JPS63310200A - Ｉｃの垂直搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はＩＣ検査システムにおけるＩＣハンドリング装
置のＩＣ搬送に関するものである。

（発明の概要〕 ＩＣの垂直搬送装置において、ＩＣを次工程へ供給する
ための所定位置へ垂直にセットされた長尺１ｃマガジン
内の、１個又は複数個のＩＣを必要な量だけ次工程へ供
給し、又、所定の収納位置へ垂直にセットされた長尺空
マガジンへ、前工程からのｔＣを垂直姿勢を保持して１
個１個収納できることを可能にしたものである。装置の
省スペース化をローコスト化をねらい、ＩＣの姿勢変換
を少な（した強制搬送を特徴とするトータルシステムへ
の適用で、最大限の効果を発揮しようというものである
。さらにＩＣの供給に関しては、ＩＣ供給終了後、駆動
系のクラッチを解除することにより、フレキシブルテー
プ巻き取り部に内蔵された巻き取り用ゼンマイバネの作
用で、ＩＣ搬送爪を瞬時に元の位Ｎ（下限原点）へ復帰
させることを可能にしている。

〔従来の技術〕

従来この種の搬送装置は、ＩＣの自重落下方式搬送機構
がその対象であった。高い位置のマガジンセント部にセ
ットされた長尺ＩＣマガジンを、隣りの水平位置ヘシフ
トして一方をリフターにて上昇させ、前記長尺ＩＣマガ
ジンを傾斜せしめ、中のＩＣを自重により滑走させ所定
位置へ供給するものであった。又、他の対象として水平
搬送機構を有する装置があり、これにおいては水平にセ
ットされた長尺ＩＣマガジン内のＩＣを、直動式のプッ
シュロンドにより押し出して次工程へ供給せしめるもの
であった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

長尺ＩＣマガジンを使用する検査装置においては、通常
のＩＣはテストヘッドとの関係により、垂直状態で検査
するのが一般的である。従って、上記自重落下方式の従
来技術では、検査されるＩＣの姿勢が水平、傾斜、垂直
と度々変化し、この姿勢変換がトータルシステムにおけ
るジャミングの要因となる欠点を有していた。又、水平
搬送機構を有する装置においては、プッシュロンド方式
のため、その駆動系の平面スペースがそのままフロアス
ペースに影響するため小スペース化−が困難であった。

〔問題点を解決するための手段〕

システム全体のＩＣの流れを下方から上方へ、上方から
下方へ垂直搬送をベースに可能ならしめ、上記問題点を
解決している。ＩＣ供給においては、所定のＩＣ供給位
置へ垂直にセントされた長尺ＩＣマガジン内の１個又は
複数個のＩＣを、必要な量だけ上部の次工程う供給し、
ＩＣ収納においては、所定のＩＣ収納位置へ垂直にセン
トされた長尺空マガジンへ、上部の前工程から、ＩＣを
１個１個収納せしめる機構を有するＩＣの垂直搬送装置
を徒供するものである。

〔作用〕

上記のように、長尺ＩＣマガジン内のＩＣを垂直強制搬
送することにより、前記長尺マガジン内のＩＣはその姿
勢を変換することなく、次工程ユニットに搬送され、ジ
ャム率の低減によるシステムの信頼性向上に寄与する。

又、本垂直搬送装置はｔＣ搬送爪の駆動にフレキシブル
テープを用いているため、駆動系の垂直方向のスペース
ファクタを小さくしている。このことはとりもなおさず
、水平強制搬送を有する装置に利用すれば、そのままフ
ロアスペースを小さくできる利点となり得る。

さらに本垂直搬送機構を有するＩＣ供給においては、Ｉ
Ｃ供給後、自身にもつ駆動系クラッチの解除により、前
記フレキシブルテープの巻き取り部に内蔵された巻き取
り用ゼンマイバネの作用で、ＩＣ＠送爪を瞬時に元の位
置（下限原点）に復帰させることを可能ならしめ、装置
のサイクルタイム短縮に寄与している。

〔実施例〕

第１図〜第９図において、１は本装置内を流動するＩＣ
で長尺ＩＣマガジン２にかかわる。長尺ＩＣマガジン２
は、ＩＣＩの供給、収納、運搬に用いられ、下限端にＩ
ＣＩの落下防止用ストッパー４．４’が設けられている
。長尺ＩＣマガジン２は、本搬送装置の所定位置Ａに、
別のマガジン位置決め機構３により位置決めされるよう
になっている９本垂直搬送装置は、先端部にＩＣ搬送爪
５送置５されたフレキシブルテープ６が、巻き取り用ゼ
ンマイバネ７を設けた巻き取りリール８にセントされ、
さらに巻き取りリール８は、その回転軸が機構本体に固
定されている。又、フレキシブルチー１８は、第８図の
如く、わん曲断面構造を有して駆動時の座屈を防止して
いる。垂直搬送動作時にはテープガイド９を必要とし、
ガイドプレート１０．１１でこれを構成している。ガイ
ドプレート１０はベースプレート１２に固定され、さら
に本装置の駆動系１３が、下限位置に固着されている。

前記駆動系においては、駆動用モータ１４の動力が、ベ
ル目５を介してゴムローラ１６に伝達されるよう各要素
が設置されている。又、ゴムローラ１６に対向して、フ
レキシブルテープ８駆動用補助ローラ１７が、回転軸１
８をもつレバー１９に設置され、さらにレバー１９には
引っ張りバネ２０が設けられて、フレキシブルテープ８
が補助ローラ１７によって、ゴムローラ１６に常時押し
付けられている。ゴムローラ１６と補助ローラ１７に挟
持されたフレキシブルテ−ブ８のフリクション作用を解
除せしめるため、レバー１９には口７ド２１が、駆動系
本体１３にはシリンダー２２がそれぞれ設置されている
。又、本垂直搬送機構には、ＩＣマガジンのセット位！
下端部に搬送爪下限用度当たり２３が設けられ原点位置
が設定されている。

次に、上記の如（構成されたＩＣの垂直搬送装置の動作
について説明する０本装置は、第１図に示すＩＣの垂直
搬送を特徴とするＩＣ検査装置のハンドリングシステム
の一要素を構成する装置であって、全体システムにおい
て検査されるＩＣは、第１図の矢印の如く搬送され、後
部に設けられたテストヘッドを介してＩＣ検査が行われ
る。検査完了ＩＣは、再び継続する矢印の如く搬送され
、回収９分類、収納されるようになっている０本垂直搬
送装置は所定位置Ａの垂直ラインにおいて、供給マガジ
ンストッカー２３にセットされた多数個の長尺ＩＣマガ
ジン２４内の未検査ＩＣを、加熱チャンバ２５内の多数
個の専用マガジン２６内に、順次、供給するためのもの
である。

最初に、供給マガジンストンカー２３にセントされた長
尺ＩＣマガジン２４は、第９図に示す矢印の如く搬送さ
れ、所定粒ＩＡの垂直ラインにおいてマガジン位置決め
機構３により位置決めされる。

同時に加熱チャンバ２５内の専用マガジン２６も、所定
位置Ａにおいて長尺ＩＣマガジンの上部に、図示しない
別のマガジン位置決め機構により位置決めされる０次に
、専用マガジンの下部に設けられた図示しないｔＣ落下
防止用シャッターが開くと、搬送準備完了の信号を受け
て本垂直搬送装置が動作を開始する。駆動モータが矢印
Ｂの方向に回転し、ベルト１５を介してゴムローラ１６
が回転し、これと補助ローラ１７とで挟持されたフレキ
シブルテープ６が上昇し、よってフレキシブルテープ６
の端部に固着されたＩＣ搬送爪が長尺ＩＣマガジン２内
のＩＣＩを垂直に押し上げ強制搬送を開始する。

ＩＣＩは専用マガジン２６内に搬送され満杯になると専
用マガジン２６内にかかわる満杯センサが動作し、専用
マガジン２６の下部に設けられたブンシャーによりその
最下端のＩＣをロックする０次にＩＣ搬送爪５の原点復
帰用シリンダー２２が動作し、スプリング２２に対向し
てロフト２１を押すことにより、レバー１９が後退し補
助ローラ１７がフレキシブルテープ６により離れる。フ
リーになったフレキシブルテープ６は巻き取り用ゼンマ
イバネ７により、瞬時に原点復帰し垂直搬送動作を完了
する。

専用マガジン２６内に搬送されたＩＣは、専用マガジン
２６の最下端に設けられた前記シャッターを閉じ、下端
のＩＣのロックを解除することにより、これへのＩＣ供
給を完了する。順次、同様の動作を繰り返すことにより
システムの連続運転を可能にしている。又、本装置は長
尺ＩＣマガジンの長さ、加熱チャンバ内の専用マガジン
の長さ、および供給するＩＣの長さにより搬送ストロー
クを決定すれば、いかなるＩＣの供給も対応可能である
。

本実施例では、長尺ＩＣマガジンと専用マガジンの長さ
の比を２：１にして、駆動モータにパルスモータを採用
し２段階供給を実現している。すなわち、長尺ＩＣマガ
ジン内のＩＣを半数毎、専用マガジン内に供給できるよ
うコントロールされている。さらに、全体システムのＢ
位置においては、同様の機構により加熱チャンバ２５の
上部に設けられた供給ベルトライン２７のＩＣホルダ２
８へ、専用マガジン２６内のＩＣを１個１個垂直搬送し
、ジャミング防止に効果を上げている。全体システムの
Ｃ位置における良品回収についても、同様の機構を採用
し、前工程からのｔＣの落下距離をＩＣ１個分の長さに
とどめ、収納マガジンへＩＣ１個収納する毎にＩＣ１個
分下方にシフトするようコントロールして、長距離落下
によるワレカケを防止している。

以上の説明から明らかなように、本発明にかかるＩＣの
垂直搬送装置は、端部にＩＣ搬送爪を有する巻き取り可
能なフレキシブルテープとフレキシブルテープ用案内溝
を設けた搬送ガイド、およびフレキシブルテープの駆動
系とを備え、所定位置ヘセットされたＩＣマガジン内の
１個又は複数個のＩＣをＩＣＩ搬送爪により垂直方向に
搬送可能にしたものである。従って全体システムを構築
する上で省スペース化が図れ、姿勢変換の少ない装置構
成が可能となり、ジャミング防止に寄与できる等の利点
を有している。さらに、搬送媒体としてのフレキシブル
テープは、巻き取り方式を採用することによりスペース
ファクタが改善でき、クイック復帰の実現でサイクルタ
イムの短縮に寄与できる利点を有している。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にかかるＩＣの垂直搬送を含む全体シス
テムの斜視図、第２図は本装置のメイン機構の中心断面
図、第３図は第２図の正面図、第４図は第３図の平面図
、第５図は本装置のＩＣ！搬送爪とＩＣの関係を示す部
分拡大断面図、第６図は第５図の平面断面図、第７図は
フレキシブルテープの部分斜視図、第８図は全体システ
ムを流動する長尺ＩＣマガジンの斜視図、第９図は全体
システムを流動するＩＣの斜視図である。 以上

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）端部にＩＣ搬送爪を有する巻き取り可能なフレキ
   シブルテープと、前記フレキシブルテープを案内する搬
   送ガイド、および前記フレキシブルテープの駆動系とを
   備え、所定の位置にセットされた長尺ＩＣマガジン内の
   １個又は複数個のＩＣを、前記ＩＣ搬送爪により垂直方
   向（上又は下）へ搬送制御できることを特徴とするＩＣ
   の垂直搬送装置。
2. （２）前記フレキシブルテープの巻き取り方向への空搬
   送において、前記ＩＣ搬送爪が巻き取りバネによりクイ
   ック復帰することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載のＩＣの垂直搬送装置。