JPH074980U - 気密性流体継手 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 気密性流体継手において、流体の漏洩を確実
に防ぎ、装着も容易適確にできるものを提供すること。 【構成】 部厚いガスケット本体（５）の周縁に特に薄
い数片の取付脚（７）を一体に形成して、流体通路を形
成する２つのグランド１，２間に介在させて取付脚
（７）を一方のグランドに係止させて両グランドを締付
けたこと。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、主として半導体集積回路製造時に使用する毒性ガスの通路のもれを 防ぐ気密性流体継手に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来この種の継手に用いたガスケットは図５、図６に示すように、取付脚ａを 備えた断面Ｌ形の円環ｂと、円環ｂよりも部厚い有孔片Ｃとから構成され、有孔 片Ｃを図５のように円環ｂの裏側に嵌めて継手に介在させていた。従って部材が ２つに分かれるので、作業中に有孔片が落下したり痕付いたり或いはほこりが付 着して密閉機能が低下する欠点があった。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

本考案の課題は従来の欠点を解消し、取付作業が容易で、適確に保持し、流体 、特に毒性ガスの漏洩を来たすことのない気密性流体継手を提供することにある 。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案の手段は次のとおりである。

【０００５】 ニッケル、ステンレススチール等の金属で成形し、中心に流体通過孔を設けた ガスケット本体を、接続する対向グランドの間に介装して、両グランドの接続端 面に形成した円弧断面の接触環部に圧接し、ガスケット本体と一体に起立する数 片の薄い弾性取付脚を一方のグランドの周面に係止させ、両グランドの一方に遊 挿したおすナットに他方のグランドに遊挿したナットを螺合して止着した気密性 流体継手。

【０００６】

【実施例】 図１、図２の１及び２は接続するグランドで接続端面に断面円弧状の接触環部 ３，４を形成し、接触環部３，４の間にガスケット本体５を介装する。ガスケッ ト本体５は図３、図４に示すように中心に流体通過孔６を設け、その周縁に本体 ５の厚さの１／２程度の取付脚７を３片一体に起立形成し、この取付脚７か一方 のグランド１の周面に圧接して固定する。又図中９はグランド１に嵌めたナット で、他方のグランド２に挿入したおすナット１０に螺合し、おすナット１０を締 付けると、ガスケット本体５の両面が接触環部３，４に食込み密閉する。

【０００７】

【考案の効果】

本考案によれば、取付脚を備えたガスケット本体の両面を両グランドの接触環 部に圧接するので接触部は線状となり、しかも取付脚はガスケット本体の板厚を 薄くする潰し加工によって薄くし、弾発性を付与させてあるため本体は取付け保 持力が一定となりナットによる締付時に捻れ、歪み等を吸収でき常に正しい位置 に取付けられ、流体の漏洩を阻止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】縦断正面図。

【図２】要部の縦断正面図。

【図３】ガスケット本体の正面図。

【図４】図３のＡ−Ａ′線断面図。

【図５】従来の継手に用いたガスケット本体の縦断側面
図。

【図６】同上の円環のみの正面図。

【符号の説明】

１，２ グランド ３，４ 接触環部 ５ ガスケット本体 ６ 流体通過孔 ７ 取付脚 ９ ナット １０ おすナット

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ニッケル、ステンレススチール等の金属
   で成形し、中心に流体通過孔を設けたガスケット本体
   を、接続する対向グランドの間に介装して、両グランド
   の接続端面に形成した円弧断面の接触環部に圧接し、ガ
   スケット本体と一体に起立する数片の薄い弾性取付脚を
   一方のグランドの周面に係止させ、両グランドの一方に
   遊挿したおすナットに他方のグランドに遊挿したナット
   を螺合して止着した気密性流体継手。