CN113964064B - 一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及蚀刻技术领域，尤其是一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备，包括支撑座，所述支撑座的顶部固定安装有蚀刻池，所述蚀刻池用于存放蚀刻液供蚀刻使用，所述蚀刻池的上方设有多个壳体，多个壳体的顶部共同设有水平传动机构，所述水平传动机构用于带动壳体进行水平传动所述壳体的底部通过弹性支撑机构固定连接有两个蚀刻板；在水平传动机构带动多对壳体从左往右移动的过程中，并在引导机构和弹性支撑机构联合作用下借助两个蚀刻板将引线框架夹持住，引导机构将夹持有引线框架的每对蚀刻板带入放置有蚀刻液的蚀刻池内，并且蚀刻液会漫入蚀刻孔内对需要蚀刻的地方进行蚀刻处理。

Description

一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备

技术领域

本发明涉及蚀刻领域，尤其涉及一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备。

背景技术

引线框架是集成电路的芯片载体，是一种借助键合材料实现芯心内部电路引出端与外引线的电气连接，形成电气回路的关键结构件，在使用引线框架时，需要进行蚀刻去除引线框架表面不需要的部位。

现有技术公开了部分关于蚀刻的专利文件，申请号为201920941748.X的中国专利，公开了一种引线框架流水线用蚀刻设备的专利，包括蚀刻池和支架，支架位于蚀刻池一侧，支架上端设置有导轨，导轨沿蚀刻池长度方向设置并使其长度大于蚀刻池长度，导轨中部呈内凹设置，两端呈水平设置，所述导轨上端滑动设置有多个滑动件，滑动件上向下设置有连杆一，连杆一下端延伸出导轨并设置有蚀刻箱，所述滑动件上向上设置有连杆二，连杆二上设置有弹性回复件，弹性回复件上端设置有可用于带动弹性回复件沿蚀刻池长度方向移动的水平传动机构。

引线框架在蚀刻时大多利用蚀刻箱进行辅助蚀刻，将待蚀刻的引线框架放置在蚀刻箱内，然后将蚀刻箱沉入装有蚀刻液的蚀刻池中，反应一端时间后取出蚀刻箱，并从蚀刻箱内取下蚀刻好的引线框架，从蚀刻池中取出蚀刻完成后的蚀刻箱时，现有的蚀刻设备过于简单不方便对蚀刻箱表面的蚀刻液进行清理，在蚀刻箱从蚀刻池内往外移出的过程中，其表面会沾附有蚀刻液，沾附在蚀刻箱表面的蚀刻液，一方面会在移动的过程中滴落在蚀刻池外，造成蚀刻液的浪费，影响蚀刻的工作环境，另一方面由于蚀刻液的腐蚀性，会影响工作人员对蚀刻箱内部的引线框架的取出，给工作人员造成伤害，为此，我们提出了一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备。

为达到以上目的，本发明采用的技术方案为：一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备，包括支撑座，所述支撑座的顶部固定安装有蚀刻池，所述蚀刻池用于存放蚀刻液供蚀刻使用，所述蚀刻池的上方设有多个壳体，多个所述壳体的顶部共同设有水平传动机构，所述水平传动机构用于带动壳体进行水平传动所述壳体的底部通过弹性支撑机构固定连接有两个蚀刻板，所述弹性支撑机构用于提供维持两个蚀刻板张开的弹性趋势力，所述蚀刻板的侧面开设有放置槽，所述蚀刻板的侧面呈线性开设有多个蚀刻孔，所述壳体的两侧均设有引导机构，所述引导机构用于对壳体的移动路径进行引导，所述蚀刻池的顶部设有刮液机构，所述刮液机构用于将蚀刻板表面附着的蚀刻液进行刮动，所述蚀刻池的右侧设有清洗机构，所述清洗机构用于将刮动后的蚀刻板表面进行清洗；工作时，引线框架在蚀刻时大多利用蚀刻箱进行辅助蚀刻，将待蚀刻的引线框架放置在蚀刻箱内，然后将蚀刻箱沉入装有蚀刻液的蚀刻池中，反应一端时间后取出蚀刻箱，并从蚀刻箱内取下蚀刻好的引线框架，从蚀刻池中取出蚀刻完成后的蚀刻箱时，现有的蚀刻设备过于简单不方便对蚀刻箱表面的蚀刻液进行清理，在蚀刻箱从蚀刻池内往外移出的过程中，其表面会沾附有蚀刻液，沾附在蚀刻箱表面的蚀刻液，一方面会在移动的过程中滴落在蚀刻池外，造成蚀刻液的浪费，影响蚀刻的工作环境，另一方面由于蚀刻液的腐蚀性，会影响工作人员对蚀刻箱内部的引线框架的取出，给工作人员造成伤害，本技术方案可解决以上技术问题，具体实施方式如下，在水平传动机构带动多对壳体从左往右移动的过程中，工作人员将引线框架放置在放置槽内，并在引导机构和弹性支撑机构联合作用下借助两个蚀刻板将引线框架夹持住，每对蚀刻板侧面的放置槽均与所要蚀刻的引线框架相适配，随着水平传动机构的继续往右传动，引导机构将夹持有引线框架的每对蚀刻板带入放置有蚀刻液的蚀刻池内，并且蚀刻液会漫入蚀刻孔内对需要蚀刻的地方进行蚀刻处理，蚀刻完成后继续在引导机构的引导下，将夹持有引线框架的蚀刻板往刮液机构的一侧进行移动，借助刮液机构将蚀刻板表面附着的蚀刻液刮至蚀刻池内，避免附着在壳体表面的蚀刻液掉落至蚀刻池外部，减少携带而造成对蚀刻液的浪费，防止蚀刻液滴落至蚀刻池外部而污染蚀刻环境，随后利用清洗机构对蚀刻板的表面进行冲洗，将蚀刻孔内的蚀刻液冲洗处，避免附着在蚀刻板两侧的蚀刻液对工作人员造成伤害，清洗完成后的蚀刻板再次在引导机构的作用下，松开对引线框架的夹持后，自动实现卸料，无需人工操作，水平传动机构将壳体传动复位。

优选的，所述水平传动机构包括驱动齿轮和从动齿轮，所述驱动齿轮和从动齿轮的表面共同传动连接有同步带，所述同步带的表面等距固定连接有多个气弹簧，所述气弹簧的伸缩端与壳体固定连接；工作时，通过电机带动驱动齿轮进行转动，在借助从动齿轮的同步传动，即可实现同步带的传送效果，从而有利于带动壳体的进行同步传动，设置的气弹簧方便给壳体提供弹性支撑，随着壳体的移动进行伸缩，有利于促使壳体沿着引导机构进行移动，其中电机的安装位置不做限位，采用现有的安装方式即可，如设置安装架，安装架上固定电机，电机的输出轴一端与驱动齿轮固定连接，只要能实现带动驱动齿轮转动即可。

优选的，所述弹性支撑机构包括空腔，所述空腔对称开设在壳体的底部，所述空腔的内壁之间固定连接有矩形块，所述矩形块的表面滑动连接有滑动板，所述滑动板的侧面与空腔的内壁之间固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧套设在矩形块的表面上，所述滑动板的下端延伸至壳体外部后与蚀刻板的顶部固定连接；工作时，设置的第一弹簧对连接有蚀刻板的滑动板进行支撑，方便工作人员将引线框架放置在放置槽内，随着壳体的移动，在引导机构的辅助下，推动两个滑动板沿着矩形块压缩第一弹簧相向进行移动，从而带动两个蚀刻板相向进行移动，借助放置槽实现对引线框架的夹持，进而在蚀刻板移动至蚀刻池内时，蚀刻液穿过蚀刻孔对放置槽内的引线框架进行蚀刻处理。

优选的，所述引导机构包括第一支撑块、滑动柱和固定柱，所述第一支撑块对称固定安装在蚀刻池顶部的边沿处，两个所述第一支撑块的顶部共同固定连接有引导轨，所述引导轨的侧面依次设有第一引导面、第二引导面和第三引导面，所述引导轨的顶部固定连接有两个第二支撑块，两个所述第二支撑块顶部共同固定连接有轨道，所述轨道的侧面依次开设有相连通的第一导槽、第二导槽、第三导槽、第四导槽和第五导槽，所述滑动柱对称固定连接在壳体面向轨道的两侧，所述滑动柱的一端插设进第一导槽内，所述固定柱固定安装在滑动板面向引导轨的一侧，所述固定柱的端部转动安装有滚珠，所述滚珠的侧面与引导轨的侧面相接触；工作时，引线框架在蚀刻后，工作人员需及时将引线框架从蚀刻液中移出，操作不便，增加工作人员工作强度，本技术方案可解决以上问题，具体实施方式如下，随着水平传动机构带着壳体从左往右进行移动时，安装在壳体两侧的滑动柱会先沿着第一导槽进行水平移动，同时安装在固定柱端部的滚珠沿着第一引导面往第二引导面进行滑动，在滚珠从第一引导面往第二引导面滑动的过程中，压缩弹性支撑机构实现对两个蚀刻板的挤压，方便将放置在放置槽内的引线框架进行稳定夹持，为后续的蚀刻提供稳定状态，当滑动柱沿着第二导槽往第三导槽滑动时，在第二导槽的引导下，将夹持有引线框架的蚀刻板移至蚀刻池内的蚀刻液中，在滑动柱沿着第三导槽滑动的过程中，蚀刻板均处于蚀刻液内，从而方便蚀刻液穿过蚀刻孔对引线框架表面需要蚀刻的部位进行蚀刻处理，滑动柱继续往右从第四导槽滑至第五导槽的过程中，带动壳体沿着第四导槽斜向上进行移动，同时将蚀刻好的引线框架斜向上进行带动至蚀刻池的外部，并随着壳体继续传动，该实施方式有利于带动引线框架自动完成蚀刻和及时取出的过程，解放工作人员双手，缓解劳动强度，提高了整个蚀刻工作的自动化能力。

优选的，所述刮液机构包括第一刮板、滑轮和两个长块，所述第一刮板对称固定安装在蚀刻池的顶部，所述第一刮板的刮动侧与蚀刻板侧面相接触，所述第一刮板的顶部固定安装有两个第一滑杆，两个所述第一滑杆的表面共同滑动连接有移动板，所述第一滑杆远离蚀刻板的一端与移动板之间固定连接有第三弹簧，所述第三弹簧套设在第一滑杆的表面，所述移动板的侧面对称开设有倾斜面，所述移动板的底部固定安装有刮刀，所述滑轮对称固定安装在蚀刻板的表面，所述滑轮的侧面与移动板的侧面相接触，两个所述第一刮板的侧面共同固定连接有第二刮板，所述第二刮板的刮动侧与蚀刻板的侧面相接触，两个所述长块固定安装在靠近第二刮板一侧的蚀刻池顶部，两个所述长块的顶部共同转动连接有多个吸收卷；工作时，现有的引线框架通过蚀刻箱进行蚀刻后，附着在蚀刻箱表面的蚀刻服不易被及时刮动下，从而使得表面的蚀刻液被蚀刻箱带动至蚀刻池的外部，造成蚀刻液的浪费，影响蚀刻环境，本技术方案可解决以上问题，具体实施方式如下，当滑动柱沿着第三导槽进行滑动时，安装在蚀刻板表面的滑轮会与移动板一端的倾斜面相接触，并随着蚀刻板的继续移动，会带动滑轮推动移动板沿着第一滑杆压缩第三弹簧进行移动，并且安装在两个移动板底部的刮刀随着移动板一同进行移动，从而方便蚀刻板的一侧继续往右进行移动至第二刮板的一侧，此时滑轮沿着移动板的表面移动经过至其右侧的倾斜面，第三弹簧复原产生冲击力推动连接有刮刀的移动板复位，使得刮刀的刮刀面与蚀刻板的侧面相接触，然后在壳体沿着引导机构中的第四导槽斜向上进行移动的过程中，会同时带动蚀刻板斜向上进行移动，从而方便与蚀刻板侧面相接触的第一刮板、第二刮板以及刮刀将蚀刻板侧面沾附的蚀刻液刮下，避免沾附在蚀刻板侧面的蚀刻液滴落在蚀刻池外部造成蚀刻液的浪费，在蚀刻板从蚀刻液中移出随着引导机构水平移动经过吸收卷时，吸收卷会对蚀刻板底部的蚀刻液进行吸收，实现了对蚀刻板表面的多位置清理，有利于全面彻底地对蚀刻液进行清理，避免蚀刻液浪费现象的发生，节约资源。

优选的，所述第一刮板的顶部设有喷气机构，所述喷气机构用于将蚀刻孔内的蚀刻液集中吹出，所述喷气机构包括拨动板齿、箱体和气流箱，所述拨动板齿对称固定安装在壳体的底部，所述箱体固定安装在第一刮板的顶部，所述箱体内密封滑动连接有推动板，所述推动板面向拨动板齿的一侧固定连接有圆柱，所述圆柱的一端贯穿箱体并延伸至其外部后固定连接有齿牙，所述齿牙与拨动板齿相适配，所述推动板面向所述拨动板齿的一侧与箱体之间固定连接有多个第二弹簧，所述箱体内远离第二弹簧的一侧固定连通有进气单向阀和出气单向阀，所述气流箱固定安装在第一刮板的底部，所述出气单向阀通过软管与气流箱固定连通，所述气流箱面向蚀刻板的一侧等距开设有一排喷射口，所述喷射口用于对蚀刻孔内的蚀刻液进行吹动；工作时，安装在壳体底部的拨动板齿随着壳体进行斜向上移动时，拨动板齿会撞击与其相适配的齿牙一侧，使得齿牙侧面受力借助圆柱推动推动板拉伸第二弹簧进行移动，在推动板沿着箱体内部进行移动时，会挤压箱体内部的气流从出气单向阀经过软管流至气流箱内，并借助气流箱侧面的喷射口往蚀刻孔的表面进行吹动，设置的喷射口方便将吹出的气流集中吹向蚀刻孔内，从而有利于将蚀刻孔内沾附的不易被刮出的蚀刻液吹出，实现对蚀刻孔的清理，拨动板齿侧面的凸齿对齿牙拨动时，便可将箱体内部的气流通过喷射口往蚀刻孔内进行喷射，拨动板齿侧面的凸齿取消对齿牙的拨动时，第二弹簧复原从而拉动推动板沿着箱体复位，方便外部的气流从进气单向阀进入箱体内进行存储，有利于下次拨动板齿拨动齿牙将箱体内的气流挤压出，从而在拨动板齿和齿牙的配合拨动下，实现对箱体内部的气流进行间歇式推动，有利于在蚀刻孔移至喷射口处时，喷射口喷出气流将蚀刻孔内部的蚀刻液吹至蚀刻池内，避免蚀刻孔内部的蚀刻液滴落下蚀刻池的外部造成蚀刻液的浪费。

优选的，所述清洗机构包括水池和水泵，所述水池固定安装在支撑座的顶部边缘，所述水池的顶部对称固定安装有支撑座，所述支撑座的顶部固定安装有水箱，两个所述水箱相对的一侧等距开设有多个喷洒孔，两个所述水箱相对的一侧固定安装有第二滑杆，所述第二滑杆的表面滑动连接有固定座，所述固定座的底部与第二滑杆的下端之间共同固定连接有第四弹簧，所述固定座的侧面固定连接有连接板，所述连接板与水箱的侧面滑动连接，所述水箱的端部固定连接有密封板，所述连接板的表面固定连接有L型固定板，所述L型固定板的左侧开设有斜面，所述斜面与滑轮相适配，所述水泵固定安装在支撑座的顶部边沿，所述水泵的进水口通过管道与外部供水机构相连通，所述水泵出水口通过管道分别与两个水箱相固定连通，所述水箱面向蚀刻池的一侧固定安装有第一挡板；工作时，滑动柱带动壳体移至引导机构最右侧的第五导槽时，安装在蚀刻板侧面的滑轮会触碰推动斜面，使得斜面受力推动L型固定板带动连接板借助固定座沿着第二滑杆压缩第四弹簧下移，同时带动密封板下移，下移的密封板取消对水箱侧面喷洒孔的遮挡，然后方便水泵将外部供水机构中的水通过管道传输进水箱内，并通过喷洒孔喷洒出，从喷洒孔喷洒出的水有利于对蚀刻板侧面蚀刻孔内残留的蚀刻液进行清洗，有利于将蚀刻孔内部蚀刻液清理干净，同时喷洒出的水也方便对蚀刻板的侧面进行清洗，避免蚀刻板表面残留未刮走的蚀刻液在工作人员放置引线框架时，对工作人员造成伤害，设置的第一挡板，在喷洒孔喷洒水对蚀刻板的侧面进行清理时，该第一挡板可对喷洒出的水进行遮挡，避免喷洒的水从水箱的一侧溅到蚀刻池内，影响蚀刻液的处理蚀刻效果，设置的第四弹簧，在滑轮取消对L型固定板顶部的斜面挤压时，第四弹簧复原利用连接板带动密封板复位对喷洒孔及时进行密封遮挡，避免喷洒孔一直喷洒水，造成水资源浪费现象的发生。

优选的，所述水池的右侧对称固定安装有凸板，两个凸板之间设有传送机构，所述传送机构用于对引线框架进行传送，所述凸板的顶部固定安装有第二挡板；工作时，随者壳体移动至引导机构上的第五导槽右侧时，滚珠滑动至第三引导面，随后弹性支撑机构复原，带动两个蚀刻板往相反的方向分开，从而方便放置槽内的引线框架从蚀刻板之间掉至下方的传送机构的上的并被传送机构传送走，设置的第二挡板，方便掉落的引线框架进行阻挡，避免引线框架从传送机构的顶部滑落现象的发生。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

1、在水平传动机构带动多对壳体从左往右移动的过程中，并在引导机构和弹性支撑机构联合作用下借助两个蚀刻板将引线框架夹持住，随着水平传动机构的继续往右传动，引导机构将夹持有引线框架的每对蚀刻板带入放置有蚀刻液的蚀刻池内，并且蚀刻液会漫入蚀刻孔内对需要蚀刻的地方进行蚀刻处理，蚀刻完成后继续在引导机构的引导下，将夹持有引线框架的蚀刻板往刮液机构的一侧进行移动，借助刮液机构将蚀刻板表面附着的蚀刻液刮至蚀刻池内，避免附着在壳体表面的蚀刻液掉落至蚀刻池外部，造成蚀刻液的浪费。

2、当滑动柱沿着第三导槽进行滑动时，安装在蚀刻板表面的滑轮会与移动板一端的倾斜面相接触，并随着蚀刻板的继续移动，会带动滑轮推动移动板沿着第一滑杆压缩第三弹簧进行移动，并且安装在两个移动板底部的刮刀随着移动板一同进行移动，从而方便蚀刻板的一侧继续往右进行移动至第二刮板的一侧，从而方便在蚀刻板移动时第一刮板、第二刮板以及刮刀将其侧面沾附的蚀刻液刮下，避免沾附在蚀刻板侧面的蚀刻液滴落在蚀刻池外部造成蚀刻液的浪费，节约资源。

3、拨动板齿侧面的凸齿对齿牙拨动时，便可将箱体内部的气流通过喷射口往蚀刻孔内进行喷射，拨动板齿侧面的凸齿取消对齿牙的拨动时，第二弹簧复原从而拉动推动板沿着箱体复位，方便外部的气流从进气单向阀进入箱体内进行存储，有利于下次拨动板齿拨动齿牙将箱体内的气流挤压出。

附图说明

图1为本发明正视结构示意图；

图2为本发明引导轨和轨道结构示意图；

图3为本发明第一局部剖视图；

图4为本发明图3中A处放大结构示意图；

图5为本发明蚀刻孔和放置槽结构示意图；

图6为本发明第二局部剖视图；

图7为本发明图6中B处放大结构示意图；

图8为本发明气流箱结构示意图；

图9为本发明第三局部剖视图；

图10为本发明图9中C处放大结构示意图；

图11为本发明刮刀和第二刮板结构示意图；

图12为本发明第四局部剖视图；

图13为本发明传送机构和第二挡板结构示意图；

图14为本发明图13中D处放大结构示意图。

图中：1、支撑座；2、蚀刻池；3、第一支撑块；4、引导轨；401、第一引导面；402、第二引导面；403、第三引导面；5、第二支撑块；6、轨道；601、第一导槽；602、第二导槽；603、第三导槽；604、第四导槽；605、第五导槽；7、壳体；701、空腔；8、矩形块；9、滑动板；10、第一弹簧；11、滑动柱；12、固定柱；13、滚珠；14、蚀刻板；15、蚀刻孔；16、放置槽；17、滑轮；18、拨动板齿；19、气弹簧；20、驱动齿轮；21、从动齿轮；22、同步带；23、第一刮板；24、箱体；25、推动板；26、第二弹簧；27、圆柱；28、齿牙；29、进气单向阀；30、出气单向阀；31、气流箱；3101、喷射口；32、第一滑杆；33、第三弹簧；34、移动板；35、刮刀；36、第二刮板；37、长块；38、吸收卷；39、水池；40、水泵；41、支撑座；42、水箱；43、喷洒孔；44、第二滑杆；45、连接板；46、固定座；47、第四弹簧；48、密封板；49、L型固定板；50、斜面；51、第一挡板；52、凸板；53、传送机构；54、第二挡板。

具体实施方式

以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。

如图1至图14所示的一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备，包括支撑座1，支撑座1的顶部固定安装有蚀刻池2，蚀刻池2用于存放蚀刻液供蚀刻使用，蚀刻池2的上方设有多个壳体7，多个壳体7的顶部共同设有水平传动机构，水平传动机构用于带动壳体7进行水平传动壳体7的底部通过弹性支撑机构固定连接有两个蚀刻板14，弹性支撑机构用于提供维持两个蚀刻板14张开的弹性趋势力，蚀刻板14的侧面开设有放置槽16，蚀刻板14的侧面呈线性开设有多个蚀刻孔15，壳体7的两侧均设有引导机构，引导机构用于对壳体7的移动路径进行引导，蚀刻池2的顶部设有刮液机构，刮液机构用于将蚀刻板14表面附着的蚀刻液进行刮动，蚀刻池2的右侧设有清洗机构，清洗机构用于将刮动后的蚀刻板14表面进行清洗；工作时，引线框架在蚀刻时大多利用蚀刻箱进行辅助蚀刻，将待蚀刻的引线框架放置在蚀刻箱内，然后将蚀刻箱沉入装有蚀刻液的蚀刻池中，反应一端时间后取出蚀刻箱，并从蚀刻箱内取下蚀刻好的引线框架，从蚀刻池中取出蚀刻完成后的蚀刻箱时，现有的蚀刻设备过于简单不方便对蚀刻箱表面的蚀刻液进行清理，在蚀刻箱从蚀刻池内往外移出的过程中，其表面会沾附有蚀刻液，沾附在蚀刻箱表面的蚀刻液，一方面会在移动的过程中滴落在蚀刻池外，造成蚀刻液的浪费，影响蚀刻的工作环境，另一方面由于蚀刻液的腐蚀性，会影响工作人员对蚀刻箱内部的引线框架的取出，给工作人员造成伤害，本技术方案可解决以上技术问题，具体实施方式如下，在水平传动机构带动多对壳体7从左往右移动的过程中，工作人员将引线框架放置在放置槽16内，并在引导机构和弹性支撑机构联合作用下借助两个蚀刻板14将引线框架夹持住，每对蚀刻板14侧面的放置槽16均与所要蚀刻的引线框架相适配，随着水平传动机构的继续往右传动，引导机构将夹持有引线框架的每对蚀刻板14带入放置有蚀刻液的蚀刻池2内，并且蚀刻液会漫入蚀刻孔15内对需要蚀刻的地方进行蚀刻处理，蚀刻完成后继续在引导机构的引导下，将夹持有引线框架的蚀刻板14往刮液机构的一侧进行移动，借助刮液机构将蚀刻板14表面附着的蚀刻液刮至蚀刻池2内，避免附着在壳体7表面的蚀刻液掉落至蚀刻池2外部，减少携带而造成对蚀刻液的浪费，防止蚀刻液滴落至蚀刻池2外部而污染蚀刻环境，随后利用清洗机构对蚀刻板14的表面进行冲洗，将蚀刻孔15内的蚀刻液冲洗处，避免附着在蚀刻板14两侧的蚀刻液对工作人员造成伤害，清洗完成后的蚀刻板14再次在引导机构的作用下，松开对引线框架的夹持后，自动实现卸料，无需人工操作，水平传动机构将壳体7传动复位。

作为本发明的一种实施例，水平传动机构包括驱动齿轮20和从动齿轮21，驱动齿轮20和从动齿轮21的表面共同传动连接有同步带22，同步带22的表面等距固定连接有多个气弹簧19，气弹簧19的伸缩端与壳体7固定连接；工作时，通过电机带动驱动齿轮20进行转动，在借助从动齿轮21的同步传动，即可实现同步带22的传送效果，从而有利于带动壳体7的进行同步传动，设置的气弹簧19方便给壳体7提供弹性支撑，随着壳体7的移动进行伸缩，有利于促使壳体7沿着引导机构进行移动，其中电机的安装位置不做限位，采用现有的安装方式即可，如设置安装架，安装架上固定电机，电机的输出轴一端与驱动齿轮20固定连接，只要能实现带动驱动齿轮20转动即可。

作为本发明的一种实施例，弹性支撑机构包括空腔701，空腔701对称开设在壳体7的底部，空腔701的内壁之间固定连接有矩形块8，矩形块8的表面滑动连接有滑动板9，滑动板9的侧面与空腔701的内壁之间固定连接有第一弹簧10，第一弹簧10套设在矩形块8的表面上，滑动板9的下端延伸至壳体7外部后与蚀刻板14的顶部固定连接；工作时，设置的第一弹簧10对连接有蚀刻板14的滑动板9进行支撑，方便工作人员将引线框架放置在放置槽16内，随着壳体7的移动，在引导机构的辅助下，推动两个滑动板9沿着矩形块8压缩第一弹簧10相向进行移动，从而带动两个蚀刻板14相向进行移动，借助放置槽16实现对引线框架的夹持，进而在蚀刻板14移动至蚀刻池2内时，蚀刻液穿过蚀刻孔15对放置槽16内的引线框架进行蚀刻处理。

作为本发明的一种实施例，引导机构包括第一支撑块3、滑动柱11和固定柱12，第一支撑块3对称固定安装在蚀刻池2顶部的边沿处，两个第一支撑块3的顶部共同固定连接有引导轨4，引导轨4的侧面依次设有第一引导面401、第二引导面402和第三引导面403，引导轨4的顶部固定连接有两个第二支撑块5，两个第二支撑块5顶部共同固定连接有轨道6，轨道6的侧面依次开设有相连通的第一导槽601、第二导槽602、第三导槽603、第四导槽604和第五导槽605，滑动柱11对称固定连接在壳体7面向轨道6的两侧，滑动柱11的一端插设进第一导槽601内，固定柱12固定安装在滑动板9面向引导轨4的一侧，固定柱12的端部转动安装有滚珠13，滚珠13的侧面与引导轨4的侧面相接触；工作时，引线框架在蚀刻后，工作人员需及时将引线框架从蚀刻液中移出，操作不便，增加工作人员工作强度，本技术方案可解决以上问题，具体实施方式如下，随着水平传动机构带着壳体7从左往右进行移动时，安装在壳体7两侧的滑动柱11会先沿着第一导槽601进行水平移动，同时安装在固定柱12端部的滚珠13沿着第一引导面401往第二引导面402进行滑动，在滚珠13从第一引导面401往第二引导面402滑动的过程中，压缩弹性支撑机构实现对两个蚀刻板14的挤压，方便将放置在放置槽16内的引线框架进行稳定夹持，为后续的蚀刻提供稳定状态，当滑动柱11沿着第二导槽602往第三导槽603滑动时，在第二导槽602的引导下，将夹持有引线框架的蚀刻板14移至蚀刻池2内的蚀刻液中，在滑动柱11沿着第三导槽603滑动的过程中，蚀刻板14均处于蚀刻液内，从而方便蚀刻液穿过蚀刻孔15对引线框架表面需要蚀刻的部位进行蚀刻处理，滑动柱11继续往右从第四导槽604滑至第五导槽605的过程中，带动壳体7沿着第四导槽604斜向上进行移动，同时将蚀刻好的引线框架斜向上进行带动至蚀刻池2的外部，并随着壳体7继续传动，该实施方式有利于带动引线框架自动完成蚀刻和及时取出的过程，解放工作人员双手，缓解劳动强度，提高了整个蚀刻工作的自动化能力。

作为本发明的一种实施例，刮液机构包括第一刮板23、滑轮17和两个长块37，第一刮板23对称固定安装在蚀刻池2的顶部，第一刮板23的刮动侧与蚀刻板14侧面相接触，第一刮板23的顶部固定安装有两个第一滑杆32，两个第一滑杆32的表面共同滑动连接有移动板34，第一滑杆32远离蚀刻板14的一端与移动板34之间固定连接有第三弹簧33，第三弹簧33套设在第一滑杆32的表面，移动板34的侧面对称开设有倾斜面，移动板34的底部固定安装有刮刀35，滑轮17对称固定安装在蚀刻板14的表面，滑轮17的侧面与移动板34的侧面相接触，两个第一刮板23的侧面共同固定连接有第二刮板36，第二刮板36的刮动侧与蚀刻板14的侧面相接触，两个长块37固定安装在靠近第二刮板36一侧的蚀刻池2顶部，两个长块37的顶部共同转动连接有多个吸收卷38；工作时，现有的引线框架通过蚀刻箱进行蚀刻后，附着在蚀刻箱表面的蚀刻服不易被及时刮动下，从而使得表面的蚀刻液被蚀刻箱带动至蚀刻池2的外部，造成蚀刻液的浪费，影响蚀刻环境，本技术方案可解决以上问题，具体实施方式如下，当滑动柱11沿着第三导槽603进行滑动时，安装在蚀刻板14表面的滑轮17会与移动板34一端的倾斜面相接触，并随着蚀刻板14的继续移动，会带动滑轮17推动移动板34沿着第一滑杆32压缩第三弹簧33进行移动，并且安装在两个移动板34底部的刮刀35随着移动板34一同进行移动，从而方便蚀刻板14的一侧继续往右进行移动至第二刮板36的一侧，此时滑轮17沿着移动板34的表面移动经过至其右侧的倾斜面，第三弹簧33复原产生冲击力推动连接有刮刀35的移动板34复位，使得刮刀35的刮刀面与蚀刻板14的侧面相接触，然后在壳体7沿着引导机构中的第四导槽604斜向上进行移动的过程中，会同时带动蚀刻板14斜向上进行移动，从而方便与蚀刻板14侧面相接触的第一刮板23、第二刮板36以及刮刀35将蚀刻板14侧面沾附的蚀刻液刮下，避免沾附在蚀刻板14侧面的蚀刻液滴落在蚀刻池2外部造成蚀刻液的浪费，在蚀刻板14从蚀刻液中移出随着引导机构水平移动经过吸收卷38时，吸收卷38会对蚀刻板14底部的蚀刻液进行吸收，实现了对蚀刻板14表面的多位置清理，有利于全面彻底地对蚀刻液进行清理，避免蚀刻液浪费现象的发生，节约资源。

作为本发明的一种实施例，第一刮板23的顶部设有喷气机构，喷气机构用于将蚀刻孔15内的蚀刻液集中吹出，喷气机构包括拨动板齿18、箱体24和气流箱31，拨动板齿18对称固定安装在壳体7的底部，箱体24固定安装在第一刮板23的顶部，箱体24内密封滑动连接有推动板25，推动板25面向拨动板齿18的一侧固定连接有圆柱27，圆柱27的一端贯穿箱体24并延伸至其外部后固定连接有齿牙28，齿牙28与拨动板齿18相适配，推动板25面向拨动板齿18的一侧与箱体24之间固定连接有多个第二弹簧26，箱体24内远离第二弹簧26的一侧固定连通有进气单向阀29和出气单向阀30，气流箱31固定安装在第一刮板23的底部，出气单向阀30通过软管与气流箱31固定连通，气流箱31面向蚀刻板14的一侧等距开设有一排喷射口3101，喷射口3101用于对蚀刻孔15内的蚀刻液进行吹动；工作时，安装在壳体7底部的拨动板齿18随着壳体7进行斜向上移动时，拨动板齿18会撞击与其相适配的齿牙28一侧，使得齿牙28侧面受力借助圆柱27推动推动板25拉伸第二弹簧26进行移动，在推动板25沿着箱体24内部进行移动时，会挤压箱体24内部的气流从出气单向阀30经过软管流至气流箱31内，并借助气流箱31侧面的喷射口3101往蚀刻孔15的表面进行吹动，设置的喷射口3101方便将吹出的气流集中吹向蚀刻孔15内，从而有利于将蚀刻孔15内沾附的不易被刮出的蚀刻液吹出，实现对蚀刻孔15的清理，拨动板齿18侧面的凸齿对齿牙28拨动时，便可将箱体24内部的气流通过喷射口3101往蚀刻孔15内进行喷射，拨动板齿18侧面的凸齿取消对齿牙28的拨动时，第二弹簧26复原从而拉动推动板25沿着箱体24复位，方便外部的气流从进气单向阀29进入箱体24内进行存储，有利于下次拨动板齿18拨动齿牙28将箱体24内的气流挤压出，从而在拨动板齿18和齿牙28的配合拨动下，实现对箱体24内部的气流进行间歇式推动，有利于在蚀刻孔15移至喷射口3101处时，喷射口3101喷出气流将蚀刻孔15内部的蚀刻液吹至蚀刻池2内，避免蚀刻孔15内部的蚀刻液滴落下蚀刻池2的外部造成蚀刻液的浪费。

作为本发明的一种实施例，清洗机构包括水池39和水泵40，水池39固定安装在支撑座1的顶部边缘，水池39的顶部对称固定安装有支撑座41，支撑座41的顶部固定安装有水箱42，两个水箱42相对的一侧等距开设有多个喷洒孔43，两个水箱42相对的一侧固定安装有第二滑杆44，第二滑杆44的表面滑动连接有固定座46，固定座46的底部与第二滑杆44的下端之间共同固定连接有第四弹簧47，固定座46的侧面固定连接有连接板45，连接板45与水箱42的侧面滑动连接，水箱42的端部固定连接有密封板48，连接板45的表面固定连接有L型固定板49，L型固定板49的左侧开设有斜面50，斜面50与滑轮17相适配，水泵40固定安装在支撑座1的顶部边沿，水泵40的进水口通过管道与外部供水机构相连通，水泵40出水口通过管道分别与两个水箱42相固定连通，水箱42面向蚀刻池2的一侧固定安装有第一挡板51；工作时，滑动柱11带动壳体7移至引导机构最右侧的第五导槽605时，安装在蚀刻板14侧面的滑轮17会触碰推动斜面50，使得斜面50受力推动L型固定板49带动连接板45借助固定座46沿着第二滑杆44压缩第四弹簧47下移，同时带动密封板48下移，下移的密封板48取消对水箱42侧面喷洒孔43的遮挡，然后方便水泵40将外部供水机构中的水通过管道传输进水箱42内，并通过喷洒孔43喷洒出，从喷洒孔43喷洒出的水有利于对蚀刻板14侧面蚀刻孔15内残留的蚀刻液进行清洗，有利于将蚀刻孔15内部蚀刻液清理干净，同时喷洒出的水也方便对蚀刻板14的侧面进行清洗，避免蚀刻板14表面残留未刮走的蚀刻液在工作人员放置引线框架时，对工作人员造成伤害，设置的第一挡板51，在喷洒孔43喷洒水对蚀刻板14的侧面进行清理时，该第一挡板51可对喷洒出的水进行遮挡，避免喷洒的水从水箱42的一侧溅到蚀刻池2内，影响蚀刻液的处理蚀刻效果，设置的第四弹簧47，在滑轮17取消对L型固定板49顶部的斜面50挤压时，第四弹簧47复原利用连接板45带动密封板48复位对喷洒孔43及时进行密封遮挡，避免喷洒孔43一直喷洒水，造成水资源浪费现象的发生。

作为本发明的一种实施例，水池39的右侧对称固定安装有凸板52，两个凸板52之间设有传送机构53，传送机构53用于对引线框架进行传送，凸板52的顶部固定安装有第二挡板54；工作时，随者壳体7移动至引导机构上的第五导槽605右侧时，滚珠13滑动至第三引导面403，随后弹性支撑机构复原，带动两个蚀刻板14往相反的方向分开，从而方便放置槽16内的引线框架从蚀刻板14之间掉至下方的传送机构53的上的并被传送机构53传送走，设置的第二挡板54，方便掉落的引线框架进行阻挡，避免引线框架从传送机构53的顶部滑落现象的发生。

本发明工作原理：

根据说明书图1至图14所示，在水平传动机构带动多对壳体7从左往右移动的过程中，工作人员将引线框架放置在放置槽16内，并在引导机构和弹性支撑机构联合作用下借助两个蚀刻板14将引线框架夹持住，每对蚀刻板14侧面的放置槽16均与所要蚀刻的引线框架相适配，随着水平传动机构的继续往右传动，引导机构将夹持有引线框架的每对蚀刻板14带入放置有蚀刻液的蚀刻池2内，并且蚀刻液会漫入蚀刻孔15内对需要蚀刻的地方进行蚀刻处理，蚀刻完成后继续在引导机构的引导下，将夹持有引线框架的蚀刻板14往刮液机构的一侧进行移动，借助刮液机构将蚀刻板14表面附着的蚀刻液刮至蚀刻池2内，避免附着在壳体7表面的蚀刻液掉落至蚀刻池2外部，减少携带而造成对蚀刻液的浪费，防止蚀刻液滴落至蚀刻池2外部而污染蚀刻环境，随后利用清洗机构对蚀刻板14的表面进行冲洗，将蚀刻孔15内的蚀刻液冲洗处，避免附着在蚀刻板14两侧的蚀刻液对工作人员造成伤害，清洗完成后的蚀刻板14再次在引导机构的作用下，松开对引线框架的夹持后，自动实现卸料，无需人工操作，水平传动机构将壳体7传动复位。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内，本发明要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (8)

1.一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备，包括支撑座(1)，其特征在于，所述支撑座(1)的顶部固定安装有蚀刻池(2)，所述蚀刻池(2)用于存放蚀刻液供蚀刻使用，所述蚀刻池(2)的上方设有多个壳体(7)，多个所述壳体(7)的顶部共同设有水平传动机构，所述水平传动机构用于带动壳体(7)进行水平传动,所述壳体(7)的底部通过弹性支撑机构固定连接有两个蚀刻板(14)，所述弹性支撑机构用于提供维持两个蚀刻板(14)张开的弹性趋势力，所述蚀刻板(14)的侧面开设有放置槽(16)，所述蚀刻板(14)的侧面呈线性开设有多个蚀刻孔(15)，所述壳体(7)的两侧均设有引导机构，所述引导机构用于对壳体(7)的移动路径进行引导，所述蚀刻池(2)的顶部设有刮液机构，所述刮液机构用于将蚀刻板(14)表面附着的蚀刻液进行刮动，所述蚀刻池(2)的右侧设有清洗机构，所述清洗机构用于将刮动后的蚀刻板(14)表面进行清洗。

2.根据权利要求1所述的一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备，其特征在于，所述水平传动机构包括驱动齿轮(20)和从动齿轮(21)，所述驱动齿轮(20)和从动齿轮(21)的表面共同传动连接有同步带(22)，所述同步带(22)的表面等距固定连接有多个气弹簧(19)，所述气弹簧(19)的伸缩端与壳体(7)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备，其特征在于，所述弹性支撑机构包括空腔(701)，所述空腔(701)对称开设在壳体(7)的底部，所述空腔(701)的内壁之间固定连接有矩形块(8)，所述矩形块(8)的表面滑动连接有滑动板(9)，所述滑动板(9)的侧面与空腔(701)的内壁之间固定连接有第一弹簧(10)，所述第一弹簧(10)套设在矩形块(8)的表面上，所述滑动板(9)的下端延伸至壳体(7)外部后与蚀刻板(14)的顶部固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备，其特征在于，所述引导机构包括第一支撑块(3)、滑动柱(11)和固定柱(12)，所述第一支撑块(3)对称固定安装在蚀刻池(2)顶部的边沿处，两个所述第一支撑块(3)的顶部共同固定连接有引导轨(4)，所述引导轨(4)的侧面依次设有第一引导面(401)、第二引导面(402)和第三引导面(403)，所述引导轨(4)的顶部固定连接有两个第二支撑块(5)，两个所述第二支撑块(5)顶部共同固定连接有轨道(6)，所述轨道(6)的侧面依次开设有相连通的第一导槽(601)、第二导槽(602)、第三导槽(603)、第四导槽(604)和第五导槽(605)，所述滑动柱(11)对称固定连接在壳体(7)面向轨道(6)的两侧，所述滑动柱(11)的一端插设进第一导槽(601)内，所述固定柱(12)固定安装在滑动板(9)面向引导轨(4)的一侧，所述固定柱(12)的端部转动安装有滚珠(13)，所述滚珠(13)的侧面与引导轨(4)的侧面相接触。

5.根据权利要求1所述的一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备，其特征在于，所述刮液机构包括第一刮板(23)、滑轮(17)和两个长块(37)，所述第一刮板(23)对称固定安装在蚀刻池(2)的顶部，所述第一刮板(23)的刮动侧与蚀刻板(14)侧面相接触，所述第一刮板(23)的顶部固定安装有两个第一滑杆(32)，两个所述第一滑杆(32)的表面共同滑动连接有移动板(34)，所述第一滑杆(32)远离蚀刻板(14)的一端与移动板(34)之间固定连接有第三弹簧(33)，所述第三弹簧(33)套设在第一滑杆(32)的表面，所述移动板(34)的侧面对称开设有倾斜面，所述移动板(34)的底部固定安装有刮刀(35)，所述滑轮(17)对称固定安装在蚀刻板(14)的表面，所述滑轮(17)的侧面与移动板(34)的侧面相接触，两个所述第一刮板(23)的侧面共同固定连接有第二刮板(36)，所述第二刮板(36)的刮动侧与蚀刻板(14)的侧面相接触，两个所述长块(37)固定安装在靠近第二刮板(36)一侧的蚀刻池(2)顶部，两个所述长块(37)的顶部共同转动连接有多个吸收卷(38)。

6.根据权利要求5所述的一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备，其特征在于，所述第一刮板(23)的顶部设有喷气机构，所述喷气机构用于将蚀刻孔(15)内的蚀刻液集中吹出，所述喷气机构包括拨动板齿(18)、箱体(24)和气流箱(31)，所述拨动板齿(18)对称固定安装在壳体(7)的底部，所述箱体(24)固定安装在第一刮板(23)的顶部，所述箱体(24)内密封滑动连接有推动板(25)，所述推动板(25)面向拨动板齿(18)的一侧固定连接有圆柱(27)，所述圆柱(27)的一端贯穿箱体(24)并延伸至其外部后固定连接有齿牙(28)，所述齿牙(28)与拨动板齿(18)相适配，所述推动板(25)面向所述拨动板齿(18)的一侧与箱体(24)之间固定连接有多个第二弹簧(26)，所述箱体(24)内远离第二弹簧(26)的一侧固定连通有进气单向阀(29)和出气单向阀(30)，所述气流箱(31)固定安装在第一刮板(23)的底部，所述出气单向阀(30)通过软管与气流箱(31)固定连通，所述气流箱(31)面向蚀刻板(14)的一侧等距开设有一排喷射口(3101)，所述喷射口(3101)用于对蚀刻孔(15)内的蚀刻液进行吹动。

7.根据权利要求5所述的一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备，其特征在于，所述清洗机构包括水池(39)和水泵(40)，所述水池(39)固定安装在支撑座(1)的顶部边缘，所述水池(39)的顶部对称固定安装有支撑座(41)，所述支撑座(41)的顶部固定安装有水箱(42)，两个所述水箱(42)相对的一侧等距开设有多个喷洒孔(43)，两个所述水箱(42)相对的一侧固定安装有第二滑杆(44)，所述第二滑杆(44)的表面滑动连接有固定座(46)，所述固定座(46)的底部与第二滑杆(44)的下端之间共同固定连接有第四弹簧(47)，所述固定座(46)的侧面固定连接有连接板(45)，所述连接板(45)与水箱(42)的侧面滑动连接，所述水箱(42)的端部固定连接有密封板(48)，所述连接板(45)的表面固定连接有L型固定板(49)，所述L型固定板(49)的左侧开设有斜面(50)，所述斜面(50)与滑轮(17)相适配，所述水泵(40)固定安装在支撑座(1)的顶部边沿，所述水泵(40)的进水口通过管道与外部供水机构相连通，所述水泵(40)出水口通过管道分别与两个水箱(42)相固定连通，所述水箱(42)面向蚀刻池(2)的一侧固定安装有第一挡板(51)。

8.根据权利要求7所述的一种用于生产集成电路引线框架的蚀刻设备，其特征在于，所述水池(39)的右侧对称固定安装有凸板(52)，两个凸板(52)之间设有传送机构(53)，所述传送机构(53)用于对引线框架进行传送，所述凸板(52)的顶部固定安装有第二挡板(54)。

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