JPH0773626A - 磁気ヘッドスライダ用保護層 - Google Patents
磁気ヘッドスライダ用保護層Info
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- JPH0773626A JPH0773626A JP23886693A JP23886693A JPH0773626A JP H0773626 A JPH0773626 A JP H0773626A JP 23886693 A JP23886693 A JP 23886693A JP 23886693 A JP23886693 A JP 23886693A JP H0773626 A JPH0773626 A JP H0773626A
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- Japan
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- head slider
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高い絶縁性および優れた防食性と機械的耐
久性を有する磁気ヘッドスライダ用保護膜を提供する。 【構成】 珪素接着層と、この珪素接着層上に被覆され
る少なくとも珪素と酸素あるいは少なくとも珪素と窒素
を含む上層からなる磁気ヘッドスライダ用保護層とす
る。また前記上層は、酸化珪素単層膜あるいは窒化珪素
単層膜あるいは酸窒化珪素単層膜、またはこれらの膜の
うち少なくとも２つ以上の組み合わせで交互に積層され
たものとする。
久性を有する磁気ヘッドスライダ用保護膜を提供する。 【構成】 珪素接着層と、この珪素接着層上に被覆され
る少なくとも珪素と酸素あるいは少なくとも珪素と窒素
を含む上層からなる磁気ヘッドスライダ用保護層とす
る。また前記上層は、酸化珪素単層膜あるいは窒化珪素
単層膜あるいは酸窒化珪素単層膜、またはこれらの膜の
うち少なくとも２つ以上の組み合わせで交互に積層され
たものとする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハード磁気ディスク装
置の磁気ヘッドスライダ用保護層に関し、特に磁気ヘッ
ドスライダの空気支持面および電磁変換素子端面上に被
覆される保護層に関する。
置の磁気ヘッドスライダ用保護層に関し、特に磁気ヘッ
ドスライダの空気支持面および電磁変換素子端面上に被
覆される保護層に関する。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】磁気
ヘッドスライダと磁気記録体との接触により、磁気ヘッ
ドスライダの空気支持面および電磁変換素子には機械的
摩耗が生じる。また、その接触の際に起こる電磁変換素
子と磁気記録体との電気的短絡により、電磁変換素子が
電気的に破壊される。また、電磁変換素子端面は金属で
あるために、腐食が発生する。従来技術では、これらの
機械的摩耗、電気的破壊、腐食を防ぐために、各種保護
層が磁気ヘッドスライダの空気支持面および電磁変換素
子端面上に被覆されている。特開平４−３６４２１７号
公報では、珪素接着層とアモルファス水素添加炭素層か
らなる保護層が開示されている。しかし、これは機械的
耐摩耗性、電気的保護性すなわち絶縁性、防食性が不十
分であり、特に電気的絶縁性が劣悪である。また、ＩＢ
Ｍ ＴＤＭ １９７６年６月、第３５１頁（IBM TDM，Jun
e，1976，p.351）では、約２０から５００ｎｍの膜厚の
窒化珪素からなる保護層が開示されている。しかし、こ
れは下地体の空気支持面や電磁変換素子との付着性が弱
く、下地体から剥離し易く、機械的耐摩耗性が不十分で
ある。また、特開平４−３０２８８０号公報では、Ｓｉ
Ｏ2、ＺｒＯ2−Ｙ2Ｏ3あるいはＭｇＯ−ＳｉＯ2のいず
れか一つの系からなる保護層が開示されている。しか
し、これは下地体の空気支持面や電磁変換素子との付着
性が弱く、下地体から剥離し易く、機械的耐摩耗性が不
十分である。また、特開昭６３−０９１８１４号公報で
は、窒化珪素からなる保護層が開示されている。しか
し、これは下地体の空気支持面や電磁変換素子との付着
性が弱く、下地体から剥離し易く、機械的耐摩耗性が不
十分である。よって、これらの公知の保護層は、いずれ
も機械的耐摩耗性、電気的絶縁性、防食性が不十分であ
る。本発明は、このような従来の問題点を解決して、機
械的耐摩耗性、電気的絶縁性及び防食性に優れた磁気ヘ
ッドスライダ用保護層を提供することを目的とする。
ヘッドスライダと磁気記録体との接触により、磁気ヘッ
ドスライダの空気支持面および電磁変換素子には機械的
摩耗が生じる。また、その接触の際に起こる電磁変換素
子と磁気記録体との電気的短絡により、電磁変換素子が
電気的に破壊される。また、電磁変換素子端面は金属で
あるために、腐食が発生する。従来技術では、これらの
機械的摩耗、電気的破壊、腐食を防ぐために、各種保護
層が磁気ヘッドスライダの空気支持面および電磁変換素
子端面上に被覆されている。特開平４−３６４２１７号
公報では、珪素接着層とアモルファス水素添加炭素層か
らなる保護層が開示されている。しかし、これは機械的
耐摩耗性、電気的保護性すなわち絶縁性、防食性が不十
分であり、特に電気的絶縁性が劣悪である。また、ＩＢ
Ｍ ＴＤＭ １９７６年６月、第３５１頁（IBM TDM，Jun
e，1976，p.351）では、約２０から５００ｎｍの膜厚の
窒化珪素からなる保護層が開示されている。しかし、こ
れは下地体の空気支持面や電磁変換素子との付着性が弱
く、下地体から剥離し易く、機械的耐摩耗性が不十分で
ある。また、特開平４−３０２８８０号公報では、Ｓｉ
Ｏ2、ＺｒＯ2−Ｙ2Ｏ3あるいはＭｇＯ−ＳｉＯ2のいず
れか一つの系からなる保護層が開示されている。しか
し、これは下地体の空気支持面や電磁変換素子との付着
性が弱く、下地体から剥離し易く、機械的耐摩耗性が不
十分である。また、特開昭６３−０９１８１４号公報で
は、窒化珪素からなる保護層が開示されている。しか
し、これは下地体の空気支持面や電磁変換素子との付着
性が弱く、下地体から剥離し易く、機械的耐摩耗性が不
十分である。よって、これらの公知の保護層は、いずれ
も機械的耐摩耗性、電気的絶縁性、防食性が不十分であ
る。本発明は、このような従来の問題点を解決して、機
械的耐摩耗性、電気的絶縁性及び防食性に優れた磁気ヘ
ッドスライダ用保護層を提供することを目的とする。
【０００３】
【課題を解決するための手段】本発明は、磁気ヘッドス
ライダの空気支持面および電磁変換素子端面上にあっ
て、珪素接着層と、該珪素接着層上に被覆される少なく
とも珪素と酸素あるいは少なくとも珪素と窒素を含む上
層とからなることを特徴とする磁気ヘッドスライダ用保
護層である。また、本発明における上層は、酸化珪素単
層膜、窒化珪素単層膜または酸窒化珪素単層膜からなる
もの、あるいは酸化珪素膜、窒化珪素膜および酸窒化珪
素膜のうち少なくとも２つ以上の組み合わせで交互に積
層された多層膜であることが望ましい。
ライダの空気支持面および電磁変換素子端面上にあっ
て、珪素接着層と、該珪素接着層上に被覆される少なく
とも珪素と酸素あるいは少なくとも珪素と窒素を含む上
層とからなることを特徴とする磁気ヘッドスライダ用保
護層である。また、本発明における上層は、酸化珪素単
層膜、窒化珪素単層膜または酸窒化珪素単層膜からなる
もの、あるいは酸化珪素膜、窒化珪素膜および酸窒化珪
素膜のうち少なくとも２つ以上の組み合わせで交互に積
層された多層膜であることが望ましい。
【０００４】本発明において、珪素接着層としては、マ
グネトロンスパッタ法、プラズマＣＶＤ法、イオンプレ
ーティング法、真空蒸着法等により膜厚１〜５０ｎｍで
珪素を磁気ヘッドスライダの空気支持面及び電磁変換素
子端面上に被覆する。この珪素接着層はアモルファスで
も多結晶でもよい。また、この珪素接着層には少なくと
も水素が含まれてもよい。次に、前記珪素接着層の上に
少なくとも珪素と酸素あるいは少なくとも珪素と窒素を
含む上層をマグネトロンスパッタ法、プラズマＣＶＤ
法、イオンプレーティング法、真空蒸着法等により膜厚
１〜５０ｎｍで被覆する。この上層は、酸化珪素単層膜
あるいは窒化珪素単層膜あるいは酸窒化珪素単層膜が好
ましく、また、これらのうちの少なくとも２つ以上の組
み合わせで、例えば酸化珪素膜と窒化珪素膜とが交互に
積層されたものであってもよい。
グネトロンスパッタ法、プラズマＣＶＤ法、イオンプレ
ーティング法、真空蒸着法等により膜厚１〜５０ｎｍで
珪素を磁気ヘッドスライダの空気支持面及び電磁変換素
子端面上に被覆する。この珪素接着層はアモルファスで
も多結晶でもよい。また、この珪素接着層には少なくと
も水素が含まれてもよい。次に、前記珪素接着層の上に
少なくとも珪素と酸素あるいは少なくとも珪素と窒素を
含む上層をマグネトロンスパッタ法、プラズマＣＶＤ
法、イオンプレーティング法、真空蒸着法等により膜厚
１〜５０ｎｍで被覆する。この上層は、酸化珪素単層膜
あるいは窒化珪素単層膜あるいは酸窒化珪素単層膜が好
ましく、また、これらのうちの少なくとも２つ以上の組
み合わせで、例えば酸化珪素膜と窒化珪素膜とが交互に
積層されたものであってもよい。
【０００５】
【作用】本発明の磁気ヘッドスライダ用保護層は、機械
的耐摩耗性及び電気的絶縁性及び防食性に優れている。
それは、珪素接着層と空気支持面との付着力、珪素接着
層と電磁変換素子との付着力、珪素接着層と上層の珪素
化合物との付着力が高いため、磁気記憶体との接触の際
の応力によって保護層が空気支持膜や電磁変換素子から
剥離することがなく、また、上層の珪素化合物は機械的
耐摩耗性及び電気的絶縁性及び防食性に優れているから
である。
的耐摩耗性及び電気的絶縁性及び防食性に優れている。
それは、珪素接着層と空気支持面との付着力、珪素接着
層と電磁変換素子との付着力、珪素接着層と上層の珪素
化合物との付着力が高いため、磁気記憶体との接触の際
の応力によって保護層が空気支持膜や電磁変換素子から
剥離することがなく、また、上層の珪素化合物は機械的
耐摩耗性及び電気的絶縁性及び防食性に優れているから
である。
【０００６】
【実施例】次に、本発明を実施例によって説明する。 実施例１ 図１は本発明による磁気ヘッドスライダ用保護層の一実
施例の断面図である。アルミナと炭化チタンの焼結体で
鏡面に研磨された空気支持面３と電磁変換素子４の上に
表１に示す珪素接着層２と単層膜の上層１からなる保護
層を被覆した。保護層の全膜厚は保護性の度合と磁気記
憶体の記録密度に基づいて選定される。なぜなら、保護
層の膜厚が厚いほど、保護性は高くなる反面、記録密度
は低くなるためである。
施例の断面図である。アルミナと炭化チタンの焼結体で
鏡面に研磨された空気支持面３と電磁変換素子４の上に
表１に示す珪素接着層２と単層膜の上層１からなる保護
層を被覆した。保護層の全膜厚は保護性の度合と磁気記
憶体の記録密度に基づいて選定される。なぜなら、保護
層の膜厚が厚いほど、保護性は高くなる反面、記録密度
は低くなるためである。
【０００７】
【表１】
【０００８】実施例２ 図２は本発明による磁気ヘッドスライダ用保護層の別の
一実施例の断面図である。アルミナと炭化チタンの焼結
体で鏡面に研磨された空気支持面３と電磁変換素子４の
上に表２に示す珪素接着層２と多層膜の上層１からなる
保護層を被覆した。なお表２中、上層１の構成は、記載
した順で珪素接着層２上に積層したものとする。
一実施例の断面図である。アルミナと炭化チタンの焼結
体で鏡面に研磨された空気支持面３と電磁変換素子４の
上に表２に示す珪素接着層２と多層膜の上層１からなる
保護層を被覆した。なお表２中、上層１の構成は、記載
した順で珪素接着層２上に積層したものとする。
【０００９】
【表２】
【００１０】次に、実施例で得られた保護層が被覆され
た磁気ヘッドスライダを用い、摩耗試験として磁気ヘッ
ドスライダと磁気ディスクの起動停止繰り返し試験（Ｃ
ＳＳ試験）を行ったところ、１０万回以上の試験で磁気
ヘッドスライダと磁気ディスクには傷が発生しなかっ
た。また、温度８０℃、相対湿度８０％における耐食性
試験を１ヵ月行ったところ、電磁変換素子には腐食が発
生せず、磁気ヘッドの信号出力には変化が見られなかっ
た。また、実施例を用いたハード磁気ディスク装置を６
ヵ月連続運転したが、電気的短絡による電磁変換素子の
破壊は皆無であった。
た磁気ヘッドスライダを用い、摩耗試験として磁気ヘッ
ドスライダと磁気ディスクの起動停止繰り返し試験（Ｃ
ＳＳ試験）を行ったところ、１０万回以上の試験で磁気
ヘッドスライダと磁気ディスクには傷が発生しなかっ
た。また、温度８０℃、相対湿度８０％における耐食性
試験を１ヵ月行ったところ、電磁変換素子には腐食が発
生せず、磁気ヘッドの信号出力には変化が見られなかっ
た。また、実施例を用いたハード磁気ディスク装置を６
ヵ月連続運転したが、電気的短絡による電磁変換素子の
破壊は皆無であった。
【００１１】比較例２ 特開平４−３６４２１７号公報、ＩＢＭ ＴＤＭ，Ｊｕ
ｎｅ，１９７６，ｐ．３５１、特開平４−３０２８８０
号公報、特開昭６３−０９１８１４号公報の磁気ヘッド
スライダについて実施例と同様の試験を行った。特開平
４−３６４２１７号公報の磁気ヘッドスライダを用いた
磁気ディスク装置の連続試運転では、アモルファス水素
添加炭素層の機械的耐久性と電気絶縁性が不十分である
ために、磁気ディスクとの電気的短絡によって電磁変換
素子が電気的に破壊された。ＩＢＭ ＴＤＭ，Ｊｕｎ
ｅ，１９７６，ｐ．３５１及び特開平４−３０２８８０
号公報及び特開昭６３−０９１８１４号公報の磁気ヘッ
ドスライダについては、空気支持面や電磁変換素子との
付着性が不十分であるために、ＣＳＳ試験１０００回程
度で保護層が剥離し、磁気ヘッドスライダと磁気ディス
クの双方に傷が発生した。
ｎｅ，１９７６，ｐ．３５１、特開平４−３０２８８０
号公報、特開昭６３−０９１８１４号公報の磁気ヘッド
スライダについて実施例と同様の試験を行った。特開平
４−３６４２１７号公報の磁気ヘッドスライダを用いた
磁気ディスク装置の連続試運転では、アモルファス水素
添加炭素層の機械的耐久性と電気絶縁性が不十分である
ために、磁気ディスクとの電気的短絡によって電磁変換
素子が電気的に破壊された。ＩＢＭ ＴＤＭ，Ｊｕｎ
ｅ，１９７６，ｐ．３５１及び特開平４−３０２８８０
号公報及び特開昭６３−０９１８１４号公報の磁気ヘッ
ドスライダについては、空気支持面や電磁変換素子との
付着性が不十分であるために、ＣＳＳ試験１０００回程
度で保護層が剥離し、磁気ヘッドスライダと磁気ディス
クの双方に傷が発生した。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
スライダ材やＭＲ素子端面と保護膜との付着性は珪素接
着層により良好に保たれ、磁気ディスクとの接触面は機
械的耐久性に優れた窒化珪素や酸化珪素であるため、優
れた機械的耐久性を示す。また、窒化珪素や酸化珪素に
より高い絶縁性も示す。よって、本発明の磁気ヘッドス
ライダ用保護層は、優れた機械的耐摩耗性及び防食性及
び電気絶縁性を有している。
スライダ材やＭＲ素子端面と保護膜との付着性は珪素接
着層により良好に保たれ、磁気ディスクとの接触面は機
械的耐久性に優れた窒化珪素や酸化珪素であるため、優
れた機械的耐久性を示す。また、窒化珪素や酸化珪素に
より高い絶縁性も示す。よって、本発明の磁気ヘッドス
ライダ用保護層は、優れた機械的耐摩耗性及び防食性及
び電気絶縁性を有している。
【図１】本発明による磁気ヘッドスライダ用保護層の一
実施例の断面図である。
実施例の断面図である。
【図１】本発明による磁気ヘッドスライダ用保護層の別
の一実施例の断面図である。
の一実施例の断面図である。
【符号の説明】 １ 上層 ２ 珪素接着層 ３ 空気支持面 ４ 電磁変換素子
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年４月８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による磁気ヘッドスライダ用保護層の一
実施例の断面図である。
実施例の断面図である。
【図２】 本発明による磁気ヘッドスライダ用保護層の別
の一実施例の断面図である。
の一実施例の断面図である。
【符号の説明】 １ 上層 ２ 珪素接着層 ３ 空気支持面 ４ 電磁変換素子
Claims (3)
- 【請求項１】 磁気ヘッドスライダの空気支持面および
電磁変換素子端面上にあって、珪素接着層と、該珪素接
着層上に被覆される少なくとも珪素と酸素あるいは少な
くとも珪素と窒素を含む上層とからなることを特徴とす
る磁気ヘッドスライダ用保護層。 - 【請求項２】 上層が、酸化珪素単層膜、窒化珪素単層
膜または酸窒化珪素単層膜からなるものである請求項１
記載の磁気ヘッドスライダ用保護層。 - 【請求項３】 上層が、酸化珪素膜、窒化珪素膜および
酸窒化珪素膜のうち少なくとも２つ以上の組み合わせで
交互に積層された多層膜である請求項１記載の磁気ヘッ
ドスライダ用保護層。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5238866A JP2785650B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 磁気ヘッドスライダ用保護層 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5238866A JP2785650B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 磁気ヘッドスライダ用保護層 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10003588A Division JPH10188506A (ja) | 1998-01-12 | 1998-01-12 | 磁気ヘッドスライダ用保護層 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0773626A true JPH0773626A (ja) | 1995-03-17 |
| JP2785650B2 JP2785650B2 (ja) | 1998-08-13 |
Family
ID=17036426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5238866A Expired - Lifetime JP2785650B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 磁気ヘッドスライダ用保護層 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2785650B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6391814A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 薄膜磁気ヘツドスライダ |
| JPH04364217A (ja) * | 1990-12-27 | 1992-12-16 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 保護被膜を有する磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 |
-
1993
- 1993-08-31 JP JP5238866A patent/JP2785650B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6391814A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 薄膜磁気ヘツドスライダ |
| JPH04364217A (ja) * | 1990-12-27 | 1992-12-16 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 保護被膜を有する磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2785650B2 (ja) | 1998-08-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19971111 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980428 |
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