JP3008596B2 - 化学研磨装置 - Google Patents
化学研磨装置Info
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0085—Apparatus for treatments of printed circuits with liquids not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46; conveyors and holding means therefor
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
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- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属板あるいは表面に
金属層を備える樹脂板などの板状体の表面を化学的に研
磨処理するための化学研磨装置に関する。
金属層を備える樹脂板などの板状体の表面を化学的に研
磨処理するための化学研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、プリント配線板の内層板など銅の
金属表面を備える板状体に、メッキやエッチングなどの
ためのレジストを形成するためのドライフィルム層をコ
ーティング乃至貼り合わせる場合には、その前処理とし
て、一般的に、前記板状体の銅表面に化学研磨用の処理
液（例えば硫酸と過酸化水素との混合溶液）を接触させ
て、その表面を化学研磨処理している。
金属表面を備える板状体に、メッキやエッチングなどの
ためのレジストを形成するためのドライフィルム層をコ
ーティング乃至貼り合わせる場合には、その前処理とし
て、一般的に、前記板状体の銅表面に化学研磨用の処理
液（例えば硫酸と過酸化水素との混合溶液）を接触させ
て、その表面を化学研磨処理している。
【０００３】従来の一般的な銅表面に対する前記化学研
磨処理ラインの工程を、図３の従来の化学研磨装置及び
図４の一般的な化学研磨工程図に従って説明すれば、ま
ず、化学研磨処理すべき銅（Ｃu ）表面を備える板状体
１を、化学研磨装置２の処理ラインの投入部３より投入
する。そして、駆動回転する上下１対の対向ロール４
（上側ロール４ａ，下側ロール４ｂ）を水平方向に複数
対配列した搬送手段５の前記対向ロール４の間に板状体
１を挟持して図２の右方向に水平に搬送する。
磨処理ラインの工程を、図３の従来の化学研磨装置及び
図４の一般的な化学研磨工程図に従って説明すれば、ま
ず、化学研磨処理すべき銅（Ｃu ）表面を備える板状体
１を、化学研磨装置２の処理ラインの投入部３より投入
する。そして、駆動回転する上下１対の対向ロール４
（上側ロール４ａ，下側ロール４ｂ）を水平方向に複数
対配列した搬送手段５の前記対向ロール４の間に板状体
１を挟持して図２の右方向に水平に搬送する。
【０００４】化学研磨装置２の複数対配列された上下対
向ロール４，４，４，・・・の上方と下方には、１基乃
至数基の化学研磨処理液供給部６を備え、搬送手段５に
て搬送される板状体１の表面乃至裏面に、前記化学研磨
処理液供給部６から、希硫酸（Ｈ2 ＳＯ4 ）と過酸化水
素水（Ｈ2 Ｏ2 ）との混合液を化学研磨処理液として供
給（例えば吹きつけ）して接触させ、板状体１の銅表面
を化学研磨処理する。
向ロール４，４，４，・・・の上方と下方には、１基乃
至数基の化学研磨処理液供給部６を備え、搬送手段５に
て搬送される板状体１の表面乃至裏面に、前記化学研磨
処理液供給部６から、希硫酸（Ｈ2 ＳＯ4 ）と過酸化水
素水（Ｈ2 Ｏ2 ）との混合液を化学研磨処理液として供
給（例えば吹きつけ）して接触させ、板状体１の銅表面
を化学研磨処理する。
【０００５】続いて、化学研磨処理液供給部６を通過終
了した板状体１は水洗手段７側に搬出され、該水洗手段
７を通過する間に、板状体１の銅表面に残留する研磨処
理液を水洗して洗い流す。
了した板状体１は水洗手段７側に搬出され、該水洗手段
７を通過する間に、板状体１の銅表面に残留する研磨処
理液を水洗して洗い流す。
【０００６】続いて、水洗手段７を通過した板状体１
は、適宜乾燥手段８（遠赤外線ヒーター、熱風ファンな
ど）を通過させて、その化学研磨された表面を乾燥さ
せ、化学研磨を終了するものである。
は、適宜乾燥手段８（遠赤外線ヒーター、熱風ファンな
ど）を通過させて、その化学研磨された表面を乾燥さ
せ、化学研磨を終了するものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記化学研磨工程にお
ける化学研磨過程においては、板状体１表面の銅（Ｃ
u）を希硫酸又は過酸化水素溶液、若しくはそれらの混
合液を化学研磨処理液として化学研磨処理する場合、化
学研磨装置２（チャンバー）内では、下記のような反応
が進行し、硫酸銅（ＣｕＳＯ4 ）が結晶状体で固体とし
て生成される。 Ｃu ＋Ｈ2 ＳＯ4 ＋Ｈ2 Ｏ2 →Ｃu ＳＯ4 ＋２Ｈ2 Ｏ
ける化学研磨過程においては、板状体１表面の銅（Ｃ
u）を希硫酸又は過酸化水素溶液、若しくはそれらの混
合液を化学研磨処理液として化学研磨処理する場合、化
学研磨装置２（チャンバー）内では、下記のような反応
が進行し、硫酸銅（ＣｕＳＯ4 ）が結晶状体で固体とし
て生成される。 Ｃu ＋Ｈ2 ＳＯ4 ＋Ｈ2 Ｏ2 →Ｃu ＳＯ4 ＋２Ｈ2 Ｏ
【０００８】また一方、従来の処理中の化学研磨装置２
内には、噴出する化学研磨処理液の希硫酸（Ｈ2 Ｓ
Ｏ4 ）の飛沫が、酸性のガス状、ミスト状となって充満
するために、化学研磨装置２には排気部９（自然排気方
式、若しくは強制排気方式）が設置されており、装置２
内に溜まった酸性のガスを装置２外側に排気するように
している。
内には、噴出する化学研磨処理液の希硫酸（Ｈ2 Ｓ
Ｏ4 ）の飛沫が、酸性のガス状、ミスト状となって充満
するために、化学研磨装置２には排気部９（自然排気方
式、若しくは強制排気方式）が設置されており、装置２
内に溜まった酸性のガスを装置２外側に排気するように
している。
【０００９】そのため、該装置２内の水分も排気と同時
に装置２外側に排出され、特に排気部９に近設する位置
にある対向ロール４（例えば図２の排気部直近位置Ａ，
Ｂ）は、排気による水分の減少によって乾燥し易く、化
学研磨処理中の対向ロール４などに水溶液状態で付着す
る硫酸銅（ＣｕＳＯ4 ）が、乾燥によって該対向ロール
４周面などに固体状態、結晶状態となって付着し易い。
に装置２外側に排出され、特に排気部９に近設する位置
にある対向ロール４（例えば図２の排気部直近位置Ａ，
Ｂ）は、排気による水分の減少によって乾燥し易く、化
学研磨処理中の対向ロール４などに水溶液状態で付着す
る硫酸銅（ＣｕＳＯ4 ）が、乾燥によって該対向ロール
４周面などに固体状態、結晶状態となって付着し易い。
【００１０】この固体状態となって付着した硫酸銅は、
順次搬送されてくる化学研磨処理用の板状体１の銅表面
を均一に粗面化するための障害となっており、又、処理
後の板状体１の銅表面にシミを発生させる原因ともなっ
ている。
順次搬送されてくる化学研磨処理用の板状体１の銅表面
を均一に粗面化するための障害となっており、又、処理
後の板状体１の銅表面にシミを発生させる原因ともなっ
ている。
【００１１】本発明は、酸性の化学研磨処理液を用い
て、板状体の金属表面の化学研磨処理をする化学研磨処
理装置の板状体搬送用の対向ロールに、研磨処理反応生
成物が固形状となって付着することを防止することを目
的とするものである。
て、板状体の金属表面の化学研磨処理をする化学研磨処
理装置の板状体搬送用の対向ロールに、研磨処理反応生
成物が固形状となって付着することを防止することを目
的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、上下１対の対
向ロールを水平方向に複数対設置した搬送手段と、該搬
送手段の少なくとも前段と後段とに排気部と、該搬送手
段の途中に化学研磨処理液供給部とを備えた化学研磨装
置において、少なくとも前記排気部近傍に位置する上下
一対の対向ロールの下側ロールを洗浄する洗浄手段を設
けたことを特徴とする化学研磨装置である。
向ロールを水平方向に複数対設置した搬送手段と、該搬
送手段の少なくとも前段と後段とに排気部と、該搬送手
段の途中に化学研磨処理液供給部とを備えた化学研磨装
置において、少なくとも前記排気部近傍に位置する上下
一対の対向ロールの下側ロールを洗浄する洗浄手段を設
けたことを特徴とする化学研磨装置である。
【００１３】又、本発明は、前記上下一対の対向ロール
の下側ロールを洗浄する洗浄手段が、該下側ロールを浸
漬する洗浄液槽であることを特徴とする化学研磨装置。
の下側ロールを洗浄する洗浄手段が、該下側ロールを浸
漬する洗浄液槽であることを特徴とする化学研磨装置。
【００１４】又、本発明は、前記上下一対の対向ロール
の下側ロールを洗浄する洗浄手段が、該下側ロール周面
に対して洗浄液を供給する洗浄液噴出部であることを特
徴とする化学研磨装置である。
の下側ロールを洗浄する洗浄手段が、該下側ロール周面
に対して洗浄液を供給する洗浄液噴出部であることを特
徴とする化学研磨装置である。
【００１５】
【実施例】本発明を実施例に従って詳細に説明する。図
１は、本発明の化学研磨装置２４の側面図であり、底部
２６と四方側壁２７，２７，２７，２７と上部板２８と
から化学研磨装置２４の外側ハウジング部２５を構成し
ている。
１は、本発明の化学研磨装置２４の側面図であり、底部
２６と四方側壁２７，２７，２７，２７と上部板２８と
から化学研磨装置２４の外側ハウジング部２５を構成し
ている。
【００１６】ハウジング部２５内には、上下一対の駆動
回転可能な対向ロール４，４，４，・・・（それぞれ上
側ロール４ａと下側ロール４ｂが１対となっている）が
水平方向に複数対配列されており、それぞれの対向ロー
ルは、互いに連動して、駆動用モーターによって回転可
能である。
回転可能な対向ロール４，４，４，・・・（それぞれ上
側ロール４ａと下側ロール４ｂが１対となっている）が
水平方向に複数対配列されており、それぞれの対向ロー
ルは、互いに連動して、駆動用モーターによって回転可
能である。
【００１７】該対向ロール４の全部は耐薬品性のゴムロ
ール又は樹脂ロールを使用するか、若しくは、該対向ロ
ール４は、耐薬品性のゴムロールと樹脂ロールとを併用
して使用するものである。なお、耐薬品処理してあれ
ば、金属製ロールを使用することも可能である。前記対
向ロール４の配列位置の上方、及び下方には、化学研磨
処理液（例えば希硫酸と過酸化水素水との混合液など酸
性水溶液）を、該対向ロール４方向に供給するための処
理液供給部６を１基、乃至その対向ロール４の配列方向
に平行に複数基設置されている。
ール又は樹脂ロールを使用するか、若しくは、該対向ロ
ール４は、耐薬品性のゴムロールと樹脂ロールとを併用
して使用するものである。なお、耐薬品処理してあれ
ば、金属製ロールを使用することも可能である。前記対
向ロール４の配列位置の上方、及び下方には、化学研磨
処理液（例えば希硫酸と過酸化水素水との混合液など酸
性水溶液）を、該対向ロール４方向に供給するための処
理液供給部６を１基、乃至その対向ロール４の配列方向
に平行に複数基設置されている。
【００１８】前記処理液供給部６は、処理液を吹き付け
るように供給する吹き付けノズル、若しくは吹き付けパ
イプ、あるいは塗布ロールであってもよい。
るように供給する吹き付けノズル、若しくは吹き付けパ
イプ、あるいは塗布ロールであってもよい。
【００１９】前記ハウジング部２５の一部には排気部９
を備え、該ハウジング部２５内の気体を排気できるよう
になっている。前記排気部９の排気方式は、自然排気方
式、あるいは、吸気用ファン、押し込み用ファンなどに
よる強制排気方式のいずれでもよい。
を備え、該ハウジング部２５内の気体を排気できるよう
になっている。前記排気部９の排気方式は、自然排気方
式、あるいは、吸気用ファン、押し込み用ファンなどに
よる強制排気方式のいずれでもよい。
【００２０】図１の一実施例においては、前記排気部９
は、ハウジング部２５内に配列した複数の対向ロール
４，４，４・・・の両端側に、それぞれ１個所ずつ設置
されている。又、前記排気部９に近設する対向ロール４
と、該対向ロール４に隣接する対向ロール４との間に
は、排気による気体の流れの影響が直接的に前記隣接す
る対向ロール４に及ぼさないように、適宜隔壁板２３を
設置することは可能である。
は、ハウジング部２５内に配列した複数の対向ロール
４，４，４・・・の両端側に、それぞれ１個所ずつ設置
されている。又、前記排気部９に近設する対向ロール４
と、該対向ロール４に隣接する対向ロール４との間に
は、排気による気体の流れの影響が直接的に前記隣接す
る対向ロール４に及ぼさないように、適宜隔壁板２３を
設置することは可能である。
【００２１】本発明においては、前記排気部に近設する
一対の対向ロール４のうち下側ロール４ｂには、該下側
ロール４ｂの周面を洗浄可能な洗浄手段１０を備えるも
のであるが、本発明の一実施例としては、図１に示すよ
うに、前記排気部９に近設する（排気部直近位置Ａ，Ｂ
に配置される）一対の対向ロール４の上側ロール４ａと
下側ロール４ｂのうち、該下側ロール４ｂを浸漬する水
洗水など洗浄液１２を貯留するための洗浄液槽１１を設
置する。
一対の対向ロール４のうち下側ロール４ｂには、該下側
ロール４ｂの周面を洗浄可能な洗浄手段１０を備えるも
のであるが、本発明の一実施例としては、図１に示すよ
うに、前記排気部９に近設する（排気部直近位置Ａ，Ｂ
に配置される）一対の対向ロール４の上側ロール４ａと
下側ロール４ｂのうち、該下側ロール４ｂを浸漬する水
洗水など洗浄液１２を貯留するための洗浄液槽１１を設
置する。
【００２２】前記洗浄液槽１１は、前記下側ロール４ｂ
に対して取り付け、取り外し可能な着脱できる手段を設
けてあり、該着脱手段は、従来より公知の手段によって
達成でき、又、該洗浄液槽１１には、洗浄液１２を常に
循環供給するための洗浄液循環供給手段を併設すること
ができ、該洗浄液循環供給手段には、従来より公知の液
体循環供給ポンプなどを使用することができる。
に対して取り付け、取り外し可能な着脱できる手段を設
けてあり、該着脱手段は、従来より公知の手段によって
達成でき、又、該洗浄液槽１１には、洗浄液１２を常に
循環供給するための洗浄液循環供給手段を併設すること
ができ、該洗浄液循環供給手段には、従来より公知の液
体循環供給ポンプなどを使用することができる。
【００２３】又、本発明においては、前記洗浄液層１１
は、前記排気部９に直近位置に配置された対向ロール４
の下側ロール４ｂに設置することによって、本発明の目
的は十分達成できるものであるが、必ずしもこれに限定
するものではなく、ハウジング部２５内に水平方向に配
列された各対向ロール４，４，４・・・のいずれかの下
側ロール４ｂが洗浄液に浸漬するように洗浄手段１０
（前記一実施例においては洗浄液槽１１）を設置するこ
とは可能である。
は、前記排気部９に直近位置に配置された対向ロール４
の下側ロール４ｂに設置することによって、本発明の目
的は十分達成できるものであるが、必ずしもこれに限定
するものではなく、ハウジング部２５内に水平方向に配
列された各対向ロール４，４，４・・・のいずれかの下
側ロール４ｂが洗浄液に浸漬するように洗浄手段１０
（前記一実施例においては洗浄液槽１１）を設置するこ
とは可能である。
【００２４】又、本発明においては、必要に応じて、前
記対向ロール４の水平配列方向両端部のハウジング部２
５外側に、上下に対向する一対の送り込みロール２１
（上側ロール２１ａ，下側ロール２１ｂ）と、送り出し
ロール２２（上側ロール２２ａ，下側ロール２２ｂ）を
設置して、化学研磨処理するための板状体１を投入、排
出処理するものである。
記対向ロール４の水平配列方向両端部のハウジング部２
５外側に、上下に対向する一対の送り込みロール２１
（上側ロール２１ａ，下側ロール２１ｂ）と、送り出し
ロール２２（上側ロール２２ａ，下側ロール２２ｂ）を
設置して、化学研磨処理するための板状体１を投入、排
出処理するものである。
【００２５】図２は、本発明の化学研磨処理装置の他の
実施例における洗浄手段１０の側面図であり、上下一対
の対向ロール４のうち、下側ロール４ｂの周面に対して
洗浄水など洗浄液を吹き付けるための洗浄液吹き付けノ
ズル１４を設置したものである。
実施例における洗浄手段１０の側面図であり、上下一対
の対向ロール４のうち、下側ロール４ｂの周面に対して
洗浄水など洗浄液を吹き付けるための洗浄液吹き付けノ
ズル１４を設置したものである。
【００２６】次に、本発明の化学研磨装置を用いて、板
状体１の金属表面を処理する操作方法を図１に従って説
明すれば、化学研磨処理すべき板状体１を、送り込みロ
ール２１に導入して前方に送り込み、投入口１６よりチ
ャンバー２５内に投入する。投入口１６より投入された
板状体１は、駆動回転する対向ロール４、４，４・・・
の間に挟持されて、各対向ロール４の回転によってチャ
ンバー２５内を前方に搬送される。
状体１の金属表面を処理する操作方法を図１に従って説
明すれば、化学研磨処理すべき板状体１を、送り込みロ
ール２１に導入して前方に送り込み、投入口１６よりチ
ャンバー２５内に投入する。投入口１６より投入された
板状体１は、駆動回転する対向ロール４、４，４・・・
の間に挟持されて、各対向ロール４の回転によってチャ
ンバー２５内を前方に搬送される。
【００２７】前記各対向ロール４を通過する間に、該対
向ロール４の上方と下方とに設置された化学処理液供給
部６より酸性の処理液１５が板状体１の両面に吹き付け
られて、該板状体１の金属表面が酸性の処理液１５によ
って化学研磨される。
向ロール４の上方と下方とに設置された化学処理液供給
部６より酸性の処理液１５が板状体１の両面に吹き付け
られて、該板状体１の金属表面が酸性の処理液１５によ
って化学研磨される。
【００２８】前記板状体１を前方に搬送しながら、駆動
回転している前記対向ロール４のうち洗浄手段１０の設
置された下側ロール４ｂ、即ち、洗浄液槽１１に貯留さ
れた洗浄液１２（水洗水）内に浸漬している下側ロール
４ｂのロール周面は、常に洗浄液１２に接触しており、
乾燥せずに湿潤状態を保持しており、前記化学研磨処理
によって生成する処理廃液の固形分は、該洗浄液１２に
よって常に洗い流され清浄化される。
回転している前記対向ロール４のうち洗浄手段１０の設
置された下側ロール４ｂ、即ち、洗浄液槽１１に貯留さ
れた洗浄液１２（水洗水）内に浸漬している下側ロール
４ｂのロール周面は、常に洗浄液１２に接触しており、
乾燥せずに湿潤状態を保持しており、前記化学研磨処理
によって生成する処理廃液の固形分は、該洗浄液１２に
よって常に洗い流され清浄化される。
【００２９】前記対向ロール４，４，４，・・・を通過
終了した板状体１は、搬出口１７を通過して対向する送
り出しローラー２２間に導入されて、化学研磨処理装置
２４の外側に搬出される。
終了した板状体１は、搬出口１７を通過して対向する送
り出しローラー２２間に導入されて、化学研磨処理装置
２４の外側に搬出される。
【００３０】搬出された前記板状体１は、該化学研磨処
理装置２４の後段に併設した水洗手段（図示せず）によ
って処理液１５が洗い落とされて化学研磨処理を終了
し、水洗手段の後段に設置された乾燥手段（図示せず）
によって乾燥されて、化学研磨処理操作が完了するもの
である。
理装置２４の後段に併設した水洗手段（図示せず）によ
って処理液１５が洗い落とされて化学研磨処理を終了
し、水洗手段の後段に設置された乾燥手段（図示せず）
によって乾燥されて、化学研磨処理操作が完了するもの
である。
【００３１】
【作用】本発明の化学研磨装置は、酸性の化学研磨処理
液を使用して、板状体の金属表面を化学研磨処理するた
めの装置であって、研磨処理すべき板状体を上下方向よ
り挟持しながら前方に搬送するための回転する対向ロー
ルに洗浄手段を設けたので、板状体を対向ロールによっ
て挟持しながら前方に搬送しつつ、酸性の処理液によっ
て金属表面の化学研磨処理（金属表面の平滑化研磨、粗
面化研磨など）をするに当たって生成される処理廃液に
含まれる生成物が、固形状となって対向ロールに付着し
ないように、常に前記洗浄手段によって、対向ロールの
周面を清浄に保つことができる。
液を使用して、板状体の金属表面を化学研磨処理するた
めの装置であって、研磨処理すべき板状体を上下方向よ
り挟持しながら前方に搬送するための回転する対向ロー
ルに洗浄手段を設けたので、板状体を対向ロールによっ
て挟持しながら前方に搬送しつつ、酸性の処理液によっ
て金属表面の化学研磨処理（金属表面の平滑化研磨、粗
面化研磨など）をするに当たって生成される処理廃液に
含まれる生成物が、固形状となって対向ロールに付着し
ないように、常に前記洗浄手段によって、対向ロールの
周面を清浄に保つことができる。
【００３２】
【発明の効果】本発明の化学研磨装置は、板状体を搬送
する対向ロールに、化学研磨処理によって生成される処
理廃液の固形分が付着するのを防止でき、対向ロールに
固形分が付着して、板状体に処理ムラが発生することを
解消でき、例えば、プリント配線板の内層板など銅の金
属表面を備える板状体に、メッキやエッチングなどのた
めのレジストを形成するためのドライフィルム層をコー
ティング乃至貼り合わせる場合における前処理研磨など
の化学研磨処理に効果的である。
する対向ロールに、化学研磨処理によって生成される処
理廃液の固形分が付着するのを防止でき、対向ロールに
固形分が付着して、板状体に処理ムラが発生することを
解消でき、例えば、プリント配線板の内層板など銅の金
属表面を備える板状体に、メッキやエッチングなどのた
めのレジストを形成するためのドライフィルム層をコー
ティング乃至貼り合わせる場合における前処理研磨など
の化学研磨処理に効果的である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の化学研磨処理装置の一実施例における
側面図である。
側面図である。
【図２】本発明の化学研磨処理装置の他の実施例におけ
る洗浄手段の側面図である。
る洗浄手段の側面図である。
【図３】従来の化学研磨装置の側面図である。
【図４】一般的な化学研磨工程を説明する説明図であ
る。
る。
１…板状体 ２…化学研磨装置 ３…投入部 ４…対向
ロール ４ａ…上側ロール ４ｂ…下側ロール ５…搬
送手段 ６…処理液供給部 ７…水洗手段 ８…乾燥手
段 ９…排気部 １０…洗浄手段 １１…洗浄液層 １
２…洗浄液 １４…洗浄液ノズル １５…処理液 １６
…投入口 １７…搬出口 ２１…送り込みロール ２２
…送り出しロール ２３…隔壁板 ２４…化学研磨装置
２５…チャンバー ２６…底部 ２７…側壁 ２８…
上部板 ２９…処理液排出管 Ａ，Ｂ…排気部直近位置
ロール ４ａ…上側ロール ４ｂ…下側ロール ５…搬
送手段 ６…処理液供給部 ７…水洗手段 ８…乾燥手
段 ９…排気部 １０…洗浄手段 １１…洗浄液層 １
２…洗浄液 １４…洗浄液ノズル １５…処理液 １６
…投入口 １７…搬出口 ２１…送り込みロール ２２
…送り出しロール ２３…隔壁板 ２４…化学研磨装置
２５…チャンバー ２６…底部 ２７…側壁 ２８…
上部板 ２９…処理液排出管 Ａ，Ｂ…排気部直近位置
Claims (3)
- 【請求項１】上下１対の対向ロールを水平方向に複数対
設置した搬送手段と、該搬送手段の少なくとも前段と後
段とに排気部と、該搬送手段の途中に化学研磨処理液供
給部とを備えた化学研磨装置において、少なくとも前記
排気部近傍に位置する上下一対の対向ロールの下側ロー
ルを洗浄する洗浄手段を設けたことを特徴とする化学研
磨装置。 - 【請求項２】前記上下一対の対向ロールの下側ロールを
洗浄する洗浄手段が、該下側ロールを浸漬する洗浄液槽
である請求項１に記載の化学研磨装置。 - 【請求項３】前記上下一対の対向ロールの下側ロールを
洗浄する洗浄手段が、該下側ロール周面に対して洗浄液
を供給する洗浄液噴出部である請求項１に記載の化学研
磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3243784A JP3008596B2 (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | 化学研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3243784A JP3008596B2 (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | 化学研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0578868A JPH0578868A (ja) | 1993-03-30 |
| JP3008596B2 true JP3008596B2 (ja) | 2000-02-14 |
Family
ID=17108919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3243784A Expired - Lifetime JP3008596B2 (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | 化学研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3008596B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ITUA20163138A1 (it) * | 2016-05-04 | 2017-11-04 | C I E Compagnia Italiana Ecologia S R L | Procedimento per il trattamento di rame. |
-
1991
- 1991-09-24 JP JP3243784A patent/JP3008596B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ITUA20163138A1 (it) * | 2016-05-04 | 2017-11-04 | C I E Compagnia Italiana Ecologia S R L | Procedimento per il trattamento di rame. |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0578868A (ja) | 1993-03-30 |
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