JPH0613729A - フレキシブル回路基板製造装置 - Google Patents
フレキシブル回路基板製造装置Info
- Publication number
- JPH0613729A JPH0613729A JP16786992A JP16786992A JPH0613729A JP H0613729 A JPH0613729 A JP H0613729A JP 16786992 A JP16786992 A JP 16786992A JP 16786992 A JP16786992 A JP 16786992A JP H0613729 A JPH0613729 A JP H0613729A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- etching
- resist
- belt conveyor
- vessel
- Prior art date
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
- H05K3/068—Apparatus for etching printed circuits
Landscapes
- Structure Of Printed Boards (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】フレキシブル回路基板の製造装置において、導
電パターンをエッチングする際、ベルトコンベアでフィ
ルムを搬送し、そのベルトコンベアがレジスト剥離まで
連続していることを特徴とするフレキシブル回路基板製
造装置。 【効果】エッチング中のフィルムの下側に、ベルトコン
ベアを配し、フィルムと密着させるようにしたため、デ
バイスホール裏面に塗ってあるエッチングレジストが脱
落するのを防止し、リード先端の幅が安定する。さら
に、デバイスホール裏面に塗ってあるエッチングレジス
トは、常にベルトコンベアに接しているため、ローラー
に付着することもなく、また、そのベルトコンベアは、
レジスト剥離槽の前半部分まで入っているため、ベルト
コンベア上にエッチングレジストが付着した場合も、そ
の剥離は容易に行なわれ、リード曲がりが発生しない。
電パターンをエッチングする際、ベルトコンベアでフィ
ルムを搬送し、そのベルトコンベアがレジスト剥離まで
連続していることを特徴とするフレキシブル回路基板製
造装置。 【効果】エッチング中のフィルムの下側に、ベルトコン
ベアを配し、フィルムと密着させるようにしたため、デ
バイスホール裏面に塗ってあるエッチングレジストが脱
落するのを防止し、リード先端の幅が安定する。さら
に、デバイスホール裏面に塗ってあるエッチングレジス
トは、常にベルトコンベアに接しているため、ローラー
に付着することもなく、また、そのベルトコンベアは、
レジスト剥離槽の前半部分まで入っているため、ベルト
コンベア上にエッチングレジストが付着した場合も、そ
の剥離は容易に行なわれ、リード曲がりが発生しない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は樹脂を基材とするフィル
ム上にパターンを形成したフレキシブル回路基板製造装
置に関する。
ム上にパターンを形成したフレキシブル回路基板製造装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の樹脂を基材とする長尺のフレキシ
ブルフィルムに、例えば、銅箔により多数のリード（導
電パターン）を形成してなるフレキシブル回路基板に半
導体素子を実装するＴＡＢ実装方式は、多量生産に適す
る、小型化できる、ファインパターン化が可能である
等、多くの特徴を有するため現在では広く実用に共され
ている。
ブルフィルムに、例えば、銅箔により多数のリード（導
電パターン）を形成してなるフレキシブル回路基板に半
導体素子を実装するＴＡＢ実装方式は、多量生産に適す
る、小型化できる、ファインパターン化が可能である
等、多くの特徴を有するため現在では広く実用に共され
ている。
【０００３】ここで使われるフレキシブル回路基板は、
長尺のフィルムに金属箔をラミネートする工程、フォト
レジストをコーティングする工程、リードを露光する工
程、リードを現像する工程、リード以外の部分をエッチ
ングする工程、フォトレジストを除去する工程、必要な
印刷を行なう工程、など多くの工程を経て製造されてい
る。
長尺のフィルムに金属箔をラミネートする工程、フォト
レジストをコーティングする工程、リードを露光する工
程、リードを現像する工程、リード以外の部分をエッチ
ングする工程、フォトレジストを除去する工程、必要な
印刷を行なう工程、など多くの工程を経て製造されてい
る。
【０００４】図３はフレキシブル回路基板の平面図、図
４はフレキシブル回路基板製造のエッチング工程でのレ
ジスト剥離前のフィルムの断面図である。この図におい
て、８は半導体素子を実装するためのデバイスホール１
２が設けられた長尺のフィルムである。１３はフィルム
８に設けられた例えば銅などの導電率の高い金属箔で形
成された多数のリードで、その一部は半導体素子と接続
するために、デバイスホール１２の４辺から突出してい
る。１４はリード１３を形成するためにフォトプロセス
により形成されたフォトレジストパターンであり、１５
はフォトレジストパターン１４以外の部分をエッチング
する際、デバイスホール１２の４辺から突出したリード
１３が裏面からエッチングされるのを防止するために、
デバイスホール１２の裏面に塗布されたエッチングレジ
ストである。
４はフレキシブル回路基板製造のエッチング工程でのレ
ジスト剥離前のフィルムの断面図である。この図におい
て、８は半導体素子を実装するためのデバイスホール１
２が設けられた長尺のフィルムである。１３はフィルム
８に設けられた例えば銅などの導電率の高い金属箔で形
成された多数のリードで、その一部は半導体素子と接続
するために、デバイスホール１２の４辺から突出してい
る。１４はリード１３を形成するためにフォトプロセス
により形成されたフォトレジストパターンであり、１５
はフォトレジストパターン１４以外の部分をエッチング
する際、デバイスホール１２の４辺から突出したリード
１３が裏面からエッチングされるのを防止するために、
デバイスホール１２の裏面に塗布されたエッチングレジ
ストである。
【０００５】図２は上記エッチング工程の概略図であ
る。この図において、１は巻出し装置、２はエッチング
槽、３・３ａは水洗槽、４はレジスト剥離槽、５は乾燥
機、６は巻取り装置、である。巻取り装置６にあるフィ
ルム搬送用スプロケットホイール７により、巻出し装置
から繰り出されたフィルム８はエッチング槽２内でリー
ド１３以外の部分をエッチングされ、水洗槽３を経て、
レジスト剥離槽内４でフォトレジストパターン１４及び
エッチングレジスト１５を剥離され、水洗槽３ａで水洗
後、乾燥機５で乾燥され、巻取り装置６に巻取られる。
９はフィルム搬送用スプロケットホイール７により繰り
出されたフィルム８を支えるローラーであり、フィルム
８の搬送スピードと同期して回転している。エッチング
槽２内ではスプレイノズル１０からのシャワー処理によ
るエッチングが行なわれる。
る。この図において、１は巻出し装置、２はエッチング
槽、３・３ａは水洗槽、４はレジスト剥離槽、５は乾燥
機、６は巻取り装置、である。巻取り装置６にあるフィ
ルム搬送用スプロケットホイール７により、巻出し装置
から繰り出されたフィルム８はエッチング槽２内でリー
ド１３以外の部分をエッチングされ、水洗槽３を経て、
レジスト剥離槽内４でフォトレジストパターン１４及び
エッチングレジスト１５を剥離され、水洗槽３ａで水洗
後、乾燥機５で乾燥され、巻取り装置６に巻取られる。
９はフィルム搬送用スプロケットホイール７により繰り
出されたフィルム８を支えるローラーであり、フィルム
８の搬送スピードと同期して回転している。エッチング
槽２内ではスプレイノズル１０からのシャワー処理によ
るエッチングが行なわれる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の従来構
造では、エッチング中に、スプレイノズルからのシャワ
ー圧により、デバイスホールの裏面に塗ってあるエッチ
ングレジストが脱落することがある。このエッチングレ
ジストの脱落が不均一であるため、デバイスホールの４
辺から突出しているリード先端のエッチング速度が安定
せず、リードの幅が安定しないという問題を有する。
造では、エッチング中に、スプレイノズルからのシャワ
ー圧により、デバイスホールの裏面に塗ってあるエッチ
ングレジストが脱落することがある。このエッチングレ
ジストの脱落が不均一であるため、デバイスホールの４
辺から突出しているリード先端のエッチング速度が安定
せず、リードの幅が安定しないという問題を有する。
【０００７】また、エッチング中に、スプレイノズルか
らのシャワー圧により脱落したデバイスホール裏面に塗
ってあるエッチングレジストが、フィルムを支持してい
るローラーに付着して、除々に大きくなり、デバイスホ
ールの４辺から突出しているリードに接触し、リードを
曲げてしまうという問題点を有する。
らのシャワー圧により脱落したデバイスホール裏面に塗
ってあるエッチングレジストが、フィルムを支持してい
るローラーに付着して、除々に大きくなり、デバイスホ
ールの４辺から突出しているリードに接触し、リードを
曲げてしまうという問題点を有する。
【０００８】そこで本発明はこのような問題点を解決す
るもので、その目的とするところは、エッチング中のス
プレイノズルからのシャワー圧によるデバイスホール裏
面に塗ってあるエッチングレジストの脱落を防止して、
リード先端の幅の安定した製品を供給する。また、エッ
チング中のスプレイノズルからのシャワー圧により脱落
したデバイスホール裏面に塗ってあるエッチングレジス
トがフィルムを支持しているローラーに付着するのを防
止し、リード曲がりのない製品を供給するところにあ
る。
るもので、その目的とするところは、エッチング中のス
プレイノズルからのシャワー圧によるデバイスホール裏
面に塗ってあるエッチングレジストの脱落を防止して、
リード先端の幅の安定した製品を供給する。また、エッ
チング中のスプレイノズルからのシャワー圧により脱落
したデバイスホール裏面に塗ってあるエッチングレジス
トがフィルムを支持しているローラーに付着するのを防
止し、リード曲がりのない製品を供給するところにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のフレキシブル回
路基板製造装置は、フィルムの搬送スピードと同じスピ
ードで回転しながら、フィルムを支えているローラーに
ベルトを併用することにより、フィルムの搬送スピード
と同じスピードでベルトコンベアを搬送できる構造とし
たこと、さらに、そのベルトコンベアをエッチング槽、
水洗槽、及びレジスト剥離槽の前半部分に渡って設置し
たことを特徴とする。
路基板製造装置は、フィルムの搬送スピードと同じスピ
ードで回転しながら、フィルムを支えているローラーに
ベルトを併用することにより、フィルムの搬送スピード
と同じスピードでベルトコンベアを搬送できる構造とし
たこと、さらに、そのベルトコンベアをエッチング槽、
水洗槽、及びレジスト剥離槽の前半部分に渡って設置し
たことを特徴とする。
【００１０】
【実施例】図１は本発明の実施例におけるエッチング装
置である。この図において、１は巻出し装置、２はエッ
チング槽、３・３ａは水洗槽、４はレジスト剥離槽、５
は乾燥機、６は巻取り装置、である。巻取り装置６にあ
るフィルム搬送用スプロケットホイール７により、巻出
し装置から繰り出されたフィルム８はエッチング槽２内
でリード１３以外の部分をエッチングされ、水洗槽３を
経て、レジスト剥離槽内４でフォトレジストパターン１
４及びエッチングレジスト１５を剥離され、水洗槽３ａ
で水洗後、乾燥機５で乾燥され、巻取り装置６に巻取ら
れる。９はフィルム搬送用スプロケットホイール７によ
り繰り出されたフィルム８を支えるローラーであり、フ
ィルム８の搬送スピードと同期して回転している。１１
はフィルム８の搬送スピードと同期して回転しているロ
ーラー９のうち、エッチング槽２、水洗槽３、及びレジ
スト剥離槽４の前半部分のローラー９にかけられたベル
トコンベアである。このベルトコンベア１１は、フィル
ム８と同じ搬送スピードで動いているため、フィルム８
は、ベルトコンベア１１上に密着して流れるようにな
る。
置である。この図において、１は巻出し装置、２はエッ
チング槽、３・３ａは水洗槽、４はレジスト剥離槽、５
は乾燥機、６は巻取り装置、である。巻取り装置６にあ
るフィルム搬送用スプロケットホイール７により、巻出
し装置から繰り出されたフィルム８はエッチング槽２内
でリード１３以外の部分をエッチングされ、水洗槽３を
経て、レジスト剥離槽内４でフォトレジストパターン１
４及びエッチングレジスト１５を剥離され、水洗槽３ａ
で水洗後、乾燥機５で乾燥され、巻取り装置６に巻取ら
れる。９はフィルム搬送用スプロケットホイール７によ
り繰り出されたフィルム８を支えるローラーであり、フ
ィルム８の搬送スピードと同期して回転している。１１
はフィルム８の搬送スピードと同期して回転しているロ
ーラー９のうち、エッチング槽２、水洗槽３、及びレジ
スト剥離槽４の前半部分のローラー９にかけられたベル
トコンベアである。このベルトコンベア１１は、フィル
ム８と同じ搬送スピードで動いているため、フィルム８
は、ベルトコンベア１１上に密着して流れるようにな
る。
【００１１】上記のような構造において、エッチング槽
２内でフィルム８がエッチングされ、図３のリード１３
が形成されると、デバイスホール１２の裏面に塗布され
たエッチングレジスト１５の中央部分で、デバイスホー
ル１２の４辺から突出したリード１３の先端に囲まれた
部分は、エッチングレジスト１５の薄い塗膜だけとなる
が、フィルム８の下にベルトコンベア１１が密集してい
るため、スプレイノズル１０からのシャワー圧を受けて
エッチングレジスト１５の中央部分の薄い塗膜に亀裂を
生じ、デバイスホール１２の４辺から突出したリード１
３の先端から分離した場合でも、ベルトコンベア１１上
に付着するだけで、フィルム８から、エッチングレジス
ト１５が脱落することは無くなる。
２内でフィルム８がエッチングされ、図３のリード１３
が形成されると、デバイスホール１２の裏面に塗布され
たエッチングレジスト１５の中央部分で、デバイスホー
ル１２の４辺から突出したリード１３の先端に囲まれた
部分は、エッチングレジスト１５の薄い塗膜だけとなる
が、フィルム８の下にベルトコンベア１１が密集してい
るため、スプレイノズル１０からのシャワー圧を受けて
エッチングレジスト１５の中央部分の薄い塗膜に亀裂を
生じ、デバイスホール１２の４辺から突出したリード１
３の先端から分離した場合でも、ベルトコンベア１１上
に付着するだけで、フィルム８から、エッチングレジス
ト１５が脱落することは無くなる。
【００１２】さらに、フィルム８と、ローラー９の間
に、ベルトコンベア１１が介在しているため、エッチン
グレジスト１５とローラー９が直接接触することもな
く、ローラー９へのエッチングレジスト１５の付着も無
くなる。
に、ベルトコンベア１１が介在しているため、エッチン
グレジスト１５とローラー９が直接接触することもな
く、ローラー９へのエッチングレジスト１５の付着も無
くなる。
【００１３】また、ベルトコンベア１１を、エッチング
槽２、水洗槽３、及びレジスト剥離槽４の前半部分まで
連続してかけていることにより、エッチング槽２から出
たフィルム８及びベルトコンベア１１は水洗槽３で洗浄
され、レジスト剥離槽４に入る。レジスト剥離槽４で
は、フィルム８上のフォトレジストパターン１４及び裏
面のエッチングレジスト１５が剥離され、フィルム８は
その後、水洗槽３ａで洗浄され、乾燥機５で乾燥され、
巻き取り装置６に巻き取られる。同時にレジスト剥離槽
４では、前半部分のローラーにかけられたベルトコンベ
ア１１がフィルム８と分離して、反対方向に搬送され
る。このとき、ベルトコンベア１１上には、フィルム８
のデバイスホール１２の４辺から突出したリード１３の
先端から亀裂を生じ分離したエッチングレジスト１５が
付着しているが、このエッチングレジスト１５もレジス
ト剥離槽４内で剥離され、水洗槽３で洗浄された後、エ
ッチング槽２に入りエッチング槽２の先頭部分のローラ
ー９のところで反転し、前述の工程を繰り返すことによ
り、常に清浄なベルトコンベア１１がフィルム８の下に
密着して搬送されることになり、ベルトコンベア１１上
に付着したエッチングレジスト１５がリード１３を曲げ
ることもない。
槽２、水洗槽３、及びレジスト剥離槽４の前半部分まで
連続してかけていることにより、エッチング槽２から出
たフィルム８及びベルトコンベア１１は水洗槽３で洗浄
され、レジスト剥離槽４に入る。レジスト剥離槽４で
は、フィルム８上のフォトレジストパターン１４及び裏
面のエッチングレジスト１５が剥離され、フィルム８は
その後、水洗槽３ａで洗浄され、乾燥機５で乾燥され、
巻き取り装置６に巻き取られる。同時にレジスト剥離槽
４では、前半部分のローラーにかけられたベルトコンベ
ア１１がフィルム８と分離して、反対方向に搬送され
る。このとき、ベルトコンベア１１上には、フィルム８
のデバイスホール１２の４辺から突出したリード１３の
先端から亀裂を生じ分離したエッチングレジスト１５が
付着しているが、このエッチングレジスト１５もレジス
ト剥離槽４内で剥離され、水洗槽３で洗浄された後、エ
ッチング槽２に入りエッチング槽２の先頭部分のローラ
ー９のところで反転し、前述の工程を繰り返すことによ
り、常に清浄なベルトコンベア１１がフィルム８の下に
密着して搬送されることになり、ベルトコンベア１１上
に付着したエッチングレジスト１５がリード１３を曲げ
ることもない。
【００１４】
【発明の効果】以上述べたように発明によれば、エッチ
ング中のフィルムの下側に、ベルトコンベアを配し、フ
ィルムと密着させるようにしたため、デバイスホール裏
面に塗ってあるエッチングレジストが脱落するのを防止
し、リード先端の幅の安定した製品を生産するとことが
可能となる。さらに、デバイスホール裏面に塗ってある
エッチングレジストは、常にベルトコンベアに接してい
るため、ローラーに付着することもなく、また、そのベ
ルトコンベアは、レジスト剥離槽の前半部分まで入って
いるため、ベルトコンベア上にエッチングレジストが付
着した場合も、その剥離は容易に行なわれる。以上のこ
とにより、リード曲がりの無い製品を生産することが可
能となる。
ング中のフィルムの下側に、ベルトコンベアを配し、フ
ィルムと密着させるようにしたため、デバイスホール裏
面に塗ってあるエッチングレジストが脱落するのを防止
し、リード先端の幅の安定した製品を生産するとことが
可能となる。さらに、デバイスホール裏面に塗ってある
エッチングレジストは、常にベルトコンベアに接してい
るため、ローラーに付着することもなく、また、そのベ
ルトコンベアは、レジスト剥離槽の前半部分まで入って
いるため、ベルトコンベア上にエッチングレジストが付
着した場合も、その剥離は容易に行なわれる。以上のこ
とにより、リード曲がりの無い製品を生産することが可
能となる。
【００１５】このように、２つの不良の発生を低減する
ことができる。
ことができる。
【図１】本発明実施例におけるエッチング装置の概略
図。
図。
【図２】従来のエッチング工程の概略図。
【図３】フレキシブル回路基板の平面図。
【図４】フィルムの断面図。
１巻出し装置 ２エッチング槽 ３，３ａ 水洗槽 ４レジスト剥離槽 ５乾燥機 ６巻取り装置 ７フィルム搬送用スプロケットホイール ８フィルム ９ローラー １０スプレイノズル １１ベルトコンベア １２デバイスホール １３リード １４回路パターン １５エッチングレジスト
Claims (2)
- 【請求項１】 樹脂を基材とするフィルム上に導電パタ
ーンを形成したフレキシブル回路基板製造装置におい
て、フォトプロセスにより形成されたフォトレジストパ
ターンをエッチングレジストとして、導電パターンをエ
ッチングする際、ベルトコンベアによりフレキシブルフ
ィルムを搬送することを特徴とするフレキシブル回路基
板製造装置。 - 【請求項２】 前記フレキシブル回路基板製造装置にお
いて、ベルトコンベアを、エッチング槽、水洗槽、レジ
スト剥離槽の前半部分の３槽に渡って設置したことを特
徴とする請求項１記載のフレキシブル回路基板製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16786992A JPH0613729A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | フレキシブル回路基板製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16786992A JPH0613729A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | フレキシブル回路基板製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0613729A true JPH0613729A (ja) | 1994-01-21 |
Family
ID=15857595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16786992A Pending JPH0613729A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | フレキシブル回路基板製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0613729A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040013559A (ko) * | 2002-08-07 | 2004-02-14 | 삼성테크윈 주식회사 | 테이프 보호 장치 |
-
1992
- 1992-06-25 JP JP16786992A patent/JPH0613729A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040013559A (ko) * | 2002-08-07 | 2004-02-14 | 삼성테크윈 주식회사 | 테이프 보호 장치 |
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