JP2005294539A - 半導体装置用テープキャリア及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ポリイミドフィルム1の片面には厚さ2〜8μmの接着剤層3が塗布されており、この接着剤層3上にスパッタによるシード層4がNi−Cr合金層と銅層により形成され、このシード層4上に銅めっき層6を電気めっきにより形成し、配線ピッチが5〜30μmの銅配線パターンを形成する。この銅配線パターン上には半導体素子がフリップチップ接合により搭載される。
【選択図】 図2
Description
図5は、従来のめっき装置の構成を示す。このめっき装置100は、供給ドラム101と、めっき液110が満たされためっき槽102と、乾燥装置103と、銅めっき層が形成されたフィルムテープを巻き取る巻取ドラム104と、供給ドラム101とめっき槽102の間に配置されたガイドロール105と、めっき槽102内の上段に所定間隔に配置された給電ロール106a,106b,106c,106d,106e,106f,106g,106h,106i,106jと、この給電ロール106a〜106jの相互間の下側には所定間隔に配置されたガイドロール107a,107b,107c,107d,107e,107f,107g,107h,107i,107j,107k,107l,107m,107n,107o,107p,107q,107r,107sと、このガイドロール107a〜107sの相互間の上側には所定間隔に配置されたダンサーロール108a,108b,108c,108d,108e,108f,108g,108h,108iと、乾燥装置103と巻取ドラム104の間に配置されたガイドロール109とを備えて構成されている。
図1は、本発明の実施の形態に係る半導体装置用テープキャリアのシード層付きフィルムテープの構成を示す。このシード層付きフィルムテープ10(以下、フィルムテープ10という)は、可撓性を有し、片面に接着剤層3が形成された絶縁フィルムとしてのポリイミドフィルム1(絶縁基板)上にシード層4がスパッタにより形成されている。このような構成のフィルムテープ10を半導体装置用テープキャリアに用いた場合、テープキャリアの配線の微細化に伴う配線の剥離を抑制することが可能になる。
本発明の半導体装置用テープキャリアによると、ポリイミドフィルム1上に接着剤層3を形成し、この接着剤層3上にシード層4を形成したことにより、配線の微細化による剥離を抑制することができる。接着剤層3は、吸水率が0.9%以下、Tgが180℃以上の耐熱性、及び、400℃までの動的粘弾性が0.5Gpa以上の特性を備えたものを用いることにより、マイグレーション耐性が向上し、熱による歪みの発生が防止され、フリップチップ接続する際の圧力による接着剤層3の凹み変形を少なくすることができる。
図2は、本発明の実施の形態に係る半導体装置用テープキャリアの製造方法を示す。図2において、(a)〜(f)は製造方法における第1から第6の工程を示す。まず、(a)の様に、ポリイミドフィルム1上に熱硬化型の接着剤層3を2〜8μmの厚みに設けて硬化させた後、この接着剤層3の表面にシード層4をスパッタ装置により形成する。シード層4は、例えば、Ni−Cr合金層をスパッタにより形成し、更に、スパッタによりNi−Cr合金層上に銅層を形成したものである。銅層を0.2μmの厚みに設けることにより、銅層の配線による配線パターンの剥離に対する強度が安定し、しかも、耐マイグレーション特性を向上させることができる。ついで、スリット送り穴を設ける。
本発明の実施の形態にかかるテープキャリアの製造方法によれば、ポリイミドフィルム1上に接着剤層3を形成し、この接着剤層3上にシード層4を形成する工程を備えることにより吸水率を低減でき、配線の微細化による剥離が抑制されるので、耐マイグレーション性の向上により、配線の直線性が得られ、配線幅の欠陥(配線の欠け、細り、太り)の少ない、歩留まりの良好なテープキャリアの製造が可能になる。
図3は、図2に示した(c)の第3の工程における銅めっき層6を形成するためのめっき装置20の構成を示す。このめっき装置20は、給電ドラム21と、めっき液22が満たされためっき槽23と、このめっき槽23の後段に配置された水洗槽24と、この水洗槽24の後段に配置された加熱空気ブロワ25と、この加熱空気ブロワ25の後段に配置されたダンサーロール26と、このダンサーロール26の後段に配置された巻取ドラム27とを備えて構成れている。
図3において、給電ドラム21には、図2の(b)の第3の工程で作製されたフィルムテープ11が巻き付けられている。フィルムテープ11は、給電ロール32Aを経由して回転ドラム29の約半周に巻き付くようにしてめっき槽23内を通過し、給電ロール32Bを経由して取り出される。給電ロール32A,32Bは、フィルムテープ11のシード層4に接触し、シード層4に直流電圧を印加する。給電ロール32A,32Bとアノード袋28の間に所定の電圧を印加することにより、フィルムテープ11のめっき液22に接触するシード層4の表面が電気めっきされ、図2の(c)に示すように、銅めっき層6が形成される。
東レ・デュポン株式会社製の「カプトンEN」の38μm厚をポリイミドフィルム1に用い、接着剤に株式会社巴川製紙所製の接着剤Xを用い、ポリイミドフィルム1上に厚さ3μmに塗布及び硬化させて接着剤層3を形成した。この接着剤層3の表面にマグネトロン方式のスパッタ装置によりシード層4を形成した。このシード層4(スパッタ層)は、Ni−Cr合金を100Åの厚さに設け、更に銅層を0.2μmの厚さにした。これに105mm幅のスリット送り穴を加工した後、ロールコータでフォトレジストを塗布し、これを予備硬化した後、投影露光機で光反応させ、更にアルカリ現像を行って本硬化させることにより、フォトレジストパターン5を作製した。その後、図3に示しためっき装置20を用い、銅めっき層6を12μmの厚さにめっきした。
接着剤に株式会社巴川製紙所製の接着剤Vを用い、ポリイミドフィルム1に宇部興産株式会社製の「ユーピレックスS」を用いた。ポリイミドフィルム1は厚さ25μm、幅105mm幅のものを用いた。このポリイミドフィルム1上に接着剤Vを厚さ3μmに塗布し、更に加熱硬化させて接着剤層3を形成した。この接着剤層3上にマグネトロン方式のスパッタ装置により、スパッタ層としてNi−Cr合金を厚さ100Åに形成し、更に、銅スパッタ層(銅層)を、厚さ0.2μmに形成した。これに105mm幅のスリット送り穴を加工した後、フォトレジストをロールコータで塗布及び予備硬化し、投影露光機で光反応させた後、アルカリ現像を行って本硬化をし、フォトレジストパターン5を形成した。このフォトレジストパターン5は、配線ピッチが25μmになるように設けた。ついで、図3のめっき装置20を用い、銅めっき層6を12μmの厚さにめっきした。この銅めっき層6は配線の直線性があり、配線幅の欠陥(配線の欠け、細り、太り)が少なかったことから、歩留まりの良い半導体装置用テープキャリアの製造が可能であることが確かめられた。
2,4 シード層
3 接着剤層
5 フォトレジストパターン
6 銅めっき層
7 Snめっき層
10 シード層付きフィルムテープ
11 フォトレジスト付きフィルムテープ
12 めっき層付きフィルムテープ
13 半導体装置用テープキャリア
20 めっき装置
21 供給ドラム
22 めっき液
23 めっき槽
24 水洗槽
25 加熱空気ブロワ
26 ダンサーロール
27 巻取ドラム
28 アノード袋
29 回転ドラム
30 駆動ロール
31 チェーン
32A,32B 給電ロール
33 水
34,35,36,37,38 ガイドロール
40 絶縁フィルムテープ
100 めっき装置
101 供給ドラム
102 めっき槽
103 乾燥装置
104 巻取ドラム
105,107a〜107s ガイドロール
106a〜106j 給電ロール
108a〜108i ダンサーロール
109 ガイドロール
110 めっき液
111 フォトレジスト付きフィルムテープ
112 めっき層付きフィルムテープ
Claims (8)
- 可撓性を有する絶縁フィルム上に銅配線パターンを形成し、前記銅配線パターン上に半導体素子がフリップチップ接合により搭載される半導体装置用テープキャリアにおいて、
前記絶縁フィルムは、前記銅配線パターンの形成面に硬化処理された接着剤層を有し、
前記銅配線パターンは、前記接着剤層上にスパッタで形成されたシード層上に設けられた銅めっき層により形成されていることを特徴とする半導体装置用テープキャリア。 - 前記シード層は、銅層の厚みが0.2〜12μmの銅層を含むことを特徴とする請求項1記載の半導体装置用テープキャリア。
- 前記銅配線パターンは、配線ピッチが5〜30μmであることを特徴とする請求項1記載の半導体装置用テープキャリア。
- 前記接着剤層は、吸水率が0.9%以下、400℃までの動的粘弾性が0.5Gpa以上、及びガラス転移温度(Tg)が180℃以上の特性を有していることを特徴とする請求項1記載の半導体装置用テープキャリア。
- 可撓性を有する絶縁フィルム上に接着剤を塗布し及び硬化させて接着剤層を形成し、前記接着剤層上にシード層をスパッタにより形成する第1の工程と、
配線パターンに対応したフォトレジストパターンを前記シード層上に形成する第2の工程と、
銅めっき層を前記フォトレジストパターンの形成面に電気めっき法により形成する第3の工程と、
前記フォトレジストパターンを除去する第4の工程と、
前記フォトレジストパターンの除去面に露出している前記シード層を除去する第5の工程とを含むことを特徴とする半導体装置用テープキャリアの製造方法。 - 前記接着剤層は、吸水率が0.9%以下、400℃までの動的粘弾性が0.5Gpa以上、及びガラス転移温度(Tg)が180℃以上の特性を有していることを特徴とする請求項5記載の半導体装置用テープキャリアの製造方法。
- 前記接着剤層は、厚みが2〜8μmであることを特徴とする請求項5又は6記載の半導体装置用テープキャリアの製造方法。
- 前記第1の工程は、前記シード層をNi−Cr合金層と0.2μm以上の厚みの銅層により形成することを特徴とする請求項5記載の半導体装置用テープキャリアの製造方法。
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JP2004107640A JP2005294539A (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 半導体装置用テープキャリア及びその製造方法 |
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JP2004107640A Pending JP2005294539A (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 半導体装置用テープキャリア及びその製造方法 |
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JP (1) | JP2005294539A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007214519A (ja) * | 2006-02-13 | 2007-08-23 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 金属被覆ポリイミド基板およびこれを用いた錫めっき法 |
JP2009272571A (ja) * | 2008-05-09 | 2009-11-19 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | プリント配線基板及びその製造方法 |
KR100992269B1 (ko) | 2008-06-02 | 2010-11-05 | 삼성전기주식회사 | 도금층 형성 방법 |
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2004
- 2004-03-31 JP JP2004107640A patent/JP2005294539A/ja active Pending
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