JPH07260009A - 非接触形軸封装置 - Google Patents
非接触形軸封装置Info
- Publication number
- JPH07260009A JPH07260009A JP6050642A JP5064294A JPH07260009A JP H07260009 A JPH07260009 A JP H07260009A JP 6050642 A JP6050642 A JP 6050642A JP 5064294 A JP5064294 A JP 5064294A JP H07260009 A JPH07260009 A JP H07260009A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dynamic pressure
- pressure generating
- groove
- sealing
- face
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/34—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member
- F16J15/3404—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal
- F16J15/3408—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal at least one ring having an uneven slipping surface
- F16J15/3412—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal at least one ring having an uneven slipping surface with cavities
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Mechanical Sealing (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 回転軸が正逆何れの方向に回転される場合に
おいても、両密封端面間に適正な動圧を発生させ得る非
接触形軸封装置を提供する。 【構成】 シールケース側の密封端面と回転軸側の密封
端面とが高圧側密封流体による流体膜を介在させた非接
触状態で相対回転するように構成された非接触形軸封装
置において、回転軸側の密封端面５ａに、その周方向に
並列する偶数個の動圧発生溝７1 …，７2 …を形成して
ある。各動圧発生溝７1 ，７2 は、密封端面５ａの外周
端から径方向に延びる導入部８ａとその先端部から周方
向に延びる動圧発生部８ｂとからなる３本のＬ字形溝８
…で構成されており、隣接する動圧発生溝７1 ，７
2 は、それらの境界線Ｘ1 ，Ｘ2 に対して対称形状をな
す。
おいても、両密封端面間に適正な動圧を発生させ得る非
接触形軸封装置を提供する。 【構成】 シールケース側の密封端面と回転軸側の密封
端面とが高圧側密封流体による流体膜を介在させた非接
触状態で相対回転するように構成された非接触形軸封装
置において、回転軸側の密封端面５ａに、その周方向に
並列する偶数個の動圧発生溝７1 …，７2 …を形成して
ある。各動圧発生溝７1 ，７2 は、密封端面５ａの外周
端から径方向に延びる導入部８ａとその先端部から周方
向に延びる動圧発生部８ｂとからなる３本のＬ字形溝８
…で構成されており、隣接する動圧発生溝７1 ，７
2 は、それらの境界線Ｘ1 ，Ｘ2 に対して対称形状をな
す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンプレッサ，タービ
ン，ブロワ等の回転機器において使用される非接触形軸
封装置に関するものであり、具体的には、シールケース
側の密封端面と回転軸側の密封端面とが高圧側密封流体
による流体膜を介在させた非接触状態で相対回転するよ
うに構成された非接触形軸封装置に関するものである。
ン，ブロワ等の回転機器において使用される非接触形軸
封装置に関するものであり、具体的には、シールケース
側の密封端面と回転軸側の密封端面とが高圧側密封流体
による流体膜を介在させた非接触状態で相対回転するよ
うに構成された非接触形軸封装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の非接触形軸封装置として
は、図８に示す如く、回転軸側の密封端面１５ａにその
周方向にヘリカル状に並列する動圧発生溝１７…を形成
しておくことによって、両密封端面間にその相対回転に
伴って動圧（正圧）を発生させ、これとシールケース側
の密封端面に作用する密封流体による背圧及びこれを回
転軸側の密封端面１５ａに押圧するスプリング力とをバ
ランスさせて、両密封端面を流体膜を介して非接触状態
に保持させるように構成したものがよく知られている。
は、図８に示す如く、回転軸側の密封端面１５ａにその
周方向にヘリカル状に並列する動圧発生溝１７…を形成
しておくことによって、両密封端面間にその相対回転に
伴って動圧（正圧）を発生させ、これとシールケース側
の密封端面に作用する密封流体による背圧及びこれを回
転軸側の密封端面１５ａに押圧するスプリング力とをバ
ランスさせて、両密封端面を流体膜を介して非接触状態
に保持させるように構成したものがよく知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、かかるヘリカ
ル状の動圧発生溝１７…によっては、回転軸つまり密封
端面１５ａを正転方向（Ａ方向）に回転させた場合にの
み動圧を発生させ得るのであり、逆転方向（反Ａ方向）
に回転させた場合には、両密封端面間に動圧を発生させ
得ない。したがって、回転軸を正逆転させる必要のある
回転機器には適用できないといった不便があった。ま
た、回転軸を一方向にのみ回転させる回転機器に対して
も、動圧発生溝１７…を形成した密封端面１５ａの設置
形態が回転軸の回転方向によって必然的に決定されるこ
とから、装置設計の自由度が極めて小さい。さらに、複
数の密封端面１５ａ…を相対回転方向を異にする状態で
並置しておくダブルシール等にあっては、正転用動圧発
生溝を形成した密封環と逆転用動圧発生溝を形成した密
封環とが必要となるため、部品種類の増加によりコスト
アップを招く。また、２種の密封環が取扱上混同され易
く、組み立てミスが生じる虞れがある。
ル状の動圧発生溝１７…によっては、回転軸つまり密封
端面１５ａを正転方向（Ａ方向）に回転させた場合にの
み動圧を発生させ得るのであり、逆転方向（反Ａ方向）
に回転させた場合には、両密封端面間に動圧を発生させ
得ない。したがって、回転軸を正逆転させる必要のある
回転機器には適用できないといった不便があった。ま
た、回転軸を一方向にのみ回転させる回転機器に対して
も、動圧発生溝１７…を形成した密封端面１５ａの設置
形態が回転軸の回転方向によって必然的に決定されるこ
とから、装置設計の自由度が極めて小さい。さらに、複
数の密封端面１５ａ…を相対回転方向を異にする状態で
並置しておくダブルシール等にあっては、正転用動圧発
生溝を形成した密封環と逆転用動圧発生溝を形成した密
封環とが必要となるため、部品種類の増加によりコスト
アップを招く。また、２種の密封環が取扱上混同され易
く、組み立てミスが生じる虞れがある。
【０００４】本発明は、このような点に鑑み、回転軸が
正逆何れの方向に回転される場合においても、両密封端
面間に適正な動圧を発生させ得て、常に良好な軸封機能
を発揮することができる非接触形軸封装置を提供するこ
とを目的とするものである。
正逆何れの方向に回転される場合においても、両密封端
面間に適正な動圧を発生させ得て、常に良好な軸封機能
を発揮することができる非接触形軸封装置を提供するこ
とを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の非接触形軸封装
置にあっては、上記の目的を達成すべく、シールケース
側の密封端面又は回転軸側の密封端面に、その周方向に
並列する偶数個であって４個以上の動圧発生溝を形成し
ておくことを提案するものである。而して、各動圧発生
溝は、当該密封端面の高圧側周端縁から径方向に延びる
流体導入部とその先端部から周方向に延びる動圧発生部
とからなる、溝幅及び溝深さを一定とした１〜４本の浅
いＬ字形溝で構成されている。２〜４本のＬ字形溝は、
それらの動圧発生部の先端部が第４密封端面直径線上に
位置する状態で、互いに交差することなく等ピッチで並
列配置される。各動圧発生溝は、その両側に隣接する各
動圧発生溝と、それらの流体導入部間（動圧発生溝が２
〜４本のＬ字形溝で構成される場合は、最外側の流体導
入部間）を通過する第１密封端面直径線又はそれらの動
圧発生溝間を通過する第２密封端面直径線に対して対称
形状をなしている。各動圧発生溝について、その流体導
入部（動圧発生溝が２〜４本のＬ字形溝で構成される場
合は、最外側の流体導入部）を通過する第３密封端面直
径線とその動圧発生部の先端部を通過する第４密封端面
直径線との交角θ1 を当該動圧発生溝にその動圧発生部
側で隣接する動圧発生溝についての第４密封端面直径線
と上記第３密封端面直径線との交角θ2 で除した周方向
グルーブランド比θ1 ／θ2 は０．５〜０．９とされて
いる。
置にあっては、上記の目的を達成すべく、シールケース
側の密封端面又は回転軸側の密封端面に、その周方向に
並列する偶数個であって４個以上の動圧発生溝を形成し
ておくことを提案するものである。而して、各動圧発生
溝は、当該密封端面の高圧側周端縁から径方向に延びる
流体導入部とその先端部から周方向に延びる動圧発生部
とからなる、溝幅及び溝深さを一定とした１〜４本の浅
いＬ字形溝で構成されている。２〜４本のＬ字形溝は、
それらの動圧発生部の先端部が第４密封端面直径線上に
位置する状態で、互いに交差することなく等ピッチで並
列配置される。各動圧発生溝は、その両側に隣接する各
動圧発生溝と、それらの流体導入部間（動圧発生溝が２
〜４本のＬ字形溝で構成される場合は、最外側の流体導
入部間）を通過する第１密封端面直径線又はそれらの動
圧発生溝間を通過する第２密封端面直径線に対して対称
形状をなしている。各動圧発生溝について、その流体導
入部（動圧発生溝が２〜４本のＬ字形溝で構成される場
合は、最外側の流体導入部）を通過する第３密封端面直
径線とその動圧発生部の先端部を通過する第４密封端面
直径線との交角θ1 を当該動圧発生溝にその動圧発生部
側で隣接する動圧発生溝についての第４密封端面直径線
と上記第３密封端面直径線との交角θ2 で除した周方向
グルーブランド比θ1 ／θ2 は０．５〜０．９とされて
いる。
【０００６】かかる非接触形軸封装置にあっては、一方
の密封端面における動圧発生溝の形成数を４〜２４個と
しておくことが好ましい。また、各Ｌ字形溝の溝深さを
２〜１５μｍとし且つその溝幅を１〜４ｍｍとしておく
ことが好ましい。また、第１密封端面直径線を挟んで隣
接する動圧発生溝について、それらの周方向間隔を０．
５〜３ｍｍとしておくことが好ましい。また、各動圧発
生溝について、両密封端面が重合する環状領域であるシ
ール領域において動圧発生溝が存在する領域部分の径方
向幅ｂをシール領域の径方向幅であるシール面幅Ｂで除
した径方向グルーブランド比ｂ／Ｂを０．４〜０．６と
しておくことが好ましい。また、動圧発生溝を複数本の
Ｌ字形溝で構成する場合には、各動圧発生溝において、
流体導入部相互の周方向間隔及び動圧発生部相互の径方
向間隔を夫々０．５〜２．０ｍｍとしておくことが好ま
しい。
の密封端面における動圧発生溝の形成数を４〜２４個と
しておくことが好ましい。また、各Ｌ字形溝の溝深さを
２〜１５μｍとし且つその溝幅を１〜４ｍｍとしておく
ことが好ましい。また、第１密封端面直径線を挟んで隣
接する動圧発生溝について、それらの周方向間隔を０．
５〜３ｍｍとしておくことが好ましい。また、各動圧発
生溝について、両密封端面が重合する環状領域であるシ
ール領域において動圧発生溝が存在する領域部分の径方
向幅ｂをシール領域の径方向幅であるシール面幅Ｂで除
した径方向グルーブランド比ｂ／Ｂを０．４〜０．６と
しておくことが好ましい。また、動圧発生溝を複数本の
Ｌ字形溝で構成する場合には、各動圧発生溝において、
流体導入部相互の周方向間隔及び動圧発生部相互の径方
向間隔を夫々０．５〜２．０ｍｍとしておくことが好ま
しい。
【０００７】
【作用】動圧発生溝が形成された密封端面（以下「溝付
密封端面」という）が相対回転せしめられると、高圧側
密封流体が流体導入部から動圧発生溝に導入されて、流
体導入部から溝付密封端面の回転方向（相手密封端面と
の相対回転方向）に延びる動圧発生部の先端部において
動圧（正圧）が発生し、密封端面間が高圧側密封流体に
よる流体膜を介在させた非接触状態に保持されることに
なる。
密封端面」という）が相対回転せしめられると、高圧側
密封流体が流体導入部から動圧発生溝に導入されて、流
体導入部から溝付密封端面の回転方向（相手密封端面と
の相対回転方向）に延びる動圧発生部の先端部において
動圧（正圧）が発生し、密封端面間が高圧側密封流体に
よる流体膜を介在させた非接触状態に保持されることに
なる。
【０００８】ここに、偶数個（４個以上）の動圧発生溝
群が周方向に並列されており、且つ隣接する動圧発生溝
群が周方向に対称形状をなしていることから、すべての
動圧発生溝は、流体導入部から密封端面の一定回転方向
（以下「正転方向」という）に延びる動圧発生部を有す
る動圧発生溝（以下「第１動圧発生溝」という）のグル
ープと、流体導入部から上記正転方向と逆方向（以下
「逆転方向」という）に延びる動圧発生部を有する動圧
発生溝（以下「第２動圧発生溝」という）のグループと
に区別される。すなわち、隣接する第１動圧発生溝と第
２動圧発生溝とが動圧発生部の延長方向を異にする点を
除いて同一の溝形態をなす１組の動圧発生部を構成し、
この動圧発生部が周方向に一定間隔を隔てて複数組並列
されているのである。
群が周方向に並列されており、且つ隣接する動圧発生溝
群が周方向に対称形状をなしていることから、すべての
動圧発生溝は、流体導入部から密封端面の一定回転方向
（以下「正転方向」という）に延びる動圧発生部を有す
る動圧発生溝（以下「第１動圧発生溝」という）のグル
ープと、流体導入部から上記正転方向と逆方向（以下
「逆転方向」という）に延びる動圧発生部を有する動圧
発生溝（以下「第２動圧発生溝」という）のグループと
に区別される。すなわち、隣接する第１動圧発生溝と第
２動圧発生溝とが動圧発生部の延長方向を異にする点を
除いて同一の溝形態をなす１組の動圧発生部を構成し、
この動圧発生部が周方向に一定間隔を隔てて複数組並列
されているのである。
【０００９】したがって、溝付密封端面が正転方向に相
対回転せしめられると、各第１動圧発生溝における動圧
発生部の先端部で動圧が発生し、溝付密封端面が逆転方
向に相対回転せしめられると、各第２動圧発生溝におけ
る動圧発生部の先端部で動圧が発生するが、第１動圧発
生溝と第２動圧発生溝とは上記した如く同一の溝形態を
なすものであることから、両密封端面の相対回転が正逆
何れの方向に行われた場合にも、同一の条件で動圧が発
生されることになる。すなわち、回転軸が正逆何れの方
向に回転される場合においても、常に、同一条件で両密
封端面間に適正な動圧を発生させ得て、良好な軸封機能
が発揮されることになる。
対回転せしめられると、各第１動圧発生溝における動圧
発生部の先端部で動圧が発生し、溝付密封端面が逆転方
向に相対回転せしめられると、各第２動圧発生溝におけ
る動圧発生部の先端部で動圧が発生するが、第１動圧発
生溝と第２動圧発生溝とは上記した如く同一の溝形態を
なすものであることから、両密封端面の相対回転が正逆
何れの方向に行われた場合にも、同一の条件で動圧が発
生されることになる。すなわち、回転軸が正逆何れの方
向に回転される場合においても、常に、同一条件で両密
封端面間に適正な動圧を発生させ得て、良好な軸封機能
が発揮されることになる。
【００１０】ところで、密封端面間に作用する圧力つま
り密封端面間を非接触状態に保持する離間力は、シール
領域において、溝付密封端面の相対回転方向に動圧発生
部が延びている動圧発生溝（正転方向に回転する場合に
おける第１動圧発生溝又は逆転方向に回転する場合にお
ける第２動圧発生溝）が形成されている領域（以下「グ
ルーブ領域」という）及び当該動圧発生溝とその動圧発
生部側で隣接する動圧発生溝との間の領域（以下「ラン
ド領域」という）において生じ、その周方向における圧
力分布は、当該動圧発生溝の動圧発生部の先端部つまり
グルーブ領域とランド領域との境界部で最大となり、こ
の境界部から遠ざかる従って略直線的に減少して、グル
ーブ領域の反回転方向側端部（当該動圧発生溝における
動圧発生部の基端部）及びランド領域の回転方向側端部
（当該動圧発生溝にその動圧発生部側で隣接する第２動
圧発生溝における動圧発生部の先端部との境界部）にお
いて最小となる。したがって、グルーブ領域及びランド
領域の周方向長さ（以下「周方向グルーブランド長さ」
という）は、上記離間力の発生に極めて大きな影響を与
えることになり、この周方向グルーブランド長さを如何
に決定しておくかが、密封端面間を適正な非接触状態に
保持させておく上で、極めて重要である。本発明者は、
周方向グルーブランド長さについて、周方向グルーブラ
ンド比θ1 ／θ2 をパラメータとして種々の実験，研究
を繰り返し、周方向グルーブランド長さをθ1 ／θ2 ＝
０．５〜０．９となるように決定しておくことが、密封
端面間を適正な非接触状態に保持しうるに十分な離間力
を得るための必須条件であることを究明した。勿論、こ
の周方向グルーブランド比θ1 ／θ2 を決定するに当た
っては、動圧発生部の周方向長さが動圧発生に必要な助
走距離を確保できるものとしておくことが前提となるこ
とはいうまでもない。
り密封端面間を非接触状態に保持する離間力は、シール
領域において、溝付密封端面の相対回転方向に動圧発生
部が延びている動圧発生溝（正転方向に回転する場合に
おける第１動圧発生溝又は逆転方向に回転する場合にお
ける第２動圧発生溝）が形成されている領域（以下「グ
ルーブ領域」という）及び当該動圧発生溝とその動圧発
生部側で隣接する動圧発生溝との間の領域（以下「ラン
ド領域」という）において生じ、その周方向における圧
力分布は、当該動圧発生溝の動圧発生部の先端部つまり
グルーブ領域とランド領域との境界部で最大となり、こ
の境界部から遠ざかる従って略直線的に減少して、グル
ーブ領域の反回転方向側端部（当該動圧発生溝における
動圧発生部の基端部）及びランド領域の回転方向側端部
（当該動圧発生溝にその動圧発生部側で隣接する第２動
圧発生溝における動圧発生部の先端部との境界部）にお
いて最小となる。したがって、グルーブ領域及びランド
領域の周方向長さ（以下「周方向グルーブランド長さ」
という）は、上記離間力の発生に極めて大きな影響を与
えることになり、この周方向グルーブランド長さを如何
に決定しておくかが、密封端面間を適正な非接触状態に
保持させておく上で、極めて重要である。本発明者は、
周方向グルーブランド長さについて、周方向グルーブラ
ンド比θ1 ／θ2 をパラメータとして種々の実験，研究
を繰り返し、周方向グルーブランド長さをθ1 ／θ2 ＝
０．５〜０．９となるように決定しておくことが、密封
端面間を適正な非接触状態に保持しうるに十分な離間力
を得るための必須条件であることを究明した。勿論、こ
の周方向グルーブランド比θ1 ／θ2 を決定するに当た
っては、動圧発生部の周方向長さが動圧発生に必要な助
走距離を確保できるものとしておくことが前提となるこ
とはいうまでもない。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の構成を図１〜図７に示す各実
施例に基づいて具体的に説明する。
施例に基づいて具体的に説明する。
【００１２】図１に示す非接触形軸封装置において、１
は高圧側密封流体領域（例えば、タービン等の機内であ
る高圧ガス領域）Ｈと低圧側密封流体領域（例えば、タ
ービン等の機外である大気領域）Ｌとを区画するシール
ケース、２はシールケース１を洞貫する回転軸、３はシ
ールケース１に保持環４を介して軸線方向摺動可能に保
持された静止密封環、５は静止密封環３に対向して回転
軸２に固定された回転密封環、６はシールケース１と保
持環４との間に介挿されて、静止密封環３を回転密封環
５へと押圧附勢するスプリングである。なお、密封環
３，５の構成材は、シール条件に応じて適宜に選定され
るが、一般に、高圧・中低速仕様の場合は、静止密封環
３がカーボン等の軟質材で、回転密封環５がＷＣ，Ｓｉ
Ｃ等のセラミックスや超硬合金等の硬質材で構成され、
また低圧・中高速仕様の場合は、両密封環３，５が硬質
材で構成される（例えば、静止密封環３がＳｉＣで、回
転密封環５がＳｉＣ又は超硬合金で構成される）。
は高圧側密封流体領域（例えば、タービン等の機内であ
る高圧ガス領域）Ｈと低圧側密封流体領域（例えば、タ
ービン等の機外である大気領域）Ｌとを区画するシール
ケース、２はシールケース１を洞貫する回転軸、３はシ
ールケース１に保持環４を介して軸線方向摺動可能に保
持された静止密封環、５は静止密封環３に対向して回転
軸２に固定された回転密封環、６はシールケース１と保
持環４との間に介挿されて、静止密封環３を回転密封環
５へと押圧附勢するスプリングである。なお、密封環
３，５の構成材は、シール条件に応じて適宜に選定され
るが、一般に、高圧・中低速仕様の場合は、静止密封環
３がカーボン等の軟質材で、回転密封環５がＷＣ，Ｓｉ
Ｃ等のセラミックスや超硬合金等の硬質材で構成され、
また低圧・中高速仕様の場合は、両密封環３，５が硬質
材で構成される（例えば、静止密封環３がＳｉＣで、回
転密封環５がＳｉＣ又は超硬合金で構成される）。
【００１３】而して、回転密封環５の端面である回転側
密封端面５ａには、図１〜図６に示す如く、その周方向
に並列する偶数個の動圧発生溝７…が形成されていて、
回転側密封端面５ａとこれに対向する静止密封環３の端
面である静止側密封端面３ａとの間に動圧を発生させう
るようになっている。
密封端面５ａには、図１〜図６に示す如く、その周方向
に並列する偶数個の動圧発生溝７…が形成されていて、
回転側密封端面５ａとこれに対向する静止密封環３の端
面である静止側密封端面３ａとの間に動圧を発生させう
るようになっている。
【００１４】各動圧発生溝７は、図２〜図６に示す如
く、密封端面５ａの高圧側周端縁たる外周縁から密封端
面中心Ｏに向かって直線状に延びる流体導入部８ａとそ
の先端部から密封端面中心Ｏを中心とする円弧状をなし
て周方向に延びる動圧発生部８ｂとからなる、溝深さＤ
及び溝幅Ｗを夫々一定とした浅いＬ字形溝８で構成され
ている。動圧発生溝７を構成するＬ字形溝８の本数は１
〜４本であり、シール面幅Ｂ（密封端面３ａ，５ａが重
合する環状領域であるシール領域の径方向幅）等に応じ
て適宜に設定することができる。図２及び図３は３本の
Ｌ字形溝８…で構成される例を、図２及び図３は３本の
Ｌ字形溝８…で構成される例を、図４は２本のＬ字形溝
８…で構成される例を、図５は４本のＬ字形溝８…で構
成される例を、また図６は１本のＬ字形溝８で構成され
る例を、夫々示している。
く、密封端面５ａの高圧側周端縁たる外周縁から密封端
面中心Ｏに向かって直線状に延びる流体導入部８ａとそ
の先端部から密封端面中心Ｏを中心とする円弧状をなし
て周方向に延びる動圧発生部８ｂとからなる、溝深さＤ
及び溝幅Ｗを夫々一定とした浅いＬ字形溝８で構成され
ている。動圧発生溝７を構成するＬ字形溝８の本数は１
〜４本であり、シール面幅Ｂ（密封端面３ａ，５ａが重
合する環状領域であるシール領域の径方向幅）等に応じ
て適宜に設定することができる。図２及び図３は３本の
Ｌ字形溝８…で構成される例を、図２及び図３は３本の
Ｌ字形溝８…で構成される例を、図４は２本のＬ字形溝
８…で構成される例を、図５は４本のＬ字形溝８…で構
成される例を、また図６は１本のＬ字形溝８で構成され
る例を、夫々示している。
【００１５】動圧発生溝７が、図２〜図５に示す如く、
複数本のＬ字形溝８…で構成される場合、Ｌ字形溝８…
は、互いに交差することなく、周方向及び径方向に等ピ
ッチで並列配置される。すなわち、流体導入部８ａ…は
密封端面中心Ｏに向かって放射状に等ピッチで並列され
ており、動圧発生部８ｂ…は径方向に等ピッチで平行に
配置されている。また、動圧発生部８ｂ…の先端部は、
第４密封端面直径線Ｘ 4 上に位置されている。
複数本のＬ字形溝８…で構成される場合、Ｌ字形溝８…
は、互いに交差することなく、周方向及び径方向に等ピ
ッチで並列配置される。すなわち、流体導入部８ａ…は
密封端面中心Ｏに向かって放射状に等ピッチで並列され
ており、動圧発生部８ｂ…は径方向に等ピッチで平行に
配置されている。また、動圧発生部８ｂ…の先端部は、
第４密封端面直径線Ｘ 4 上に位置されている。
【００１６】而して、隣接する動圧発生溝７1 ，７
2 は、図２〜図６に示す如く、周方向において対称形状
をなしている。すなわち、各第１動圧発生溝７1 （又は
各第２動圧発生溝７2 ）は、図２〜図６に示す如く、そ
の両側に隣接する各第２動圧発生溝７2 ，７2 （又は各
第１動圧発生溝７1 ，７1 ）と、それらの流体導入部８
ａ，８ａ間（動圧発生溝７が２〜４本のＬ字形溝８…で
構成される場合は、最外側の流体導入部８ａ，８ａ間）
を通過する第１密封端面直径線Ｘ1 又はそれらの動圧発
生溝８ｂ，８ｂ間を通過する第２密封端面直径線Ｘ2 に
対して対称形状をなしている。ここに、第１動圧発生溝
７1 は、動圧流体導入部８ｂが流体導入部８ａの先端部
から正転方向（Ａ方向）に延びるＬ字形溝８のみで構成
されたものであり、第２動圧発生溝７2 は、動圧流体導
入部８ｂが流体導入部８ａの先端部から逆転方向（反Ａ
方向）に延びるＬ字形溝８のみで構成されたものであ
る。
2 は、図２〜図６に示す如く、周方向において対称形状
をなしている。すなわち、各第１動圧発生溝７1 （又は
各第２動圧発生溝７2 ）は、図２〜図６に示す如く、そ
の両側に隣接する各第２動圧発生溝７2 ，７2 （又は各
第１動圧発生溝７1 ，７1 ）と、それらの流体導入部８
ａ，８ａ間（動圧発生溝７が２〜４本のＬ字形溝８…で
構成される場合は、最外側の流体導入部８ａ，８ａ間）
を通過する第１密封端面直径線Ｘ1 又はそれらの動圧発
生溝８ｂ，８ｂ間を通過する第２密封端面直径線Ｘ2 に
対して対称形状をなしている。ここに、第１動圧発生溝
７1 は、動圧流体導入部８ｂが流体導入部８ａの先端部
から正転方向（Ａ方向）に延びるＬ字形溝８のみで構成
されたものであり、第２動圧発生溝７2 は、動圧流体導
入部８ｂが流体導入部８ａの先端部から逆転方向（反Ａ
方向）に延びるＬ字形溝８のみで構成されたものであ
る。
【００１７】したがって、回転軸２が正転されたときに
は、第１動圧発生溝７1 …に導入された高圧側密封流体
により密封端面３ａ，５ａ間に動圧が発生する。また、
回転軸２が逆転されたときには、第２動圧発生溝７2 …
に導入された高圧側密封流体により、正転時と全く同一
の条件で、密封端面３ａ，５ａ間に動圧が発生する。そ
して、何れの場合にも、発生動圧と静止密封環３に作用
する背圧つまり保持環４の背面に作用する高圧側密封流
体による圧力及びスプリング６による附勢力とがバラン
スされて、両密封端面３ａ，５ａが高圧側密封流体によ
る流体膜を介在した非接触状態に保持される。その結
果、回転軸２を正逆何れの方向に回転させたときにも、
この流体膜の形成領域つまりシール領域において、同一
条件で、高圧側密封流体領域Ｈと低圧側密封流体領域Ｌ
とが遮蔽シールされることになる。
は、第１動圧発生溝７1 …に導入された高圧側密封流体
により密封端面３ａ，５ａ間に動圧が発生する。また、
回転軸２が逆転されたときには、第２動圧発生溝７2 …
に導入された高圧側密封流体により、正転時と全く同一
の条件で、密封端面３ａ，５ａ間に動圧が発生する。そ
して、何れの場合にも、発生動圧と静止密封環３に作用
する背圧つまり保持環４の背面に作用する高圧側密封流
体による圧力及びスプリング６による附勢力とがバラン
スされて、両密封端面３ａ，５ａが高圧側密封流体によ
る流体膜を介在した非接触状態に保持される。その結
果、回転軸２を正逆何れの方向に回転させたときにも、
この流体膜の形成領域つまりシール領域において、同一
条件で、高圧側密封流体領域Ｈと低圧側密封流体領域Ｌ
とが遮蔽シールされることになる。
【００１８】また、動圧発生溝７を複数本のＬ字形溝８
…で構成した場合には、これらのＬ字形溝８…が各々独
立したものであることとも相俟って、密封端面３ａ，５
ａの径方向位置関係が変化した場合にも、一の動圧発生
溝７におけるすべてのＬ字形溝８…から圧力が抜けるよ
うなことがなく、密封端面３ａ，５ａの非接触状態を良
好に維持できる。しかも、角剛性を大きくとることがで
き、密封環３，５が傾いたときにおける復元力が大き
い。
…で構成した場合には、これらのＬ字形溝８…が各々独
立したものであることとも相俟って、密封端面３ａ，５
ａの径方向位置関係が変化した場合にも、一の動圧発生
溝７におけるすべてのＬ字形溝８…から圧力が抜けるよ
うなことがなく、密封端面３ａ，５ａの非接触状態を良
好に維持できる。しかも、角剛性を大きくとることがで
き、密封環３，５が傾いたときにおける復元力が大き
い。
【００１９】ところで、回転軸２を正転させた場合にお
いて密封端面３ａ，５ａ間に発生する離間力は、図７に
示す如く、シール領域において、第１動圧発生溝７1 が
形成されているグルーブ領域Ｌ1 及び第１動圧発生溝７
1 とその動圧発生部側で隣接する第２動圧発生溝７2 と
の間のランド領域Ｌ2 において生じ、その周方向におけ
る圧力分布は、両領域Ｌ1 ，Ｌ2 の境界部で最大とな
り、この境界部から遠ざかる従って略直線的に減少し
て、グルーブ領域Ｌ1 の逆転方向側端部及びランド領域
Ｌ2 の正転方向側端部において最小となる。かかる圧力
分布は、回転軸２を逆転させた場合においても、全く同
様となる。したがって、グルーブ領域Ｌ1 及びランド領
域Ｌ2 の周方向長さつまり周方向グルーブランド長さ
は、上記離間力の発生に極めて大きな影響を与えること
になる。
いて密封端面３ａ，５ａ間に発生する離間力は、図７に
示す如く、シール領域において、第１動圧発生溝７1 が
形成されているグルーブ領域Ｌ1 及び第１動圧発生溝７
1 とその動圧発生部側で隣接する第２動圧発生溝７2 と
の間のランド領域Ｌ2 において生じ、その周方向におけ
る圧力分布は、両領域Ｌ1 ，Ｌ2 の境界部で最大とな
り、この境界部から遠ざかる従って略直線的に減少し
て、グルーブ領域Ｌ1 の逆転方向側端部及びランド領域
Ｌ2 の正転方向側端部において最小となる。かかる圧力
分布は、回転軸２を逆転させた場合においても、全く同
様となる。したがって、グルーブ領域Ｌ1 及びランド領
域Ｌ2 の周方向長さつまり周方向グルーブランド長さ
は、上記離間力の発生に極めて大きな影響を与えること
になる。
【００２０】そこで、図３〜図６に示す各実施例では、
実験，研究の結果に基づき、前述した如く、周方向グル
ーブランド長さを、周方向グルーブランド比θ1 ／θ2
をパラメータとして、θ1 ／θ2 ＝０．５〜０．９とな
るように設定してある。すなわち、この周方向グルーブ
ランド比θ1 ／θ2 は、図３〜図６に示す如く、第１動
圧発生溝７1 （又は第２動圧発生溝７2 ）の流体導入部
（動圧発生溝が２〜４本のＬ字形溝８…で構成される場
合は、最外側の流体導入部）８ａを通過する第３密封端
面直径線Ｘ3 とその動圧発生部８ｂの先端部を通過する
第４密封端面直径線Ｘ4 との交角θ1 を第１動圧発生溝
７1 （又は第２動圧発生溝７2 ）にその動圧発生部側で
隣接する第２動圧発生溝（又は第１動圧発生溝７1 ）に
ついての第４密封端面直径線Ｘ´4 と上記第３密封端面
直径線Ｘ3 との交角θ2 で除した値であり、シール条件
に応じて上記範囲で適宜に設定される。
実験，研究の結果に基づき、前述した如く、周方向グル
ーブランド長さを、周方向グルーブランド比θ1 ／θ2
をパラメータとして、θ1 ／θ2 ＝０．５〜０．９とな
るように設定してある。すなわち、この周方向グルーブ
ランド比θ1 ／θ2 は、図３〜図６に示す如く、第１動
圧発生溝７1 （又は第２動圧発生溝７2 ）の流体導入部
（動圧発生溝が２〜４本のＬ字形溝８…で構成される場
合は、最外側の流体導入部）８ａを通過する第３密封端
面直径線Ｘ3 とその動圧発生部８ｂの先端部を通過する
第４密封端面直径線Ｘ4 との交角θ1 を第１動圧発生溝
７1 （又は第２動圧発生溝７2 ）にその動圧発生部側で
隣接する第２動圧発生溝（又は第１動圧発生溝７1 ）に
ついての第４密封端面直径線Ｘ´4 と上記第３密封端面
直径線Ｘ3 との交角θ2 で除した値であり、シール条件
に応じて上記範囲で適宜に設定される。
【００２１】さらに、上記各実施例では、動圧発生機能
を含むシール機能を良好に発揮させるべく、動圧発生溝
７…の形成形態を次のように工夫してある。
を含むシール機能を良好に発揮させるべく、動圧発生溝
７…の形成形態を次のように工夫してある。
【００２２】すなわち、動圧発生機能は第１動圧発生溝
７1 …及び第２動圧発生溝７2 …の何れか一方により発
揮されることから、密封端面３ａ，５ａ間を周方向にお
いて均等に離間させておくためには、正転用の第１動圧
発生溝７1 及び逆転用の第２動圧発生溝７2 が、夫々、
少なくとも２個必要である。また、動圧発生溝７…を必
要以上に多く形成すると、上記した周方向グルーブラン
ド比θ1 ／θ2 との関係から、動圧発生部８ａの周方向
長さが短くなり、動圧発生に必要な助走距離を確保でき
なくなる。したがって、動圧発生溝７の形成数は、シー
ル領域の径等に応じて、４〜２４個としておくことが好
ましい。図２に示す例では１６個としてある。
７1 …及び第２動圧発生溝７2 …の何れか一方により発
揮されることから、密封端面３ａ，５ａ間を周方向にお
いて均等に離間させておくためには、正転用の第１動圧
発生溝７1 及び逆転用の第２動圧発生溝７2 が、夫々、
少なくとも２個必要である。また、動圧発生溝７…を必
要以上に多く形成すると、上記した周方向グルーブラン
ド比θ1 ／θ2 との関係から、動圧発生部８ａの周方向
長さが短くなり、動圧発生に必要な助走距離を確保でき
なくなる。したがって、動圧発生溝７の形成数は、シー
ル領域の径等に応じて、４〜２４個としておくことが好
ましい。図２に示す例では１６個としてある。
【００２３】また、Ｌ字形溝８の溝深さを一定でなく且
つ深くすると、シール領域の両側（内径側及び外径側）
での圧力差が大きい場合、深い溝部分からの漏れが多く
なり、良好な動圧発生機能を発揮し得ない。このこと
は、溝幅についても同様である。したがって、上記各実
施例では、各Ｌ字形溝８を溝深さＤ及び溝幅Ｗを夫々一
定とした浅い凹溝としてあり、Ｄ＝２〜１５μｍ（より
好ましくは３〜１０μｍ），Ｗ＝１〜４ｍｍに設定して
ある。また、図３〜図５に示す各実施例では、流体導入
部相互の周方向間隔Ｐ1 及び動圧発生部相互の径方向間
隔Ｐ2 を夫々０．５〜２．０ｍｍとしてある。また、第
１密封端面直径線Ｘ1 を挟んで隣接する動圧発生溝
７1 ，７2 についの周方向間隔Ｐは、動圧発生溝７の形
成数を多くする等のために、極力小さくしておくことが
好ましく、上記各実施例ではＰ＝０．５〜３ｍｍとして
ある。なお、上記Ｐ1 ，Ｐは、流体導入部８ａ…が放射
状に形成されていることから、径方向に変化し、一定で
はない（密封端面中心Ｏに近づく程小さくなる）が、か
かる変化量は極く僅かであるから、Ｐ，Ｐ1 を径方向に
おけるどの位置で設定しても問題はなく、必要に応じて
任意とされる。ところで、Ｌ字形溝８…は、レーザ加工
法，エッチング加工法，ショットブラスト加工法等によ
って形成されている。
つ深くすると、シール領域の両側（内径側及び外径側）
での圧力差が大きい場合、深い溝部分からの漏れが多く
なり、良好な動圧発生機能を発揮し得ない。このこと
は、溝幅についても同様である。したがって、上記各実
施例では、各Ｌ字形溝８を溝深さＤ及び溝幅Ｗを夫々一
定とした浅い凹溝としてあり、Ｄ＝２〜１５μｍ（より
好ましくは３〜１０μｍ），Ｗ＝１〜４ｍｍに設定して
ある。また、図３〜図５に示す各実施例では、流体導入
部相互の周方向間隔Ｐ1 及び動圧発生部相互の径方向間
隔Ｐ2 を夫々０．５〜２．０ｍｍとしてある。また、第
１密封端面直径線Ｘ1 を挟んで隣接する動圧発生溝
７1 ，７2 についの周方向間隔Ｐは、動圧発生溝７の形
成数を多くする等のために、極力小さくしておくことが
好ましく、上記各実施例ではＰ＝０．５〜３ｍｍとして
ある。なお、上記Ｐ1 ，Ｐは、流体導入部８ａ…が放射
状に形成されていることから、径方向に変化し、一定で
はない（密封端面中心Ｏに近づく程小さくなる）が、か
かる変化量は極く僅かであるから、Ｐ，Ｐ1 を径方向に
おけるどの位置で設定しても問題はなく、必要に応じて
任意とされる。ところで、Ｌ字形溝８…は、レーザ加工
法，エッチング加工法，ショットブラスト加工法等によ
って形成されている。
【００２４】また、動圧発生機能を発揮させる上で、上
記周方向グルーブランド比θ1 ／θ 2 の他、シール領域
において動圧発生溝７…が存在する領域部分の径方向幅
ｂをシール領域の径方向幅であるシール面幅Ｂで除した
径方向グルーブランド比ｂ／Ｂも重要な要素となる。上
記各実施例では、ｂ／Ｂ＝０．４〜０．６としてある。
また、バランス比は、シール条件に応じて適宜に設定さ
れるが、上記各実施例では０．７〜０．９としてある。
記周方向グルーブランド比θ1 ／θ 2 の他、シール領域
において動圧発生溝７…が存在する領域部分の径方向幅
ｂをシール領域の径方向幅であるシール面幅Ｂで除した
径方向グルーブランド比ｂ／Ｂも重要な要素となる。上
記各実施例では、ｂ／Ｂ＝０．４〜０．６としてある。
また、バランス比は、シール条件に応じて適宜に設定さ
れるが、上記各実施例では０．７〜０．９としてある。
【００２５】なお、本発明は上記各実施例に限定される
ものではなく、本発明の基本原理を逸脱しない範囲にお
いて、適宜に変更，改良することができる。例えば、Ｌ
字形溝８の形状において、流体導入部８ａを密封端面中
心Ｏを通過する直径線に対して若干傾斜させるようにし
てもよく、また流体導入部８ａと動圧発生部８ｂとの接
合部分を円弧形状としてもよい。また、動圧発生溝７…
は静止側密封端面３ａに形成することも可能であるる。
但し、密封環３，５がカーボン等の軟質材からなるもの
とセラミックス，超硬合金等の硬質材からなるものとの
組み合わせである場合、硬質材製のものに形成しておく
ことが好ましい。
ものではなく、本発明の基本原理を逸脱しない範囲にお
いて、適宜に変更，改良することができる。例えば、Ｌ
字形溝８の形状において、流体導入部８ａを密封端面中
心Ｏを通過する直径線に対して若干傾斜させるようにし
てもよく、また流体導入部８ａと動圧発生部８ｂとの接
合部分を円弧形状としてもよい。また、動圧発生溝７…
は静止側密封端面３ａに形成することも可能であるる。
但し、密封環３，５がカーボン等の軟質材からなるもの
とセラミックス，超硬合金等の硬質材からなるものとの
組み合わせである場合、硬質材製のものに形成しておく
ことが好ましい。
【００２６】
【発明の効果】以上の説明から容易に理解されるよう
に、本発明の非接触形軸封装置にあっては、隣接する動
圧発生溝が周方向に対称形状をなしているから、回転軸
が正逆何れの方向に回転されるときにも、密封端面間に
動圧を発生させることができる。しかも、回転軸の回転
方向に拘わらず、動圧発生条件が同一となり、正転時と
逆転時とで軸封機能が異なることがない。したがって、
本発明の非接触形軸封装置を使用することにより、回転
軸を一定方向に回転させる機器においては勿論、これを
正逆転させる必要のある機器においても極めて良好な軸
封を行いうる。また、一の密封環を正転用と逆転用とに
兼用できるから、装置設計の自由度が大きくなり、回転
軸等の機器条件による設計上の制限を解除できる。ま
た、ダブルシール等にあっても、部品種類が増加せずコ
ストアップを回避することができ、組み立てミスが生じ
る虞れもない。
に、本発明の非接触形軸封装置にあっては、隣接する動
圧発生溝が周方向に対称形状をなしているから、回転軸
が正逆何れの方向に回転されるときにも、密封端面間に
動圧を発生させることができる。しかも、回転軸の回転
方向に拘わらず、動圧発生条件が同一となり、正転時と
逆転時とで軸封機能が異なることがない。したがって、
本発明の非接触形軸封装置を使用することにより、回転
軸を一定方向に回転させる機器においては勿論、これを
正逆転させる必要のある機器においても極めて良好な軸
封を行いうる。また、一の密封環を正転用と逆転用とに
兼用できるから、装置設計の自由度が大きくなり、回転
軸等の機器条件による設計上の制限を解除できる。ま
た、ダブルシール等にあっても、部品種類が増加せずコ
ストアップを回避することができ、組み立てミスが生じ
る虞れもない。
【図１】本発明に係る非接触形軸封装置の一実施例を示
す半截断面図である。
す半截断面図である。
【図２】動圧発生溝を形成した密封端面を示す正面図で
ある。
ある。
【図３】図２の一部を拡大して示す詳細図である。
【図４】他の実施例を示す図３相当の一部切欠正面図で
ある。
ある。
【図５】更に他の実施例を示す図３相当の一部切欠正面
図である。
図である。
【図６】更に他の実施例を示す図３相当の一部切欠正面
図である。
図である。
【図７】動圧発生状態を示す断面図である（断面は図３
のVII−VII線に沿う）。
のVII−VII線に沿う）。
【図８】従来の非接触形軸封装置における密封端面を示
す一部切欠正面図である。
す一部切欠正面図である。
１…シールケース、２…回転軸、３…静止密封環、３ａ
…静止側密封端面（シールケース側の密封端面）、５…
回転密封環、５ａ…回転側密封端面（回転軸側の密封端
面）、７1 ，７2 …動圧発生溝、８…Ｌ字形溝、８ａ…
流体導入部、８ｂ…動圧発生部、Ｘ1 …第１密封端面直
径線、Ｘ2 …第２密封端面直径線、Ｘ3…第３密封端面
直径線、Ｘ4 ，Ｘ´4 …第４密封端面直径線。
…静止側密封端面（シールケース側の密封端面）、５…
回転密封環、５ａ…回転側密封端面（回転軸側の密封端
面）、７1 ，７2 …動圧発生溝、８…Ｌ字形溝、８ａ…
流体導入部、８ｂ…動圧発生部、Ｘ1 …第１密封端面直
径線、Ｘ2 …第２密封端面直径線、Ｘ3…第３密封端面
直径線、Ｘ4 ，Ｘ´4 …第４密封端面直径線。
Claims (7)
- 【請求項１】 シールケース側の密封端面と回転軸側の
密封端面とが、高圧側密封流体による流体膜を介在させ
た非接触状態で、相対回転するように構成された非接触
形軸封装置において、一方の密封端面に偶数個であって
４個以上の動圧発生溝が周方向に並列状に形成されてお
り、各動圧発生溝は、当該密封端面の高圧側周端縁から
径方向に延びる流体導入部とその先端部から周方向に延
びる動圧発生部とからなる溝幅及び溝深さを一定とした
１本の浅いＬ字形溝で構成されており、各動圧発生溝
は、その両側に隣接する各動圧発生溝と、それらの流体
導入部間を通過する第１密封端面直径線又はそれらの動
圧発生溝間を通過する第２密封端面直径線に対して対称
形状をなしており、各動圧発生溝について、その流体導
入部を通過する第３密封端面直径線とその動圧発生部の
先端部を通過する第４密封端面直径線との交角θ1 を当
該動圧発生溝にその動圧発生部側で隣接する動圧発生溝
についての第４密封端面直径線と上記第３密封端面直径
線との交角θ 2 で除した周方向グルーブランド比θ1 ／
θ2 が０．５〜０．９とされていることを特徴とする非
接触形軸封装置。 - 【請求項２】 シールケース側の密封端面と回転軸側の
密封端面とが、高圧側密封流体による流体膜を介在させ
た非接触状態で、相対回転するように構成された非接触
形軸封装置において、一方の密封端面に偶数個であって
４個以上の動圧発生溝が周方向に並列状に形成されてお
り、各動圧発生溝は、当該密封端面の高圧側周端縁から
径方向に延びる流体導入部とその先端部から周方向に延
びる動圧発生部とからなる溝幅及び溝深さを一定とした
２〜４本の浅いＬ字形溝を、それらの動圧発生部の先端
部が第４密封端面直径線上に位置する状態で、互いに交
差することなく等ピッチで並列配置してなり、各動圧発
生溝は、その両側に隣接する各動圧発生溝と、それらの
流体導入部間を通過する第１密封端面直径線又はそれら
の動圧発生溝間を通過する第２密封端面直径線に対して
対称形状をなしており、各動圧発生溝について、その最
外側の流体導入部を通過する第３密封端面直径線とその
動圧発生部の先端部を通過する第４密封端面直径線との
交角θ1 を当該動圧発生溝にその動圧発生部側で隣接す
る動圧発生溝についての第４密封端面直径線と上記第３
密封端面直径線との交角θ2 で除した周方向グルーブラ
ンド比θ1 ／θ2 が０．５〜０．９とされていることを
特徴とする非接触形軸封装置。 - 【請求項３】 一方の密封端面における動圧発生溝の形
成数が４〜２４個であることを特徴とする、請求項１又
は請求項２に記載する非接触形軸封装置。 - 【請求項４】 各Ｌ字形溝の溝深さが２〜１５μｍであ
り且つその溝幅が１〜４ｍｍであることを特徴とする、
請求項１、請求項２又は請求項３に記載する非接触形軸
封装置。 - 【請求項５】 第１密封端面直径線を挟んで隣接する動
圧発生溝について、それらの周方向間隔が０．５〜３ｍ
ｍとされていることを特徴とする、請求項１、請求項
２、請求項３又は請求項４に記載する非接触形軸封装
置。 - 【請求項６】 各動圧発生溝について、両密封端面が重
合する環状領域であるシール領域において動圧発生溝が
存在する領域部分の径方向幅ｂをシール領域の径方向幅
であるシール面幅Ｂで除した径方向グルーブランド比ｂ
／Ｂが０．４〜０．６とされていることを特徴とする、
請求項１、請求項２、請求項３、請求項４又は請求項５
に記載する非接触形軸封装置。 - 【請求項７】 各動圧発生溝において、流体導入部相互
の周方向間隔及び動圧発生部相互の径方向間隔が夫々
０．５〜２．０ｍｍとされていることを特徴とする、請
求項２、請求項３、請求項４、請求項５又は請求項６に
記載する非接触形軸封装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6050642A JP2563081B2 (ja) | 1994-03-22 | 1994-03-22 | 非接触形軸封装置 |
| EP95301846A EP0684413B1 (en) | 1994-03-22 | 1995-03-20 | Non-contact shaft sealing device |
| DE1995625562 DE69525562T2 (de) | 1994-03-22 | 1995-03-20 | Kontaktlose Wellendichtungsvorrichtung |
| US08/412,873 US5529318A (en) | 1994-03-22 | 1995-03-29 | Non-contacting shaft sealing device |
| US08/606,296 US5664787A (en) | 1994-03-22 | 1996-02-23 | Non-contacting shaft sealing device |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6050642A JP2563081B2 (ja) | 1994-03-22 | 1994-03-22 | 非接触形軸封装置 |
| US08/412,873 US5529318A (en) | 1994-03-22 | 1995-03-29 | Non-contacting shaft sealing device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07260009A true JPH07260009A (ja) | 1995-10-13 |
| JP2563081B2 JP2563081B2 (ja) | 1996-12-11 |
Family
ID=26391107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6050642A Expired - Fee Related JP2563081B2 (ja) | 1994-03-22 | 1994-03-22 | 非接触形軸封装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5529318A (ja) |
| EP (1) | EP0684413B1 (ja) |
| JP (1) | JP2563081B2 (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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