露光工程、パタ
ーンを現像して焼込む現像工程、及びエッチングするエ
ッチング工程である。ところで上記エッチング工程は、
従来、第１図に示すように表面に細孔を有する保護膜が
形成された鉄帯１の長手方向の中心と、エッチング槽２
ａ、２ｂの上下に配設されたノズルマニホールド群１０
０ａ、１００ｂの中心を一致させて、前記エッチング槽
２ａ、２ｂを連設し、前記鉄帯１を矢印の方向に水平状
態で連続に送り、第２図に示すように前記ノズルマニホ
ールド群１００ａ、１００ｂを前記鉄帯１の短辺方向に
ある角度（例えば１５０）左右に振らせ、第１図に示す
エッチング供給タンク４ａ、４ｂからエッチング液をノ
ズルマニホールド３に供給して、このノズルマニホール
ド３に取着されたノズル５からエッチング液をスプレー
し、エッチングしていた。

しかし、この従来のエッチング法では、前記鉄帯１のエ
ッチングを均一に行うため、第２図に示すように前記ノ
ズルマニホールド群１００ａ、１００ｂを、前記鉄帯１
の短辺方向にある角度（例えば１５０）左右に振らせて
エッチングしているのであるが、第３図ａ図に示すよう
に、前記ノズルマニホールド３の配設位置による影響で
エッチングされる孔径のバラツキが大きく、又、そのう
ねりが大きいためシヤドウマスクとしてはムラと称する
不良が出やすく、精度、品質の高いものを得ることがで
きなかつた。

この発明は上記事情に鑑みなされたもので、ノズルマニ
ホールドの配設位置による影響が従来の方法に比較して
極端に小さく、エッチングされる″孔径のバラツキが小
さくなり又、そのうねりも小さくなつてムラと称する不
良が減少し、精度、品質の高いものが得られるエッチン
グ法を提供することを目的とする。

以下、図面を参照してこの発明の一実施例を詳・細に説
明する。

従来例と同一箇所は同一符号を付すと、この発明のエッ
チング法は第４図及び第５図に示すように構成され、表
面に細孔を有する保護膜が形成された鉄帯］の短手方向
の中心と、エツチング槽２ａ，２ｂの上下に配設された
ノズルマニホールド群１００ａ，１００ｂの中心をＡｍ
ｍ交互にずらしてエツチング槽２ａ，２ｂを連設する。
そしてノズルマニホールド３は、゛前記エツチング槽、
２ａ，２ｂの中の上下にＢｍｍの間隔で、上下５本ずつ
配設する。そして前記ノズルマニホールド３にはＣｍｍ
の間隔で千鳥形となるようにノズル５を取着する。一方
、エツチング液はエツチング液供給タンク４ａ，４ｂか
ら前記ノズルマニホールド群１００ａ，１００ｂにポン
プ（図示せず）で圧送し、前記ノズル５からスプレーす
る。この場合、前記ノズルマニホールド群１００ａ，１
００ｂは第５図Ａ，ｂ図に示すように、駆動部（図示せ
ず）により前記鉄帯１の短辺方向にある角度（例えば１
５゜）左右に連続で振らせる。この発明のエツチング法
は、上記説明及び図示のように構成され、前記鉄帯１は
ドライブ（図示せず）により矢印の方向に水平状態で連
続に送りエツチングするので、前記ノズルマニホールド
群１００ａ，１００ｂの位置による影響が小さく、ムラ
と称する不良が減少し、品質の高いシヤドウマスクが得
られる。実際にこの発明の方法でエツチングしたものは
、第３図ａ図、第３図ｂ図で示すうねりＤは従来の方式
の１／２以下となつている。又、ムラと称する不良もほ
とんど発生していない。即ち、従来とこの発明における
プリツジのバラツキ、スリツト巾のバラツキを示すと下
表のようになり、明らかにこの発明の優れていることが
判る。更にこの発明では、上記効果の他に次のような付
随的効果もある。

即ち従来、鉄板巾４６０ｍｍと５４３ｍｍが使用されて
いて鉄帯の蛇行を防止するため鉄帯のサイドで蛇行を検
出し、コントロールしている。そして第６図は従来の方
法を示しているが、この第６図は第２図の一部を取出し
たもので゛、同一箇所は同一符号を付してある。図示の
ように鉄板巾５４３ｍｍの鉄帯１ａの短手方向のセンタ
ーをノズルマニホールド３Ｃに合わせる。そして蛇行検
出を鉄帯１ａのサイド１０１で行うようにする。すると
鉄帯１ａはほぼ均一にエツチングされる。ところが鉄板
巾４６０ｍｍの鉄帯１ｂを第６図に示すように、蛇行検
出を鉄板１ａと同じところで行うとすると、鉄帯１ｂの
短手方向のセンターに対してノズルマニホールド３は対
称でなくなり、エツチングは均一にされない。そのため
に従来、鉄板巾４６０ｍｍのときは第６図に示すように
鉄帯を１ｂ″にし、蛇行検出をずらしていた。そうする
ことにより均一なエツチングを行つていた。しかし装置
全体では、蛇行検出装置が数多く取付けているため、鉄
板巾変更のときは機械を停止させ蛇行検出装置を移動さ
せる労力は大変であり、また機械の稼動率を低下させる
ことにもなつていた。しかしこの発明の方法にすると、
上記の欠点は解決される。即ち、第７図は第５図のａと
ｂを組合せたもので、同一箇所は同一符号を付している
が、３ａ，３ｂ・・・３ｅはエツチング槽２ａのノズル
マニホールド３の配置を示す。３ａ″， ３ｂ″・・・
３ｅ″はエツチング槽２ｂのノズルマニホールド３の配
置を示している。

そして例えば、鉄板巾５４３ｍｍの鉄帯１ａの短手方向
のセンターをエツチング槽２ａのノズルマニホールド３
Ｃに合わせる。そして蛇行検出を鉄帯１ａのサイド１０
１で行うようにする。エツチング槽２ａではノズルマニ
ホールド３ａ，３ｂ・・・３ｅの全部からスプレーし、
エツチング槽２ｂでは、ノズルマニホールド３ａ″のみ
スプレーしないで、他のノズルマニホールド３ｂ″，３
Ｃ″・・・３ｅ″からスプレーする。すると鉄帯１ａは
均一にエツチングされる。鉄板巾４６０ｍｍの鉄板１ｂ
も第７図に示すように、蛇行検出装置を移動させないで
、鉄板１ａと同じところで蛇行検出をする。そしてエツ
チングは、エツチング槽２ａではノズルマニホールド３
ａのみスプレーしないで他のノズルマニホールド３ｂ，
３ｃ・・・３ｅからスプレーし、エツチング槽２ｂでも
ノズルマニホールド３ａ″のみスプレーしないで、他の
ノズルマニホールド３ｂ″，３ｄ・・・３ｅ″からスプ
レーする。すると鉄帯１ｂも均一にエツチングされる。
このように鉄板巾が変更しても、機械を停止させること
なく、又、蛇行検出装置を移動させることがないので、
それらの労力が必要なく、機械の稼動率を低下させるこ
ともない。ここでは鉄板巾５４３ｍｎ１と４６０ｍｍの
場合について述べたが、ノズルマニホールド間隔Ｂの約
１／２の整数倍鉄板巾が変化した場合でも同じ効果が得
られる。尚、次にこの発明のＡ．Ｂ．Ｃ寸法の一実施例
を述べる。

Ａ＝３７．５ｍｍ．Ｂ＝１５０ｍｍ．Ｃ＝２００ｍｍそ
してこの発明の上記効果を得るには、表面に細孔を有す
る保護膜が形成された鉄帯１から、ノズル５までの距離
を大きくとつてノズルマニホールド群１００ａ，１００
ｂをエツチング槽２ａ，２ｂの中の上下に配設するとか
、ノズルマニホールド３間隔をできるだけ小さくして、
ノズルマニホールド群１００ａ，］００ｂをエツチング
２ａ，２ｂの中の上下に配設する方法があるが、前記鉄
帯１にあたるスプレー圧（液圧）が弱くなつて、エツチ
ング能力が低下したり、前記鉄帯１の表面にエツチング
液の液だまりができてエツチング能力が低下するという
ような欠点がある。

又、この発明の一実施例では、カラーブラウン管用アパ
ーチヤマスク（シヤドウマスク）の製造について説明し
てあるが、メツシユ、その他のエツチングにも利用する
ことができる。更にエツチング槽を２つで説明してある
がいくつでもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のエツチング法を示す平面図、第２図は第
１図のＥ，Ｆ線に沿つて切断し矢印方向に見た断面図、
第３図ａ図は従来の方法でエッチング化たときのシヤド
ウマスクの孔径と距離の関係を示す図、第３図ｂ図はこ
の発明の方法でエツチングしたときのシヤドウマスクの
孔径と距離の関係を示す図、第４図はこの発明の一実施
例に係るエツチング法を示す平面図、第５図ａ図は第４
図のＧ，Ｈ線に沿つて切断し矢印方向に見た断面図、第
５図ｂ図は第４図のＩ，Ｊ線に沿つて切断し矢印方向に
見た断面図、第６図及び第７図はこの発明の効果を説明
するために用いるもので゛、第６図は第２図の一部を取
出して示した断面図、第７図は第５図のＡ，ｂを組合せ
た断面図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 表面に細孔を有する保護膜が形成された帯状体を、
   エッチング槽内に水平状態で連続に送りつつエッチング
   を行なうエッチング法において、前記帯状体の短手方向
   の中心と、前記エッチング槽の上下に配設されたノズル
   マニホールド群の中心が、ずれるように前記エッチング
   槽を配設し、帯状体のエッチングを均一に行なうことを
   特徴とするエッチング法。