JP2639670B2 - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents
塗布装置および塗布方法Info
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- JP2639670B2 JP2639670B2 JP63010287A JP1028788A JP2639670B2 JP 2639670 B2 JP2639670 B2 JP 2639670B2 JP 63010287 A JP63010287 A JP 63010287A JP 1028788 A JP1028788 A JP 1028788A JP 2639670 B2 JP2639670 B2 JP 2639670B2
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- Japan
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- edge surface
- coating
- slit
- back edge
- front edge
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、押出し型塗布装置および塗布方法に係り、
特に磁気記録媒体を製造する際、良好な塗布が得られる
塗布装置および塗布方法に関する。
特に磁気記録媒体を製造する際、良好な塗布が得られる
塗布装置および塗布方法に関する。
コーティング方式としては、ロールコート、グラビア
コート、エクストルージョンコート、スライドビードコ
ート、カーテンコート等種々の方式があることはよく知
られている。
コート、エクストルージョンコート、スライドビードコ
ート、カーテンコート等種々の方式があることはよく知
られている。
磁気記録媒体は、支持体上に磁性塗布液を塗布するこ
とによって得られるが、その塗布方式としては、ロール
コート、グラビアコート、エクストルージョンコートが
一般的である。この中でも、エクストルージョンコート
は、均一な塗布膜厚が得られるので優れている。
とによって得られるが、その塗布方式としては、ロール
コート、グラビアコート、エクストルージョンコートが
一般的である。この中でも、エクストルージョンコート
は、均一な塗布膜厚が得られるので優れている。
一方、磁気記録媒体自体の改良が、近年、急速に進ん
でいる結果、高BET値の酸化磁性粉やバリウムフェライ
ト材料の使用の指向が図られ、塗布液が高粘度化してい
る。また、高密度化に対処するために、薄膜塗布を行い
たい、あるいは生産性を高めるため可能な限り高速で塗
布したいとの要望が高まっている。
でいる結果、高BET値の酸化磁性粉やバリウムフェライ
ト材料の使用の指向が図られ、塗布液が高粘度化してい
る。また、高密度化に対処するために、薄膜塗布を行い
たい、あるいは生産性を高めるため可能な限り高速で塗
布したいとの要望が高まっている。
ところで、主として磁気記録媒体の製造を目的とした
エクストルージョンコート法における従来技術として、
特開昭57−84771号、同58−104666号、同60−238179号
公報記載のものが知られている。
エクストルージョンコート法における従来技術として、
特開昭57−84771号、同58−104666号、同60−238179号
公報記載のものが知られている。
上記のエクストルージョンコート法は、確かに均一な
塗布膜厚を得ることができるけれども、良好な塗布条件
が狭い範囲でしか得ることができず、前述のような、高
粘度、薄膜塗布および高速塗布条件下では、所望の塗布
を行い得ない。
塗布膜厚を得ることができるけれども、良好な塗布条件
が狭い範囲でしか得ることができず、前述のような、高
粘度、薄膜塗布および高速塗布条件下では、所望の塗布
を行い得ない。
本発明者らは、この点に鑑み、種々の実験および検討
を加えたところ、エクストルーダーの形状もさることな
がら、これとの関連で、塗布液の流動性が大きな支配要
因となっていることを突き止めた。
を加えたところ、エクストルーダーの形状もさることな
がら、これとの関連で、塗布液の流動性が大きな支配要
因となっていることを突き止めた。
特に、電磁変換特性に塗布液の流動性が大きく影響
し、とりわけ塗布液流出スリットの出口での塗布液の流
速がある条件以上であることが必要とされることを知見
した。この条件は、特にBET値50m2/g以上の磁気粉やメ
タル粉を伴う塗布液の場合に必須となる。
し、とりわけ塗布液流出スリットの出口での塗布液の流
速がある条件以上であることが必要とされることを知見
した。この条件は、特にBET値50m2/g以上の磁気粉やメ
タル粉を伴う塗布液の場合に必須となる。
しからば、設定膜厚、したがって設定塗布液流量条件
下で、流速を高めるためには、フロントエッジ面とバッ
クエッジ面との間のスリット間隔を狭めればよいことは
当然に考えられる。
下で、流速を高めるためには、フロントエッジ面とバッ
クエッジ面との間のスリット間隔を狭めればよいことは
当然に考えられる。
しかし、前記各公報記載のように、従来の塗布装置の
スリットは平行であるため、スリット間隔を狭めると、
スリット部分での圧力損失が大きくなり、しかもスリッ
ト部分を通る過程での圧力変動が大きい。
スリットは平行であるため、スリット間隔を狭めると、
スリット部分での圧力損失が大きくなり、しかもスリッ
ト部分を通る過程での圧力変動が大きい。
かかる大きな圧力損失を示す条件下で、特願昭58−16
2420号に示された塗布液剪断処理装置を併用すると、た
とえば スリット間隔が50μｍ以下では、同装置に作用する圧
力は4kg/cm2以上となり、同装置および送液系の各部分
での機械的シール部にトラブルを生じがちであり、また
スリットの形成に当り、その間隔が50μｍ以下では、ス
リット面の機械加工精度が直接的に影響し、流出する塗
布液の圧力変動を生じてしまう。
2420号に示された塗布液剪断処理装置を併用すると、た
とえば スリット間隔が50μｍ以下では、同装置に作用する圧
力は4kg/cm2以上となり、同装置および送液系の各部分
での機械的シール部にトラブルを生じがちであり、また
スリットの形成に当り、その間隔が50μｍ以下では、ス
リット面の機械加工精度が直接的に影響し、流出する塗
布液の圧力変動を生じてしまう。
後者の機械加工精度に伴う圧力変動、ならびにスリッ
ト間隔が一定であることによる圧力変動（圧送圧力を均
一にすることは圧送ポンプ脈動等により難しい）がある
と、塗布液が不規則にスリット出口から流出し、その結
果、シートの流れ方向および幅方向に関して膜厚のバラ
ツキの原因となる。
ト間隔が一定であることによる圧力変動（圧送圧力を均
一にすることは圧送ポンプ脈動等により難しい）がある
と、塗布液が不規則にスリット出口から流出し、その結
果、シートの流れ方向および幅方向に関して膜厚のバラ
ツキの原因となる。
そこで、本発明の主たる目的は、磁性塗布液の場合、
得られる磁気記録媒体の電磁交換特性として十分満足で
きるものが得られ、また膜厚のバラツキが少く、さらに
圧力損失が少なく、しかも、フロントエッジ面の下流端
と支持体との接触により生じるベースクズの発生を極力
防止し、これに伴うスジ故障の発生を防止する塗布装置
および塗布方法を提供することにある。
得られる磁気記録媒体の電磁交換特性として十分満足で
きるものが得られ、また膜厚のバラツキが少く、さらに
圧力損失が少なく、しかも、フロントエッジ面の下流端
と支持体との接触により生じるベースクズの発生を極力
防止し、これに伴うスジ故障の発生を防止する塗布装置
および塗布方法を提供することにある。
上記課題を解決した本発明の塗布装置は、フロントエ
ッジ面およびバックエッジ面に沿って連続的に走行する
可撓性支持体表面に、前記フロントエッジ面とバックエ
ッジ面とのスリットから塗布液を連続的に押し出して前
記支持体表面に塗布液を塗布する装置において、 前記バックエッジ面は少なくとも前記支持体の走行領
域において連続的な曲面を有し、 前記フロントエッジ面の下流端における接線より、前
記バックエッジ面の一部が突出し、 前記スリットの少なくとも出口部分のある長さにわた
り、その出口端に向って先細のテーパをなしており、テ
ーパ面が交わる角度が３゜〜20゜であり、出口端間隔巾
が100μｍ以下であることを特徴とするものである。
ッジ面およびバックエッジ面に沿って連続的に走行する
可撓性支持体表面に、前記フロントエッジ面とバックエ
ッジ面とのスリットから塗布液を連続的に押し出して前
記支持体表面に塗布液を塗布する装置において、 前記バックエッジ面は少なくとも前記支持体の走行領
域において連続的な曲面を有し、 前記フロントエッジ面の下流端における接線より、前
記バックエッジ面の一部が突出し、 前記スリットの少なくとも出口部分のある長さにわた
り、その出口端に向って先細のテーパをなしており、テ
ーパ面が交わる角度が３゜〜20゜であり、出口端間隔巾
が100μｍ以下であることを特徴とするものである。
他方、本発明の塗布方法は、フロントエッジ面および
バックエッジ面に沿ってこの順で連続的に可撓性支持体
を走行させ、この可撓性支持体表面に、前記フロントエ
ッジ面と前記バックエッジ面とのスリットから塗布液を
連続的に押し出してその塗布液を塗布する方法におい
て、 前記バックエッジ面は少なくとも前記支持体の走行領
域において連続的な曲面を有し、 前記フロントエッジ面の下流端における接線より、前
記バックエッジ面の一部が突出し、 前記スリットの少なくとも出口部分のある長さにわた
り、その出口端に向って先細のテーパをなしており、テ
ーパ面が交わる角度が３゜〜20゜であり、出口端間隔巾
が100μｍ以下であることを特徴とするものである。
バックエッジ面に沿ってこの順で連続的に可撓性支持体
を走行させ、この可撓性支持体表面に、前記フロントエ
ッジ面と前記バックエッジ面とのスリットから塗布液を
連続的に押し出してその塗布液を塗布する方法におい
て、 前記バックエッジ面は少なくとも前記支持体の走行領
域において連続的な曲面を有し、 前記フロントエッジ面の下流端における接線より、前
記バックエッジ面の一部が突出し、 前記スリットの少なくとも出口部分のある長さにわた
り、その出口端に向って先細のテーパをなしており、テ
ーパ面が交わる角度が３゜〜20゜であり、出口端間隔巾
が100μｍ以下であることを特徴とするものである。
本発明では、第１図のように、スリットの少くとも出
口部分のある範囲にわたり、スリット３の壁面3A,3Bが
テーパをなしており、それらが交わる角度θ１が３゜〜
10゜であるため、ある設定された塗布液流量の下で、ス
リット面が平行である場合に比較して、スリット出口端
での流速が高まる。したがって、得ようとする磁気記録
媒体の電磁変換特性を低下させないためには、スリット
出口端での流速がある値以上であることが必要であると
の事実の下で、十分な出口端流速を得ることができるか
ら、所望の電磁変換特性を満足できる。
口部分のある範囲にわたり、スリット３の壁面3A,3Bが
テーパをなしており、それらが交わる角度θ１が３゜〜
10゜であるため、ある設定された塗布液流量の下で、ス
リット面が平行である場合に比較して、スリット出口端
での流速が高まる。したがって、得ようとする磁気記録
媒体の電磁変換特性を低下させないためには、スリット
出口端での流速がある値以上であることが必要であると
の事実の下で、十分な出口端流速を得ることができるか
ら、所望の電磁変換特性を満足できる。
また、スリットの壁面がテーパであると、圧力損失が
低くなり、前述の塗布前剪断装置の使用を行っても、圧
力損失が小さいため、その使用に当ってのトラブルが悪
くなる。さらに、スリット面が平行であると、スリット
面全面の加工精度が高くないと、塗布したとき、シート
幅方向の膜厚バラツキが大きくなるのに対して、本発明
に従うと、主にスリットの出口端の加工精度のみにシー
ト幅方向の膜厚バラツキが左右され、かつスリット出口
端のみであれば所望の加工精度を保つことは容易である
から、結果としてシート幅方向の膜厚バラツキを少くで
きる。
低くなり、前述の塗布前剪断装置の使用を行っても、圧
力損失が小さいため、その使用に当ってのトラブルが悪
くなる。さらに、スリット面が平行であると、スリット
面全面の加工精度が高くないと、塗布したとき、シート
幅方向の膜厚バラツキが大きくなるのに対して、本発明
に従うと、主にスリットの出口端の加工精度のみにシー
ト幅方向の膜厚バラツキが左右され、かつスリット出口
端のみであれば所望の加工精度を保つことは容易である
から、結果としてシート幅方向の膜厚バラツキを少くで
きる。
一方、支持体は、フロントエッジ面の下流端を巡って
バックエッジ面を通る。この場合、バックエッジ面が、
フロントエッジ面の下流端における接線より、奥まって
いる（突出していない）と、支持体とバックエッジ面と
の間に作用する圧力が小さい、またはエクストルーダー
をそのスリットが下向きになるように配置する場合に
は、バックエッジ面には塗布液が接触しないから、エク
ストルーダーに至る前に既に支持体に同伴した異物は、
バックエッジ面の領域で捕捉されることなくそのまま支
持体および塗布液に同伴して流れるので、タテスジ状の
スジ故障が生じ難い。
バックエッジ面を通る。この場合、バックエッジ面が、
フロントエッジ面の下流端における接線より、奥まって
いる（突出していない）と、支持体とバックエッジ面と
の間に作用する圧力が小さい、またはエクストルーダー
をそのスリットが下向きになるように配置する場合に
は、バックエッジ面には塗布液が接触しないから、エク
ストルーダーに至る前に既に支持体に同伴した異物は、
バックエッジ面の領域で捕捉されることなくそのまま支
持体および塗布液に同伴して流れるので、タテスジ状の
スジ故障が生じ難い。
しかし、逆に、支持体とバックエッジ面との間に作用
する圧力が小さいことは、特に、高粘度の塗布液により
高速で薄膜塗布する場合において、幅方向および長手方
向に関して塗布膜厚を均一に制御し難い原因となる。し
たがって、スリットからの流速を高め、液溜り部分にお
ける所定の圧力に以上にして均一な塗布膜厚に制御する
ことが重要である。このためには、支持体に所定以上の
テンションを付与しフロントエッジ面の下流端に対して
ある所定以上の力で押し付ける必要があるところ、操業
中に支持体がフロントエッジ面の下流端に接触して削り
取られ、いわゆるペースクズが発生する。このペースク
ズは、バックエッジ面の領域で捕捉され、タテスジ状の
スジ故障が生じ易い。
する圧力が小さいことは、特に、高粘度の塗布液により
高速で薄膜塗布する場合において、幅方向および長手方
向に関して塗布膜厚を均一に制御し難い原因となる。し
たがって、スリットからの流速を高め、液溜り部分にお
ける所定の圧力に以上にして均一な塗布膜厚に制御する
ことが重要である。このためには、支持体に所定以上の
テンションを付与しフロントエッジ面の下流端に対して
ある所定以上の力で押し付ける必要があるところ、操業
中に支持体がフロントエッジ面の下流端に接触して削り
取られ、いわゆるペースクズが発生する。このペースク
ズは、バックエッジ面の領域で捕捉され、タテスジ状の
スジ故障が生じ易い。
これに対して、本発明においては、フロントエッジ面
の下流端における接線より、バックエッジ面の少なくと
も一部が突出しているので、支持体に作用するテンショ
ンはバックエッジ面に対しても分散される結果、操業中
に支持体がフロントエッジ面の下流端に接触して削り取
られベースクズが発生することが防止される。
の下流端における接線より、バックエッジ面の少なくと
も一部が突出しているので、支持体に作用するテンショ
ンはバックエッジ面に対しても分散される結果、操業中
に支持体がフロントエッジ面の下流端に接触して削り取
られベースクズが発生することが防止される。
さらに、バックエッジ面は少なくとも支持体の走行領
域において連続的な曲面を有しているので、支持体がバ
ックエッジ面に沿って走行する過程において、極端な圧
力変化部分がなく、均一な膜厚塗布を約束する。
域において連続的な曲面を有しているので、支持体がバ
ックエッジ面に沿って走行する過程において、極端な圧
力変化部分がなく、均一な膜厚塗布を約束する。
以下本発明をさらに詳説する。
第１図は本発明に係るエクストルーダーの要部を示し
たもので、上流側表面にフロントエッジ面１、下流側表
面にバックエッジ面２を有し、それらの間に塗布液ポケ
ット部（図示せず、同図下方）に連通するスリット３を
有している。
たもので、上流側表面にフロントエッジ面１、下流側表
面にバックエッジ面２を有し、それらの間に塗布液ポケ
ット部（図示せず、同図下方）に連通するスリット３を
有している。
本発明では、スリット３の壁面3A,3Bがテーパ面をな
し、それらの交わる角度θ１が３゜〜20゜とされる。３
゜未満では従来の問題を避けることができず、20゜を超
えると、安定した流速を得がたい。また、スリット３の
出口端間隔巾Ｌ、すなわちエッジ面1,2のいずれか一方
または両者とスリット３との境界縁（図示例ではバック
エッジ面２との境界縁Ｃ）を通り、スリット３の中心線
l4と直交する方向に測った間隔Ｌが、100μｍ以下、望
ましくは50μｍ以下とされる。
し、それらの交わる角度θ１が３゜〜20゜とされる。３
゜未満では従来の問題を避けることができず、20゜を超
えると、安定した流速を得がたい。また、スリット３の
出口端間隔巾Ｌ、すなわちエッジ面1,2のいずれか一方
または両者とスリット３との境界縁（図示例ではバック
エッジ面２との境界縁Ｃ）を通り、スリット３の中心線
l4と直交する方向に測った間隔Ｌが、100μｍ以下、望
ましくは50μｍ以下とされる。
また、下流端Ｂを通り間隔Ｌを取った線と平行に引い
た線と、境界縁Ｃとの長さＨは、Ｈ＜Ｌであることが望
まれる。
た線と、境界縁Ｃとの長さＨは、Ｈ＜Ｌであることが望
まれる。
なお、第１図の仮想線で示すように、スリット３の基
部側は平行であるなど、必らずしも全面がテーパ面であ
ることは要しない。
部側は平行であるなど、必らずしも全面がテーパ面であ
ることは要しない。
一方、フロントエッジ面１の下流端Ｂにおける接線l1
より、バックエッジ２の一部が突出（第１図ではほぼ上
方に突出）するのが望ましい。
より、バックエッジ２の一部が突出（第１図ではほぼ上
方に突出）するのが望ましい。
この条件は、前記l1と、下流端Ｂを通りバックエッジ
面を結ぶ線l3とのなす角度をα２、前記l1と、バックエ
ッジ面２の下流端Ａにおける接線l2となす角度をα１と
したとき、次記（２）式の条件としてもあらわすことが
できる。
面を結ぶ線l3とのなす角度をα２、前記l1と、バックエ
ッジ面２の下流端Ａにおける接線l2となす角度をα１と
したとき、次記（２）式の条件としてもあらわすことが
できる。
α２＜α１＜180゜ ……（２） 一方、バックエッジ面２の曲率半径ｒは、３〜10mmが
好ましい。
好ましい。
また、接線l2と壁面とのなす角度θ２は、80゜〜110
゜が好ましい。
゜が好ましい。
支持体は、矢印で示すように、フロントエッジ１に沿
ってせり上りから下流端Ｂを通って、スリット３および
液溜り部分４を越えて、バックエッジ面２の塗布液層厚
分上方をめぐりながら右方へ抜けて行く。
ってせり上りから下流端Ｂを通って、スリット３および
液溜り部分４を越えて、バックエッジ面２の塗布液層厚
分上方をめぐりながら右方へ抜けて行く。
本発明に係る支持体としては、ポリエステルフィルム
等のプラスチックフィルム、紙、両者の積層シート、金
属シート等を挙げることができ、可撓性材料であればそ
の材質は問われない。
等のプラスチックフィルム、紙、両者の積層シート、金
属シート等を挙げることができ、可撓性材料であればそ
の材質は問われない。
塗布液としては、磁性塗布液、特に1000cps（Ｂ型粘
度計にて60回転、１分後の測定値）以上の磁性塗布液を
対象とする場合に本発明の効果が顕著にあらわれるけれ
ども、写真感光性塗布液等を対象するものであってもよ
い。
度計にて60回転、１分後の測定値）以上の磁性塗布液を
対象とする場合に本発明の効果が顕著にあらわれるけれ
ども、写真感光性塗布液等を対象するものであってもよ
い。
また、塗布速度としては、150m/分以上の高速の場合
において、顕著な効果があらわれる。
において、顕著な効果があらわれる。
次に実施例にて本発明の効果を明らかにする。
支持体として、15μｍのポリエステルテレフタレート
フィルムを用い、メタル粉（BET値60m3/g）を有する300
0cpsの高粘度磁性塗布液を、ウェット膜厚で30μｍに塗
布し磁気記録媒体シートを得た。
フィルムを用い、メタル粉（BET値60m3/g）を有する300
0cpsの高粘度磁性塗布液を、ウェット膜厚で30μｍに塗
布し磁気記録媒体シートを得た。
この場合、上記本発明に係る塗布装置（実施例）と、
特開昭60−238179号公報記載の塗布装置（比較例）との
２基を用意し、それぞれスリットギャップ（実施例のも
のはスリットギャップは上記Ｌである）を50μｍおよび
100μｍとし、得られたシートの電磁変換特性RFout、幅
方向の膜厚バラツキ、および塗時の圧力損失を調べたと
ころ、第１表の結果を得た。
特開昭60−238179号公報記載の塗布装置（比較例）との
２基を用意し、それぞれスリットギャップ（実施例のも
のはスリットギャップは上記Ｌである）を50μｍおよび
100μｍとし、得られたシートの電磁変換特性RFout、幅
方向の膜厚バラツキ、および塗時の圧力損失を調べたと
ころ、第１表の結果を得た。
上記のように、本発明装置によると、電磁変換特性を
低下させることなく、幅方向の膜厚バラツキが少く、低
い圧力損失となる。
低下させることなく、幅方向の膜厚バラツキが少く、低
い圧力損失となる。
一方、200mm/分の高速による１万ｍの塗布実験におい
て、フロントエッジ面の下流端における接線より、バッ
クエッジ面の全体が突出していない塗布装置（対照例）
においては、ベースクズの付着が504個発生し、スジ故
障が２回発生したのに対して、本発明に係る塗布装置に
よれば、ベースクズの付着は19個と極端に少なくなり、
スジ故障は皆無であった。
て、フロントエッジ面の下流端における接線より、バッ
クエッジ面の全体が突出していない塗布装置（対照例）
においては、ベースクズの付着が504個発生し、スジ故
障が２回発生したのに対して、本発明に係る塗布装置に
よれば、ベースクズの付着は19個と極端に少なくなり、
スジ故障は皆無であった。
以上の通り、本発明によれば、電磁変換特性を悪化さ
せることなく、得られるシートの幅方向の膜厚バラツキ
を少く、圧力損失を小さくできる。
せることなく、得られるシートの幅方向の膜厚バラツキ
を少く、圧力損失を小さくできる。
第１図は本発明に係る塗布装置の要部断面図である。 １……フロントエッジ面、２……バックエッジ面、３…
…スリット、3A,3B……スリットの壁面。
…スリット、3A,3B……スリットの壁面。
Claims (2)
- 【請求項１】フロントエッジ面およびバックエッジ面に
沿って連続的に走行する可撓性支持体表面に、前記フロ
ントエッジ面とバックエッジ面とのスリットから塗布液
を連続的に押し出して前記支持体表面に塗布液を塗布す
る装置において、 前記バックエッジ面は少なくとも前記支持体の走行領域
において連続的な曲面を有し、 前記フロントエッジ面の下流端における接線より、前記
バックエッジ面の一部が突出し、 前記スリットの少なくとも出口部分のある長さにわた
り、その出口端に向って先細のテーパをなしており、テ
ーパ面が交わる角度が３゜〜20゜であり、出口端間隔巾
が100μｍ以下であることを特徴とする塗布装置。 - 【請求項２】フロントエッジ面およびバックエッジ面に
沿ってこの順で連続的に可撓性支持体を走行させ、この
可撓性支持体表面に、前記フロントエッジ面と前記バッ
クエッジ面とのスリットから塗布液を連続的に押し出し
てその塗布液を塗布する方法において、 前記バックエッジ面は少なくとも前記支持体の走行領域
において連続的な曲面を有し、 前記フロントエッジ面の下流端における接線より、前記
バックエッジ面の一部が突出し、 前記スリットの少なくとも出口部分のある長さにわた
り、その出口端に向って先細のテーパをなしており、テ
ーパ面が交わる角度が３゜〜20゜であり、出口端間隔巾
が100μｍ以下であることを特徴とする塗布方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63010287A JP2639670B2 (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 塗布装置および塗布方法 |
| EP89100729A EP0325206B1 (en) | 1988-01-20 | 1989-01-17 | Coating apparatus |
| US07/297,756 US5042422A (en) | 1988-01-20 | 1989-01-17 | Coating apparatus |
| DE68922228T DE68922228T2 (de) | 1988-01-20 | 1989-01-17 | Beschichtungsvorrichtung. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63010287A JP2639670B2 (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 塗布装置および塗布方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01184071A JPH01184071A (ja) | 1989-07-21 |
| JP2639670B2 true JP2639670B2 (ja) | 1997-08-13 |
Family
ID=11746093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63010287A Expired - Fee Related JP2639670B2 (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 塗布装置および塗布方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2639670B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5757901B2 (ja) * | 2012-03-19 | 2015-08-05 | 富士フイルム株式会社 | 塗布装置及び塗布方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6320070A (ja) * | 1986-07-15 | 1988-01-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 塗布装置 |
| JPH0677711B2 (ja) * | 1986-07-15 | 1994-10-05 | 富士写真フイルム株式会社 | 塗布装置 |
-
1988
- 1988-01-20 JP JP63010287A patent/JP2639670B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01184071A (ja) | 1989-07-21 |
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