JPH07273153A - フィルムキャリアテープのエッチング方法及びエッチング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】エッチングファクターを大幅に改良できる新規
なフィルムキャリアテープのエッチング方法及びエッチ
ング装置を提供すること。 【構成】エッチング処理中のフィルムキャリアテープの
支持・案内手段であるガイドレールを、その幅の中心を
結ぶ線を軸とし、フィルムキャリアテープ支持面を回転
状に横振動して、フィルムキャリアテープ上のエッチン
グ液を揺動させつつエッチングを行うエッチング方法及
びエッチング処理槽内のフィルムキャリアテープのガイ
ドレールを回転状に横振動できるようにした装置。ガイ
ドレールの横振動を振動角は５°以上５０°以下、振動
数が毎秒１以上１０以下であることが望ましい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＴＡＢフィルムキャリ
アテープのパターン形成のためのエッチング方法及びエ
ッチング装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＴＡＢフィルムキャリアテープ（以下単
にフィルムキャリアテープという）は、図４に示すよう
に、ポリイミド等からなる支持体１１上に銅箔１２を積
層し、その上に感光層１３を設けて製造する。

【０００３】一般的に前記製造されたフィルムキャリア
テープ３のパターン形成は、以下のようなエッチング方
法を用いて行う。

【０００４】先ず、パターン像を有するフィルムキャリ
アテープ３をマスクを通してパターン露光して感光層１
３を感光させ、感光部分１４を現像除去する。得られた
図５に示すパターン除去された感光層１３を有するフィ
ルムキャリアテープ３を図３に示すエッチング装置１に
通し、エッチング装置１のエッチング処理槽６におい
て、フィルムキャリアテープ３の感光層１３を除去した
部分１４にエッチング液をスプレーして銅箔１２をエッ
チング除去して行われる。

【０００５】前記パターン形成を行うフィルムキャリア
テープ３加工用のエッチング装置１の構造は、例えば図
３に示したようである。すなわち、送出部５と製品巻取
部１０との間にエッチング処理槽６、エッチング液回収
槽７、水洗槽８及び乾燥槽９の順に処理槽を配備した構
造の装置である。

【０００６】エッチング装置１では、送出部５からパタ
ーン除去された感光層１３を有するフィルムキャリアテ
ープ３を搬送手段によって製品巻取部１０にまで前記各
処理槽を経て搬送し、製品巻取部１０で巻取るまでの間
にフィルムキャリアテープ３の支持体１１上の銅箔１２
をエッチング除去し、水洗・乾燥する処理工程を行う。

【０００７】エッチング装置１内でフィルムキャリアテ
ープ３を搬送する手段としては、例えばフィルムキャリ
アテープ３の両端にスプロケット駆動用の孔を設け、駆
動ロールにスプロケット突起を設け、スプロケット駆動
する手段等を挙げることができる。エッチング装置１内
において搬送されるフィルムキャリアテープ３は、下記
するようにスプレーノズルから吹きつけられるエッチン
グ液により均一にエッチングされるようにエッチング処
理槽６内では水平に保って搬送される。

【０００８】エッチング処理槽６内を水平に保ってフィ
ルムキャリアテープ３を搬送するため、エッチング処理
槽６内でフィルムキャリアテープ３を支持する方法とし
ては、例えば図２にその断面を示したように、ガイドピ
ン４を備えたガイドレール２の間にフィルムキャリアテ
ープ３を置き、フィルムキャリアテープ３を水平に支え
る方法等を挙げることができる。しかしながら、フィル
ムキャリアテープ３の駆動方法及び支持方法は前記した
方法に限定されるものではない。

【０００９】また、エッチング処理槽６内でフィルムキ
ャリアテープ３を処理する手段としては、ある間隔をお
いてスプレーノズル１５を配置し、エッチング液の温度
やエッチング液の供給量等の条件に従って適当なスプレ
ー圧でエッチング液をフィルムキャリアテープ３の表面
に吹きつけながら適当な速度でフィルムキャリアテープ
３を移動させる手段が採られる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】今後半導体素子接続部
のリード間隔は１００μｍ以下が主流化し、フィルムキ
ャリアテープのパターンは、最近ますます微細化が要求
される。このため、フィルムキャリアテープ加工用のエ
ッチング装置では、より狭いリード間隔をより深くエッ
チングできる能力、すなわち、より向上したエッチング
ファクターを有する装置が必要とされる。

【００１１】エッチング装置のエッチングファクター
は、前記エッチング液温度、エッチング液供給量、スプ
レー圧、スプレーノズル間隔や高さ及びフィルムキャリ
アテープ搬送速度等の条件に依存する。これらのエッチ
ングファクターを最適に調整することにより微細エッチ
ングが可能となる。

【００１２】しかしながら、エッチング装置のエッチン
グファクターを左右するいま一つの要因が、従来軽視さ
れてきたため、エッチングの微細化に限界が見えはじめ
ている。

【００１３】このエッチングファクターを左右する上記
いま一つの要因について以下に説明する。すなわち、フ
ィルムキャリアテープ上の感光層を現像除去し銅箔をエ
ッチングする部分は、図５にエッチング部分１４として
示したように窪みとなっている。

【００１４】エッチング処理槽において、フィルムキャ
リアテープのエッチング部分１４の窪みにエッチング液
が溜まると、上部からエッチング液をスプレーしても、
新しいエッチング液はこの窪みの底のエッチングされる
べき銅箔部分に到達せず、エッチング部分１４における
エッチング液の物質移動が円滑に行われない。このエッ
チング部分１４の窪みの形状は、パターンが微細化する
ほど、間口が狭く底が深い急峻なものとなるので、エッ
チング液の物質移動はますます行われ難くなり、エッチ
ングに時間がかかり、不均一エッチングが起こったり、
サイドエッチングが起こったりするトラブルの原因とな
る。

【００１５】本発明の目的は、従来技術の欠点を解消
し、エッチングファクターを大幅に改良できる新規なフ
ィルムキャリアテープのエッチング方法及びエッチング
装置を提供することにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明の前記目的は、
１）フィルムキャリアテープのパターン形成のための湿
式エッチング工程において、エッチング処理中の該フィ
ルムキャリアテープを平面状に支持し搬送を案内する支
持・案内手段の幅の中心を結ぶ線を軸とし、該支持・案
内手段のフィルムキャリアテープ支持面を回転角θで回
転状に横振動せしめて、前記フィルムキャリアテープ上
のエッチング液を揺動させつつエッチングを行うフィル
ムキャリアテープのエッチング方法。

【００１７】より好ましくは、２）フィルムキャリアテ
ープのパターン形成のための湿式エッチング工程におい
て、前記支持・案内手段のフィルムキャリアテープ支持
面を回転角θで回転状に横振動させる該振動角が５°以
上５０°以下であり、該振動数が毎秒１以上１０以下で
ある前記１）記載のフィルムキャリアテープのエッチン
グ方法によって達成され、この前記フィルムキャリアテ
ープのエッチング方法は、次のようなエッチング装置に
よって好適に実施できる。

【００１８】すなわち、３）フィルムキャリアテープの
パターン形成を行うエッチング処理槽を備えたエッチン
グ装置において、該エッチング処理槽内を移動する該フ
ィルムキャリアテープを平面状に支持し案内する支持・
案内手段を、該支持・案内手段の幅の中心を結ぶ線を軸
とし、前記フィルムキャリアテープ支持面を回転角θで
回転状に横振動せしめ得る構造としたフィルムキャリア
テープのエッチング装置である。

【００１９】

【作用】本発明の作用を図を用いて以下に説明する。図
ではフィルムキャリアテープの前記支持・案内手段をガ
イドピンを備えたガイドレールとした場合を示した。

【００２０】しかしながら、本発明はこの具体例によっ
て制限されるものではない。

【００２１】図１は、本発明のエッチング処理槽６の側
面説明図である。なお、図１ではエッチング処理槽６の
前後にフィルムキャリアテープ３の走行調整空間１６を
設けた場合を示している。

【００２２】図２は、エッチング処理槽６のフィルムキ
ャリアテープの支持・案内手段である、前記本発明のガ
イドピン４を備えたガイドレール２の断面を示す説明図
である。

【００２３】図１において、フィルムキャリアテープ３
は、前段の走行調整空間１６を経てエッチング処理槽６
に入り、本発明のガイドピン４を備えた前記ガイドレー
ル２に支持され、エッチング処理槽６の上部に設けられ
たスプレーノズル１５からエッチング液をフィルムキャ
リアテープ３の表面に吹きつけながら搬送され、後段の
走行調整空間１６を経て次のエッチング液回収槽７に送
られる。

【００２４】この時、図２に示すようにガイドレール２
を、ガイドレール２の幅の中心を軸１７として、位置Ａ
の上下の位置Ｂ及びＣに周期的に、回転角θで回転状に
横振動させる。ガイドレール２を回転状に横振動させる
ことにより、ガイドレール２の上に支持されたフィルム
キャリアテープ３も回転状の横振動を受ける。

【００２５】なお、図１に示したガイドレール２は少し
回転させられ、その上に支持されたフィルムキャリアテ
ープ３も少し回転した状態を示している。このフィルム
キャリアテープ３の回転状の横振動により、フィルムキ
ャリアテープ３の搬送が受ける不安定さを緩和するた
め、図１に示したエッチング処理槽６では、槽の前後に
前段及び後段の走行調整空間１６が設けられている。

【００２６】前記、図１及び図２を用いて説明したよう
に、本発明のガイドピン４を備えた前記ガイドレール２
を周期的に、回転角θで回転状に横振動させて、フィル
ムキャリアテープ３に回転状の横振動をあたえると、フ
ィルムキャリアテープ３の表面にあるエッチング液は、
そのエッチング部分１４の窪みにあるエッチング液も含
めて、フィルムキャリアテープ３の横方向に流れ、一部
は表面から除去され、エッチング部分１４の窪みからも
流出し、窪み内のエッチング液が攪拌され液成分の物質
移動が活発に行われる。この結果、フィルムキャリアテ
ープ３のエッチング部分１４の銅箔１２のエッチングが
より均一に、かつ速やかに行われる。

【００２７】前記した、ガイドピン４を備えた前記ガイ
ドレール２を周期的に、回転角θで回転状に横振動させ
る構造とすることが、本発明の重要な構成要素であり、
ガイドレール２を回転状に横振動させることにより、フ
ィルムキャリアテープ３上のエッチング液の物質移動を
活発化して、エッチング部分１４の銅箔１２のエッチン
グを促進することが本発明の重要な作用である。

【００２８】本発明において、前記エッチング液の物質
移動の活発化のためのガイドレールの回転状横振動に伴
い、エッチング装置内にフィルムキャリアテープを安定
して搬送させるため、考慮するべき条件について以下に
説明する。

【００２９】先ず、ガイドレールを周期的に回転させる
回転角θについて述べる。回転角θが小さ過ぎるとエッ
チング液の移動量が十分でなく、目的とするエッチング
液の物質移動の活発化による銅箔のエッチングの促進が
達成されない。一方、回転角θが大き過ぎるとフィルム
キャリアテープの捩じれが大きくなり、この捩じれを開
放せんとする復元力のためにフィルムキャリアテープが
ガイドレールから浮き上がるため、エッチングの均一性
が悪くなる。研究の結果、ガイドレールを回転させる回
転角θは５°以上５０°以下とすることが好ましい。

【００３０】次に、ガイドレールを周期的に回転状に横
振動させる振動数について述べる。前記図２において、
ガイドレールの位置がＡ−Ｂ−Ａ−Ｃ−Ａと移動した時
を１周期とした時、１秒間にガイドレールの位置が１０
周期以上振動すると、フィルムキャリアテープ表面上の
エッチング液の流動がガイドレールの回転に追従でき
ず、エッチング性の向上は期待できなくなる。最適なガ
イドレールの回転状振動数は、０．２５以上４．０以下
であるが、１０以下であれば効果は認められる。

【００３１】

【実施例】本発明の実施例を図１を用いて以下に説明す
る。ただし、本発明は以下の説明によって制限されるも
のではない。

【００３２】図１において、エッチング装置１の送出部
５から送出されたフィルムキャリアテープ３は、前段の
走行調整空間１６として０．５ｍの空間を経てエッチン
グ処理槽６に入り、エッチング処理槽６内で本発明のガ
イドピン４を備えた前記ガイドレール２に支持され、ガ
イドレール２を周期的に、回転角（θ＝）４０°、振動
数１秒間当たり２周期の条件で回転状に横振動させる。
エッチング処理槽６内で横振動させながら上部に設けら
れたスプレーノズル１５からエッチング液を表面に吹き
つけて、下記に示すエッチング条件でエッチング処理し
た後、０．５ｍの後段の走行調整空間１６を経て次のエ
ッチング液回収槽７に送出す。

【００３３】エッチング条件 ： エッチング液 ： 塩化第２鉄水溶液 エッチング液比重 ： １．４５０ エッチング液温度 ： ５０℃ エッチングスプレー圧 ： ２．０kgf/cm² エッチング時間 ： ８０秒間 被エッチング材料は、７５μｍベースフィルムに３５μ
ｍの圧延銅箔を積層したものに、感光性レジストを塗布
し、２０〜１００μｍピッチのテストパターンを露光・
現像したサンプルを用いた。

【００３４】結果 ：結果を図６に示す。

【００３５】レジストパターンを開孔幅の大きい領域
（６５μｍピッチ以上）では、本発明のエッチング装置
により、本発明のエッチング方法で行った処理の結果
は、従来のエッチング処理槽でのエッチング結果とエッ
チファクターで大差はない。

【００３６】ところが、開孔幅５５μｍ以下の領域にお
いて、本発明のエッチング装置で行った処理品はエッチ
ファクターの低下が非常に少ない。

【００３７】

【発明の効果】上記説明より明らかなように、本発明の
エッチング方法及びエッチング装置によりエッチングフ
ァクターを最適に調整することにより、今後のフィルム
キャリアテープのパターンの微細化の要求に十分耐え得
る微細エッチング処理が可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のエッチング処理槽の側面説明図であ
る。

【図２】本発明のガイドレールの動作の断面図を用いた
説明図である。

【図３】本発明のエッチング装置の側面説明図である。

【図４】感光層を有するフィルムキャリアテープの断面
図である。

【図５】エッチング処理中のフィルムキャリアテープの
断面説明図である。

【図６】従来のエッチング処理槽でエッチングした場合
と、本発明のエッチング処理槽で本発明のエッチング方
法によりエッチングした場合のエッチファクターを比較
した図である。

【符号の説明】

１ エッチング装置 ２ ガイドレール ３ フィルムキャリアテープ ４ ガイドピン ５ 送出部 ６ エッチング処理槽 ７ エッチング液回収槽 ８ 水洗槽 ９ 乾燥槽 １０ 製品巻取部 １１ 支持体 １２ 銅箔 １３ 感光層 １４ エッチング部分 １５ スプレーノズル １６ 走行調整空間 １７ 軸 １８ 本発明の処理機による処理結果曲線 １９ 従来の処理機による処理結果曲線 Ａ ガイドレール標準位置 Ｂ ガイドレール上部位置 Ｃ ガイドレール下部位置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】フィルムキャリアテープのパターン形成の
   ための湿式エッチング工程において、エッチング処理中
   の該フィルムキャリアテープを平面状に支持し搬送を案
   内する支持・案内手段の幅の中心を結ぶ線を軸とし、該
   支持・案内手段のフィルムキャリアテープ支持面を回転
   角θで回転状に横振動せしめて、前記フィルムキャリア
   テープ上のエッチング液を揺動させつつエッチングを行
   うことを特徴とするフィルムキャリアテープのエッチン
   グ方法。
2. 【請求項２】フィルムキャリアテープのパターン形成の
   ための湿式エッチング工程において、前記支持・案内手
   段のフィルムキャリアテープ支持面を回転角θで回転状
   に横振動させる該振動角が５°以上５０°以下であり、
   該振動数が毎秒１以上１０以下であることを特徴とする
   請求項１記載のフィルムキャリアテープのエッチング方
   法。
3. 【請求項３】フィルムキャリアテープのパターン形成を
   行うエッチング処理槽を備えたエッチング装置におい
   て、該エッチング処理槽内を移動する該フィルムキャリ
   アテープを平面状に支持し案内する支持・案内手段を、
   該支持・案内手段の幅の中心を結ぶ線を軸とし、前記フ
   ィルムキャリアテープ支持面を回転角θで回転状に横振
   動せしめ得る構造とすることを特徴とするフィルムキャ
   リアテープのエッチング装置。