JP2961800B2 - Ｉｃハンドラのマガジン回収装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、マガジンに収納させたICデバイス（以下、
単にデバイスという）を試験・測定機構に供給し、かつ
このマガジンからデバイスを払い出すことにより空にな
ったマガジンを回収するために、ICハンドラのローダ部
に設けられるICハンドラのマガジン供給・回収装置に関
するものである。

［従来の技術］ ICハンドラは、デバイスの電気的特性の試験・測定を
行うための装置において、デバイスを試験・測定機構を
設けたテスト部に搬送し、またこのテスト終了後のデバ
イスを分類分けして収納するための機構部を構成するも
のである。このために、ローダ部と、該ローダ部から供
給されるデバイスをテスト部に送り込むための搬送用シ
ュート及びテスト部でデバイスを位置決めして、ICテス
タのテストヘッドとコンタクトさせるための機構と、テ
スト結果に基づいてデバイスを品質毎に分類分けして収
納するためのアンローダ部とにより大略構成される。

ここで、デバイスをICハンドラに装架し、また試験後
のデバイスをICハンドラから取り出すために、多数のデ
バイスを１列に並べた状態に収納するスティック状のマ
ガジンが用いられる。そて、ローダ部においては、テス
トを行うべきデバイスを収納したマガジンを装架し、ア
ンローダ部においては、空のマガジンが設置され、テス
ト後のデバイスは、このテスト結果に基づいて品質毎に
それぞれ別個のマガジンに収納させるようにしている。

ローダ部にはマガジン供給部が設けられ、このマガジ
ン供給部に多数のマガジンを積み重ねてセットしてお
き、該マガジン供給部からマガジンを１本ずつ分離して
取り出して、デバイス搬出部に送り込み、このデバイス
搬出部でマガジンを傾斜させることによりデバイスを自
重で滑降させて、搬送用シュートに送り込むようにして
いる。そして、マガジン内のデバイスが全て払い出され
て空になると、この空マガジンはマガジン回収箱に落し
込まれ、これと同時に新たなマガジンがマガジン供給部
から取り出されてデバイス搬出部に移行させて、デバイ
スの供給を継続的に行うことができるようにしている。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、前述したように、ローダ部においてデバイ
スが払い出されて空となったマガジンをマガジン回収箱
に落し込んで回収するように構成した場合には、該マガ
ジン回収箱内においてはマガジンはランダムな状態で収
容されることになる。このために、回収された空マガジ
ンを再使用するには、人手による作業で、マガジン回収
箱からマガジンを取り出して、その方向を揃えて整理し
なければならず、この作業が著しく面倒である。特に、
ICハンドラのような自動化機械にあっては、たとえ単純
な作業であっても、人手による作業を可及的に少なくす
る要請は極めて大きく、従って、回収した空マガジンを
整理する必要をなくするようにすることは、省力化の観
点から重要である。とりわけ、ICハンドラにおける全自
動化を考える場合には、マガジンの取り扱い作業の簡易
化は必要欠くべからざるものとなる。

本発明は叙上の点に鑑みてなされたものであって、そ
の目的とするところは、ローダ部において、マガジン供
給部からマガジンを確実に１本ずつ分離して取り出し、
かつデバイスが払い出されて空になったマガジンを揃え
た状態で取り出すことができるようにしたICハンドラの
マガジン供給・回収装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 前述した目的を達成するために、本発明は、ICハンド
ラのローダ部に設置され、ICデバイスを収納したマガジ
ンを１本ずつ分離して取り出すマガジン供給部と、デバ
イスが払い出された後の空マガジンを回収するマガジン
回収部とを備えたICハンドラのマガジン供給・回収装置
であって、前記マガジン供給部及びマガジン回収部に
は、それぞれマガジンカセットが上下方向に挿脱可能な
一対の支持部材を設け、該マガジンカセットは、前記各
支持部材に対して上下方向に挿脱される前後一対のガイ
ドコラム間にマガジンを所定数積み重ねた状態に収納す
るマガジン収納部が形成され、また該各ガイドコラムの
下部位置には、その下端部から上方に向けて所定の長さ
を有する溝を形成し、この溝の内部に下方からマガジン
の通過は許すが、該マガジン収納部内のマガジンが脱落
するのを防止するために、上下方向に回動可能な係止部
材と、該係止部材を強制的に開放させるためのレバーと
が設けられ、さらに前記マガジン供給部の支持部材に
は、前記レバーを下方から押し上げるようにして前記係
止部材を強制開放させるために、該レバーを押し上げる
押動板を有するレバー駆動手段を設け、かつ前記マガジ
ンカセットを前記支持部材に挿通させた時に、前記押動
板は前記ガイドコラムの溝内において、前記レバーより
下方に対面する位置に配置させる構成としたことをその
特徴とするものである。

［作用］ このような構成を採用することによって、マガジンカ
セット内に試験すべきデバイスを収納したマガジンを所
定数装着されている時には、このマガジンカセットはマ
ガジン供給部にセットできる。また、このマガジンカセ
ットからマガジンが全て取り出された後には、マガジン
回収部にセットすることによって、空マガジンの回収を
行える。しかも、マガジンカセットをマガジン供給部及
びマガジン回収部にセットしたり、それらから取り出し
たりする作業は、マガジンカセットを支持部材に対して
上下方向に変位させるだけで良いから、マガジンカセッ
トの交換は極めて容易になる。また、空マガジンを収納
したマガジンカセットは、さらにアンローダ部における
空マガジンの供給部に設置して、デバイスを分類分けし
て収納するためのマガジンとして用いること等が可能と
なり、ローダ部及びアンローダ部におけるマガジンの供
給や回収等の取り扱いを全てマガジンカセットを用いて
行うことが可能となるので、マガジンの取り扱い作業を
著しく簡略化，効率化することができる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。

まず、第６図にICハンドラ全体の概略構成を示す。図
中において、１はローダ部、２はテスト部、３はアンロ
ーダ部をそれぞれ示し、テスト部２にはICテスタ４のテ
ストヘッド4aが臨んでいる。

デバイスＤは、ローダ部１からローダ側の傾斜シュー
ト５に沿って自重で滑降して、方向転換部材６によって
垂直方向に方向転換されて、テスト部２に送り込まれ、
該テスト部２において、所定の位置に位置決めしてテス
トヘッド4aにコンタクトすることによって、該デバイス
Ｄの電気的特性のテストが行われる。このテストが終了
すると、デバイスＤは再び下降して、方向転換部材７を
経由してアンローダ側の傾斜シュート８に送り込まれ
て、振り分け部材９を作動させることにより、アンロー
ダ部３において分類分けした状態で収納される。

ここで、ローダ部１においてテストを行うべきデバイ
スＤを供給するために、またアンローダ部３においてテ
スト後のデバイスＤを格納するために、第７図に示した
ようなスティック状のマガジンＭ（以下の説明におい
て、デバイスＤを収納した実マガジンと空のマガジンと
を区別する場合には、実マガジンにはMFの符号を付し、
また空マガジンにはMEの符号を付す。）が用いられれ
る。このマガジンＭは、デバイスＤを１列に並べて多数
収納することができるようになっており、その一側端部
はデバイスＤを出し入れするために開口し、他端は栓に
より閉鎖されている。また、このマガジンＭの上壁部分
には、その長手方向全体にわたってスリットＳが形成さ
れている。このスリットＳはデバイスＤがマガジンＭ内
で詰まったときに、治具を用いてこの詰まりを解除する
ことができるようにするためのものである。

ローダ部１には、第１図に示したように、テストすべ
きデバイスＤを収納した実マガジンMFが多数積み重ねた
状態にセットされるマガジン供給部10と、該マガジン供
給部10から送り出された実マガジンMF内のデバイスＤを
傾斜シュート５に送り込むためのデバイス搬出部11と、
デバイスＤが払い出された空マガジンMEを回収するため
のマガジン回収部12とが設けられている。従って、マガ
ジン供給部10に多段に積み重ねられている実マガジンMF
を、その下方から１本ずつ分離して取り出してデバイス
搬出部11に移行させ、該デバイス搬出部11においてこの
マガジンをクランプして、その軸線が傾斜シュート５の
延長線上となるように傾斜させて、デバイスＤを順次傾
斜シュート５に向けて自重滑降させる。また、このよう
にして実マガジンMFからデバイスＤが払い出されて空に
なると、該空マガジンMEはマガジン回収部12に移行させ
て回収される。

マガジン供給部10からデバイス搬出部11に実マガジン
MFを移行させるためにマガジン搬出手段13aが、またデ
バイス搬出部11にある空マガジンMEをマガジン回収部12
に移行させるためにマガジン搬出手段13bが設けられ
る。これらマガジン搬送手段13a,13bは、モータ，シリ
ンダ等の往復動手段により水平移動せしめられるように
なっている。従って、マガジン供給部10から分離された
実マガジンMFをマガジン搬送手段13aに受け取ると共
に、マガジン搬出部11における空マガジンMEはマガジン
搬送手段13bに受け取られて、これらを水平方向に変位
させることによって、実マガジンMFをデバイス搬出部11
に、空マガジンMEをマガジン回収部12に移行させるよう
になっている。また、マガジン回収部12に移行した空マ
ガジンMEはシリンダ等で昇降駆動されるマガジンリフタ
14によって上昇させることにより、マガジン回収部12に
回収されるようになっている。

ここで、マガジン供給部10で実マガジンMFを供給し、
またマガジン回収部12において空マガジンMEを回収する
ために、第２図に示したマガジンカセット20が用いられ
る。このマガジンカセット20は、一対のガイドコラム2
1,21と、両ガイドコラム21,21の上下の位置において、
両者間を連結する連結部22a,22bとから本体部分が構成
される。これら各ガイドコラム21は断面コ字状となって
おり、この凹状の部分にマガジンの両端部分を挿通した
状態で積み重ねて収納するマガジン収納部23が形成され
ている。また、上部側の連結部22aには、把手部24が設
けられており、この把手部24を把持してマガジンカセッ
ト20を持ち運ぶことができるようになっている。

而して、マガジンカセット20には、マガジンＭを下方
から積み上げることにより収納される。そして、そのマ
ガジン収納部23内に収納したマガジンＭが下降して脱落
しないように保持するために、各ガイドコラム21の下部
位置には、該各ガイドコラム21に沿ってマガジンＭを上
昇させたときには、マガジン収納部23内を開放してその
収納を可能とするが、該マガジンＭが下降して脱出する
方向の動きを規制する係止部材としての係止爪25が設け
られている。

係止爪25は、第３図に示したように、ガイドコラム21
の下端部に形成した切り欠き部21aに装着した軸26に、
その軸回りに回動可能に装着されている。この係止爪25
は突起25aを有し、該係止爪25を軸26を中心として回動
させることによって、突起25aはガイドコラム21におけ
るマガジン収納部23内に臨む係止状態と、該ガイドコラ
ム21の内壁より外側に退避する開放状態との間に変位す
るようになっている。係止爪25にはばね27が作用してお
り、該ばね27の付勢力により第３図に実線で示した係止
状態に保持される。この状態では、突起25aを挟んだ両
側の辺25b,25cのうちの一方の辺25b上にマガジンＭの底
壁が係合せしめられる。また、他方の辺25cはガイドコ
ラム25の内壁からマガジン収納部23内に斜めに突出する
状態となっており、このために、マガジンＭを下方から
押し上げると、係止爪25はばね27の付勢力に抗して図中
に矢印で示した方向に回動して、仮想線で示したよう
に、ガイドコラム21の内壁より外側に変位してこのマガ
ジンＭをマガジン収納部23内に受け入れることができる
ようになる。

また、図中において、28は係止爪25を外力によって開
閉駆動するためのレバーを示し、該レバー28は支軸28a
を中心として回動可能となっている。このレバー28はマ
ガジンカセット20をマガジン供給用としても用いる際
に、マガジンを１本ずつ分離して取り出す分離機構とな
るものである。また、29は係止爪25を係止状態に保持す
るためのストッパであって、このストッパ29は直接係止
爪25と係合するのではなく、該係止爪25と係合するレバ
ー28に係合するようになっている。

このように構成したマガジンカセット20は、マガジン
回収部12においては、支持部材15,15間に上方から挿入
するようにして装架されて、デバイス搬出部11から送り
込まれる空マガジンMEを収納するようになっている。そ
して、このマガジン回収部12における支持部材15にマガ
ジンカセット20を固定するために、該支持部材15の左右
両側には突条15a,15aが設けられており、またマガジン
カセット20のガイドコラム21の左右両側の外面は、この
突条15aを挿通する溝21b,21bが形成されている。また、
このマガジンカセット20を取り出すには、それを上方に
引き上げるようにすれば良い。

一方、マガジン供給部10には実マガジンMFがセットさ
れるが、この実マガジンMFも前述したマガジンカセット
20に装着してセットされることになる。

而して、このマガジン供給部10においては、マガジン
を回収するのではなく、供給するためのものであるか
ら、係止爪25によるマガジン収納部23内のマガジンＭを
１本ずつ分離する機構を持たせなければならない。そこ
で、第４図に示したように、マガジン供給部10におい
て、マガジンカセット20を上下方向に挿脱可能とした支
持部材16には、レバー28を強制的に開放させるレバー駆
動手段としてのシリンダ17が設けられており、該シリン
ダ17のピストンロッド17aには押動板18が装着されてい
る。ここで、マガジンカセット20がマガジン供給部10に
セットされた時には、押動板18の先端部分は溝12a内に
臨み、かつレバー28の下方に位置することになる。この
結果、シリンダ17を作動させると、押動板18が上方に向
けて回動して、レバー28を支軸28aを中心として回動さ
せることになり、この動作で係止爪25を強制的に開くこ
とができるように構成されている。さらに、このマガジ
ン供給部10の下方位置には、シリンダ等によって昇降せ
しめられるマガジン受け台19が設けられている。

従って、マガジン受け台19をマガジンカセット20内に
収納したマガジンＭのうち、最下段のマガジンよりほぼ
１本の高さ分下方の位置にまで上昇させた状態でシリン
ダ17を作動させると、押動板18が引き上げられて、レバ
ー28が回動して係止爪25を開放状態に回動変位させる。
これにより、マガジンカセット20内に収納されている最
下段のマガジンＭがマガジン受け台19上に受け取られ
る。そこで、押動板18を下降させると、最下段のマガジ
ンが他から分離されると共に、次段のマガジンは係止爪
25によって係止される位置に下降せしめられることにな
る。ここで、係止爪25が係止状態に変位するときには、
最下段のマガジンＭにおけるスリットＳを介して次段の
マガジンの底面に当接される。

本実施例は前述のように構成されるものであって、次
にその作動について説明する。

ここで、本実施例においては、第５図に示したよう
に、ローダ部１のマガジン供給部10及びマガジン回収部
12だけでなく、アンローダ部３に設置され、テスト後の
デバイスＤを分類分けして収納したマガジンを収納する
ためのマガジン収納部と、それぞれのデバイス収納部に
空マガジンを供給するマガジン供給部とにおいて、マガ
ジンカセット20を用いてマガジンの取り扱いを行うよう
になされている。

而して、第５図から明らかなように、ローダ部１のマ
ガジン供給部10には複数列（図面においては４列）のマ
ガジンカセット10が配列されており、またマガジン回収
部12にも複数列（図面においては４列）のマガジンカセ
ット10を配設しておく。ここで、マガジン供給部10に配
置したマガジンカセット20には、テストを行うべきデバ
イスＤを収納した実マガジンMFを装着させる。マガジン
回収部12には空マガジンMEを収納するためのものである
から、この位置に配置されるマガジンカセット20は空の
状態にしておく。

一方、アンローダ部３においては、複数の分類に分け
られる各デバイス収納部30a〜30hに隣接させて、満杯に
なったマガジンＭを収納するマガジン収納部31a〜31hに
はそれぞれ空のマガジンカセット20を、また各デバイス
収納部30a〜30hに空マガジンMEを供給するためのマガジ
ン供給部32には空マガジンMEを収納したマガジンカセッ
ト20を設置する。而して、マガジン供給部32には、マガ
ジン供給部10と同様、分離機構を構成するシリンダ17が
設置されており、マガジン収納部31a〜31hにはシリンダ
17は設置されてはおらず、従ってマガジン回収部12と同
様の構造となっている。

まず、マガジン供給部10に設置したマガジンカセット
20の係合爪25をシリンダ17により作動させて、実マガジ
ンMFを１本他から分離して取り出し、マガジン搬送手段
13aによってデバイス搬出部11に設置する。そして、こ
のデバイス搬出部11において、マガジンMFをクランプし
て傾斜シュート５に連なる角度に傾斜させることによ
り、このマガジンMFからテストを行うべきデバイスＤを
傾斜シュート５に送り込む。これによって、デバイスＤ
は該傾斜シュート５から方向転換部材６を経てテスト部
３に送り込まれ、該テスト部３において所定の位置に位
置決めされて、ICテスタ４のテストヘッド4aにコンタク
トせしめられる。

このようにしてテストの終了したデバイスＤは該テス
ト部３から傾斜シュート８を介してアンローダ部３に送
り込まれる。そして、振り分け部材９によって、テスト
結果に基づいてデバイス収納部30a〜30hにそれぞれ設け
たいずれかのマガジンに収納される。

１本のマガジンからデバイスＤが完全に払い出されて
空になると、この空マガジンMEをマガジン搬送手段13b
によりマガジン回収部12に送り出すと共に、マガジン供
給部10から新たな実マガジンMFを１本分離して取り出
し、デバイス搬出部11に送り込む。

ここで、マガジン搬送手段13bによって空マガジンME
がマガジン回収部12におけるいずれかのマガジンカセッ
ト20の装着位置の下方にまで変位すると、マガジンリフ
タ14が作動して、この空マガジンMEを上昇させる。これ
によって、該空マガジンMEは係合爪25を押動してマガジ
ン収納部23を開放して、該マガジン収納部23内に収納さ
れる。そして、マガジン収納部23内に空マガジンMEが収
納されると、係合爪25は係止状態に復帰するので、該空
マガジンMEはマガジン収納部23内に収納された状態に保
持される。

このようにして、順次デバイスＤのロード作業を行う
と、マガジン供給部10においては、マガジンカセット20
が空になり、またマガジン回収部12のマガジンカセット
20は空マガジンMEで満杯となる。そこで、適宜マガジン
供給部10において空になったマガジンカセット20を取り
出して、新たに実マガジンMFを収納したマガジンカセッ
ト20を追加すると共に、空になったマガジンカセット20
はマガジン回収部12において空マガジンMEが満杯となっ
たマガジンカセットと交換する。このマガジンカセット
20の交換作業は、把手部24を把持して引き上げることに
より取り出され、また支持部材15または16に上方から挿
入することによりセットすることができ、この交換は極
めて容易に、しかも迅速に行える。

一方、アンローダ部３においては、マガジン収納部31
a〜31hの各部に設置したマガジンカセット20がテスト終
了後のデバイスＤを収納した実マガジンMFで満杯になる
と、このマガジンカセットを取り出して次工程に搬入す
るか、または製品として出荷する。これに対して、マガ
ジン供給部32に設置されているマガジンカセット20が空
になると、前述と同様の操作により、このマガジンカセ
ットをマガジン収納部31a〜31hにおいて取り出されたマ
ガジンカセットに代えて設置することができる。また、
ローダ部１におけるマガジン回収部12に設置したマガジ
ンカセットは、このアンローダ部３に持ち込んで、マガ
ジン供給部32に装着することもできる。

即ち、ICハンドラの装置全体において、個々のマガジ
ンを設置したり取り出したりするのではなく、マガジン
カセットにより取り扱うことによって、マガジンの取り
扱いが極めて容易かつ簡便になる。

［発明の効果］ 本発明は以上のように構成したので、ローダ部におい
て、マガジンカセットをマガジン供給部に装着して、該
マガジン供給部からマガジンを確実に１本ずつ分離して
取り出し、かつデバイスが払い出されて空になったマガ
ジンは、マガジン回収部において、マガジン供給部に装
着したと同じマガジンカセットに揃えた状態で収納で
き、特にマガジン供給部ではマガジン分離機構が設けら
れているにも拘らず、マガジンカセット側にはマガジン
収納部内のマガジンが脱落するのを防止する係止部材
と、該係止部材を強制的に開放させるためのレバーとを
設ける一方、マガジン供給部側にはレバーを押し上げる
押動板を有するレバー駆動手段を設け、かつガイドコラ
ムの下端部から上方に所定の長さを有する溝を形成し、
マガジンカセットを支持部材に挿通させた時に、押動板
は溝内において、レバーより下方において、このレバー
と対面する位置に配置させるようにしているので、これ
らマガジン供給部及びマガジン回収部にマガジンを装着
したり、取り出したりする作業をマガジンを上下方向に
変位させるだけの操作で行えるので、マガジンカセット
の交換作業を円滑かつ迅速に行える等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すものであって、第１図は
ローダ部の概略構成を示す説明図、第２図はマガジンカ
セットの構成説明図、第３図はマガジンカセットの要部
断面図、第４図はマガジンの分離機構を示す構成説明
図、第５図は作動説明図、第６図はICハンドラの全体構
成を示す模式図、第７図はマガジンとICデバイスとを示
す外観図である。 1:ローダ部、2:テスト部、3:アンローダ部、4:ICテス
タ、10:マガジン供給部、11:デバイス搬出部、12:マガ
ジン回収部、13a,13b:マガジン搬送手段、14:マガジン
リフタ、20:マガジンカセット、21:ガイドコラム、23:
マガジン収納部、24:把手部、25:係止爪、26:軸、27:ば
ね、28:レバー、29:ストッパ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−265439（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−10572（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01R 31/26 H01L 21/66

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ICハンドラのローダ部に設置され、ICデバ
   イスを収納したマガジンを１本ずつ分離して取り出すマ
   ガジン供給部と、デバイスが払い出された後の空マガジ
   ンを回収するマガジン回収部とを備えたICハンドラのマ
   ガジン供給・回収装置において、 前記マガジン供給部及びマガジン回収部には、それぞれ
   マガジンカセットが上下方向に挿脱可能な一対の支持部
   材を設け、 該マガジンカセットは、前記各支持部材に対して上下方
   向に挿脱される前後一対のガイドコラム間にマガジンを
   所定数積み重ねた状態に収納するマガジン収納部が形成
   され、また該各ガイドコラムの下部位置には、その下端
   部から上方に向けて所定の長さを有する溝を形成し、こ
   の溝の内部に下方からマガジンの通過は許すが、該マガ
   ジン収納部内のマガジンが脱落するのを防止する係止部
   材と、該係止部材を強制的に開放させるためのレバーと
   が設けられ、 さらに前記マガジン供給部の支持部材には、前記レバー
   を下方から押し上げるようにして前記係止部材を強制開
   放させるために、該レバーを押し上げる押動板を有する
   レバー駆動手段を設け、 かつ前記マガジンカセットを前記支持部材に挿通させた
   時に、前記押動板は前記ガイドコラムの溝内において、
   前記レバーより下方に対面する位置に配置させる構成と
   した ことを特徴とするICハンドラのマガジン供給・回収装
   置。