JPH08111577A - エッチング方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＴＡＢのリードをエッチングにより形成する
際に、リードの幅のバラツキを小さくする。 【構成】 エッチング部２と第１水洗部３との間に設け
られた画像処理部２１はカメラ２２を備えている。そし
て、カメラ２２で画像認識して得られたパターニングデ
ータを予め設定されたリード幅基準データと比較し、そ
の比較結果に基づいてエッチング条件（エッチング液の
吹き付け圧、吹き付け量、樹脂フィルム１１の搬送速
度）補正信号２３をエッチング部２及び樹脂フィルム搬
送部８に送出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はエッチング方法及びそ
の装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ
の実装技術の１つであるＴＡＢ(TapeAutomated Bondin
g)技術では、フィルムキャリヤを製造する場合、一例と
して、ポリイミドフィルム等からなる樹脂フィルムにス
プロケットホール、デバイスホール、アウタリードホー
ルを形成し、次いで樹脂フィルムに銅箔（金属箔）を接
着剤を介して貼り付け、次いでその両面にフォトレジス
トを塗布し、次いで露光、現像、エッチングを行うこと
により、銅箔をパターニングしてインナリードやアウタ
リード等のリードを形成し、次いで不要となったフォト
レジストを除去し、かくしてフィルムキャリヤを製造し
ている。この場合、フィルムキャリヤの長さが数十〜百
ｍ程度と長尺であるので、フィルムキャリヤの各製造工
程をロールツウロールによって行っている。

【０００３】図３はこのようなフィルムキャリヤの製造
方法において使用されているリード形成用のエッチング
装置の一例の概略構成を示したものである。このエッチ
ング装置は、図３において左側から右側に向かって順
に、樹脂フィルム供給部１、エッチング部２、第１水洗
部３、酸処理部４、第２水洗部５、乾燥部６及び樹脂フ
ィルム巻取部７を備えているとともに、樹脂フィルム搬
送部８を備えている。そして、樹脂フィルム供給部１に
は前工程から図４に示すようなもの、すなわち、樹脂フ
ィルム１１と保護用のスペーサ１２を重ね合わせてリー
ル１３に巻き付けてロール状としてなるものが搬送され
てくる。この場合、図示していないが、樹脂フィルム１
１の下面には銅箔が接着剤を介して貼り付けられ、その
下面にはレジストパターンが形成されている。

【０００４】さて、樹脂フィルム供給部１においては、
リール１３から樹脂フィルム１１及びスペーサ１２が繰
り出されると、スペーサ１２はエッチングの邪魔になる
ので、スペーサリール１４に巻き取られて回収される。
一方、リール１３から繰り出された樹脂フィルム１１
は、樹脂フィルム搬送部８の駆動により搬送され、すな
わち図示していないが、樹脂フィルム１１のスプロケッ
トホールに嵌合された樹脂フィルム搬送部８のスプロケ
ットの回転により搬送され、エッチング部２、第１水洗
部３、酸処理部４、第２水洗部５及び乾燥部６を順次経
て樹脂フィルム巻取部７に送り込まれる。

【０００５】そして、エッチング部２においては、下方
からエッチング液が吹き付けられることにより、銅箔が
パターニングされてインナリードやアウタリード等のリ
ードが形成される。次に、第１水洗部３においては、下
方から洗浄水が吹き付けられることにより、エッチング
部２において樹脂フィルム１１の下面に付着した不要な
付着物が除去される。次に、酸処理部４においては、下
方から所定の洗浄液（例えば塩酸）が吹き付けられるこ
とにより、第１水洗部３において除去しきれなかった付
着物（例えば塩化第１銅）が除去される。次に、第２水
洗部５においては、下方から洗浄水が吹き付けられるこ
とにより、酸処理部４において樹脂フィルム１１の下面
に付着した不要な付着物が除去される。次に、乾燥部６
においては、ヒータ等による加熱により、第２水洗部５
において樹脂フィルム１１の下面に付着した不要な水分
が除去される。次に、樹脂フィルム巻取部７において
は、樹脂フィルム１１は、別のスペーサリール１５から
繰り出された別のスペーサ１６と重ね合わされて別のリ
ール１７に巻き取られる。かくして、リード形成用のエ
ッチング工程が終了する。

【０００６】ところで、このようなエッチング装置で
は、樹脂フィルム供給部１のリール１３から繰り出され
た樹脂フィルム１１を樹脂フィルム搬送部８の駆動によ
り搬送することにより、エッチング部２、第１水洗部
３、酸処理部４、第２水洗部５及び乾燥部６を順次通過
させて樹脂フィルム巻取部７のリール１７に巻き取って
いるだけであると、その途中でエッチング条件（エッチ
ング液の吹き付け圧、吹き付け量、樹脂フィルム１１の
搬送速度）が変化し、パターニングされたリードの幅が
所期値よりも小さくなったり大きくなったりしても、こ
れに対応することができず、不良品が大量に発生するお
それがある。

【０００７】そこで、従来では、乾燥部６を経た後であ
って樹脂フィルム巻取部７のリール１７に巻き取られる
前の樹脂フィルム１１の一部を抜き取り、この抜き取っ
た樹脂フィルム１１のリードの幅を検査し、その幅が所
期値よりも小さくなったり大きくなったりしている場合
には、その検査結果に基づいてエッチング条件を補正す
るようにしている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
このようなエッチング装置では、樹脂フィルム１１の一
部を抜き取って検査しているので、検査にある程度の時
間がかかることになる。検査に時間がかかると、リード
の幅を許容値内とすることができても、エッチング工程
がロールツウロールによる連続処理であるので、検査用
のエッチングが行われた時点とその条件を補正する時点
との間に樹脂フィルム１１がある程度搬送され、このた
めリードの幅に大きなバラツキが生じてしまうという問
題があった。また、樹脂フィルム１１の一部を抜き取っ
て検査した分については、検査が済むと無用となり、そ
のまま廃棄しているので、その分だけ歩留が悪くなると
いう問題もあった。この発明の目的は、リードの幅のバ
ラツキを小さくすることができ、また歩留を向上するこ
とができるエッチング方法及びその装置を提供すること
にある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明は、樹脂フィル
ム及びこれに積層された金属箔をロールツウロールで搬
送しながら前記金属箔をエッチングしてパターニングす
る際に、前記金属箔のパターニングの状態をカメラで画
像認識し、この認識結果に基づいて前記エッチングの条
件を補正するようにしたものである。

【００１０】

【作用】この発明によれば、金属箔のパターニングの状
態を画像認識し、この認識結果に基づいてエッチング条
件を補正することになるので、エッチング直後にその条
件の補正を行うことができ、したがってリードの幅のバ
ラツキを小さくすることができる。また、樹脂フィルム
の一部を抜き取る必要がないので、歩留を向上すること
ができる。

【００１１】

【実施例】図１はこの発明の一実施例におけるエッチン
グ装置の概略構成を示したものである。この図におい
て、図３と同一部分には同一の符号を付し、その説明を
適宜省略する。このエッチング装置では、エッチング部
２と第１水洗部３との間に画像処理部（エッチング条件
補正部）２１が設けられている。画像処理部２１は、こ
の部分を搬送される樹脂フィルム１１の上方に設けられ
たカメラ２２を備え、カメラ２２で画像認識して得られ
たパターニングデータを予め設定されたリード幅基準デ
ータと比較し、その比較結果に基づいてエッチング条件
（エッチング液の吹き付け圧、吹き付け量、樹脂フィル
ム１１の搬送速度）補正信号２３をエッチング部２及び
樹脂フィルム搬送部８に送出するようになっている。

【００１２】さて、樹脂フィルム供給部１のリール１３
から繰り出された樹脂フィルム１１がエッチング部２に
送り込まれると、下方からエッチング液が吹き付けられ
ることにより、樹脂フィルム１１の下面に接着剤を介し
て貼り付けられた銅箔がパターニングされてインナリー
ドやアウタリード等のリードが形成される。この後、樹
脂フィルム１１は画像処理部２１に送り込まれる。画像
処理部２１においては、樹脂フィルム１１がポリイミド
フィルム等の透明なものからなっているので、樹脂フィ
ルム１１の下面にパターニングされたリードをカメラ２
２で画像認識し、これにより得られたパターニングデー
タを予め設定されたリード幅基準データと比較する。

【００１３】そして、エッチング条件が変化し、パター
ニングされたリードの幅が所期値よりも小さくなったり
大きくなったりした場合には、そのときのパターニング
データとリード幅基準データとの比較結果に基づいて、
画像処理部２１からエッチング条件補正信号２３がエッ
チング部２及び樹脂フィルム搬送部８に送出される。す
ると、エッチング液の吹き付け圧、吹き付け量、樹脂フ
ィルム１１の搬送速度等のエッチング条件が補正される
ことになる。この後、樹脂フィルム１１は、エッチング
部２、第１水洗部３、酸処理部４、第２水洗部５及び乾
燥部６を順次経て樹脂フィルム巻取部７のリール１７に
巻き取られる。かくして、リード形成用のエッチング工
程が終了する。

【００１４】このように、このエッチング装置では、銅
箔をエッチングによりパターニングした後に、このパタ
ーニングの状態を画像認識し、この認識結果に基づいて
エッチング条件を補正しているので、エッチング直後に
その条件の補正を行うことができ、したがってリードの
幅のバラツキを小さくすることができる。また、樹脂フ
ィルム１１の一部を抜き取る必要がないので、歩留を向
上することができる。

【００１５】なお、上記実施例では、画像処理部２１を
エッチング部２と第１水洗部３との間に設けているが、
これに限定されるものではなく、例えば図２に示すよう
に、第１水洗部３と酸処理部４との間に設けてもよい。
このようにした場合には、エッチング部２において樹脂
フィルム１１の下面に付着した不要な付着物を第１水洗
部３によって除去した後に、画像処理部２１のカメラ２
２によって画像認識することになるので、より鮮明で安
定した画像認識を行うことができ、ひいては銅箔のパタ
ーニングをより高精度に行うことができる。また、上記
実施例では、画像処理部２１からエッチング条件補正信
号２３をエッチング部２及び樹脂フィルム搬送部８の双
方に送出しているが、いずれか一方であってもよい。さ
らに、上記実施例では、フィルムキャリヤのリードを形
成する場合について説明したが、これに限定されるもの
ではなく、一般的なフレキシブル配線基板のリードを形
成するようにすることもできる。

【００１６】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、金属箔のパターニングの状態を画像認識し、この認
識結果に基づいてエッチング条件を補正しているので、
エッチング直後にその条件の補正を行うことができ、し
たがってリードの幅のバラツキを小さくすることができ
る。また、樹脂フィルムの一部を抜き取る必要がないの
で、歩留を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例におけるエッチング装置の
概略構成図。

【図２】エッチング装置の他の例の概略構成図。

【図３】従来のエッチング装置の一例の概略構成図。

【図４】樹脂フィルムとスペーサを重ね合わせてリール
に巻き付けた状態の斜視図。

【符号の説明】

２ エッチング部 ８ 樹脂フィルム搬送部 １１ 樹脂フィルム ２１ 画像処理部（エッチング条件補正部） ２２ カメラ ２３ エッチング条件補正信号

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 樹脂フィルム及びこれに積層された金属
   箔をロールツウロールで搬送しながら前記金属箔をエッ
   チングしてパターニングするエッチング方法において、 前記金属箔のパターニングの状態をカメラで画像認識
   し、この認識結果に基づいて前記エッチングの条件を補
   正することを特徴とするエッチング方法。
2. 【請求項２】 前記カメラによる画像認識は、前記金属
   箔をエッチングによりパターニングして水洗した後に行
   うことを特徴とする請求項１記載のエッチング方法。
3. 【請求項３】 樹脂フィルム及びこれに積層された金属
   箔を供給する樹脂フィルム供給部と、 前記樹脂フィルム供給部から供給された前記樹脂フィル
   ムを搬送する樹脂フィルム搬送部と、 前記樹脂フィルムと共に搬送される前記金属箔をエッチ
   ングしてパターニングするエッチング部と、 前記金属箔のパターニングの状態をカメラで画像認識
   し、この認識結果に基づいて前記樹脂フィルム搬送部と
   前記エッチング部の少なくとも一方に対して、エッチン
   グ条件補正信号を送出するエッチング条件補正部と、 前記樹脂フィルムを巻き取る樹脂フィルム巻取部と、 を具備することを特徴とするエッチング装置。
4. 【請求項４】 前記エッチング条件補正部のカメラは、
   前記金属箔をエッチングしてパターニングした後に水洗
   するために、前記エッチング部の後段に設けられた水洗
   部の後段に設けられていることを特徴とする請求項３記
   載のエッチング装置。