JP3312093B2 - 帯状金属薄板の処理装置 - Google Patents
帯状金属薄板の処理装置Info
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/08—Apparatus, e.g. for photomechanical printing surfaces
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- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えばカラーブ
ラウン管用のシャドウマスク等の製造工程において、所
定のパターンを有するレジスト膜が形成された帯状の金
属薄板をその長手方向に搬送しながらエッチング処理し
た後洗浄処理する場合に使用される帯状金属薄板の処理
装置に関する。
ラウン管用のシャドウマスク等の製造工程において、所
定のパターンを有するレジスト膜が形成された帯状の金
属薄板をその長手方向に搬送しながらエッチング処理し
た後洗浄処理する場合に使用される帯状金属薄板の処理
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えばシャドウマスクを製造する場合に
おけるエッチング工程は、両主面に所定のパターンを有
するレジスト膜がそれぞれ形成された帯状の金属薄板を
その長手方向に搬送させつつ、金属薄板の両主面に塩化
第二鉄を含むエッチング液をそれぞれ供給するようにし
て行なわれる。そして、金属薄板の両主面にそれぞれ供
給されたエッチング液により、金属薄板の両主面の露出
した被エッチング面が食刻されて、金属薄板に多数の透
孔が形成される。この場合、金属薄板の両主面にエッチ
ング液が残留したままになっていると、部分的にエッチ
ング反応が進行して透孔の形状不良といったことが起こ
るため、エッチング処理後直ちに、金属薄板の両主面に
洗浄水を吹き付けて、金属薄板の主面に残留したエッチ
ング液を金属薄板の主面から除去し、エッチング反応を
停止させるようにしている。
おけるエッチング工程は、両主面に所定のパターンを有
するレジスト膜がそれぞれ形成された帯状の金属薄板を
その長手方向に搬送させつつ、金属薄板の両主面に塩化
第二鉄を含むエッチング液をそれぞれ供給するようにし
て行なわれる。そして、金属薄板の両主面にそれぞれ供
給されたエッチング液により、金属薄板の両主面の露出
した被エッチング面が食刻されて、金属薄板に多数の透
孔が形成される。この場合、金属薄板の両主面にエッチ
ング液が残留したままになっていると、部分的にエッチ
ング反応が進行して透孔の形状不良といったことが起こ
るため、エッチング処理後直ちに、金属薄板の両主面に
洗浄水を吹き付けて、金属薄板の主面に残留したエッチ
ング液を金属薄板の主面から除去し、エッチング反応を
停止させるようにしている。
【０００３】以上のような処理を行なう処理装置におい
て、エッチング液供給部は、帯状の金属薄板をその長手
方向に搬送する複数本の搬送ローラ、金属薄板の搬送方
向に複数個設けられ金属薄板の両主面にエッチング液を
それぞれ吹き付けるスプレイノズル、金属薄板及び複数
個のスプレイノズルを取り囲むように設けられてエッチ
ング液が周囲へ飛散するのを防止するエッチングチャン
バ、並びに、エッチングチャンバの出口付近に設けら
れ、帯状金属薄板を上下両側から挾むようにして金属薄
板の両主面にそれぞれ接触し、スポンジゴム等の吸水性
素材で形成されて、金属薄板の両主面からエッチング液
を除去する一対の液切りローラを備えて構成されてい
る。
て、エッチング液供給部は、帯状の金属薄板をその長手
方向に搬送する複数本の搬送ローラ、金属薄板の搬送方
向に複数個設けられ金属薄板の両主面にエッチング液を
それぞれ吹き付けるスプレイノズル、金属薄板及び複数
個のスプレイノズルを取り囲むように設けられてエッチ
ング液が周囲へ飛散するのを防止するエッチングチャン
バ、並びに、エッチングチャンバの出口付近に設けら
れ、帯状金属薄板を上下両側から挾むようにして金属薄
板の両主面にそれぞれ接触し、スポンジゴム等の吸水性
素材で形成されて、金属薄板の両主面からエッチング液
を除去する一対の液切りローラを備えて構成されてい
る。
【０００４】また、洗浄水供給部は、洗浄槽と、この洗
浄槽内に配設され、エッチング液供給部から搬送されて
くる帯状の金属薄板を、洗浄槽内へ導入し洗浄槽内を通
過させて洗浄槽内から搬出する複数本の搬送ローラと、
金属薄板の搬送路に沿って複数位置に設けられ金属薄板
の両主面に洗浄用純水をそれぞれ吹き付ける純水スプレ
イノズルとを有している。
浄槽内に配設され、エッチング液供給部から搬送されて
くる帯状の金属薄板を、洗浄槽内へ導入し洗浄槽内を通
過させて洗浄槽内から搬出する複数本の搬送ローラと、
金属薄板の搬送路に沿って複数位置に設けられ金属薄板
の両主面に洗浄用純水をそれぞれ吹き付ける純水スプレ
イノズルとを有している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記したような構成の
処理装置において、エッチングチャンバの出口付近まで
搬送されてきた帯状の金属薄板の主面には、疲労したエ
ッチング液が残留しており、この残留したエッチング液
は、一対の液切りローラ間に金属薄板が通されることに
より金属薄板の両主面から除去される。この際、金属薄
板の両主面から除去されたエッチング液の一部が液切り
ローラに付着することになる。また、液切りローラを通
過した後でも金属薄板の両主面には多少のエッチング液
が付着し残留している。このため、洗浄槽の入口付近に
設けられ金属薄板の裏面側主面に接触し金属薄板を支持
して搬送する搬送ローラにも、エッチング液が付着する
ことになる。
処理装置において、エッチングチャンバの出口付近まで
搬送されてきた帯状の金属薄板の主面には、疲労したエ
ッチング液が残留しており、この残留したエッチング液
は、一対の液切りローラ間に金属薄板が通されることに
より金属薄板の両主面から除去される。この際、金属薄
板の両主面から除去されたエッチング液の一部が液切り
ローラに付着することになる。また、液切りローラを通
過した後でも金属薄板の両主面には多少のエッチング液
が付着し残留している。このため、洗浄槽の入口付近に
設けられ金属薄板の裏面側主面に接触し金属薄板を支持
して搬送する搬送ローラにも、エッチング液が付着する
ことになる。
【０００６】液切りローラや搬送ローラ（以下、これら
を単に「ローラ」という）に付着したエッチング液は、
次第に乾燥して水分が蒸発し、エッチング液に含まれる
塩化第一鉄等の結晶が析出してローラの周面に付着す
る。析出物がローラの周面に付着したままであると、図
４に示したように、金属薄板１とローラ２の周面との間
に析出物３が介在して、金属薄板１の主面に形成された
レジスト膜４に析出物が接触し、析出物３によってレジ
スト膜４の庇部（オーバーハング部）を部分的に破壊し
てしまう、といったことが起こる。この場合、エッチン
グ液供給部のエッチングチャンバ出口から洗浄水供給部
の純水スプレイノズルまでの間においても、金属薄板の
主面に付着したエッチング液により緩やかなエッチング
反応が進行するため、析出物３によってレジスト膜４が
部分的に破壊されると、金属薄板の主面が純水洗浄され
るまでの間にレジスト膜の破壊部分において金属薄板１
の緩やかなエッチング反応が進行し、エッチングすべき
でない部分５がエッチングされてしまうこととなる。こ
の結果、金属薄板１に形成される透孔６の形状不良が発
生する、といった問題点がある。
を単に「ローラ」という）に付着したエッチング液は、
次第に乾燥して水分が蒸発し、エッチング液に含まれる
塩化第一鉄等の結晶が析出してローラの周面に付着す
る。析出物がローラの周面に付着したままであると、図
４に示したように、金属薄板１とローラ２の周面との間
に析出物３が介在して、金属薄板１の主面に形成された
レジスト膜４に析出物が接触し、析出物３によってレジ
スト膜４の庇部（オーバーハング部）を部分的に破壊し
てしまう、といったことが起こる。この場合、エッチン
グ液供給部のエッチングチャンバ出口から洗浄水供給部
の純水スプレイノズルまでの間においても、金属薄板の
主面に付着したエッチング液により緩やかなエッチング
反応が進行するため、析出物３によってレジスト膜４が
部分的に破壊されると、金属薄板の主面が純水洗浄され
るまでの間にレジスト膜の破壊部分において金属薄板１
の緩やかなエッチング反応が進行し、エッチングすべき
でない部分５がエッチングされてしまうこととなる。こ
の結果、金属薄板１に形成される透孔６の形状不良が発
生する、といった問題点がある。
【０００７】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、ローラに付着したエッチング液が乾
燥して塩化第一鉄等の結晶が析出することを防止し、エ
ッチングによって金属薄板に形成される透孔の形状不良
を無くすことができる帯状金属薄板の処理装置を提供す
ることを目的とする。
されたものであり、ローラに付着したエッチング液が乾
燥して塩化第一鉄等の結晶が析出することを防止し、エ
ッチングによって金属薄板に形成される透孔の形状不良
を無くすことができる帯状金属薄板の処理装置を提供す
ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
主面に所定のパターンを有するレジスト膜が形成され長
手方向に搬送される帯状金属薄板の主面にエッチング液
を供給するエッチング液供給手段と、エッチング液が供
給されて食刻された帯状金属薄板の主面に洗浄液を供給
する洗浄液供給手段と、前記エッチング液供給手段と前
記洗浄液供給手段との間に、長手方向に搬送される帯状
金属薄板の主面に接触するように配設されたローラとを
備えた帯状金属薄板の処理装置において、前記ローラに
蒸気を供給する蒸気供給手段を設けたことを特徴とす
る。
主面に所定のパターンを有するレジスト膜が形成され長
手方向に搬送される帯状金属薄板の主面にエッチング液
を供給するエッチング液供給手段と、エッチング液が供
給されて食刻された帯状金属薄板の主面に洗浄液を供給
する洗浄液供給手段と、前記エッチング液供給手段と前
記洗浄液供給手段との間に、長手方向に搬送される帯状
金属薄板の主面に接触するように配設されたローラとを
備えた帯状金属薄板の処理装置において、前記ローラに
蒸気を供給する蒸気供給手段を設けたことを特徴とす
る。
【０００９】請求項２に係る発明は、請求項１記載の帯
状金属薄板の処理装置において、上記ローラが、エッチ
ング液供給手段が配設されたエッチングチャンバの出口
付近に設けられ、帯状金属薄板を上下両側から挾むよう
にして帯状金属薄板の主面に接触し、帯状金属薄板から
エッチング液を除去する一対の液切りローラであること
を特徴とする。
状金属薄板の処理装置において、上記ローラが、エッチ
ング液供給手段が配設されたエッチングチャンバの出口
付近に設けられ、帯状金属薄板を上下両側から挾むよう
にして帯状金属薄板の主面に接触し、帯状金属薄板から
エッチング液を除去する一対の液切りローラであること
を特徴とする。
【００１０】また、請求項３に係る発明は、請求項１記
載の帯状金属薄板の処理装置において、上記ローラが、
洗浄液供給手段が配設された洗浄槽の入口付近に設けら
れ、帯状金属薄板の主面に接触して帯状金属薄板を搬送
する搬送ローラであることを特徴とする。
載の帯状金属薄板の処理装置において、上記ローラが、
洗浄液供給手段が配設された洗浄槽の入口付近に設けら
れ、帯状金属薄板の主面に接触して帯状金属薄板を搬送
する搬送ローラであることを特徴とする。
【００１１】上記した構成を有する請求項１に係る発明
の処理装置では、長手方向に搬送される帯状金属薄板の
主面が、エッチング液供給手段と洗浄液供給手段との間
に配設されたローラに接触して、帯状金属薄板の主面に
付着し残留したエッチング液がローラに付着しても、ロ
ーラには蒸気供給手段から蒸気が供給されて加湿される
ので、エッチング液が乾燥して、エッチング液に含まれ
る塩化第一鉄等の結晶が析出する、といったことは起こ
らない。
の処理装置では、長手方向に搬送される帯状金属薄板の
主面が、エッチング液供給手段と洗浄液供給手段との間
に配設されたローラに接触して、帯状金属薄板の主面に
付着し残留したエッチング液がローラに付着しても、ロ
ーラには蒸気供給手段から蒸気が供給されて加湿される
ので、エッチング液が乾燥して、エッチング液に含まれ
る塩化第一鉄等の結晶が析出する、といったことは起こ
らない。
【００１２】請求項２に係る発明の処理装置では、エッ
チングチャンバの出口付近に設けられた一対の液切りロ
ーラの間を帯状金属薄板が通過する際に、帯状金属薄板
の主面に付着し残留したエッチング液が除去され、その
除去されたエッチング液の一部が液切りローラに付着す
るが、液切りローラには蒸気供給手段から蒸気が供給さ
れて加湿される。従って、液切りローラに付着したエッ
チング液が乾燥して塩化第一鉄等の結晶が析出する、と
いったことは起こらない。
チングチャンバの出口付近に設けられた一対の液切りロ
ーラの間を帯状金属薄板が通過する際に、帯状金属薄板
の主面に付着し残留したエッチング液が除去され、その
除去されたエッチング液の一部が液切りローラに付着す
るが、液切りローラには蒸気供給手段から蒸気が供給さ
れて加湿される。従って、液切りローラに付着したエッ
チング液が乾燥して塩化第一鉄等の結晶が析出する、と
いったことは起こらない。
【００１３】請求項３に係る発明の処理装置では、洗浄
槽の入口付近に設けられた搬送ローラに帯状金属薄板が
支持されて洗浄液供給手段の方へ搬送される際に、帯状
金属薄板の裏面側主面に搬送ローラが接触することによ
り、帯状金属薄板の主面に付着していたエッチング液の
一部が搬送ローラに付着するが、搬送ローラには蒸気供
給手段から蒸気が供給されて加湿される。従って、搬送
ローラに付着したエッチング液が乾燥して塩化第一鉄等
の結晶が析出する、といったことは起こらない。
槽の入口付近に設けられた搬送ローラに帯状金属薄板が
支持されて洗浄液供給手段の方へ搬送される際に、帯状
金属薄板の裏面側主面に搬送ローラが接触することによ
り、帯状金属薄板の主面に付着していたエッチング液の
一部が搬送ローラに付着するが、搬送ローラには蒸気供
給手段から蒸気が供給されて加湿される。従って、搬送
ローラに付着したエッチング液が乾燥して塩化第一鉄等
の結晶が析出する、といったことは起こらない。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、この発明の最良の実施形態
について図１及び図２を参照しながら説明する。
について図１及び図２を参照しながら説明する。
【００１５】図１は、この発明に係る帯状金属薄板の処
理装置の概略構成の１例を模式的に示す側面図であっ
て、エッチング処理部の一部と水洗処理部とを図示して
いる。
理装置の概略構成の１例を模式的に示す側面図であっ
て、エッチング処理部の一部と水洗処理部とを図示して
いる。
【００１６】この処理装置のエッチング処理部１０に
は、両主面に所定のパターンを有するレジスト膜がそれ
ぞれ形成された帯状の金属薄板１２をその長手方向に搬
送する複数本の搬送ローラ（図示せず）が配設されてお
り、一部しか図示していないが、金属薄板１２の搬送方
向における複数位置に、金属薄板１２の両主面にそれぞ
れ対向して金属薄板１２の両主面にエッチング液をそれ
ぞれ吹き付ける複数個のスプレイノズル１４が設けられ
ている。そして、金属薄板１２及び複数個のスプレイノ
ズル１４を取り囲むようにエッチングチャンバ１６が設
けられ、このエッチングチャンバ１６内の雰囲気が排気
されており、スプレイノズル１４から金属薄板１２へ供
給されたエッチング液の飛沫が周囲へ飛散するのを防止
するようにしている。また、エッチングチャンバ１６の
内部の出口付近には、金属薄板１２の搬送路の上下に仕
切り板１７、１７がそれぞれ配設されている。そして、
仕切り板１７、１７より出口に近い位置には、図２に模
式正面図を示すように、金属薄板１２を上下両側から挾
むようにして金属薄板１２の両主面にそれぞれ接触する
一対の液切りローラ１８、１８が配設されている。液切
りローラ１８は、スポンジゴム等の吸水性素材で形成さ
れており、金属薄板１２の移動に従って自由回転するフ
リーローラとなっている。この一対の液切りローラ１
８、１８間に金属薄板１２が通されることにより、金属
薄板１２の両主面に付着し残留したエッチング液が金属
薄板１２の両主面から除去されるようになっている。
は、両主面に所定のパターンを有するレジスト膜がそれ
ぞれ形成された帯状の金属薄板１２をその長手方向に搬
送する複数本の搬送ローラ（図示せず）が配設されてお
り、一部しか図示していないが、金属薄板１２の搬送方
向における複数位置に、金属薄板１２の両主面にそれぞ
れ対向して金属薄板１２の両主面にエッチング液をそれ
ぞれ吹き付ける複数個のスプレイノズル１４が設けられ
ている。そして、金属薄板１２及び複数個のスプレイノ
ズル１４を取り囲むようにエッチングチャンバ１６が設
けられ、このエッチングチャンバ１６内の雰囲気が排気
されており、スプレイノズル１４から金属薄板１２へ供
給されたエッチング液の飛沫が周囲へ飛散するのを防止
するようにしている。また、エッチングチャンバ１６の
内部の出口付近には、金属薄板１２の搬送路の上下に仕
切り板１７、１７がそれぞれ配設されている。そして、
仕切り板１７、１７より出口に近い位置には、図２に模
式正面図を示すように、金属薄板１２を上下両側から挾
むようにして金属薄板１２の両主面にそれぞれ接触する
一対の液切りローラ１８、１８が配設されている。液切
りローラ１８は、スポンジゴム等の吸水性素材で形成さ
れており、金属薄板１２の移動に従って自由回転するフ
リーローラとなっている。この一対の液切りローラ１
８、１８間に金属薄板１２が通されることにより、金属
薄板１２の両主面に付着し残留したエッチング液が金属
薄板１２の両主面から除去されるようになっている。
【００１７】エッチング処理部１０に隣接して水洗処理
部２０が配設されており、水洗処理部２０は洗浄槽２２
を備えている。洗浄槽２２内には、その入口付近及び出
口付近並びに底部付近中央部に搬送ローラ２４、２６、
２８が設けられている。各搬送ローラ２４、２６、２８
は、その表面が耐酸性及び耐食性に優れた合成ゴム等の
ゴム材によって形成されており、図示しない駆動装置に
よって回転駆動されるようになっている。また、洗浄槽
２２の内部には、金属薄板１２の搬送路に沿って複数位
置に、金属薄板１２の両主面にそれぞれ対向して金属薄
板１２の両主面に洗浄用純水を吹き付ける複数個の純水
スプレイノズル３０が設けられている。そして、エッチ
ング処理部１６でのエッチング処理が終わった金属薄板
には、複数本の搬送ローラ２４、２６、２８によって洗
浄槽２２内へ導入され洗浄槽２２内を搬送されて洗浄槽
２２内から搬出される間に、純水スプレイノズル３０か
ら噴射される純水によって両主面に付着したエッチング
液が洗い流されるようになっている。
部２０が配設されており、水洗処理部２０は洗浄槽２２
を備えている。洗浄槽２２内には、その入口付近及び出
口付近並びに底部付近中央部に搬送ローラ２４、２６、
２８が設けられている。各搬送ローラ２４、２６、２８
は、その表面が耐酸性及び耐食性に優れた合成ゴム等の
ゴム材によって形成されており、図示しない駆動装置に
よって回転駆動されるようになっている。また、洗浄槽
２２の内部には、金属薄板１２の搬送路に沿って複数位
置に、金属薄板１２の両主面にそれぞれ対向して金属薄
板１２の両主面に洗浄用純水を吹き付ける複数個の純水
スプレイノズル３０が設けられている。そして、エッチ
ング処理部１６でのエッチング処理が終わった金属薄板
には、複数本の搬送ローラ２４、２６、２８によって洗
浄槽２２内へ導入され洗浄槽２２内を搬送されて洗浄槽
２２内から搬出される間に、純水スプレイノズル３０か
ら噴射される純水によって両主面に付着したエッチング
液が洗い流されるようになっている。
【００１８】また、この処理装置には、エッチングチャ
ンバ１６の出口付近に設けられた一対の液切りローラ１
８、１８、及び、洗浄槽２２の入口付近に設けられた搬
送ローラ２４に対し、それぞれ水蒸気を供給するための
設備が設けられている。すなわち、各液切りローラ１８
及び搬送ローラ２４に対して平行にかつ対向するように
水蒸気供給パイプ３２、３４が設けられており、各水蒸
気供給パイプ３２、３４の、液切りローラ１８及び搬送
ローラ２４との対向面側には、図示していないが複数個
の噴射ノズルが長手方向に一列にそれぞれ形成されてい
る。そして、各水蒸気供給パイプ３２、３４は、水蒸気
供給配管３６を介して工場ラインの水蒸気配管３８に接
続されている。水蒸気供給配管３６には、減圧弁４０、
４２が介挿されており、工場ラインの水蒸気配管３８内
を流れている例えば８ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力の水蒸気
を、１つ目の減圧弁４０によって１ｋｇｆ／ｃｍ2の蒸
気圧に減圧し、２つ目の減圧弁４２によって０．１ｋｇ
ｆ／ｃｍ2の蒸気圧に減圧した後、水蒸気供給パイプ３
２、３４へ送給するようにしている。図中、符号４４は
開閉弁である。尚、水蒸気供給パイプ３２、３４から噴
射される水蒸気の温度は５０℃程度に調整されており、
一方、スプレイノズル１４から噴出されるエッチング液
の温度も５０℃程度で、両者がほぼ等しいため、エッチ
ング液の温度低下による塩化第一鉄等の結晶の析出が防
止される。また、スプレイノズル１４と水蒸気供給パイ
プ３２との間が仕切り板１７によって仕切られているこ
とにより、スプレイノズル１４から噴出されたエッチン
グ液が水蒸気供給パイプ３２に付着することが防止され
る。
ンバ１６の出口付近に設けられた一対の液切りローラ１
８、１８、及び、洗浄槽２２の入口付近に設けられた搬
送ローラ２４に対し、それぞれ水蒸気を供給するための
設備が設けられている。すなわち、各液切りローラ１８
及び搬送ローラ２４に対して平行にかつ対向するように
水蒸気供給パイプ３２、３４が設けられており、各水蒸
気供給パイプ３２、３４の、液切りローラ１８及び搬送
ローラ２４との対向面側には、図示していないが複数個
の噴射ノズルが長手方向に一列にそれぞれ形成されてい
る。そして、各水蒸気供給パイプ３２、３４は、水蒸気
供給配管３６を介して工場ラインの水蒸気配管３８に接
続されている。水蒸気供給配管３６には、減圧弁４０、
４２が介挿されており、工場ラインの水蒸気配管３８内
を流れている例えば８ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力の水蒸気
を、１つ目の減圧弁４０によって１ｋｇｆ／ｃｍ2の蒸
気圧に減圧し、２つ目の減圧弁４２によって０．１ｋｇ
ｆ／ｃｍ2の蒸気圧に減圧した後、水蒸気供給パイプ３
２、３４へ送給するようにしている。図中、符号４４は
開閉弁である。尚、水蒸気供給パイプ３２、３４から噴
射される水蒸気の温度は５０℃程度に調整されており、
一方、スプレイノズル１４から噴出されるエッチング液
の温度も５０℃程度で、両者がほぼ等しいため、エッチ
ング液の温度低下による塩化第一鉄等の結晶の析出が防
止される。また、スプレイノズル１４と水蒸気供給パイ
プ３２との間が仕切り板１７によって仕切られているこ
とにより、スプレイノズル１４から噴出されたエッチン
グ液が水蒸気供給パイプ３２に付着することが防止され
る。
【００１９】この処理装置では、図２に示したように、
エッチングチャンバ１６の出口付近に設けられた一対の
液切りローラ１８、１８に対して各水蒸気供給パイプ３
２から水蒸気がそれぞれ供給され、液切りローラ１８の
周面が加湿されている。また、洗浄槽２２の入口付近に
設けられた搬送ローラ２４に対しても水蒸気供給パイプ
３４から水蒸気が供給され、搬送ローラ２４の周面が加
湿されている。このため、液切りローラ１８によって金
属薄板１２の主面からエッチング液を除去した際に、そ
の除去されたエッチング液の一部が液切りローラ１８に
付着しても、液切りローラ１８に付着したエッチング液
は乾燥することがなく、エッチング液に含まれた塩化第
一鉄等の結晶が析出することはない。また、搬送ローラ
２４が金属薄板１２を支持して搬送する際に、金属薄板
１２の裏面側主面に付着していたエッチング液の一部が
搬送ローラ２４に付着しても、搬送ローラ２４に付着し
たエッチング液は乾燥することがなく、エッチング液に
含まれた塩化第一鉄等の結晶が析出することはない。
エッチングチャンバ１６の出口付近に設けられた一対の
液切りローラ１８、１８に対して各水蒸気供給パイプ３
２から水蒸気がそれぞれ供給され、液切りローラ１８の
周面が加湿されている。また、洗浄槽２２の入口付近に
設けられた搬送ローラ２４に対しても水蒸気供給パイプ
３４から水蒸気が供給され、搬送ローラ２４の周面が加
湿されている。このため、液切りローラ１８によって金
属薄板１２の主面からエッチング液を除去した際に、そ
の除去されたエッチング液の一部が液切りローラ１８に
付着しても、液切りローラ１８に付着したエッチング液
は乾燥することがなく、エッチング液に含まれた塩化第
一鉄等の結晶が析出することはない。また、搬送ローラ
２４が金属薄板１２を支持して搬送する際に、金属薄板
１２の裏面側主面に付着していたエッチング液の一部が
搬送ローラ２４に付着しても、搬送ローラ２４に付着し
たエッチング液は乾燥することがなく、エッチング液に
含まれた塩化第一鉄等の結晶が析出することはない。
【００２０】図３は、この発明の別の実施形態を示す模
式側面図である。この処理装置では、水蒸気供給パイプ
４６、４６がエッチングチャンバ１６の外側に配設され
ており、これ以外の構成は、図１に示した処理装置と同
じである。図３に示した処理装置においては、水蒸気供
給パイプ４６から噴射された水蒸気は、エッチングチャ
ンバ１６内の排気流により、エッチングチャンバ１６の
出口を通ってエッチングチャンバ１６内へ流入し、液切
りローラ１８の周面に供給されることになる。この処理
装置のように、水蒸気供給パイプ４６をエッチングチャ
ンバ１６外に設けることにより、エッチング液による水
蒸気供給パイプ４６の腐食を防止することができる。
式側面図である。この処理装置では、水蒸気供給パイプ
４６、４６がエッチングチャンバ１６の外側に配設され
ており、これ以外の構成は、図１に示した処理装置と同
じである。図３に示した処理装置においては、水蒸気供
給パイプ４６から噴射された水蒸気は、エッチングチャ
ンバ１６内の排気流により、エッチングチャンバ１６の
出口を通ってエッチングチャンバ１６内へ流入し、液切
りローラ１８の周面に供給されることになる。この処理
装置のように、水蒸気供給パイプ４６をエッチングチャ
ンバ１６外に設けることにより、エッチング液による水
蒸気供給パイプ４６の腐食を防止することができる。
【００２１】
【発明の効果】請求項１に係る発明の処理装置を使用す
ると、エッチング液供給手段と洗浄液供給手段との間に
配設されたローラに、帯状金属薄板の主面に付着し残留
したエッチング液が付着しても、ローラに付着したエッ
チング液が乾燥して塩化第一鉄等の結晶が析出すること
を防止することができるので、ローラに付着したエッチ
ング液の析出物によってレジスト膜が部分的に破壊され
ることは起こらない。従って、本来エッチングされるべ
きでない部分がエッチングされることがないため、金属
薄板に形成される透孔の形状不良を無くすことができ
る。
ると、エッチング液供給手段と洗浄液供給手段との間に
配設されたローラに、帯状金属薄板の主面に付着し残留
したエッチング液が付着しても、ローラに付着したエッ
チング液が乾燥して塩化第一鉄等の結晶が析出すること
を防止することができるので、ローラに付着したエッチ
ング液の析出物によってレジスト膜が部分的に破壊され
ることは起こらない。従って、本来エッチングされるべ
きでない部分がエッチングされることがないため、金属
薄板に形成される透孔の形状不良を無くすことができ
る。
【００２２】請求項２に係る発明の処理装置では、エッ
チングチャンバの出口付近に設けられた一対の液切りロ
ーラに、帯状金属薄板の主面に付着し残留したエッチン
グ液が付着しても、液切りローラに付着したエッチング
液が乾燥して塩化第一鉄等の結晶が析出することを防止
することができ、金属薄板に形成される透孔の形状不良
を無くすことができる。
チングチャンバの出口付近に設けられた一対の液切りロ
ーラに、帯状金属薄板の主面に付着し残留したエッチン
グ液が付着しても、液切りローラに付着したエッチング
液が乾燥して塩化第一鉄等の結晶が析出することを防止
することができ、金属薄板に形成される透孔の形状不良
を無くすことができる。
【００２３】請求項３に係る発明の処理装置では、洗浄
槽の入口付近に設けられた搬送ローラに、帯状金属薄板
の主面に付着していたエッチング液の一部が付着して
も、搬送ローラに付着したエッチング液が乾燥して塩化
第一鉄等の結晶が析出することを防止することができ、
金属薄板に形成される透孔の形状不良を無くすことがで
きる。
槽の入口付近に設けられた搬送ローラに、帯状金属薄板
の主面に付着していたエッチング液の一部が付着して
も、搬送ローラに付着したエッチング液が乾燥して塩化
第一鉄等の結晶が析出することを防止することができ、
金属薄板に形成される透孔の形状不良を無くすことがで
きる。
【図１】この発明に係る帯状金属薄板の処理装置の概略
構成の１例を模式的に示す図であって、エッチング処理
部の一部と水洗処理部と示した側面図である。
構成の１例を模式的に示す図であって、エッチング処理
部の一部と水洗処理部と示した側面図である。
【図２】図１に示した処理装置のエッチングチャンバの
出口付近を示す模式正面図である。
出口付近を示す模式正面図である。
【図３】この発明に係る帯状金属薄板の処理装置の概略
構成の別の例を模式的に示す図であって、エッチング処
理部の一部と水洗処理部と示した側面図である。
構成の別の例を模式的に示す図であって、エッチング処
理部の一部と水洗処理部と示した側面図である。
【図４】従来の処理装置における問題点を説明するため
の図であって、帯状金属薄板とローラとの接触部分を示
す部分拡大縦断面図である。
の図であって、帯状金属薄板とローラとの接触部分を示
す部分拡大縦断面図である。
１０ エッチング処理部 １２ 帯状金属薄板 １４ スプレイノズル １６ エッチングチャンバ １８ 液切りローラ ２０ 水洗処理部 ２２ 洗浄槽 ２４ 搬送ローラ ３０ 純水スプレイノズル ３２、３４、４６ 水蒸気供給パイプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 北村 悟 滋賀県彦根市高宮町480番地の１ 大日 本スクリーン製造株式会社 彦根地区事 業所内 (56)参考文献 特開 平１−117389（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−246183（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−15179（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C23F 1/08 101 C23F 1/00 H01J 9/14
Claims (3)
- 【請求項１】 主面に所定のパターンを有するレジスト
膜が形成され長手方向に搬送される帯状金属薄板の主面
にエッチング液を供給するエッチング液供給手段と、 エッチング液が供給されて食刻された帯状金属薄板の主
面に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、 前記エッチング液供給手段と前記洗浄液供給手段との間
に、長手方向に搬送される帯状金属薄板の主面に接触す
るように配設されたローラと、を備えた帯状金属薄板の
処理装置において、 前記ローラに蒸気を供給する蒸気供給手段を設けたこと
を特徴とする帯状金属薄板の処理装置。 - 【請求項２】 ローラは、 エッチング液供給手段が配設されたエッチングチャンバ
の出口付近に設けられ、帯状金属薄板を上下両側から挾
むようにして帯状金属薄板の主面に接触し、帯状金属薄
板からエッチング液を除去する一対の液切りローラであ
る請求項１記載の帯状金属薄板の処理装置。 - 【請求項３】 ローラは、 洗浄液供給手段が配設された洗浄槽の入口付近に設けら
れ、帯状金属薄板の主面に接触して帯状金属薄板を搬送
する搬送ローラで在る請求項１記載の帯状金属薄板の処
理装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34549695A JP3312093B2 (ja) | 1995-12-08 | 1995-12-08 | 帯状金属薄板の処理装置 |
| KR1019960052832A KR970043306A (ko) | 1995-12-08 | 1996-11-08 | 띠 모양 금속박판의 처리장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34549695A JP3312093B2 (ja) | 1995-12-08 | 1995-12-08 | 帯状金属薄板の処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09157868A JPH09157868A (ja) | 1997-06-17 |
| JP3312093B2 true JP3312093B2 (ja) | 2002-08-05 |
Family
ID=18376985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34549695A Expired - Fee Related JP3312093B2 (ja) | 1995-12-08 | 1995-12-08 | 帯状金属薄板の処理装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3312093B2 (ja) |
| KR (1) | KR970043306A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7926758B2 (en) * | 2006-07-31 | 2011-04-19 | Industrial Technology Research Institute | Apparatus and system for roll-to-roll processing |
| KR100763493B1 (ko) * | 2006-08-18 | 2007-10-04 | 한국기계연구원 | 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
| JP6389730B2 (ja) * | 2014-10-20 | 2018-09-12 | 東京応化工業株式会社 | 処理装置及び製造システム |
| CN109680278A (zh) * | 2019-02-26 | 2019-04-26 | 合肥永淇智材科技有限公司 | 一种fmm金属薄板的竖直式蚀刻装置及其蚀刻方法 |
-
1995
- 1995-12-08 JP JP34549695A patent/JP3312093B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-11-08 KR KR1019960052832A patent/KR970043306A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09157868A (ja) | 1997-06-17 |
| KR970043306A (ko) | 1997-07-26 |
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