KR200450083Y1 - 필름 캐리어 테이프 제조용 플레이트 및 그것을 이용한필름 캐리어 테이프 제조 장치 - Google Patents

필름 캐리어 테이프 제조용 플레이트 및 그것을 이용한필름 캐리어 테이프 제조 장치 Download PDF

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필름 캐리어 테이프 제조용 플레이트 및 필름 캐리어 테이프 제조 장치가 제공된다. 상기 필름 캐리어 테이프 제조 장치는 필름 캐리어 테이프가 놓여지는 플레이트(plate), 플레이트 상에 배치되고, 필름 캐리어 테이프로 처리액을 분사하는 처리액 분사부, 및 처리액 분사부로 처리액을 공급하는 처리액 공급부를 포함하되, 플레이트는 바디와, 바디의 중앙부에 바디를 관통하도록 형성된 제1 배출홀을 포함하여, 필름 캐리어 테이프로 분사된 처리액이 제1 배출홀을 통해서 빠지도록 한다.
필름 캐리어 테이프 제조 장치, 처리액 분사부, 배출홀

Description

필름 캐리어 테이프 제조용 플레이트 및 그것을 이용한 필름 캐리어 테이프 제조 장치{Apparatus for manufacturing film carrier tape}
본 고안은 필름 캐리어 테이프 제조용 플레이트 및 필름 캐리어 테이프 제조 장치에 관한 것이다.
최근, 예를 들면 휴대 전화, 휴대 정보 단말기, 액정 표시용 패널, 노트북형 컴퓨터 등의 전자 기기에서의 소형화, 박형화, 경량화가 진전되고 있다. 이에 따라, 이들 기기에 탑재되는 반도체 장치를 비롯하여, 각종 부품도 마찬가지로 소형화, 경량화, 고기능화, 고성능화, 고밀도화가 진행되고 있다.
즉, CRT 디스플레이와 비교하여 경량화 및 박형화가 가능한 LCD, PDP, LED와 같은 평판 디스플레이가 발달하면서, 그에 필요한 디스플레이 부품들의 경량화 및 박형화가 요구되어 왔다. 이들에 사용되는 반도체 부품도 패키지로 구성하여 이러한 평판 디스플레이의 경량화 및 박형화를 추구하고 있다.
여기서, 일반적으로 반도체 패키지라 함은 각종 전자회로 및 배선이 적층되어 형성된 단일소자 및 집적회로 등의 반도체 칩을 먼지, 습기, 전기적, 기계적 부하 등의 각종 외부환경으로부터 보호하고 반도체 칩의 전기적 성능을 최적화, 극대 화시키기 위해 리드 프레임(lead frame)이나 인쇄회로기판(PCB) 등을 이용해 메인보드로의 신호 입/출력 단자를 형성하고 봉지수단을 이용하여 몰딩(molding)한 것을 말한다.
이러한 반도체 패키지는 최근 반도체 칩의 진보된 집적화 기술과 전자기기의 소형화에 따라서 이를 뒷받침하기 위해 반도체 패키지의 경박단소(輕薄短小)화의 추세에 있다. 따라서, 리드 프레임이나 인쇄회로기판과 같은 기존의 반도체 패키지보다 경량화 및 박형화를 이룰 수 있는 테이프를 이용한 테이프 캐리어 패키지(TCP; Tape Carrier Package) 등의 수요가 증가하고 있다.
테이프 캐리어 패키지는 기존의 반도체 패키지보다 한정된 좁은 면적에서도 많은 수의 신호 입출력단자를 만들 수 있고, 얇은 연성 테이프(flexible tape)를 이용함으로써 패키지 형상이나 위치의 제약을 덜 받을 수 있게 되어, 소형화, 고집적화, 다핀화 등을 추구할 수 있는 차세대 반도체 패키지 기술이다. 이와 같은 테이프 캐리어 패키지로는 TAB(Tape Automated Bonding), COF(Chip On Film) 또는 플렉서블 볼그리드어레이(Flexible BGA) 등이 있다.
이와 같은 테이프 캐리어 패키지에 사용되는 필름 캐리어 테이프의 제조 장치는 주로 릴투릴(reel-to-reel) 방식으로 동작된다. 즉, 제조 장치는 필름 캐리어 테이프를 공급하는 권출부와, 필름 캐리어 테이프를 회수하는 권취부 사이에 배치된 다수의 처리부를 포함하여, 연속적으로 다수의 처리액을 이용하여 필름 캐리어 테이프를 처리하게 된다.
본 고안이 해결하고자 하는 과제는, 필름 캐리어 테이프 상에 회로 패턴을 안정적으로 형성할 수 있는 필름 캐리어 테이프 제조용 플레이트를 제공하는 것이다.
본 고안이 해결하고자 하는 다른 과제는, 필름 캐리어 테이프 상에 회로 패턴을 안정적으로 형성할 수 있는 필름 캐리어 테이프 제조 장치를 제공하는 것이다.
본 고안이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 고안의 필름 캐리어 테이프 제조용 플레이트는 상기 필름 캐리어 테이프가 올려지는 바디와, 상기 바디의 폭방향 내측에 길이 방향을 따라 형성되고 상기 바디를 관통하도록 형성된 제1 배출홀을 포함하여, 상기 필름 캐리어 테이프로 분사된 처리액이 상기 제1 배출홀을 통해서 빠지도록 한다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 고안의 필름 캐리어 테이프 제조 장치의 일 태양은 필름 캐리어 테이프가 놓여지는 플레이트(plate), 상기 플레이트 상에 배치되고, 상기 필름 캐리어 테이프로 처리액을 분사하는 처리액 분사부, 및 상기 처리 액 분사부로 처리액을 공급하는 처리액 공급부를 포함하되, 상기 플레이트는 바디와, 상기 바디의 중앙부에 상기 바디를 관통하도록 형성된 제1 배출홀을 포함하여, 상기 필름 캐리어 테이프로 분사된 처리액이 상기 제1 배출홀을 통해서 빠지도록 한다.
본 고안의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 고안의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참고하면 명확해질 것이다. 그러나 본 고안은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 고안의 개시가 완전하도록 하며, 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 고안의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 고안은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참고 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 고안의 기술적 사상내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 고안을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
여기서, 본 고안의 필름 캐리어 테이프는 반도체 패키지에 사용되는 테이프에 적용될 수 있다. 여기서, 반도체 패키지는 테이프 캐리어 패키지를 포함하며, 예를 들어 TAB(Tape Automated Bonding), COF(Chip On Film), 플렉서블 볼그리드어레이(Flexible BGA) 등을 포함할 수 있다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 필름 캐리어 테이프 제조 장치를 나타낸 단면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 릴(공급릴 또는 회수릴)을 도시한 사시도이다. 도 3 내지 도 5는 도 1에 도시된 제1 처리부를 자세히 설명하기 위한 도면들이다.
우선, 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 고안의 일 실시예에 따른 필름 캐리어 테이프 제조 장치(1)는 권출부(100), 권취부(200), 제1 처리부(300), 제2 처리부(400)를 포함한다.
권출부(100)는 필름 캐리어 테이프(105)를 공급한다. 이러한 권출부(100)는 릴축(110)을 구비하고 있고, 릴축(110)에는 다수의 처리 공정을 거처야 할 필름 캐리어 테이프(105)가 감겨 있는 공급릴(120)이 장착되어 있다. 여기서, 필름 캐리어 테이프는 TAB(Tape Automated Bonding) 테이프, COF(Chip On Film) 테이프, FBGA(Flexible Ball Grid Array) 테이프, TGBA(Tape Ball Grid Array) 테이프, FPC(Flexible Printed Circuit) 테이프일 수 있다.
반면, 권취부(200)는 권출부(100)와 소정거리 이격되어 있고, 필름 캐리어 테이프(105)가 회수된다. 이러한 권취부(200)는 릴축(210)을 구비하고 있고, 릴축(210)에는 다수의 처리 공정을 거친 필름 캐리어 테이프(105)가 감기는 회수릴(220)이 장착되어 있다.
권출부(100)와 권취부(200) 사이에는 제1 처리부(300), 제2 처리부(400)가 배치되어 있다. 도 1에서는 설명의 편의상 2개의 처리부(300, 400)를 도시하고 있으나, 본 고안의 권리 범위가 이에 한정되는 것은 아니다. 필요에 따라서 권출부(100)와 권취부(200) 사이에 3개 이상의 처리부가 배치되어 있어도 된다.
우선, 제1 처리부(300)는 필름 캐리어 테이프(105)를 제1 처리액으로 처리한다. 구체적으로, 제1 처리부(300)는 필름 캐리어 테이프(105)가 놓여지는 플레이트(305)와, 제1 처리액을 공급하는 제1 처리액 공급부(310)와, 공급받은 제1 처리액을 이동되는 필름 캐리어 테이프(105)에 분사하는 제1 처리액 분사부(320)와, 제1 처리부(300)로 들어오는 불순물을 차단하는 에어 커튼(air curtain)(330) 등을 포함한다.
제1 처리액 공급부(310)는 제1 처리액을 저장하고 있는 저장부(312)와, 저장 부(312)와 연결되고 제1 처리액을 제1 처리액 공급 라인(316)을 통해서 제1 처리액 분사부(320)에 공급하는 제1 펌프(314)를 포함한다. 제1 처리액 공급부(310)는 도면에 도시된 바와 같이, 제1 처리부(300) 내에서 사용된 제1 처리액을 모아서 다시 제1 처리액 분사부(320)에 공급할 수 있다(즉, 순환 방식으로 재사용할 수 있다).
또는, 도면에는 명확히 도시하지 않았으나, 제1 처리액 공급부(310)는 제1 배출홀을 통해서 배출된 처리액을 다시 상기 제1 처리액 분사부(320) 및 상기 약액 배출구로 공급할 수 있다.
또한, 도 1에는 제1 처리액 분사부(320)가, 이동되는 필름 캐리어 테이프(105)의 상면에 제1 처리액을 분사하는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 필요에 따라서는 필름 캐리어 테이프(105)의 상면 및 하면에 제1 처리액을 분사할 수도 있다. 또한, 도 1에는 에어 커튼(330)이 제1 처리부(300)의 입구와 출구에 배치되어 있는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 필요에 따라서는 에어 커튼(330)이 입구에만 또는 출구에만 배치되어 있을 수 있다.
여기서, 제1 처리액은 강알카리, 강산 등과 같은 식각액일 수 있다. 예를 들어, 제1 처리액이 강알카리인 경우, 제1 처리부(300)를 구성하는 다수의 구성 요소들은 강알카리에 부식되지 않는 물질로 이루어져 있을 수 있다.
여기서, 도 3 내지 도 5를 참조하여 플레이트(305)의 구체적 구성과, 플레이트(305)와 관련된 주변부를 같이 설명한다. 도 3은 도 1에 도시된 제1 처리액 분사부(320)와 플레이트(305) 사이의 관계를 설명하기 위한 도면이다. 도 3에는 플레이 트(305) 상에 필름 캐리어 테이프(105)가 놓여져 있는 것을 도시하였다. 도 4는 도 1에 도시된 플레이트(305)를 자세히 설명하기 위한 도면이다. 도 5는 제1 처리액의 흐름을 설명하기 위한 도면이다.
제1 처리액 분사부(320)는 일방향으로 연장되어 형성되고, 플레이트(305)와 마주보는 면에는 다수의 노즐(326)이 형성되어 있다. 도면에서는 8개의 노즐(326)이 형성되어 있는 것으로 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
본 고안의 일 실시예에서, 플레이트(305)는 바디(306), 배출홈(307), 제1 배출홀(308)을 포함한다.
구체적으로, 바디(306)는 제1 처리액 분사부(320)의 연장 방향과 동일하게 일방향으로 연장될 수 있다. 바디(306)는 중앙부(306a)와 주변부(306b)로 구분할 수 있다. 중앙부(306a)는 바디(306)의 폭방향 내측을 의미하고, 주변부(306b)는 중앙부(306a) 이외의 영역을 의미한다. 중앙부(306a)에는 상기 일 방향을 따라 형성된 배출홈(307)이 형성되고, 주변부(306b)에는 도시된 바와 같이 경사가 져 있을 수 있다. 또한, 중앙부(306a)에는 바디(306)를 관통된 다수의 제1 배출홀(308)이 형성되어 있을 수 있는데, 제1 배출홀(308)은 배출홈(307)와 연결되어 있을 수 있다.
그런데, 필름 캐리어 테이프(105)는 상기 제1 배출홀(308)에 대응되는 위치에, 제2 배출홀(108)이 형성되어 있을 수 있다. 여기서, 제2 배출홀(108)은 스프로켓홀일 수 있다. 스프로켓홀은 필름 캐리어 테이프(105)를 이송하는 핀이 삽입되는 홀을 의미한다.
이와 같은 구성을 통해서, 제1 처리액 분사부(320)에서 필름 캐리어 테이프(105)로 분사된 제1 처리액은 도 5의 a에서와 같이 플레이트(305)의 주변부(306b)의 경사를 따라 흘러나갈 수 있고, 도 5의 b에서와 같이 플레이트(305)의 제2 배출홀(108), 제1 배출홀(308)을 통해서 빠져나갈 수 있다. 더 구체적으로는, 플레이트(305)의 배출홈(307)에 제1 처리액이 모여서 제1 배출홀(308)을 통해서 빠져나갈 수 있다.
만약, 플레이트(305)에 제1 배출홀(308)이 없고, 필름 캐리어 테이프(105)에 제2 배출홀(108)이 없는 경우에는, 필름 캐리어 테이프(105)로 분사된 처리액이 필름 캐리어 테이프(105)의 중간 부분에 고일 수 있다. 처리액(여기서, 처리액이 식각액인 경우)이 고이게 되면, 처리액으로 인해 필름 캐리어 테이프(105)의 회로 패턴이 과도 식각될 수 있다. 이러한 현상은 필름 캐리어 테이프(105)의 폭이 넓으면 넓을수록 심할 수 있다. 본 고안에서와 같이 플레이트(305)에 제1 배출홀(308)이 있는 경우에는 처리액이 고이지 않게 되므로, 회로 패턴이 안정적으로 형성될 수 있다.
제1 처리액 공급부(310)의 저장부(312)에 모을 수 있는 제1 처리액의 양이 증가될 수 있으므로, 제1 처리액의 순환이 용이해질 수 있다.
한편, 도면에서는 자세히 설명하지 않았으나, 바디(306)에는 필름 캐리어 테이프(105)의 후면으로 약액을 배출하여, 상기 필름 캐리어 테이프(105)의 후면에 소정 두께의 약액층을 형성하도록 하는 약액 배출구가 더 형성되어 있을 수 있다. 이와 같이 약액층이 형성됨으로써, 필름 캐리어 테이프(105)가 플레이트(305) 상을 부드럽게 이동할 수 있다(즉, 필름 캐리어 테이프(105)와 플레이트(305)의 마찰력을 줄일 수 있다).
제2 처리부(400)는 필름 캐리어 테이프(105)가 놓여지는 플레이트(405), 제2 처리액을 공급하는 제2 처리액 공급부(410)와, 공급받은 제2 처리액을 이동되는 필름 캐리어 테이프(405)에 분사하는 제2 처리액 분사부(420)와, 제2 처리부(400)로 들어오는 불순물을 차단하는 에어 커튼(air curtain)(430) 등을 포함한다. 제2 처리액 공급부(410)는 제2 처리액을 저장하고 있는 저장부(412)와, 저장부(412)와 연결되고 제2 처리액을 제2 처리액 공급 라인(416)을 통해서 제2 처리액 분사부(420)에 공급하는 제2 펌프(414)를 포함한다. 플레이트(405)의 구성은 제1 처리부(300) 내의 플레이트(305)의 구성과 실질적으로 동일하므로 여기서는 설명을 생략한다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 실시예를 설명하였지만, 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 고안이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 필름 캐리어 테이프 제조 장치를 나타낸 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 릴(공급릴 또는 회수릴)을 도시한 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 제1 처리액 분사부와 플레이트 사이의 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 1에 도시된 플레이트를 자세히 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 제1 처리액의 흐름을 설명하기 위한 도면이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
300 : 제1 처리부 305 : 플레이트
306 : 바디 307 : 배출홈
308 : 제1 배출홀 320 : 제1 처리액 분사부

Claims (9)

  1. 필름 캐리어 테이프 제조용 플레이트(plate)에 있어서,
    필름 캐리어 테이프가 올려지는 바디와, 상기 바디의 폭방향 내측에 길이 방향을 따라 형성되고 상기 바디를 관통하도록 형성된 배출홀을 포함하여, 상기 필름 캐리어 테이프의 내측에 분사된 처리액이 상기 배출홀을 통해서 빠지도록 하는 필름 캐리어 테이프 제조용 플레이트.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 바디는 일 방향으로 연장되고,
    상기 바디의 폭방향 내측에 상기 일 방향을 따라 형성되고, 상기 배출홀과 연결된 배출홈을 더 포함하는 필름 캐리어 테이프 제조용 플레이트.
  3. 제 1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 바디에는 상기 배출홀을 중심으로 서로 이격되어 상기 필름 캐리어 테이프의 후면에 약액을 배출하는 약액 배출구가 더 형성되어 있는 필름 캐리어 테이프 제조용 플레이트.
  4. 필름 캐리어 테이프가 놓여지는 플레이트(plate);
    상기 플레이트 상에 배치되고, 상기 필름 캐리어 테이프로 처리액을 분사하는 처리액 분사부; 및
    상기 처리액 분사부로 처리액을 공급하는 처리액 공급부를 포함하되,
    상기 플레이트는 바디와, 상기 바디의 중앙부에 상기 바디를 관통하도록 형성된 제1 배출홀을 포함하여, 상기 필름 캐리어 테이프의 내측에 분사된 처리액이 상기 제1 배출홀을 통해서 빠지도록 하는 필름 캐리어 테이프 제조 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 플레이트의 바디는 일 방향으로 연장되고,
    상기 플레이트는 상기 바디의 중앙부에 상기 일 방향을 따라 형성되고, 상기 제1 배출홀과 연결된 배출홈을 더 포함하는 필름 캐리어 테이프 제조 장치.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 바디에 상기 제1 배출홀을 중심으로 서로 이격되어 상기 필름 캐리어 테이프의 후면에 약액을 배출하는 약액 배출구가 더 형성되어 있는 필름 캐리어 테이프 제조 장치.
  7. 제 4항에 있어서,
    상기 필름 캐리어 테이프는 상기 제1 배출홀에 대응되는 위치에 형성된 제2 배출홀을 포함하는 필름 캐리어 테이프 제조 장치.
  8. 제 4항에 있어서,
    상기 처리액 공급부는 상기 제1 배출홀을 통해서 배출된 처리액을 다시 상기 처리액 분사부로 공급하는 필름 캐리어 테이프 제조 장치.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 처리액 공급부는 상기 제1 배출홀을 통해서 배출된 처리액을 다시 상기 처리액 분사부 및 상기 약액 배출구로 공급하는 필름 캐리어 테이프 제조 장치.
KR2020070020858U 2007-12-27 2007-12-27 필름 캐리어 테이프 제조용 플레이트 및 그것을 이용한필름 캐리어 테이프 제조 장치 KR200450083Y1 (ko)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07273153A (ja) * 1994-03-31 1995-10-20 Hitachi Cable Ltd フィルムキャリアテープのエッチング方法及びエッチング装置
JP2001185586A (ja) * 1999-12-27 2001-07-06 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 電子部品実装用フィルムキャリアテープのエッチング処理装置および電子部品実装用フィルムキャリアテープのエッチング処理方法
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