JPH074568B2 - 塗布方法 - Google Patents
塗布方法Info
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- JPH074568B2 JPH074568B2 JP63138478A JP13847888A JPH074568B2 JP H074568 B2 JPH074568 B2 JP H074568B2 JP 63138478 A JP63138478 A JP 63138478A JP 13847888 A JP13847888 A JP 13847888A JP H074568 B2 JPH074568 B2 JP H074568B2
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- Japan
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- coating
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- blade
- film
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/005—Curtain coaters
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/02—Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface
- B05C11/04—Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface with blades
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
- B05C9/06—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying two different liquids or other fluent materials, or the same liquid or other fluent material twice, to the same side of the work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/007—Slide-hopper coaters, i.e. apparatus in which the liquid or other fluent material flows freely on an inclined surface before contacting the work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/007—Slide-hopper coaters, i.e. apparatus in which the liquid or other fluent material flows freely on an inclined surface before contacting the work
- B05C5/008—Slide-hopper curtain coaters
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S118/00—Coating apparatus
- Y10S118/04—Curtain coater
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は塗布方法に関し、更に詳しくは移動中の支持体
に向けて塗布液を自由落下させて塗膜を形成するカーテ
ン型塗布方法における新規な塗布方法に関する。
に向けて塗布液を自由落下させて塗膜を形成するカーテ
ン型塗布方法における新規な塗布方法に関する。
(従来技術) 従来、走行する支持体(被塗布部材)に適宜流動性を有
する塗布液を種々の構造の塗布装置を用いて塗布する方
法は、例えば磁性塗布液、写真感光塗布液、感圧塗布
液、感熱塗布液などを用いて生産される工業製品の製造
に汎用されている。
する塗布液を種々の構造の塗布装置を用いて塗布する方
法は、例えば磁性塗布液、写真感光塗布液、感圧塗布
液、感熱塗布液などを用いて生産される工業製品の製造
に汎用されている。
なお、本発明で言う「支持体」とは特に限定するもので
はないが、一般にポリエチレンテレフタレート、ポリエ
チレン−2,6−ナフタレート、セルロースダイアセテー
ト、セルローストリアセテート、セルロースアセテー
ト、プロピオネート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリ
デン、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミド等の
プラスチックフィルム;紙;紙にポリエチレン、ポリプ
ロピレン、エチレンブデン共重合体等の炭素数が2〜10
のα−ポリオレフィン類を塗布又はラミネートした紙;
アミルニューム、銅、錫等の金属箔;等からなる可撓性
帯状物あるいは該帯状物を基材としてその表面に予備的
な加工層を形成せしめてある帯状物が含まれており、代
表的な製品として各種写真フィルム、印画紙、磁気テー
プや磁気ディスク等が挙げられる。
はないが、一般にポリエチレンテレフタレート、ポリエ
チレン−2,6−ナフタレート、セルロースダイアセテー
ト、セルローストリアセテート、セルロースアセテー
ト、プロピオネート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリ
デン、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミド等の
プラスチックフィルム;紙;紙にポリエチレン、ポリプ
ロピレン、エチレンブデン共重合体等の炭素数が2〜10
のα−ポリオレフィン類を塗布又はラミネートした紙;
アミルニューム、銅、錫等の金属箔;等からなる可撓性
帯状物あるいは該帯状物を基材としてその表面に予備的
な加工層を形成せしめてある帯状物が含まれており、代
表的な製品として各種写真フィルム、印画紙、磁気テー
プや磁気ディスク等が挙げられる。
上述の各種塗布液の塗布方法には種々あるが、本発明が
対象とする塗布方法は、通常、カーテン型塗布方法と称
されている方法である。このカーテン型塗布方法を実施
するための塗布装置の基本的構成の概略を第5図及び第
6図に示す。
対象とする塗布方法は、通常、カーテン型塗布方法と称
されている方法である。このカーテン型塗布方法を実施
するための塗布装置の基本的構成の概略を第5図及び第
6図に示す。
第5図に示す塗布装置は、所定の速度で走行する支持体
4の上方に、該支持体4の幅と略一致するように延びた
塗布ヘッド6が設けられている。前記塗布ヘッド6はヘ
ッド長手方向(支持体の幅方向)に延びた液溜り2及び
該液溜り2に連通したスリット3が形成されており、該
スリット3が上方に向くように構成されている。そして
前記液溜り2に図示しない給液系により供給された塗布
液1は、前記スリット3からヘッド上側に流れ出た後、
前記塗布ヘッド6から支持体表面に向ってカーテン状と
もいえる状態で自由落下し、前記支持体4上に所望の塗
膜を形成する。
4の上方に、該支持体4の幅と略一致するように延びた
塗布ヘッド6が設けられている。前記塗布ヘッド6はヘ
ッド長手方向(支持体の幅方向)に延びた液溜り2及び
該液溜り2に連通したスリット3が形成されており、該
スリット3が上方に向くように構成されている。そして
前記液溜り2に図示しない給液系により供給された塗布
液1は、前記スリット3からヘッド上側に流れ出た後、
前記塗布ヘッド6から支持体表面に向ってカーテン状と
もいえる状態で自由落下し、前記支持体4上に所望の塗
膜を形成する。
第6図に示す装置の場合は、塗布ヘッド6が下向きとな
っており、スリット3から出た塗布液1はそのまま支持
体4に向って落下するように構成されている。
っており、スリット3から出た塗布液1はそのまま支持
体4に向って落下するように構成されている。
上述のカーテン型塗布方法においては、前記塗布液1と
前記支持体4との間に空気が浸入しやすい問題があっ
た。これは第7図に示すように前記塗布液1が自由落下
によって走行中の前記支持体4に衝突するために、その
衝突位置、すなわち、前記塗布液1の塗着最前部材であ
る落下点5が支持体走行方向寄りにずれ込むようになる
と共に、前記支持体4に同伴された空気7が前記落下点
5において支持体表面から逃げ切れずに塗膜内に入り込
み、該塗膜に欠陥部8が生じていた。
前記支持体4との間に空気が浸入しやすい問題があっ
た。これは第7図に示すように前記塗布液1が自由落下
によって走行中の前記支持体4に衝突するために、その
衝突位置、すなわち、前記塗布液1の塗着最前部材であ
る落下点5が支持体走行方向寄りにずれ込むようになる
と共に、前記支持体4に同伴された空気7が前記落下点
5において支持体表面から逃げ切れずに塗膜内に入り込
み、該塗膜に欠陥部8が生じていた。
上述の問題は、塗布スピードが高くなればなる程、又、
塗膜厚みが薄くなればなるほど大きな問題であった。こ
のことは、塗膜厚みの塗布可能範囲の拡大及び生産性の
向上を阻止する大きな問題であった。
塗膜厚みが薄くなればなるほど大きな問題であった。こ
のことは、塗膜厚みの塗布可能範囲の拡大及び生産性の
向上を阻止する大きな問題であった。
(発明の目的) 本発明は、上記課題を解消するためになされたものであ
り、カーテン型塗布方法において、塗布可能範囲を広げ
かつ生産性を向上させることのできる塗布方法を提供す
ることを目的とするものである。
り、カーテン型塗布方法において、塗布可能範囲を広げ
かつ生産性を向上させることのできる塗布方法を提供す
ることを目的とするものである。
(課題を解決するための手段) 本発明の上記目的は、塗布ヘッドから連続液膜を形成し
つつ自由落下する塗布液を、走行中の支持体の表面に衝
突させて塗膜を形成するカーテン型の塗布方法におい
て、前記支持体に予め塗布したプレ塗布層を通過させ、
かつ前記連続液膜が支持体表面に接する落下点に、端縁
が重なるように位置するブレードにより、前記連続液膜
の塗着時の案内をすることを特徴とする塗布方法により
達成される。
つつ自由落下する塗布液を、走行中の支持体の表面に衝
突させて塗膜を形成するカーテン型の塗布方法におい
て、前記支持体に予め塗布したプレ塗布層を通過させ、
かつ前記連続液膜が支持体表面に接する落下点に、端縁
が重なるように位置するブレードにより、前記連続液膜
の塗着時の案内をすることを特徴とする塗布方法により
達成される。
以下、図面に例示する本発明の実施態様について説明す
る。
る。
第1図に示す塗布ヘッド6は、塗布液1の流出口である
スリット3が走行中の支持体4に対向するように下向に
配置され、従来と同様の構造のものである。又、ブレー
ド10は前記塗布ヘッド6の下方に位置で、かつ前記塗布
液1がカーテン状となって落下している連続液膜よりも
支持体走行方向の上流側に設けられている。
スリット3が走行中の支持体4に対向するように下向に
配置され、従来と同様の構造のものである。又、ブレー
ド10は前記塗布ヘッド6の下方に位置で、かつ前記塗布
液1がカーテン状となって落下している連続液膜よりも
支持体走行方向の上流側に設けられている。
前記ブレード10は、前記塗布液1が前記支持体4に接す
る落下点5に沿って自由端が延びた、例えばプラスチッ
クや金属などの比較的柔軟なフレキシブルプレート11
と、該フレキシブルプレートを保持した保持部12とから
構成されている。又、前記保持部12は支持体幅方向に延
びた支軸13により支持されており、例えば前記支軸13の
回転動や位置移動によって前記フレキシブルプレート11
の自由端の位置調整が適宜できるように構成されてい
る。
る落下点5に沿って自由端が延びた、例えばプラスチッ
クや金属などの比較的柔軟なフレキシブルプレート11
と、該フレキシブルプレートを保持した保持部12とから
構成されている。又、前記保持部12は支持体幅方向に延
びた支軸13により支持されており、例えば前記支軸13の
回転動や位置移動によって前記フレキシブルプレート11
の自由端の位置調整が適宜できるように構成されてい
る。
前記落下点5の領域においては、前記支持体4の裏面に
はバックアップローラ15が設けられており、前記塗布液
1の塗着領域における前記支持体4の走行安定化を図っ
ている。なお、前記バックアップローラ15はその必要に
応じて設ければよく、設けない構成であってもよい。
はバックアップローラ15が設けられており、前記塗布液
1の塗着領域における前記支持体4の走行安定化を図っ
ている。なお、前記バックアップローラ15はその必要に
応じて設ければよく、設けない構成であってもよい。
上記のように構成された塗布装置による塗布工程を述べ
る。
る。
前記塗布ヘッド6の液溜り2に供給された塗布液1は前
記スリット3から排出された垂直に落下して前記支持体
4に接触する。その接触領域の最前部である前記落下点
5の所には、前記フレキシブルプレート11の先端(自由
端)が重なるように位置されている。
記スリット3から排出された垂直に落下して前記支持体
4に接触する。その接触領域の最前部である前記落下点
5の所には、前記フレキシブルプレート11の先端(自由
端)が重なるように位置されている。
一方、走行中の前記支持体4には前記塗布液1を塗着す
る前に、プレ塗布層9が形成されている。このプレ塗布
層9は前記塗布液1の高速薄層塗布を可能にするもの
で、前記塗布液1よりも低粘度の液体で、かつ前記塗布
液1と相溶性のものを使用し、例えば、前記塗布液1の
溶剤を用いることができる。
る前に、プレ塗布層9が形成されている。このプレ塗布
層9は前記塗布液1の高速薄層塗布を可能にするもの
で、前記塗布液1よりも低粘度の液体で、かつ前記塗布
液1と相溶性のものを使用し、例えば、前記塗布液1の
溶剤を用いることができる。
前記フレキシブルプレート11は、前記プレ塗布相9の一
部を下側にかき集めるようにして該層9の通過を許容
し、前記支持体4と非接触な状態に保たれている。又、
前記プレ塗布層9の液圧に対しては、その柔軟性によっ
て好適に対応している。そして、前記塗布液1は前記フ
レキシブルプレート11の自由端に導かれて前記プレ塗布
層9に合流する。このとき、前記支持体4に同伴されて
きたプレ塗布層側の空気は、前記フレキシブルプレート
11及びプレ塗布層によって除去されるので、前記落下点
5における前記塗布液1の挙動が安定すると共に、同伴
空気の塗布液内への浸入を効果的に防止できる。従っ
て、塗布スピードは飛躍的に上げることができ、又それ
に伴って塗布層の膜厚の薄層化も促進することができ
る。
部を下側にかき集めるようにして該層9の通過を許容
し、前記支持体4と非接触な状態に保たれている。又、
前記プレ塗布層9の液圧に対しては、その柔軟性によっ
て好適に対応している。そして、前記塗布液1は前記フ
レキシブルプレート11の自由端に導かれて前記プレ塗布
層9に合流する。このとき、前記支持体4に同伴されて
きたプレ塗布層側の空気は、前記フレキシブルプレート
11及びプレ塗布層によって除去されるので、前記落下点
5における前記塗布液1の挙動が安定すると共に、同伴
空気の塗布液内への浸入を効果的に防止できる。従っ
て、塗布スピードは飛躍的に上げることができ、又それ
に伴って塗布層の膜厚の薄層化も促進することができ
る。
第1図に示す実施態様においては、塗布量が単層の場合
について示したが、多層構成の場合でもよく、又、前記
ブレード10は柔軟性のあるフレキシブルプレート11を用
いた構造としたが、本発明の塗布方法を実施可能とする
構成は、第1図に示す構成に限られるものではなく種々
変更でき、例えば第2図に示すように変更できる。
について示したが、多層構成の場合でもよく、又、前記
ブレード10は柔軟性のあるフレキシブルプレート11を用
いた構造としたが、本発明の塗布方法を実施可能とする
構成は、第1図に示す構成に限られるものではなく種々
変更でき、例えば第2図に示すように変更できる。
第2図には、比較的剛性のある材質で形成されたブレー
ド20の先端部分を示す。前記ブレード20がプレ塗布層9
に接する接触面21は、適宜曲率(R)に形成されてい
る。この場合の前記ブレード20は、支持体4を適度の力
で押圧できるように構成されている。従って、前記ブレ
ード20は前記支持体4の走行案内の作用をも持たせるこ
とができる。
ド20の先端部分を示す。前記ブレード20がプレ塗布層9
に接する接触面21は、適宜曲率(R)に形成されてい
る。この場合の前記ブレード20は、支持体4を適度の力
で押圧できるように構成されている。従って、前記ブレ
ード20は前記支持体4の走行案内の作用をも持たせるこ
とができる。
(発明の効果) 以上述べたように、本発明は、塗布ヘッドから流出した
連続液膜の支持体表面に接する落下点に重なる端縁を有
したブレードにより、前記連続液膜は前記落下点にて支
持体上に案内され、又前記支持体に同伴された空気は、
前記落下点の直前にて前記ブレートとプレ塗布層との相
乗効果で完全に除去されるので、塗布層内への空気の浸
入は防止され、合わせて塗布スピードの向上とともに塗
布層の薄層化の促進を可能にすることができる。
連続液膜の支持体表面に接する落下点に重なる端縁を有
したブレードにより、前記連続液膜は前記落下点にて支
持体上に案内され、又前記支持体に同伴された空気は、
前記落下点の直前にて前記ブレートとプレ塗布層との相
乗効果で完全に除去されるので、塗布層内への空気の浸
入は防止され、合わせて塗布スピードの向上とともに塗
布層の薄層化の促進を可能にすることができる。
本発明の効果をより明確にするために、以下、磁性塗布
液を用いた実施例について説明する。
液を用いた実施例について説明する。
(実施例) 第1表に示す組成の各成分をボールミルに入れて充分
(15時間)に混合分散して磁性塗布液とした。
(15時間)に混合分散して磁性塗布液とした。
こうして得られた磁性塗布液の平衡粘度を島津製作所製
の島津オレメータRM−1により測定したところ、剪断速
度が700sec-1において1.8Poiseを示した。
の島津オレメータRM−1により測定したところ、剪断速
度が700sec-1において1.8Poiseを示した。
次に、第1表に示す塗布液を下記の塗布可能塗膜厚み範
囲条件に基づいて塗布を実施した。
囲条件に基づいて塗布を実施した。
1.支持体 材質…ポリエチレンテレフタレートフィルム 厚さ…15μm 幅……500mm 張力…10kg/m 支持体走行速度…100〜300m/min 2.プレ塗布層 液種…シクロヘキサノン 厚み…ウェット厚み2.0μm 3.塗布ヘッド及びブレード 第3図に示す塗布ヘッド6及びブレード20を用いて単層
塗布を行った。液溜り2の内径t1は25mmφ、スリット3
の幅t2は0.8mm、スリットの液溜りから出口までの長さ
lは70mmである。ブレード20は、材質がSUS304で、接触
面21の曲率Rが50mmで、かつ支持体走行方向の幅Tが30
mmである。
塗布を行った。液溜り2の内径t1は25mmφ、スリット3
の幅t2は0.8mm、スリットの液溜りから出口までの長さ
lは70mmである。ブレード20は、材質がSUS304で、接触
面21の曲率Rが50mmで、かつ支持体走行方向の幅Tが30
mmである。
またスリット出口からブレード20の先端までの距離Lは
140mmとした。
140mmとした。
上記条件にて塗布を行った結果を第4図のグラフに示
す。なお、第4図は各塗布スピードにおける下限塗布量
を示し、又本実施例は△印にて示す。
す。なお、第4図は各塗布スピードにおける下限塗布量
を示し、又本実施例は△印にて示す。
比較例としては、上記実施例の条件のうち、プレ塗布層
とブレードが無い条件にて塗布を行った。その結果を第
4図の□印にて示す。
とブレードが無い条件にて塗布を行った。その結果を第
4図の□印にて示す。
第4図に示すように、比較例においては、下限塗布量が
塗布スピードによって変わり、塗布スピード200m/minの
とき20cc/m2が最も薄層であるが、本発明の実施例にお
いては、略0cc/m2に近い所まで下限塗布量が拡大されて
おり、しかも、塗布スピードによって下限塗布量にさほ
ど変化がなく、塗布量の可能範囲拡大が顕著に見られ
た。
塗布スピードによって変わり、塗布スピード200m/minの
とき20cc/m2が最も薄層であるが、本発明の実施例にお
いては、略0cc/m2に近い所まで下限塗布量が拡大されて
おり、しかも、塗布スピードによって下限塗布量にさほ
ど変化がなく、塗布量の可能範囲拡大が顕著に見られ
た。
第1図は本発明の塗布方法に基づく概略断面図、第2図
は本発明によるブレードの変更例を示す要部拡大断面
図、第3図は本発明の実施例に用いた塗布ヘッド及びブ
レードの要部を示す概略図、第4図は本発明の実施例と
従来との下限塗布量を比較したグラフ、第5図及び第6
図は従来のカーテン型塗布装置の概略図、第7図は従来
方法による欠陥発生状況を示した概略図である。 1…塗布液、2…液溜り、3…スリット、4…支持体、
5…落下点、6…塗布ヘッド、7…空気、8…欠陥部、
9…プレ塗布層、10、20…ブレード、11…フレキシブル
プレート、12…保持部、13…支軸、15…バックアップロ
ーラ、21…接触面。
は本発明によるブレードの変更例を示す要部拡大断面
図、第3図は本発明の実施例に用いた塗布ヘッド及びブ
レードの要部を示す概略図、第4図は本発明の実施例と
従来との下限塗布量を比較したグラフ、第5図及び第6
図は従来のカーテン型塗布装置の概略図、第7図は従来
方法による欠陥発生状況を示した概略図である。 1…塗布液、2…液溜り、3…スリット、4…支持体、
5…落下点、6…塗布ヘッド、7…空気、8…欠陥部、
9…プレ塗布層、10、20…ブレード、11…フレキシブル
プレート、12…保持部、13…支軸、15…バックアップロ
ーラ、21…接触面。
Claims (1)
- 【請求項1】塗布ヘッドから連続液膜を形成しつつ自由
落下する塗布液を、走行中の支持体の表面に衝突させて
塗膜を形成するカーテン型の塗布方法において、前記支
持体に予め塗布したプレ塗布層の通過を許容し、かつ前
記連続液膜が支持体表面に接する落下点に、端縁が重な
るように位置するブレードにより前記連続液膜の前記支
持体への塗着時の案内をすることを特徴とする塗布方
法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63138478A JPH074568B2 (ja) | 1988-06-07 | 1988-06-07 | 塗布方法 |
DE3918623A DE3918623A1 (de) | 1988-06-07 | 1989-06-07 | Vorrichtung zum giesslackieren |
US07/597,273 US5044305A (en) | 1988-06-07 | 1990-10-16 | Curtain-type coating device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63138478A JPH074568B2 (ja) | 1988-06-07 | 1988-06-07 | 塗布方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01307471A JPH01307471A (ja) | 1989-12-12 |
JPH074568B2 true JPH074568B2 (ja) | 1995-01-25 |
Family
ID=15223010
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63138478A Expired - Fee Related JPH074568B2 (ja) | 1988-06-07 | 1988-06-07 | 塗布方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5044305A (ja) |
JP (1) | JPH074568B2 (ja) |
DE (1) | DE3918623A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5275660A (en) * | 1988-09-08 | 1994-01-04 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Low mass, thermally stable coating apparatus |
JP2532902Y2 (ja) * | 1991-11-08 | 1997-04-16 | 三菱重工業株式会社 | 塗工装置 |
JPH05235388A (ja) * | 1992-02-24 | 1993-09-10 | Mitsubishi Electric Corp | 低抵抗線状パターンの形成方法及び形成装置並びに太陽電池 |
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