JPH08293660A - 基板のエッチング装置、および、基板のエッチング処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 先願（特願平５−８６０２０号）に係る基板
のエッチング装置を改良し、エッチングむらを防止する
という先願の発明の効果を妨げることなく、基板上下反
転機構にエッチング液が付着しないようにする。これ
は、付着したエッチング液が乾燥してエッチング剤が結
晶して析出し、該基板上下反転機構の円滑な作動を妨げ
る虞れの無いようにするためである。 【構成】 図示の機構は、コンベアＤの搬送方向（矢印
で示す）に、エッチング部Ｃ→水洗部Ｆ→水切部Ｇが配
列されているので、エッチングされたプリント基板（半
製品）は水洗，水切り、されて搬出される。従って、こ
れを図示しない基板上下反転機構に供給しても、該基板
上下反転機構にエッチング液が付着しない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板を製造す
るため、製造工程途中のプリント基板（以下、プリント
基板の半製品と言う）にエッチング液を接触せしめてエ
ッチング処理を施す方法、および同装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】多数のプリント基板を工業的に製造する
場合、製品品質の均一性を得るため、該多数のプリント
基板の半製品を均一にエッチング液と接触せしめること
が必要である。エッチング液に接触せしめる方法を大別
して浸漬法と噴霧法とが有り、それぞれ長短を有してい
るが、多数のプリント基板半製品を流れ作業でエッチン
グ処理することができ、エッチング作業条件の観察や制
御が容易であるという点で、該プリント基板半製品を一
定速度で搬送しつつ多数のエッチング液噴霧ノズルの前
方を通過させる工法が好適である。この場合、個々のプ
リント基板半製品の前面を同一条件でエッチング液に接
触せしめるという観点から、該プリント基板半製品を水
平姿勢に保持して搬送することが望ましい。図６は、多
数のプリント基板半製品を水平姿勢で搬送しつつエッチ
ング液を噴霧する方式のエッチング装置の従来例を示
し、その要部を模式的に描いた垂直断面図である。図７
は上記従来例に係るプリント基板エッチング装置の従来
例の要部を描いた平面図である。この図６，図７におい
て、図示しないプリント基板半製品は図の左方から、送
入コンベア１によって送り込まれ、図６に示したローラ
コンベア２によって図の右方に搬送されつつ、次に述べ
るようにしてエッチング液を噴霧され、次いで水洗され
る。本発明においてローラコンベアとは、ローラの長さ
寸法がローラ径よりも小さい円板状をなしているもの
（通称リングコンベア）も含む意である。

【０００３】上記ローラコンベア２は、上段ローラ列２
ｕと下段ローラ列２ｄとによって構成され、プリント基
板半製品（図示せず）を上下から挟みつけて搬送する構
造である。上記ローラコンベア２は、エッチング液槽３
を備えたエッチング室内を通過しその搬送路の上方に上
部エッチング液ノズル６ｕが配置されるとともに、該搬
送路の下方に下部エッチング液ノズル６ｄが配置されて
いる。エッチング液槽３内のエッチング液は、図７に示
したエッチング液ポンプ５に吸入，吐出され、図６に示
した上部ノズル管６ａ，下部ノズル管６ｂに圧送され、
前述した上部エッチング液ノズル６ｕおよび下部エッチ
ング液ノズル６ｄから噴霧される。ローラコンベアによ
ってエッチング室内を通過したプリント基板半製品（図
示せず）は、水洗機構４に搬入される。４ａは水槽、４
ｂは水ポンプ、４ｃは水ノズルである。前記エッチング
液槽３内には、エッチング液温を制御するための冷却コ
イル８およびヒータ（図示省略）が設置されている。加
工対称物であるプリント基板半製品（図示せず）は、ロ
ーラコンベア２によって図の左方から右方に向けて搬送
されつつ、エッチング液槽３，同３の上方を通過する間
に、上，下両方からエッチング液を噴霧され、その両面
をそれぞれエッチング加工される。図示の９は、作業状
態を観察するための覗き窓である。

【０００４】図６，図７に示した従来例のエッチング装
置においては、搬送されつつあるプリント基板半製品
（図示せず）は、その両面に均一なエッチング液噴霧を
受ける。本従来例においては、揺動機構７によってノズ
ル管６ａ，６ｂを揺動させており、その上、プリント基
板半製品は多数のノズル６ｕ，６ｄの前方を順次に通過
するので、噴霧を受けることの均一性は、実用上必要と
するレベルを充分にカバーしている。ところが、噴霧さ
れたエッチング液が液状となって流下し、若しくは液滴
となって落下することについては、均一性が充分でな
い。すなわち、プリント基板半製品の下面に噴霧された
エッチング液は早急に滴下して循環するが、プリント基
板半製品の上面に噴霧されたエッチング液は、該プリン
ト基板半製品が水平に保持されているため流れ淀んで液
溜りを形成する。その液溜りが出来るとエッチング処理
の全面均一性が失われ、エッチングむらを生じる。上記
のエッチングむらを防止する方法として、 ａ．プリント基板の半製品を水平に支承して水平方向に
搬送しつつ、その下方からエッチング液を噴射して片方
の面をエッチング処理し、 ｂ．片方の面をエッチング処理したプリント基板の上下
を反転し、 ｃ．上下反転されたプリント基板を水平に支承して水平
方向に搬送しつつ、その下方からエッチング液を噴射し
て他方の面をエッチング処理することが考えられる。ま
た、上記の方法を実施するため、 ａ．上記プリント基板の半製品を水平に支承しつつ水平
方向に搬送する搬送手段と、 ｂ．上記水平方向の搬送手段の途中に配置されて、搬送
されているプリント基板半製品の上下を反転させる反転
機構と、 ｃ．上記の水平方向に搬送されているプリント基板半製
品の下方からエッチング液を吹きつける手段と、を設け
ると好都合である。 上記の方法および装置は本発明者が創作して別途出願中
の発明（特願平５−８６０２０号）であって、以下、先
願の発明と言う。

【０００５】先願の発明によると、水平に保持されてい
るプリント基板半製品について、常に、下方を向いてい
る面のみがエッチング液の噴霧を受けてエッチング処理
され、上方を向いている面はエッチング液の噴霧を受け
ない。而して、上記の下側を向いている面に噴霧された
エッチング液は、地球引力の作用で迅速に滴下して循環
し、エッチングむらを生じない。そして、液溜りを生じ
てエッチングむらを生じる虞れの有る上面に対してはエ
ッチング液の噴霧が行われないので、均一なエッチング
加工が行われる。而して、プリント基板半製品は、エッ
チング処理を受けつつ搬送される途中で上下を反転され
るので、結果において両面ともに、それぞれ全面均一な
エッチング処理を施される。

【０００６】次に、図８および図９を参照しつつ先願の
発明に係る装置を用いて先願の発明のエッチング方法を
実施した１例について説明する。図８は先願の発明を適
用して構成したプリント基板エッチング装置の１例を示
す垂直断面図である。図９は上記実施例のプリント基板
エッチング装置の要部を模式的に描いた平面図である。
本実施例は、図６，図７に示した従来例のエッチング装
置に先願の発明を適用して改良したものであって、図
６，図７と同一の図面参照符号を付した水洗機構４，冷
却コイル８、および覗き窓９は、前記従来例におけると
同一ないし類似の構成部分である。先願の発明のエッチ
ング室は、エッチング液槽３Ａを備えた第１のエッチン
グ室Ａと、エッチング液槽３Ｂを備えた第２のエッチン
グ室Ｂとに区分され、両者の間に基板上下反転機構１４
が配置されている。上記のエッチング液槽３Ａ，同３Ｂ
の上方には、それぞれローラコンベア１０が設けられて
いて、プリント基板半製品（図示せず）を水平姿勢で搭
載し、図の左方から右方へ、水平方向に搬送するように
なっている。上記ローラコンベア１０の真近の上方に、
ベルトコンベアに類似の無端環状ゴムベルト１１が、駆
動プーリ１２ａと従動プーリ１２ｂとの間に巻き掛けら
れて回転駆動され、図示しないプリント基板半製品をロ
ーラコンベア１０と環状ゴムベルト１１との間に挟んで
搬送するようになっている。上記ローラコンベア１０の
下方に、従来例（図６）におけると類似の下部エッチン
グ液ノズル６ｄが列設されていて、プリント基板半製品
の下面に対してエッチング液を噴霧するようになってい
る。先ず、エッチング室Ａに搬入されたプリント基板半
製品（図示せず）は、ローラコンベア１０と環状ゴムベ
ルト１１との間に挟まれて図の右方へ送られつつ、その
下面にエッチング液を噴霧されて、該下面をエッチング
処理される。前述したごとく、下面に噴霧されたエッチ
ング液は迅速に滴下し、滞留すること無く循環するの
で、該下面は均一にエッチング加工される。排液，滞留
について困難を伴い、エッチングむらを生じる虞れの有
る上面は、環状ゴムベルト１１に密着していてエッチン
グ液に触れないので、エッチングむらを生じることが無
い。なお、本発明においてプリント基板半製品の上面，
下面とは、当該プリント基板の電気的特性や機械的構成
に基づく固有のものではなく、水平に保持された状態で
上になっている面，下になっている面を言うものであ
る。

【０００７】エッチング室Ａを通過して下面をエッチン
グ処理されたプリント基板半製品（図示せず）は、ベル
トコンベア１４ａによって基板上下反転機構１４内に搬
入される。すると反転機構駆動モータ１４ｂが作動し
て、回転胴１４ｃを１／２回転させ、収納されているプ
リント基板半製品（図示せず）の上下を反転させ、ベル
トコンベア１４ａによって図の右方に搬出し、エッチン
グ室Ｂに送り込む。このエッチング室Ｂは、原理的には
前述したエッチング室Ａと同様の構成であって、既にエ
ッチング処理された面を上に向けるとともに、未だエッ
チング処理されていない面を下に向けた水平な姿勢でプ
リント基板半製品（図示せず）を受け取り、図の右方に
向けて水平方向に搬送しつつ、下部エッチング液ノズル
６ｄからエッチング液を噴霧して、未エッチングの下面
にエッチング処理を施す。このエッチング室Ｂを通過す
る間、エッチング処理済みの上面は環状ゴムベルトに覆
われて保護されているので、科学的変化を受けない。エ
ッチング室Ｂを通過したプリント基板半製品（図示せ
ず）は、その両者をそれぞれ均一にエッチング処理され
て搬出され、水洗機構４に送り込まれて、従来例におけ
ると同様にして水洗処理される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明者は、以上に説
明した先願の発明（図８，図９）について実用化試験，
研究を進め、工業的生産状態において所期の効果（エッ
チングむら防止）を奏することを確認したが、こうした
工業的生産のため、次に述べるような改善が望まれるこ
とを発見，確認した。すなわち図８において、第１エッ
チング室Ａにおいて下側面をエッチング加工されたプリ
ント基板半製品（図示せず）は、エッチング液で濡れた
状態で基板上下反転機構１４に搬入されて上下を反転さ
れるので、この基板上下反転機構１４にエッチング液滴
が付着する。付着した液滴が乾燥するとエッチング剤が
結晶して析出し、基板上下反転機構の円滑，静粛な作動
を妨げる虞れが有る。本発明の第１の目的は、基板上下
反転機構の円滑，静粛な運転をエッチング剤の結晶析出
によって妨げる虞れの無いエッチング処理方法を提供す
ることである。そして本発明の第２の目的は、上記の発
明方法を実施するに好適であり、併せて、製造，運搬，
据付および運用に便利なように、コンパクトなユニット
構造と為し得るごとく改良した基板のエッチング装置を
提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに創作した本発明の基本的な原理を略述すると、前記
の先願に係る基板エッチング技術を母体とし、プリント
基板半製品の下側面をエッチング加工した後、これを上
下反転する前に、水洗・乾燥の工程を挿入する。上述の
原理に基づく具体的な工程として本発明に係るエッチン
グ処理方法は、 ａ．プリント基板半製品の片方の面を覆い、他方の面を
エッチング液に触れさせてエッチングし、 ｂ．片方の面をエッチングされたプリント基板半製品を
水洗した後、乾燥させ、 ｃ．乾燥させたプリント基板半製品の、エッチングされ
た面を覆い、未エッチング面をエッチング液に触れさせ
てエッチングし、 ｄ．両面をエッチングされたプリント基板半製品を水洗
し、乾燥することを特徴とする。

【００１０】また、上記の発明方法を容易に実施し得る
ように創作した本発明に係る基板のエッチング装置は、
プリント基板の半製品を水平に支承し、その下側面の少
なくとも一部分を露出させて水平方向に搬送するコンベ
アと、上記コンベアの搬送路の上流側に配置されて、搬
送されつつあるプリント基板半製品の下側面にエッチン
グ液を吹きつけるノズルを備えたエッチング部と、上記
コンベアによって水平姿勢で搬送されつつあるプリント
基板半製品の上側面に密着してエッチング液から遮断す
る上面保護機構と、前記コンベアの搬送方向に関してエ
ッチング部の下流側に配置され、搬送されつつあるプリ
ント基板半製品に水を吹きつけて洗浄する水洗部と、上
記搬送方向に関して水洗部の下流側に配置され、搬送さ
れつつあるプリント基板半製品に空気を吹きつけて乾燥
させる水切部と、を具備していることを特徴とする。

【００１１】

【作用】前記の方法によると、プリント基板半製品の片
方の面を覆って他方の面をエッチング液に触れさせるの
で、該片方の面にエッチングむらを生じないという先願
の発明における効果を妨げる虞れが無い。そして上記片
方の面を水洗，乾燥してから未エッチング面にエッチン
グ加工を施すので、この間にどのような手段でプリント
基板半製品を反転させても該反転用の手段にエッチング
液が付着しない。また前記の装置によれば、搬送方向に
関して下流側に水洗部と乾燥部とが設けられているの
で、片側面をエッチングされたプリント基板半製品が、
水洗，乾燥されてから上下反転機構に受渡しされるの
で、該上下反転機構にエッチング液が付着して該上下反
転機構の作動円滑性を阻害する虞れが無い。上述の作
用，効果から容易に理解し得るごとく、本発明の目的を
達成するための中心的な処理は水洗であって、乾燥は水
洗操作の後処理である。従って、本発明における乾燥と
は、必ずしも残留水分を完全に零ならしめる完全乾燥で
あることを要せず、微細な水滴が残存している状態（い
わゆる水切り）であっても良い。すなわち、本願発明の
技術的範囲は完全乾燥も不完全乾燥も包含している。

【００１２】

【実施例】図１は本発明に係る基板エッチング装置の１
実施例におけるエッチング部ＣとコンベアＤと上面保護
機構Ｅと水洗部Ｆと水切部Ｇとの概要的な配置を示し、
（ａ）は模式的に描いた平面図に基板の搬送方向を付記
した図、（ｂ）は同じく側面図である。図２は上記実施
例に係る基板エッチング装置のエッチング部とコンベア
と上面保護機構とを描いた側面図である。図３は上記実
施例に係る基板エッチング装置の水洗部と水切部とを拡
大して描いた側面図である。図４は上記実施例に係る基
板エッチング装置のエッチング部に配列されたエッチン
グノズル管の平面図である。図５は上記実施例に係る基
板エッチング装置におけるノズル管の構造を説明するた
めの端面図である。図１（ｂ）に示すごとく、装置の長
手方向に、水平なコンベアＤが設けられている。その搬
送路は付記した矢印のごとく図の左方から右方に向かっ
ている。

【００１３】上記コンベアＤの下方に、搬送方向につい
て上流側寄りにエッチング部Ｃが設けられていて、図示
しないプリント基板半製品は上記コンベアＤにより水平
姿勢で搬送されつつ、その下側面にエッチングノズルか
らエッチング液を吹きつけられる。このとき、該プリン
ト基板半製品の上側面は上面保護機構Ｅによって覆わ
れ、エッチング液に接触しないようになっている。上記
エッチング部Ｃを通過したプリント基板半製品は、水洗
部Ｆを通過しつつ水洗され、水切部Ｇで水切りされて図
の右方に搬出され、上下反転機構（図示せず）に供給さ
れ、水平姿勢で搬送されていた上下を反転されて、再
び、図示しない第２の基板エッチング装置に供給され
る。この第２の基板エッチング装置の構成は図１に示し
た構成と同様ないし類似である。すなわち、図１のよう
に構成された基板エッチング装置が一つのユニットを形
成し、２組のユニットが基板上下反転機構を介して一連
に設置されている。ここに一連にとは、一つの搬送ルー
トに沿って設置されていることを意味する。図２に示し
た２３はローラコンベアである。本発明を実施する際、
コンベアとしてはプリント基板半製品を水平に支承し、
しかも該プリント基板半製品の下側の面の少なくとも一
部を露出させて水平方向に搬送する構造のものが好適で
あって、例えばリングコンベアであっても良い。上記の
水平とは、測量学的に厳密な水平を意味するものではな
く、水放けのための僅かな勾配を有する場合も含まれ、
ほぼ水平であれば良い。図示の２４は上面保護機構とし
て設けた無端環状のゴムベルトであって、前記ローラコ
ンベア２３上を矢印Ｄのごとく搬送されるプリント基板
半製品（図示せず）の上側面に当接し、密着しつつ該プ
リント基板半製品の搬送速度と等しい周速で回転され
る。この環状ゴムベルト２４はプリント基板半製品を介
して従動回転させることもできるが、本実施例ではプー
リーを駆動モータ３０で回転させて駆動する。このよう
に構成した方が、該環状ゴムベルトとプリント基板半製
品との間にズレや摩擦を生じないので好都合である。

【００１４】２１ａ，２１ｂはエッチング液を貯えたエ
ッチング液槽であり、図４に示したエッチング液ポンプ
５に吸入，吐出されて、エッチングノズル管２２に穿た
れた多数のノズル孔から上方に向けて噴出せしめられ
る。噴出したエッチング液はローラコンベア２３の隙間
を通ってプリント基板半製品の下側面に吹きつけられ
る。上記エッチングノズル管２２は、プリント基板半製
品の搬送方向（矢印Ｄ）と若干交差する水平方向に、平
行に多数配列されている。これにより、矢印Ｄ方向に搬
送されるプリント基板半製品の面が均一にエッチング液
の吹きつけを受ける。上記エッチングノズル管２２の複
数本が、枠部材を介して着脱可能に相互に結合されてエ
ッチングノズル管枠２２′を構成している。この枠状に
結合されたエッチングノズル管のメンティナンス面の効
果については、図５を参照して後に詳述する。

【００１５】図３に示すごとく、ローラコンベア２３の
搬送方向（矢印Ｄ）に関してエッチング液槽２１ｂの下
流側に、水洗部の水槽２５が設けられ、さらにその下流
側に水切部のブロワ管２７が設けられている。本図３に
現われている環状ゴムベルト２３は前掲の図２に示した
環状ゴムベルト２３の右端部であり、駆動プーリに巻き
掛けられて駆動モータ３０で回転駆動されている。洗浄
用の清浄な水は新水ノズル管２６ａからプリント基板半
製品の下側面に吹きつけられ、流動して水槽２５に溜ま
る（流動経路については、図５を参照して後に詳述す
る）。この水槽２５内の水は水ポンプ２８で吸入，圧送
され、循環水洗ノズル管２６ｂからプリント基板半製品
（図示省略）に吹きつけて循環水洗される。上記の作用
をプリント基板半製品を基準として見ると、エッチング
部を通過した後、まず循環水洗ノズル管２６ｂから水槽
２５内の水を吹きつけられ、循環洗いによって下洗いさ
れた後、図の右方に送られて新水ノズル管２６ａから清
浄な水を吹きつけられて仕上げ洗いされる。仕上げ洗い
されたプリント基板半製品は、さらに図の右方へ送ら
れ、ブロワ２９の吐出空気をブロワ管２７から吹きつけ
られて概略乾燥（水切り）される。

【００１６】図５において、前述した環状ゴムベルト２
４の断面は２個所にに現われていて、２４ａその上辺、
２４ｂはその下辺である。上記環状ゴムベルトの下辺２
４ｂの下面がプリント基板半製品の上側面に密着して保
護機能を果たす部分である。前記環状ゴムベルトの下辺
２４ｂの両側、斜下方に、プリント基板半製品の搬送方
向（図５において紙面と直角）に平行な集水溝３０が設
けられていて、前記水洗部の新水ノズル管２６ａ（図３
参照）からプリント基板半製品に向けて吹きつけられた
洗浄水は流下して、図５の集水溝３０を流動して前記の
水槽２５（図３）に流入するようになっている。Ｗは集
水溝内の水面である。上記の水面Ｗと交差するように位
置せしめて水封板３１が配設されている。本実施例の水
封板３１は、紙面と直角方向に細長い垂直な長方板状を
なし、その下半部は水面Ｗの下方に位置するとともに、
その上端は環状ゴムベルト下辺２４ｂにほぼ接してい
る。これにより、エッチング液蒸気が周辺に流出せず、
防臭効果が果たされる。

【００１７】前掲の図４において述べたエッチングノズ
ル管枠２２′は、本図５に示すようにローラ３２で支持
されるとともに、図の左右方向（プリント基板半製品の
搬送方向と直角な水平方向）の移動可能に案内されてい
る。このエッチングノズル管枠２２′を揺動機構３３に
より短ストロークで反覆往復動させるとエッチングが均
一に行われる。また、このエッチングノズル管枠２２′
を仮想線で示したように装置の側方へ引き出すと、エッ
チングノズル管２２の点検，清掃，交換に便利である。

【００１８】

【発明の効果】本発明を適用すると、プリント基板半製
品の片方の面を覆って他方の面をエッチング液に触れさ
せるので、該片方の面にエッチングむらを生じないとい
う先願の発明における効果を妨げる虞れが無い。そして
上記片方の面を水洗，乾燥してから未エッチング面にエ
ッチング加工を施すので、この間にどのような手段でプ
リント基板半製品を反転させても該反転用の手段にエッ
チング液が付着しない。また前記の装置によれば、搬送
方向に関して下流側に水洗部と乾燥部とが設けられてい
るので、片側面をエッチングされたプリント基板半製品
が、水洗，乾燥されてから上下反転機構に受渡しされる
ので、該上下反転機構にエッチング液が付着して該上下
反転機構の作動円滑性を阻害する虞れが無いという優れ
た実用的効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板エッチング装置の１実施例に
おけるエッチング部ＣとコンベアＤと上面保護機構Ｅと
水洗部Ｆと水切部Ｇとの概要的な配置を示し、（ａ）は
模式的に描いた平面図に基板の搬送方向を付記した図、
（ｂ）は同じく側面図である。

【図２】上記実施例に係る基板エッチング装置のエッチ
ング部とコンベアと上面保護機構とを描いた側面図であ
る。

【図３】上記実施例に係る基板エッチング装置の水洗部
と水切部とを拡大して描いた側面図である。

【図４】上記実施例に係る基板エッチング装置のエッチ
ング部に配列されたエッチングノズル管の平面図であ
る。

【図５】上記実施例に係る基板エッチング装置における
ノズル管の構造を説明するための端面図である。

【図６】多数のプリント基板半製品を水平姿勢で搬送し
つつエッチング液を噴霧する方式のエッチング装置の従
来例を示し、その要部を模式的に描いた垂直断面図であ
る。

【図７】上記実施例に係るプリント基板エッチング装置
の従来例の要部を描いた平面図である。

【図８】先願の発明を適用して構成したプリント基板エ
ッチング装置の１例を示す垂直断面図である。

【図９】上記実施例のプリント基板エッチング装置の要
部を模式的に描いた平面図である。

【符号の説明】

１…送入コンベア、２…ローラコンベア、２ｕ…上段ロ
ーラ列、２ｄ…下段ローラ列、３，３Ａ，３Ｂ…エッチ
ング液槽、４…水洗機構、４ａ…水槽、４ｂ…水ポン
プ、４ｃ…水ノズル、５…エッチング液ポンプ、６ａ，
６ｂ…ノズル管、６ｕ…上部エッチング液ノズル、７…
揺動機構、８…冷却コイル、９…覗き窓、１０…ローラ
コンベア、１１…環状ゴムベルト、１２ａ…駆動プー
リ、１２ｂ…従動プーリ、１３…ゴムベルト駆動モー
タ、１４…基板上下反転機構、１４ａ…ベルトコンベ
ア、１４ｂ…反転機構駆動モータ、１４ｃ…回転胴、２
１ａ，２１ｂ…エッチング液槽、２２…エッチングノズ
ル管、２２′…エッチングノズル管枠、２３…ローラコ
ンベア、２４…環状ゴムベルト、２５…水槽、２６ａ…
新水ノズル管、２６ｂ…循環水洗ノズル管、２７…ブロ
ワ管、２８…水ポンプ、２９…ブロワ、３０…駆動モー
タ。

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【手続補正書】

【提出日】平成８年７月１５日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】 明細書

【発明の名称】 基板のエッチング装置、および、基板
のエッチング処理方法

【特許請求の範囲】

【請求項６】 前記の水洗部は、プリント基板半製品に
新水を吹きつける新水ノズルと、吹きつけられた水を回
収して貯える水槽と、上記水槽内の水をプリント基板半
製品に吹きつけて循環洗いする循環水洗ノズルとを具備
していることを特徴とする請求項５に記載した基板のエ
ッチング装置。

【請求項７】 前記上面保護機構を構成している無端環
状ベルトの側方に、前記新水ノズルからプリント基板半
製品に吹きつけられた水を集めて回収する溝が設けられ
ていて、この溝は集めた水を前記の水槽へ導くようにな
っており、 かつ、上記溝内の水面と交差するように位置せしめて水
封板が設けられていることを特徴とする、請求項６に記
載した基板のエッチング装置。

【請求項８】 プリント基板の半製品の両面を、それぞ
れエッチング液に接触せしめてエッチング処理する方法
において、 ａ．プリント基板半製品の片方の面を上面保護機構によ
り覆い、他方の面を下向きとしてエッチング液に触れさ
せてエッチングし、 ｂ．前記工程により他方の面をエッチングされたプリン
ト基板半製品からエッチング液を除去した後、 ｃ．前記工程により片面がエッチングされたプリント基
板半製品の、エッチングされた面を上面保護機構により
覆い、未エッチング面を下向きとしてエッチング液に触
れさせてエッチングし、 ｄ．前記各工程により両面をエッチングされたプリント
基板半製品を水洗し、乾燥することを特徴とする、基板
のエッチング処理方法。

【請求項９】 前記ａ項のエッチング加工およびｂ項の
除液はプリント基板半製品を水平姿勢に支承して水平方
向に搬送しつつ行ない、ｂ項の除液が終了してｃ項の工
程に入る前に、水平姿勢のプリント基板の上下を反転
し、再び水平姿勢に支承して水平方向に搬送しつつｃ項
のエッチング加工およびｄ項の水洗・乾燥を行なうこと
を特徴とする、請求項８に記載した基板のエッチング処
理方法。

【請求項１０】 前記ａ項およびｃ項において、プリン
ト基板半製品をエッチング液に触れさせる操作は、搬送
されているプリント基板半製品の下方からエッチング液
を吹きつけて行なうことを特徴とする、請求項８に記載
した基板のエッチング処理方法。

【請求項１１】 前記ａ項およびｃ項においてプリント
基板半製品の一方の面を上面保護機構により覆う操作
は、プリント基板半製品の上面に無端環状のベルトを密
着させて、プリント基板半製品の搬送速度と同じ周速で
該無端環状のベルトを回転させて行なうことを特徴とす
る、請求項８に記載した基板のエッチング処理方法。

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板を製造す
るため、製造工程途中のプリント基板（以下、プリント
基板の半製品と言う）にエッチング液を接触せしめてエ
ッチング処理を施す方法、および同装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】多数のプリント基板を工業的に製造する
場合、製品品質の均一性を得るため、該多数のプリント
基板の半製品を均一にエッチング液と接触せしめること
が必要である。エッチング液に接触せしめる方法には大
別して浸漬法と噴霧法とが有り、それぞれ長短を有して
いるが、多数のプリント基板半製品を流れ作業でエッチ
ング処理することができ、エッチング作業条件の観察や
制御が容易であるという点で、該プリント基板半製品を
一定速度で搬送しつつ多数のエッチング液噴霧ノズルの
前方を通過させる工法が好適である。

【０００３】この場合、個々のプリント基板半製品の全
面を同一条件でエッチング液に接触せしめるという観点
から、該プリント基板半製品を水平姿勢に保持して搬送
することが望ましい。図６は、多数のプリント基板半製
品を水平姿勢で搬送しつつエッチング液を噴霧する方式
のエッチング装置の従来例を示し、その要部を模式的に
描いた垂直断面図である。図７は上記従来例に係るプリ
ント基板エッチング装置の従来例の要部を描いた平面図
である。この図６，図７において、図示しないプリント
基板半製品は図の左方から、送入コンベア１によって送
り込まれ、図６に示したローラコンベア２によって図の
右方に搬送されつつ、次に述べるようにしてエッチング
液を噴霧され、次いで水洗される。本発明においてロー
ラコンベアとは、ローラの長さ寸法がローラ径よりも小
さい円板状をなしているもの（通称リングコンベア）も
含む意である。

【０００４】上記ローラコンベア２は、上段ローラ列２
ｕと下段ローラ列２ｄとによって構成され、プリント基
板半製品（図示せず）を上下から挟みつけて搬送する構
造である。上記ローラコンベア２は、エッチング液槽３
を備えたエッチング室内を貫通しており、その搬送路の
上方に上部エッチング液ノズル６ｕが配置されるととも
に、該搬送路の下方に下部エッチング液ノズル６ｄが配
置されている。エッチング液槽３内のエッチング液は、
図７に示したエッチング液ポンプ５に吸入，吐出され、
図６に示した上部ノズル管６ａ，下部ノズル管６ｂに圧
送され、前述した上部エッチング液ノズル６ｕおよび下
部エッチング液ノズル６ｄから噴霧される。ローラコン
ベアによってエッチング室内を通過したプリント基板半
製品（図示せず）は、水洗機構４に搬入される。４ａは
水槽、４ｂは水ポンプ、４ｃは水ノズルである。前記エ
ッチング液槽３内には、エッチング液温を制御するため
の冷却コイル８およびヒータ（図示省略）が設置されて
いる。加工対称物であるプリント基板半製品（図示せ
ず）は、ローラコンベア２によって図の左方から右方に
向けて搬送されつつ、エッチング液槽３の上方を通過す
る間に、上，下両方からエッチング液を噴霧され、その
両面をそれぞれエッチング加工される。図示の９は、作
業状態を観察するための覗き窓である。

【０００５】図６，図７に示した従来例のエッチング装
置においては、搬送されつつあるプリント基板半製品
（図示せず）は、その両面に均一なエッチング液噴霧を
受ける。本従来例においては、揺動機構７によってノズ
ル管６ａ，６ｂを揺動させており、かつ、プリント基板
半製品は多数のノズル６ｕ，６ｄの前方を順次に通過す
るので、噴霧を受けることの均一性は、実用上必要とす
るレベルを充分にカバーしている。ところが、噴霧され
たエッチング液が液状となって流下し、若しくは液滴と
なって落下することについては、プリント基板半製品の
上下面において大きく異なる。すなわち、プリント基板
半製品の下面に噴霧されたエッチング液は早急に滴下す
るが、プリント基板半製品の上面に噴霧されたエッチン
グ液は、該プリント基板半製品が水平に保持されている
ため流れ淀んで液溜りを形成する。その液溜りが出来る
とエッチング処理の全面均一性が失われ、エッチングむ
らを生じる。

【０００６】上記のエッチングむらを防止する方法とし
て、 ａ．プリント基板半製品を水平に支承して水平方向に搬
送しつつ、その下方からのみエッチング液を噴射して片
方の面をエッチング処理し、 ｂ．前記工程により、片方の面をエッチング処理したプ
リント基板の上下を反転し、 ｃ．上下反転されたプリント基板を水平に支承して水平
方向に搬送しつつ、その下方からのみエッチング液を噴
射して他方の面をエッチング処理することが考えられ
る。 また、上記の方法を実施するため、 ａ．上記プリント基板の半製品を水平に支承しつつ水平
方向に搬送する搬送手段と、 ｂ．上記水平方向の搬送手段の途中に配置されて、搬送
されているプリント基板半製品の上下を反転させる反転
機構と、 ｃ．上記反転機構の上流側と下流側とに、水平方向に搬
送されているプリント基板半製品の下方からのみエッチ
ング液を吹きつける手段を設けること、が考えられる。 上記の方法および装置は本発明者が創作して別途出願中
の発明（特開平６−３０２９３５号）であって、以下、
先願の発明と言う。

【０００７】前記先願の発明によると、水平に保持され
ているプリント基板半製品に対し、常に下方を向いてい
る面のみがエッチング液の噴霧を受けてエッチング処理
され、上方を向いている面はエッチング液の噴霧を受け
ない。そして、上記の下方を向いている面に噴霧された
エッチング液は引力の作用で迅速に滴下してエッチング
むらが生ずるおそれがなく、液溜りが生じてエッチング
むらを生じるおそれのある上面に対してはエッチング液
の噴霧が行われないので、上下を反転されたプリント基
板半製品は、結果として、両面ともにそれぞれ全面均一
なエッチング処理を施される。

【０００８】次に、図８および図９を参照しつつ先願の
発明に係る装置を用いて先願の発明のエッチング方法を
実施した１例について説明する。図８は先願の発明を適
用して構成したプリント基板エッチング装置の１例を示
す垂直断面図である。図９は上記実施例のプリント基板
エッチング装置の要部を模式的に描いた平面図である。
本実施例は、図６，図７に示した従来例のエッチング装
置に先願の発明を適用して改良したものであって、図
６，図７と同一の図面参照符号を付した水洗機構４，冷
却コイル８、および覗き窓９は、前記従来例におけると
同一ないし類似の構成部分である。先願の発明のエッチ
ング室は、エッチング液槽３Ａを備えた第１のエッチン
グ室Ａと、エッチング液槽３Ｂを備えた第２のエッチン
グ室Ｂとに区分され、両者の間に基板上下反転機構１４
が配置されている。上記のエッチング液槽３Ａ，同３Ｂ
の上方には、それぞれローラコンベア１０が設けられて
いて、プリント基板半製品（図示せず）を水平姿勢で搭
載し、図の左方から右方へ、水平方向に搬送するように
なっている。上記ローラコンベア１０の直上に、ベルト
コンベアに類似の無端環状ゴムベルト１１が、駆動プー
リ１２ａと従動プーリ１２ｂとの間に巻き掛けられて回
転駆動され、図示しないプリント基板半製品をローラコ
ンベア１０と環状ゴムベルト１１との間に挟んで搬送す
るようになっている。上記ローラコンベア１０の下方
に、従来例（図６）におけると同様の下部エッチング液
ノズル６ｄが列設されていて、プリント基板半製品の下
面に対してエッチング液を噴霧するようになっている。

【０００９】先ず、エッチング室Ａに搬入されたプリン
ト基板半製品（図示せず）は、ローラコンベア１０と環
状ゴムベルト１１との間に挟まれて図の右方へ送られつ
つ、その下面にエッチング液を噴霧されて、該下面をエ
ッチング処理される。前述したごとく、下面に噴霧され
たエッチング液は迅速に滴下し、滞留すること無く循環
するので、該下面は均一にエッチング加工される。排
液，滞留について困難を伴い、エッチングむらが生じる
虞れの有る上面は、環状ゴムベルト１１に密着していて
エッチング液が付着しないので、エッチングむらを生じ
ることが無い。なお、本発明においてプリント基板半製
品の上面，下面とは、当該プリント基板の電気的特性や
機械的構成に基づく固有のものではなく、水平に保持さ
れた状態で上になっている面を上面、下になっている面
を下面と言う。

【００１０】エッチング室Ａを通過して下面をエッチン
グ処理されたプリント基板半製品（図示せず）は、ベル
トコンベア１４ａによって基板上下反転機構１４内に搬
入される。すると、反転機構駆動モータ１４ｂが作動し
て、回転胴１４ｃを１／２回転させて収納されているプ
リント基板半製品（図示せず）の上下を反転させ、ベル
トコンベア１４ａによって図の右方に搬出し、エッチン
グ室Ｂに送り込む。このエッチング室Ｂは、前述したエ
ッチング室Ａと同様の構成であって、既にエッチング処
理された面を上に向けるとともに、未だエッチング処理
されていない面を下に向けた水平な姿勢でプリント基板
半製品（図示せず）を受け取り、図の右方に向けて水平
方向に搬送しつつ、下部エッチング液ノズル６ｄからエ
ッチング液を噴霧して、未エッチングの下面にエッチン
グ処理を施す。このエッチング室Ｂを通過する間、エッ
チング処理済みの上面は環状ゴムベルトに覆われて保護
されているので、下面エッチング処理による影響は受け
ない。エッチング室Ｂを通過したプリント基板半製品
（図示せず）は、前記の如くしてその両面をそれぞれ均
一にエッチング処理されて搬出され、水洗機構４に送り
込まれて、従来例におけると同様にして水洗処理され
る。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本発明者は、以上に説
明した先願の発明（図８，図９）について実用化試験，
研究を進めた結果、工業的実施状態において所期のエッ
チングむら防止効果を奏し得ることを確認したが、それ
とともに、次に述べるような新たな問題が生ずることを
知った。すなわち、図８において、第１エッチング室Ａ
において下面をエッチング加工されたプリント基板半製
品（図示せず）は、エッチング液で濡れた状態で基板上
下反転機構１４に搬入されて上下を反転されるので、こ
の基板上下反転機構１４にエッチング液滴が落下して付
着し、この付着した液滴が乾燥するとエッチング剤が結
晶して析出し、基板上下反転機構の円滑な作動を妨げる
おそれがあることを知った。本発明の第１の目的は、エ
ッチング液滴の結晶析出によって基板上下反転機構の円
滑な運転を妨げる虞れの無いエッチング処理方法を提供
することである。そして本発明の第２の目的は、上記の
発明方法を実施するに好適であり、併せて、製造，運
搬，据付および運用に便利なように、コンパクトなユニ
ット構造と為し得るごとく改良した基板のエッチング装
置を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに創作した本発明の基本的な原理を略述すると、前記
の先願に係る基板エッチング技術を母体とし、プリント
基板半製品の下面をエッチング加工した後、これを上下
反転する前に、プリント基板半製品に付着したエッチン
グ液を除去する工程を挿入する。上述の原理に基づく具
体的な工程として本発明に係るエッチング処理方法は、 ａ．プリント基板半製品の片方の面を上面保護機構によ
り覆い、他方の面を下向きとしてエッチング液に触れさ
せてエッチングし、 ｂ．前記工程により他方の面をエッチングされたプリン
ト基板半製品からエッチング液を除去した後、 ｃ．前記工程により片面がエッチングされたプリント基
板半製品の、エッチングされた面を上面保護機構により
覆い、未エッチング面を下向きとしてエッチング液に触
れさせてエッチングし、 ｄ．前記各工程により両面をエッチングされたプリント
基板半製品を水洗し、乾燥することを特徴とする。

【００１３】また、上記の発明方法を容易に実施し得る
ように創作した本発明に係る基板のエッチング装置は、
プリント基板半製品を水平に支承し、その下面の少なく
とも一部分を露出させて水平方向に搬送するコンベア
と、上記コンベアの搬送路の上流側に配置されて、搬送
されつつあるプリント基板半製品の下面にエッチング液
を吹きつけるノズルを備えたエッチング部と、上記コン
ベアによって水平姿勢で搬送されつつあるプリント基板
半製品の上面に密着してプリント基板半製品の上面にエ
ッチング液が付着するのを防止する上面保護機構と、前
記コンベアの搬送方向に関してエッチング部の下流側に
配置され、搬送されつつあるプリント基板半製品の下面
に付着したエッチング液を除去する除液部と、を具備し
ていることを特徴とする。

【００１４】

【作用】前記の方法によると、プリント基板半製品の片
方の面を上面保護機構により覆い、他方の面を下向きと
してエッチングした後、そのプリント基板半製品を反転
させ、未エッチング面を下向きとしてエッチングするの
で、プリント基板の両面ともエッチングむらが生じない
という先願発明の効果を奏し得ることは勿論であるが、
本発明においては、上記片方の面をエッチングした後、
そのプリント基板半製品に付着したエッチング液を除去
してから未エッチング面にエッチング加工を施すので、
この間にどのような手段でプリント基板半製品を反転さ
せても該反転用の手段にエッチング液が付着するおそれ
がない。また前記の装置によれば、搬送方向に関してエ
ッチング部の下流側に除液部が設けられているので、片
面をエッチングされたプリント基板半製品からエッチン
グ液が除去されてから上下反転機構に受渡しされること
となり、該上下反転機構にエッチング液が付着して上下
反転機構の作動円滑性を阻害する虞れが無い。上述の作
用，効果から容易に理解し得るごとく、本発明の目的を
達成するための中心的な処理は、プリント基板半製品の
反転時にエッチング液が滴下しないようにエッチング液
を除去することである。従って、本発明における除液と
は、残留水分を完全に零ならしめる完全乾燥であること
を要せず、湿気が残存している状態（いわゆる水切り）
であっても良い。すなわち、本願発明の除液には完全乾
燥も不完全乾燥も包含している。

【００１５】

【実施例】図１は本発明に係る基板エッチング装置の１
実施例における、エッチング部Ｃと、コンベアＤと、上
面保護機構Ｅと、水洗部Ｆと水切部Ｇとよりなる除液部
Ｈとの概要的な配置を示し、（ａ）は模式的に描いた平
面図に基板の搬送方向を付記した図、（ｂ）は同じく側
面図である。図２は上記実施例に係る基板エッチング装
置のエッチング部とコンベアと上面保護機構とを描いた
側面図である。図３は上記実施例に係る基板エッチング
装置の水洗部と水切部とを拡大して描いた側面図であ
る。図４は上記実施例に係る基板エッチング装置のエッ
チング部に配列されたエッチングノズル管の平面図であ
る。図５は上記実施例に係る基板エッチング装置におけ
るノズル管の構造を説明するための端面図である。

【００１６】図１（ｂ）に示すごとく、装置の長手方向
に、水平なコンベアＤが設けられている。その搬送路は
付記した矢印のごとく図の左方から右方に向かってい
る。上記コンベアＤの下方に、搬送方向について上流側
寄りにエッチング部Ｃが設けられていて、図示しないプ
リント基板半製品は上記コンベアＤにより水平姿勢で搬
送されつつ、その下面にエッチングノズルからエッチン
グ液を吹きつけられる。このとき、該プリント基板半製
品の上面は上面保護機構Ｅによって覆われ、エッチング
液が付着しないようになっている。

【００１７】上記エッチング部Ｃを通過したプリント基
板半製品の下面は、水洗部Ｆを通過する間に水洗され、
水切部Ｇで水切りされて図の右方に搬出され、上下反転
機構（図示せず）に供給され、水平姿勢で搬送されてい
た上下を反転されて、再び、図示しない第２の基板エッ
チング装置に供給される。この第２の基板エッチング装
置の構成は図１に示した構成と同様である。すなわち、
図１のように構成された基板エッチング装置が一つのユ
ニットを形成し、２組のユニットが基板上下反転機構を
介して一連に設置されている。ここに一連にとは、一つ
の搬送ルートに沿って設置されていることを意味する。

【００１８】ただし、本発明の方法を実施するための基
板エッチング装置は、前記の如く、２組のユニットが基
板上下反転機構を介して一連に設置されているものに限
定されるものではない。すなわち、図１のように構成さ
れた基板エッチング装置を２台設置し、その第１の基板
エッチング装置によってプリント基板半製品の一方の面
をエッチングした後、そのプリント基板半製品の上下を
反転して第２の基板エッチング装置に送り込み、該第２
の基板エッチング装置により他方の面をエッチングする
こともできる。あるいは、図１のように構成された基板
エッチング装置を１台設置し、その１台の基板エッチン
グ装置によってプリント基板半製品の一方の面をエッチ
ングした後、その片面エッチングずみのプリント基板半
製品の上下を反転し、同じ基板エッチング装置に再びプ
リント基板半製品を送り込んで他方の面をエッチングす
ることもできる。

【００１９】図２に示した２３はローラコンベアであ
る。本発明を実施する際、コンベアとしてはプリント基
板半製品を水平に支承し、しかも該プリント基板半製品
の下面の少なくとも一部を露出させて水平方向に搬送す
る構造のものが好適であって、例えばリングコンベアで
あっても良い。上記の水平とは厳密な水平を意味するも
のではなく、水はけのための僅かな勾配を有する場合も
含まれ、ほぼ水平であれば良い。

【００２０】図示の２４は上面保護機構として設けた無
端環状のゴムベルトであって、前記ローラコンベア２３
上を矢印Ｄのごとく搬送されるプリント基板半製品（図
示せず）の上面に当接し、密着しつつ該プリント基板半
製品の搬送速度と等しい周速で回転される。この環状ゴ
ムベルト２４は、プリント基板半製品を介して従動回転
させることもできるが、本実施例ではプーリーを駆動モ
ータ３０で回転させて駆動する。このように構成した方
が、該環状ゴムベルト２４とプリント基板半製品との間
にズレや摩擦を生じないので好都合である。

【００２１】２１ａ，２１ｂはエッチング液を貯えたエ
ッチング液槽であり、図４に示したエッチング液ポンプ
５に吸入，吐出されて、エッチングノズル管２２に穿た
れた多数のノズル孔から上方に向けて噴出せしめられ
る。噴出したエッチング液はローラコンベア２３の隙間
を通ってプリント基板半製品の下面に吹きつけられる。
上記エッチングノズル管２２は、プリント基板半製品の
搬送方向（矢印Ｄ）と若干交差する水平方向に、平行に
多数配列されている。これにより、矢印Ｄ方向に搬送さ
れるプリント基板半製品の下面に均一なエッチング液の
吹きつけを受ける。上記エッチングノズル管２２の複数
本が、枠部材を介して着脱可能に相互に結合されてエッ
チングノズル管枠２２′を構成している。この枠状に結
合されたエッチングノズル管のメンティナンス面の効果
については、図５を参照して後に詳述する。

【００２２】図３に示すごとく、ローラコンベア２３の
搬送方向（矢印Ｄ）に関してエッチング液槽２１ｂの下
流側に、水洗部の水槽２５が設けられ、さらにその下流
側に水切部のブロワ管２７が設けられている。本図３に
現われている環状ゴムベルト２３は前掲の図２に示した
環状ゴムベルト２３の右端部であり、駆動プーリに巻き
掛けられて駆動モータ３０で回転駆動されている。

【００２３】洗浄用の清浄な水は新水ノズル管２６ａか
らプリント基板半製品の下面に吹きつけられ、流動して
水槽２５に溜まる（流動経路については、図５を参照し
て後に詳述する）。この水槽２５内の水は水ポンプ２８
で吸入，圧送され、循環水洗ノズル管２６ｂからプリン
ト基板半製品（図示省略）に吹きつけられてプリント基
板半製品に付着していたエッチング液を洗い落す。

【００２４】上記の作用をプリント基板半製品を基準と
して見ると、エッチング部を通過した後、まず循環水洗
ノズル管２６ｂから水槽２５内の水を吹きつけられ、循
環洗いによって下洗いされた後、図の右方に送られて新
水ノズル管２６ａから清浄な水を吹きつけられて仕上げ
洗いされる。仕上げ洗いされたプリント基板半製品は、
さらに図の右方へ送られ、ブロワ２９の吐出空気をブロ
ワ管２７から吹きつけられて水切り（乾燥）される。

【００２５】図５において、前述した環状ゴムベルト２
４の断面は２個所にに現われていて、２４ａその上辺、
２４ｂはその下辺である。上記環状ゴムベルトの下辺２
４ｂの下面がプリント基板半製品の上面に密着して保護
機能を果たす部分である。前記環状ゴムベルトの下辺２
４ｂの両側の斜下方に、プリント基板半製品の搬送方向
（図５において紙面と直角）に平行な集水溝３０が設け
られていて、前記水洗部の新水ノズル管２６ａ（図３参
照）からプリント基板半製品に向けて吹きつけられた洗
浄水が流下し、図５の集水溝３０を流動して前記の水槽
２５（図３）に流入するようになっている。Ｗは集水溝
内の水面である。

【００２６】上記の水面Ｗと交差するように位置せしめ
て水封板３１が配設されている。本実施例の水封板３１
は、紙面と直角方向に細長い垂直な長方板状をなし、そ
の下半部は水面Ｗの下方に位置するとともに、その上端
は環状ゴムベルト下辺２４ｂにほぼ接している。これに
より、エッチング液蒸気が周辺に流出せず、防臭効果が
果たされる。

【００２７】なお、前記の実施例においては、水洗部Ｆ
と水切部Ｇとにより除液部Ｈを構成したものについて述
べたが、本発明はこのような構成の除液のみに限定され
るものではない。すなわち、本発明の中心的な処理はプ
リント基板半製品の反転時にエッチング液が滴下しない
ようにエッチング液を除去することであるから、プリン
ト基板半製品に付着したエッチング液を拭い取るように
してもよい。

【００２８】前掲の図４において述べたエッチングノズ
ル管枠２２′は、本図５に示すようにローラ３２で支持
されるとともに、図の左右方向（プリント基板半製品の
搬送方向と直角な水平方向）の移動可能に案内されてい
る。このエッチングノズル管枠２２′を揺動機構３３に
より短ストロークで反覆往復動させると、エッチング作
用が一層均一に行われる。また、このエッチングノズル
管枠２２′を仮想線で示したように装置の側方へ引き出
すと、エッチングノズル管２２の点検，清掃，交換に便
利である。

【００２９】

【発明の効果】本発明の方法を適用すると、プリント基
板半製品の両面に対しそれぞれ下方からエッチング液を
触れさせてエッチングするので、エッチングむらが生じ
ないという先願発明における効果を発揮すると共に、そ
の場合、先にエッチングした片方の面からエッチング液
を除去してから未エッチング面にエッチング加工を施す
ので、この間にどのような手段でプリント基板半製品を
反転させても、その反転用の手段にエッチング液が付着
するおそれがない。また本発明の装置によれば、搬送方
向に関してエッチング部より下流側にエッチング液の除
去部が設けられているので、片面をエッチングされたプ
リント基板半製品からエッチング液が除去されてから上
下反転機構に受渡しされることとなり、該上下反転機構
にエッチング液が付着して該上下反転機構の作動円滑性
を阻害する虞れが無くなり、エッチングむらのない基板
のエッチング装置の実用化をはかることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板エッチング装置の１実施例に
おけるエッチング部Ｃと、コンベアＤと、上面保護機構
Ｅと、水洗部Ｆと水切部Ｇとよりなる除液部Ｈの概要的
な配置を示し、（ａ）は模式的に描いた平面図に基板の
搬送方向を付記した図、（ｂ）は同じく側面図である。

【図２】上記実施例に係る基板エッチング装置のエッチ
ング部とコンベアと上面保護機構とを描いた側面図であ
る。

【図３】上記実施例に係る基板エッチング装置の、水洗
部と水切部とよりなる除液部を拡大して描いた側面図で
ある。

【図４】上記実施例に係る基板エッチング装置のエッチ
ング部に配列されたエッチングノズル管の平面図であ
る。

【図５】上記実施例に係る基板エッチング装置における
ノズル管の構造を説明するための端面図である。

【図６】多数のプリント基板半製品を水平姿勢で搬送し
つつエッチング液を噴霧する方式のエッチング装置の従
来例を示し、その要部を模式的に描いた垂直断面図であ
る。

【図７】上記実施例に係るプリント基板エッチング装置
の従来例の要部を描いた平面図である。

【図８】先願の発明を適用して構成したプリント基板エ
ッチング装置の１例を示す垂直断面図である。

【図９】上記プリント基板エッチング装置の要部を模式
的に描いた平面図である。

【符号の説明】 １…送入コンベア、２…ローラコンベア、２ｕ…上段ロ
ーラ列、２ｄ…下段ローラ列、３，３Ａ，３Ｂ…エッチ
ング液槽、４…水洗機構、４ａ…水槽、４ｂ…水ポン
プ、４ｃ…水ノズル、５…エッチング液ポンプ、６ａ，
６ｂ…ノズル管、６ｕ…上部エッチング液ノズル、７…
揺動機構、８…冷却コイル、９…覗き窓、１０…ローラ
コンベア、１１…環状ゴムベルト、１２ａ…駆動プー
リ、１２ｂ…従動プーリ、１３…ゴムベルト駆動モー
タ、１４…基板上下反転機構、１４ａ…ベルトコンベ
ア、１４ｂ…反転機構駆動モータ、１４ｃ…回転胴、２
１ａ，２１ｂ…エッチング液槽、２２…エッチングノズ
ル管、２２′…エッチングノズル管枠、２３…ローラコ
ンベア、２４…環状ゴムベルト、２５…水槽、２６ａ…
新水ノズル管、２６ｂ…循環水洗ノズル管、２７…ブロ
ワ管、２８…水ポンプ、２９…ブロワ、３０…駆動モー
タ。

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プリント基板の半製品を水平に支承し、
   その下側面の少なくとも一部分を露出させて水平方向に
   搬送するコンベアと、 上記コンベアの搬送路の上流側に配置されて、搬送され
   つつあるプリント基板半製品の下側面にエッチング液を
   吹きつけるノズルを備えたエッチング部と、 上記コンベアによって水平姿勢で搬送されつつあるプリ
   ント基板半製品の上側面に密着してエッチング液から遮
   断する上面保護機構と、 前記コンベアの搬送方向に関してエッチング部の下流側
   に配置され、搬送されつつあるプリント基板半製品に水
   を吹きつけて洗浄する水洗部と、 上記搬送方向に関して水洗部の下流側に配置され、搬送
   されつつあるプリント基板半製品に空気を吹きつけて乾
   燥させる水切部と、 を具備していることを特徴とする、基板のエッチング装
   置。
2. 【請求項２】 前記のコンベアとエッチング部と上面保
   護機構と水洗部と水切部とが１組のユニットを形成して
   おり、上記ユニットの２組が、基板上下反転機構を介し
   て一連に設置されていることを特徴とする、請求項１に
   記載した基板のエッチング装置。
3. 【請求項３】 前記のコンベアは、搬送方向と直角な水
   平方向の回転軸を有するローラコンベアないしリングコ
   ンベアであって、前記のノズルは上記コンベアの隙間を
   通して該コンベア上のプリント基板半製品に対してエッ
   チング液を吹きつけるものであることを特徴とする、請
   求項１に記載した基板のエッチング装置。
4. 【請求項４】 前記の上面保護機構は、コンベア上を搬
   送されているプリント基板半製品の上側面に接触，密着
   しつつ、該コンベアの搬送速度と同じ周速で回転する無
   端環状のベルトであることを特徴とする、請求項１に記
   載した基板のエッチング装置。
5. 【請求項５】 前記の水洗部は、プリント基板半製品に
   新水を吹きつける新水ノズルと、吹きつけられた水を回
   収して貯える水槽と、上記水槽内の水をプリント基板半
   製品に吹きつけて循環洗いする循環水洗ノズルとを具備
   していることを特徴とする請求項１に記載した基板のエ
   ッチング装置。
6. 【請求項６】 前記上面保護機構を構成している無端環
   状ベルトの側方に、前記新水ノズルからプリント基板半
   製品に吹きつけられた水を集めて回収する溝が設けられ
   ていて、この溝は集めた水を前記の水槽へ導くようにな
   っており、 かつ、上記溝内の水面と交差するように位置せしめて水
   封板が設けられていることを特徴とする、請求項５に記
   載した基板のエッチング装置。
7. 【請求項７】 プリント基板の半製品の両面を、それぞ
   れエッチング液に接触せしめてエッチング処理する方法
   において、 ａ．プリント基板半製品の片方の面を覆い、他方の面を
   エッチング液に触れさせてエッチングし、 ｂ．片方の面をエッチングされたプリント基板半製品を
   水洗した後、乾燥させ、 ｃ．乾燥させたプリント基板半製品の、エッチングされ
   た面を覆い、未エッチング面をエッチング液に触れさせ
   てエッチングし、 ｄ．両面をエッチングされたプリント基板半製品を水洗
   し、乾燥することを特徴とする、基板のエッチング処理
   方法。
8. 【請求項８】 前記ａ項のエッチング加工およびｂ項の
   水洗・乾燥はプリント基板半製品を水平姿勢に支承して
   水平方向に搬送しつつ行ない、ｂ項の乾燥が終了してｃ
   項の工程に入る前に、水平姿勢のプリント基板の上下を
   反転し、再び水平姿勢に支承して水平方向に搬送しつつ
   ｃ項のエッチング加工およびｄ項の水洗・乾燥を行なう
   ことを特徴とする、請求項７に記載した基板のエッチン
   グ処理方法。
9. 【請求項９】 前記ａ項およびｃ項においてプリント基
   板半製品をエッチング液に触れさせる操作は、搬送され
   ているプリント基板半製品の下方からエッチング液を吹
   きつけて行なうことを特徴とする、請求項８に記載した
   基板のエッチング処理方法。
10. 【請求項１０】 前記ａ項およびｃ項においてプリント
    基板半製品にエッチング液を触れさせない方の面を覆う
    操作は、無端環状のベルトを密着させて、プリント基板
    半製品の搬送速度と同じ周速で該無端環状のベルトを回
    転させて行なうことを特徴とする、請求項８に記載した
    基板のエッチング処理方法。
11. 【請求項１１】 前記のプリント基板半製品にエッチン
    グ液を吹きつける操作は、複数個のノズル孔を穿った多
    数のエッチング液ノズル管にエッチング液を圧送供給し
    て行ない、 かつ、上記多数のエッチング液ノズル管を予め平行に配
    列してエッチングノズル管枠を構成しておき、該エッチ
    ング液ノズル管が損耗したとき、上記エッチングノズル
    管枠をエッチング装置の側方に引き出し、損耗したエッ
    チング液ノズル管の清掃，補修もしくは交換を行なった
    後、該エッチングノズル管枠をエッチング装置内に押し
    込んで収納，設置することを特徴とする、請求項７もし
    くは同８に記載した基板のエッチング処理方法。