JPH0249015B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はIC、LSI等のような半導体素子の電
気的性能を測定し、その結果を判断して多分類に
選別する装置に係るものである。従来、これらの
装置は測定しようとする半導体素子（以下単に素
子とする）を収納する棒状のマガジンを装置の供
給側に取付け、これから素子を送り出して測定、
選別して、収納側に別に配置された多数本のマガ
ジンの中に分類に従つて収納するもので、マガジ
ンの供給および選別の後の素子によつて満杯とな
つたマガジンの取出しは人手によつて行なつてい
た。ところが測定選別の高速化に伴い１人の作業
者の扱う選別装置の台数には限りがあるため、こ
れを何とか自動化して高能率の装置を開発する試
みがなされてきた。

従来装置の一例としてマガジンを多数本収容す
るカセツトを考え、これをもつて取扱うことによ
つて合理化しようとするものがある。例えば特開
昭56−66767号であるが、これはマガジンを複数
本並列にカセツト中に収容し、カセツトごと装置
に供給し、素子放出の終つたカセツトをそのまま
分類収容部に移すもので、最終搬出もカセツトに
よつて取扱うことができる。ところが、いま３分
類する場合を考えると３つのカセツトを配置し
て、この中のマガジンに選別された素子を送り込
む必要がある。さらに分類数Ｎが多くなるとカセ
ツトＮ個配置して、これに素子を送り込まねばな
らなくなり、平面的にカセツトを配置した場合に
は大きな面積をとり、従つて装置全体が大きくな
らざるを得ない。そこで装置を小さくするために
はカセツト内に収容するマガジンの本数を減少す
ることが考えられるが、これではカセツトの交換
の頻度が多くなり自動化の要請には充分応えるこ
とができない。また、上記に示された例ではカセ
ツトが装置の中を移動するため必然的に装置が大
きく、かつ強固に作らねばならず取扱い難い装置
となる欠点があつた。

本発明はこれらの点を改善し、全体を小さくか
つ連続高速運転を可能としたものであつて、その
ため装置内を移動するのはマガジンだけとし、カ
セツトは最初の供給と最終の取出しに使用する。
そしてマガジンを縦積みの状態にカセツト内に収
容することによつて立体的にコンパクトに構成す
ることができる。

第１図は本発明において使用するカセツトであ
つて、素子１を多数個収納する棒状のマガジン２
はカセツト３の下から上に押し込まれ、かつ両側
に設けられた爪４によつて保持され、爪４を開く
ことによつて下から取出すことができるものを使
用する。

つぎに第２図、第３図によつて全体の構成を説
明する。これから測定選別される素子を満杯に収
納したマガジン２を縦積みに入れた上記のカセツ
ト３をＡのカセツト供給位置にセツトする。そし
てその下はマガジン取出位置Ｂであつて、カセツ
ト３からマガジン２を１本ずつ取出して図の左方
向に搬送する。送られたマガジンはＣのマガジン
傾斜位置において素子の送り出し口を下にして傾
斜されて、収納されている素子を１個ずつ滑落さ
せる。そして素子を送り出し終つたマガジンは、
この位置で素子が残存しているか否かの検査を受
ける。そして素子の残存が検出された場合には振
動を与えるとか空気噴射を行なう等の処置によつ
て素子送り出しの援助を所定回数行う。次にマガ
ジンは水平位置に戻されて、もし先の素子送り出
しの援助にもかかわらずマガジンに素子が残存し
ていた場合には、Ｄ位置においてそのマガジンの
みを系外に排出する。そして完全に空であると確
認されたマガジンだけが降下位置Ｅにおいて下降
し、Ｆ位置のマガジン待機位置に入つてストツク
される。

一方Ｃのマガジン傾斜位置より送り出された素
子は従来装置と同様に、１個送り機構を通つて測
定位置Ｇに入り、電気的性能の測定・判定が行な
われ、その素子の選別分類ａ，ｂ，ｃ，ｄ…が決
定され記憶される。素子はシユートを通りＨ位置
において方向変換機構により図の右方向の傾斜シ
ユートを通り、選別位置Ｉに入る。ここでは搬送
ベルト上に素子の保持装置を設け、これによつて
素子を受け取つて、ベルトを指定されただけ移動
させて、素子を指定移動分類位置ａ，ｂ，ｃ，ｄ
…に放出する。すなわちａに分類されたとすれ
ば、保持装置はａの収容位置において停止して素
子を放出する。なお選別位置Ｉの次には素子の待
機位置Ｊ、素子分類収容位置Ｋを設けて、Ｎ本の
マガジンとそれの導入部の待機部とが傾斜した一
平面上に等間隔に配列される。ここで素子の待機
位置Ｊにおいては、通常は素子が通過するだけで
あるが、収容位置Ｋのマガジンの１本が満杯とな
り、そのマガジンの交換が行なわれる間、素子の
待機機構は通路の末端を一時閉じて、送られてく
る素子を一時ストツクして選別作業の続行に支障
をきたさないようにする。

第３図において、前述のマガジン待機位置Ｆに
入つた空マガジンは、後述するマガジン交換機構
によつて素子分類収容位置Ｋにあるマガジンのう
ち満杯となつたものの位置に運ばれて交換され、
満杯マガジンは交換機構によつて押し上げられ、
マガジン収容位置Ｌにあるカセツト３内に下から
押し込まれる。すなわち、いまＫ位置においてｄ
に分類された素子を収納するｄ分類マガジンが満
杯になつたとすると、空マガジンは交換機構によ
つてｄマガジンの下に移されて、その位置にセツ
トされ、満杯マガジンはその上Ｌに待機するｄマ
ガジンを収容するカセツト３に下から押し込まれ
る。

以上の構成において、最初にマガジンの待機位
置Ｆに予備マガジンを入れ、素子分類収容位置Ｋ
にマガジンをＮ本装着して、Ａ位置にカセツト３
を供給すると供給カセツト中のマガジンは次々と
送り出され、空マガジンとなつたものは満杯マガ
ジンの後に補充されてバランスよく連続無人運転
が可能となり、カセツトの供給、搬出のみを行な
えばよい。なお素子の待機機構が設けられている
ので、満杯マガジンの交換、カセツト内への収容
に関係なく素子の検査、選別の操作が続行され
る。

以下に各位置に設けられた機構について説明す
る。第４図にカセツトの両側面に設けられる爪の
構造の一例を示す。ここでは爪４の下方に傾斜面
６を設け、下からレバー７が傾斜面６を押し付け
ることによつて爪４はスプリング８を圧縮して時
計方向に旋回し最下段のマガジン２を下方に落と
すよう構成されている。第５図はカセツト供給位
置Ａおよびマガジン取出位置Ｂにおけるマガジン
の取出機構の一例を示すもので、マガジン２を縦
１列に収容しているカセツト３は案内９によつて
所定位置にセツトされる。なお、このカセツト３
には両側面下部に爪４が取付けられる。ここで図
の下のマガジン取出機構は左右対称であるので、
左側について説明する。レバー７は旋回して爪４
の傾斜面６に入つて、当つて爪４を左の方に押し
開きカセツトの下方を開放する。このときマガジ
ン受け１２は上昇してマガジン２を下から支えて
いる。ついで第２の爪１０が下から２番目のマガ
ジンに入つて、２番目以上のマガジンを支えて、
受け１２上には１本のマガジン２が置かれる。受
け１２の下にはチエーン１４が設けられ、チエー
ンには突出部１５が設けられている。チエーン１
４はチエーンホイール１３にかけられて、指令に
よつてホイールは回転する。受け１２はマガジン
２を受け取ると下降し、マガジン２は突出部１５
上に置かれ、チエーン１４によつて紙面に直角方
向に搬送される。なおマガジンの取出し搬送はＣ
位置における傾斜マガジンが空になつて、傾斜台
が水平に復帰した時点において行なわれる。

傾斜台に送り込まれたマガジンは出口を閉鎖し
て傾斜され、測定位置Ｇへのシユートとの連結が
完了したところで出口を開き、従来の自動検査装
置と同様の測定部Ｇへの１個送り機構を経て素子
が送り出される。そして送り出しが完了したと
き、マガジンに残留する素子があるか否かを検査
するが、これには光線をマガジンに通す方法、フ
イーラーを挿入する方法等が用いられる。そして
もし残存素子があることが判明すれば素子の送り
出しを助けるためにマガジンの振動、加圧空気の
噴射を行ない、更にその後に再び残存検出を行な
う。ここで残存ありと判断されたマガジンは次の
素子残存マガジン処理位置Ｄにおいてトラツプを
開いて、そのマガジンのみを系外に排出する。こ
れは本発明においては素子の供給に使用されたマ
ガジンがそのまま分類選別素子収納用として転用
されるためである。

次に素子の選別に際しては、Ｊ位置に素子の待
機機構を設けるが、これはその下流末端にストツ
パーを設けたシユートであつて、その下のマガジ
ンが満杯になると、そのマガジンが空マガジンと
交換される間、その系列の待機機構のストツパー
を作動させて、選別されてくる素子を一時ストツ
クし、マガジンの交換が完了したときストツパー
を開いて、待機機構Ｊに一時ストツクされた素子
をマガジンに送り込む。

次にマガジン交換機構について説明する。第３
図において、分類収容のマガジンｄが満杯になつ
たとすると、マガジン交換機構はマガジン待機位
置Ｆから空マガジン１本を受け取つて、Ｋ位置の
マガジンｄの直下にきて満杯のマガジンｄを旋回
して押し上げると共に、ここに新マガジンを装填
し、更にマガジンｄを押し上げてカセツトｄの中
に下からこれを押し込み、マガジン交換機構を復
帰する。

第６図にマガジン交換機構の一例を示す。マガ
ジン交換機構２０はＫ位置の素子分類収容マガジ
ン列と同じ傾斜角度を有する二つのレール２３，
２４上を移動台２５によつて指令に従つて紙面と
直角方向に移動する。そして移動台２５に設けら
れたエアシリンダ２６により、台２５に平行に、
かつ直角方向に移動する中間板２７を設け、この
中間板２７の上にマガジン受け２８，２９を取付
ける。中間板２７の図の右側には支点３１を設
け、これに旋回板３２を取付け、その中間に長孔
を設けて、これに軸３３を入れる。軸３３を先端
に有するロツドはエアシリンダ３４によつて移動
し、旋回板３２を支点３１を中心として時計方向
に旋回させる。旋回板３２の左端にはマガジン受
け３５を上向きに設けると共に、中間板２７の右
端にマガジン受け３６を設けて、この二つのマガ
ジン受け３５，３６の上面で後述するように満杯
となつた収容マガジン２１を旋回させて、カセツ
ト３内に押し込むよう構成されている。なお、Ｋ
位置にある収容マガジン２１には各個にマガジン
クランパ２２が設けられ、かつマガジンの移動の
案内をするガイド板３７および３８を設ける。

このような構造において素子分類収容位置Ｋに
セツトされているマガジン２１が測定選別された
素子によつて満杯となると、空マガジン３０をマ
ガジン受け２８，２９上に保持してマガジン待機
位置Ｆで待機しているマガジン交換機構２０がレ
ール２３，２４上を移動してきて、第６図に示す
ようにマガジン受け３５，３６が満杯マガジン２
１に接した状態で停止する。次いでマガジンクラ
ンパ２２が満杯マガジン２１のクランプを解除す
ると、同時にエアシリンダ３４が作動して旋回板
３２が支点３１を中心に時計方向に旋回し、マガ
ジン受け３５は一点鎖線で示す３５′の位置へ旋
回移動して停止する。この時満杯マガジン２１は
マガジン受け３５，３６上に支持されているため
ガイド板３７，３８に案内されながら旋回移動し
て一点鎖線で示す２１′の位置で停止する。次い
でエアシリンダ２６が作動して中間板２７を押し
上げると３５′で示す位置に停止していたマガジ
ン受け３５″の位置へ、支点３１は３１′の位置
へ、マガジン受け３６は３６′の位置へ押し上げ
られ、従つて満杯マガジン２１′はカセツト３の
両側面の２つの爪４を押し広げて２１″に示すよ
うにカセツト３の下部から収容される。

一方、空マガジン３０は先のエアシリンダ２６
の作動により、同時に素子分類収容位置Ｋまで押
し上げられて停止し、マガジンクランパ２２によ
つてクランプされて新たな測定選別された素子を
収納できる状態にセツトされる。このようにして
満杯マガジン２１はカセツト３内に収容され、空
マガジン３０が素子分類収容位置Ｋにセツトされ
た後、マガジン交換機構２０は下降してレール２
３，２４上を移動してマガジン待機位置Ｆに戻つ
て新たな空マガジンを保持して待機する。なお、
先の説明において旋回板３２の二つの受け３５，
３６は下方復帰の際、Ｋ位置においてセツトされ
たマガジンに接触しないための逃げ機構が設けら
れている。

なお、上記説明においては素子並びにマガジン
の搬送、移動機構、指令機構等公知のものは説明
が複雑となるので省略したが、本発明の素子、マ
ガジンの流れを確実に行なう方法であれば、その
いずれをも採用することができる。また上記説明
においては供給カセツトを水平に入れ、これより
マガジンを１本取出して後傾斜させて、素子を送
り出すものについて述べたが、供給するカセツト
を最初から傾斜させて装填し、これを傾斜状態に
おいて素子の出口を閉鎖した状態でマガジン１本
を取り出し、素子送り出し位置において開口して
素子を送り出し、次の工程に移すことも可能であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明が取扱う半導体素子、マガジン
およびカセツトの説明図、第２図・第３図は本発
明の構成を示す説明図、第４図はカセツト下部の
断面図、第５図はマガジン取出し搬送機構の側面
図、第６図はマガジン交換機構の側面図。 １：半導体素子、２：マガジン、３：カセツ
ト、４：爪、１２：マガジン受け、１４：搬送用
チエーン、２０：マガジン交換機構、２３，２
４：レール、２５：移動台、２７：中間板、２
８，２９，３５，３６：受け、３２：旋回板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 半導体素子を収納するマガジンを縦積みに収
   容するカセツトを使用し、その下方よりマガジン
   を１本ずつ取出す機構と、取出されたマガジンか
   ら素子を放出する機構と、放出後のマガジンに素
   子が残存していることを検知した場合そのマガジ
   ンを系外に排出する機構と、素子の供給に使用さ
   れ空であることの確認されたマガジンを一時スト
   ツクするマガジン待機機構と、測定された素子を
   傾斜して並列配置された分類数Ｎ本のマガジンに
   選別する選別機構と、選別された素子の待機保持
   を可能とした待機機構と、分類された素子によつ
   て満杯となつたマガジンをストツク中の空マガジ
   ンと交換し、かつ満杯マガジンをその直上に待機
   するカセツトに収容するマガジン交換機構とを有
   する半導体素子の選別装置。