JPH0769388B2 - Ｉｃハンドラ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は半導体集積回路（以下ICと称す）の試験装置
であるハンドラに係り、特にカセットに収納されたステ
ィック内のICを自動的にハンドラに供給し且つ検査済IC
を自動的に分類ごとのカセットに収納するための搬送機
構に関する。

［従来の技術］ ICを自動的に測定部に供給し、ICの良否を自動的に試験
し選別するハンドラが各種実用されている。一般にIC7
は第９図に示すようなスティック３（マガジン）内にリ
ード線を下向きにして一列に配列した状態に保持されて
おり、このスティック３を第10図に示すようなハンドラ
装着することによりハンドラに供給される。。

スティックは一本ごと手動で装着する場合もあるが、複
数のスティックを収納したカセットあるいはトレイから
自動搬送機構によってスティックを取り出し、自動的に
装着するハンドラ（実開昭61−11631号、特開昭61−699
16号）及びそのためのマガジン収納装置（特開昭61−15
203号）、供給装置（特開昭61−19141号）が開発されて
いる。

ハンドラにセットされたスティック内のICは間欠送り機
構により１個ずつ自重により送り出され、プリヒート部
等を経て測定部に供給される。

この際、測定部24′においてICのリード線をテストヘッ
ドと接触させるためにICは搬送する時と向きを180゜転
換する必要があり、測定部の前で方向転換機構28′によ
り向きを転換せられる。測定部24′で試験されたICは排
出レールから分類レールに供給され、良品、不良品に応
じて分類レールを移動させることにより選別して自動収
納部に供給する。この場合自動収納部に供給側で空にな
ったスティックを複数、例えばカセット単位あるいはト
レイ単位で収納部に自動搬送し、測定済ICを充填してい
く装置が提案されている（特開昭61−69616号）。

［発明が解決しようとする課題］ 上述のように従来のハンドラにおいてはICの収納部であ
るスティックカセットから搬送機構に至るまで種々の自
動化への対応の試みがなされているが、なお、以下述べ
るような問題点がある。まず、カセットからスティック
を１本ずつ取り出し、ハンドラのスティック装着部まで
自動搬送する場合、ICの向きはスティック内に挿入され
た下向きであるから、測定部ではテストヘッドにリード
線を接触させるためにこれを反転させなければならず、
ハンドラ内にこのための反転機構を必要とし、ハンドラ
の搬送機構が複雑化且つ大型化した。次に測定済のICは
収納部において自動的にスティック内に充填され、満杯
となったスティックはさらに収納部においてカセット内
に下から順次収納されるが、つまりが発生した場合など
スティックをカセットの下から順次積上げるようにして
いるため最下部のスティックを取り出すのが困難である
などメンテナンスが困難であり、更に充填後のカセット
は操作者が確認して次のステップに搬送するため、完全
な自動化が達成できなかった。

本発明はこのような従来の難点に鑑みなされたもので、
ハンドラの完全自動化且つ小型化を図ると共にメンテナ
ンスを容易にしたハンドラを提供することを目的とす
る。

［課題を解決するための手段］ このような目的を達成する本発明のICハンドラは、未検
査ICを挿入したスティックから供給された前記未検査IC
を検査すると共に検査済ICを検査結果に応じて分類ごと
のスティックに送出するようにしたハンドラにおいて、
スティックを保持または下方するアームと、前記アーム
を軸を中心に半回転させる回転機構と、前記アームを上
下方向に移動させる上下動機構と、前記アーム及び前記
上下動機構をレールに添って水平方向に移動させる水平
動機構とを備え、カセットより取り出されたスティック
を反転させると共に前記ハンドラのスティック装着部に
搬送する反転ロード装置と、前記ハンドラから送出され
且つ分類された検査済ICを充填したスティックを検査済
ICを収納するためのカセットへ搬送するアンロード装置
とを備えたことを特徴とする。

［実施例］ 以下、本発明の好ましい実施例を図面を参照して説明す
る。第１図はハンドラ２の構成を示す図で、搬送機構１
はスティック３を挿入するカセット４、カセット４より
スティック３を取り出しあるいは収納するためのハンド
リングアーム５、カセット４から取り出されたスティッ
ク３を反転すると共にハンドラ２のスティック装着部21
に搬送する反転ロード装置６、ハンドラ２から分類され
て排出された検査済ICが満杯になったスティック３をハ
ンドラの排出部26から択一的に取り出すためのスティッ
クストッパ８、排出部26からスティック３を各分類対応
のカセット４に搬送するアンロード装置９から成る。

一方、ハンドラ２は装着部21にセットされたスティック
３からIC7を１コずつ送り出すため間欠送り機構（図示
せず）、IC7を予熱するための予熱部23、IC7の電気的特
性を検査するための測定部24及び検査済のIC7を検査結
果に基き分類する分類部25及び排出部26から成り、予熱
部23と測定部24にはそれぞれ搬送レール、ヒータ27が設
けられている。そして予熱部23と測定部24との間には従
来のようなICの反転機構は設けられていない。測定部24
にはIC7のリード線と接触し図示しないテスタに接続さ
れたテストヘッドが備えられている。分類部25は例えば
第２図に示すような分類ベルト25aから成り、検査結果
に応じて排出部26の溝26aの配列方向に移動して検査済I
Cを良品、不良品に分類し、所定の排出部26に供給す
る。排出部26には傾斜した面に溝26aが形成されてお
り、この溝26a上に検査済ICチップを入れるための空ス
ティック３′が並置される。そしてこの傾斜部からステ
ィック３′がずり落ちないためのスティックストッパ８
が設けられている。

次に搬送機構１を構成する各装置について順次説明す
る。カセット４は第３図に示すようにスティック３を支
持する一対の断面コの字状の柱体41、41とこれら柱体4
1、41を連結する連結板42と、柱体41、41下端近くに設
けられスティック３が落下するのを防止する係止機構43
とから成り、上方からスティックを入れることができる
と共に、下方からのスティックの出入れが可能なように
構成される。このため係止機構43は第４図（ａ）、
（ｂ）に示すように両方の柱体41、41にそれぞれ設けら
れた回転可能なストッパ44と、ストッパ44の一部と柱体
41との間に張設されストッパ44を矢印Ａ方向に付勢する
バネ45と、柱体41に穿設した長孔46に嵌合する係止ピン
47とから成り、第４図（ａ）（左側の係止機構）に示す
ように係止ピン47が長孔46の右側にある時はバネ45の付
勢力に抗して、ストッパ44を水平に係止し、これにより
スティックは落下せずにカセット４内に保持される。一
方、係止ピン47が長孔46の左側に移動するとストッパ44
はバネ45の付勢力により回動し、スティック３との係合
が外れ、これによりカセット４内の最下端のスティック
３は落下し、カセット４との間にスティック１個分の間
隙を形成するように設けられた切出し既往48上に乗り搬
送可能な状態となる。この切出し機構48があるので、最
下端のスティックのみが取り出され、それより上にある
スティックは係止ピン47が戻ることによりカセット内に
保持される。

係止ピン47の動きは例えばソレノイド等により自動的に
行うことができ、スティック取り出し時に所定の短い時
間ソレノイドを通電させることにより係止ピン47を移動
させて上記の動作を行う。

次にスティック３を下方から挿入するときは、第４図
（ｃ）に示すように搬送系のハンドリングアーム５でス
ティック３をストッパ44のテーパ部に当接させて上方へ
押し上げると、ストッパ44はバネ45のバネ力に抗して回
転し、スティック３をカセット４内に挿入することがで
きる。スティック３がストッパ44を通り越して更に上ま
で押し上げられると、ストッパ44はバネ力でもとの水平
な位置に戻り、ハンドリングアーム５の把持を解き、下
降させてもスティック３はストッパ44により、カセット
４内に係止され収納される。

以上のように構成されるカセット４内には第９図に示す
ように未検査IC7が挿入されたスティック３が上から順
に収納される。未検査IC7を収納するカセット４は搬送
機構のロード部にロボットアームあるいはオペレータに
よってセットされる。通常ロード部には数個のカセット
がセットできるようになっている。

ハンドリングアーム５はロード部にセットされた所定の
カセットよりスティックを取り出しあるいは所定のカセ
ットにスティックを収納するための装置で、スティック
３を保持又は開放する機構を有し、図示しない駆動系に
よりカセットの配列方向及び垂直（Ｚ）方向に移動する
ことにより上記機構を達成する。

反転ロード装置６は第５図に示すようにハンドリングア
ーム５によってカセット４から取り出されたスティック
３を受け取りハンドラ２のスティック装着部21に搬送す
るための装置で、第６図に示すようなスティック３を保
持し、又は開放するアーム61と、アーム61を軸62を中心
に半回転させるモータ63等の回転機構と、アーム61を上
下方向（図中、矢印Ｂ方向）に移動させるステップモー
タ、ソレノイド等の上下駆動機構64と、アーム61、モー
タ63及び上下駆動機構64等のアッセンブリをレール65に
沿って水平方向（図中、矢印Ｃ方向）に移動させる図示
しない水平駆動機構とから成る。その動作はまずハンド
リングアーム５によって取り出され、例えば中央部分を
保持されたスティック３の下方にアーム61を移動し、上
下駆動機構64によって上昇させた後、スティック３を保
持し、同時にハンドリングアーム５による保持を開放
し、ハンドリングアーム５を後退させる。次いでモータ
63によりアーム61を半回転し、スティック３を反転させ
る。反転後、水平機構によりレール65に沿って所定の装
着部21にスティック３を搬送し、アーム61のみを装着部
21側に移動することによりスティック３は装着部21に装
着され、中に挿入されていたIC7は自然落下によってハ
ンドラ２に供給される。これによりスティック３内のIC
7は反転した状態ですなわちそのリード線が上向きとな
ってハンドラ２に供給される。

排出部26は第７図（ａ）及び（ｂ）にその要部を示すよ
うに傾斜する面に溝26aが形成されており、この溝26aに
空のスティック３′がセットされる。スティック３′に
は、ハンドラ２で検査され、分類されたICが順次供給さ
れる。排出部26にはスティック３が溝26aからずり落ち
るのを防止し且つスティック３を択一的に取り出すため
に、各溝26a毎にスティックストッパ８が設けられる。
第７図（ａ）では理解を容易にするために２本のスティ
ックストッパ８しか示していないが、実際にはすべての
溝26aに設けられている。スティックストッパ８は支持
部材81に回転可能に支持されると共にその一端と支持部
材81との間にスプリング82が張設され、常時はスティッ
ク３を係止する位置（同図（ｂ）中、実線の位置）にあ
るがソレノイド84等の駆動機構により駆動される作動子
83によってその一端が押圧されると、回動して図中、端
線の位置になる。これによりスティックストッパ８によ
り係止されていたスティック３は係止が解かれ排出部26
からすべり落ちることになる。ソレノイド84の駆動は以
下のようにして行うことができる。すなわち、スティッ
ク３はハンドラ２より検査済ICが排出される時、排出部
26に設けたカウンタ85によって通過するICをカウント
し、所定数に達した時、信号を送り、ソレノイド84を駆
動する。

この際、同時に排出部26前に設けた別のストップ機構86
にも信号を送り、検査済ICがその排出部上に供給される
のを一時ストップする。ソレノイド84及びストップ機構
86を制御するための信号はカウンタ85から独自に送出す
るようにした制御系としてもよいが、ハンドラ本体の制
御部を利用することも可能である。

また、カウンタ85は発光素子、受光素子から成る検知素
子と計数器をくみあわせたもの等、公知のものが用いら
れる。ストップ機構86はソレノイド等により駆動される
簡易な機構を採用することができる。

ソレノイド84の駆動によってスティックストッパ８が回
動すると、スティック３′は自重によって溝26aよりせ
り出しアンロード装置９によって保持可能な状態とな
る。

アンロード装置９は、第８図に示すようにスティックを
把持しあるいは開放する機構を備えた２つの把持部91、
92、把持部91、92を垂直方向に駆動する垂直駆動機構9
3、把持部91のみを前後方向に移動する前後駆動機構9
4、把持部91、92全体を前後方向に移動する前後駆動機
構95、装置全体を左右方向に移動する移動レール96及び
左右駆動機構97から成り、排出部26において検査済ICが
満杯となったスティック３′を取り出し、所定の場所へ
搬送する。

すなわち、スティックストッパ８が回動することにより
排出部26からせり出してスティック３′の位置へアンロ
ード装置９を左右駆動機構97により移動させた後、把持
部91を前後に移動して把持し、把持部91の前後駆動と把
持開放をくり返しながらスティック３の中央が二つの把
持部91、92の間にくるようにしてスティック32を把持す
る。次いで把持部91、92全体を垂直駆動機構93によって
上方移動し、更に前後駆動機構95によって後退させた
後、左右駆動機構97により、検査済ICを収納するための
カセットへと搬送する。

検査済ICを収納するためのカセット４′はロード部のカ
セット４と同様のもので搬送機構内の所定位置（アンロ
ード部）に良品用、不良品用ごとに並べて配設されてお
り、更にアンロード部には各カセットへスティックを挿
入するためのハンドリングアーム５′（ロード部と同じ
もの）が備えられている。そしてアンロード装置９によ
って搬送されたスティック３′をこのハンドリングアー
ム５′が受け取り、スティック３′内の検査済ICが良品
か不良品かに応じて所定のカセット４′に挿入する。

カセット４′への挿入はロード部において説明したよう
にハンドリングアーム５′によってカセット下側から押
し入れることによりその係止部材を回転させて行う。

次に、この搬送機構の全体的な動作を説明する。まず、
搬送機構のローダ部にロボットアームによりまたはオペ
レータにより、未検査ICが挿入されたスティック３を収
納するカセット４をセットし、空のカセット４′をアン
ロード部にセットする。

次いで検査条件等を設定し、スタートボタンを押すとハ
ンドリングアーム５が端のカセット４から順に中のステ
ィック３を１つずつ取り出す。反転ロード装置６はハン
ドリングアーム５によって取り出されたスティック３を
受け取り、これを反転すると共に搬送し、ハンドラ２の
IC供給部にセットする。空になったスティック３は公知
のキックアウト機構によって取り外され、所定のトレイ
等上に放出される。一方、ハンドラ２のIC供給部21では
間欠送り機構によってスティック内の未検査IC7が１コ
ずつハンドラ２に自重により供給される。

未検査IC7はハンドラ２内では設定された条件で必要に
より予熱及び加熱されて測定部24で所定の検査が行われ
る。検査の結果（良品か不良品）により送出される制御
信号により分類部25が駆動され、これによって検査済IC
は所定の排出部26のスティック３′へ供給される。

排出部26のスティック３′はアンロード部にセットされ
た空スティックを収納したカセット４′から、ハンドリ
ングアーム５′及びアンロード装置９によって自動的に
排出部26に搬送し、セットしておくことができる。

このように排出部26にセットされたスティック３′にハ
ンドラ２から排出され供給される検査済ICは排出部26手
前でカウンタ85によってカウントされ、その数が所定数
になるとスティックトスッパ８が外れ、スティック３′
は排出部26からせり出してくる。

この時、ストップ機構86も同時に上昇し、更にハンドラ
から排出されてくるICを一時ストップする。

排出部26からせり出したスティック３′をアンロード装
置９の把持部91、92で把持し、これをアンロード部へ搬
送する。アンロード部ではハンドリングアーム５′が搬
送されたスティック３′を受け取り、分類に対応した空
のカセット４′内へ下側から順次収納して行く。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明の搬送機構においては、完全
自動化を達成することができ、搬送機構それぞれが簡素
に構成された機構から成っているので、目づまり等のト
ラブル時にもメンテナンスが容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のICハンドラ及び搬送機構の全体を示す
図、第２図はハンドラを示す図、第３図はカセットの全
体斜視図、第４図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ第
３図のカセットの動作を説明する図、第５図及び第６図
はそれぞれ反転ロード装置の平面図及び側面図、第７図
（ａ）、（ｂ）はそれぞれ排出部の要部斜視図及び断面
図、第８図はアンロード装置の斜視図、第９図はスティ
ックの斜視図、第10図は従来のハンドラを示す図であ
る。 １……搬送機構 ２……ハンドラ ３、３′……スティック ４、４′……カセット ５、５′……ハンドリングアーム ６……反転ロード装置 ７……IC ８……スティックストッパ ９……アンロード装置 26……排出部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】未検査ICを挿入したスティックから供給さ
   れた前記未検査ICを検査すると共に、検査済ICを検査結
   果に応じて分類ごとのスティックに送出するようにした
   ICハンドラにおいて、前記スティックを保持または開放
   するアームと、前記ICを軸を中心に半回転させる回転機
   構と、前記アームを上下方向に移動させる上下動機構
   と、前記アーム及び前記上下動機構をレールに添って水
   平方向に移動させる水平駆動機構とを備え、カセットよ
   り取り出された前記スティックを前記未検査ICのリード
   線の自由端が上向きとなるように反転させると共に前記
   ハンドラのスティック装着部に搬送する反転ロード装置
   と、前記ハンドラから送出され且つ分類された検査済IC
   を充填したスティックを検査済ICを収納するためのカセ
   ットへ搬送するアンロード装置とを備えたことを特徴と
   するICハンドラ。