JPH0724829A

JPH0724829A - ブレードカッター固着装置

Info

Publication number: JPH0724829A
Application number: JP17448093A
Authority: JP
Inventors: Yasuji Mikamoto; 保司三家本
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1993-07-14
Filing date: 1993-07-14
Publication date: 1995-01-27
Anticipated expiration: 2011-11-06
Also published as: JP2551335B2

Abstract

(57)【要約】【目的】ＩＣのウェハなどを賽の目状に切断するダイ
シング装置のシャフトに軸支されたブレードカッターの
刃先のうねりを抑える。【構成】ブレードカッター５は、ブレードホルダー４
の嵌合座４ｃに内周開口縁５ｂを嵌合させる。一対のブ
レードホルダー３，４は、フランジ部３ｂ，４ｂの対向
面に、ブレードカッター５の接触面を狭くする突縁３
ａ，４ａを有しており、突縁３ａ，４ａにより、ブレー
ドカッター５の外周側を挟持し、ブレードカッター５の
刃先５ａの根元側を強固に固定してブレードホルダー４
にブレードカッター５を支持させ、ブレードカッター５
の刃先５ａのうねりを抑える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣのウェハや積層セ
ラミックコンデンサなどのワークを賽の目状に切断する
ダイシング装置、特にブレードカッターの固着構造に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のブレードカッター固着装
置の構成は、特開昭６３−２５６３５７号に開示されて
いる。即ち、図３に示す通り、高速で回転する駆動源
（図示省略）と連結するシャフトの外周にはホイールマ
ウント２が嵌挿されており、ホイールマウント２の外周
にはブレードホルダー８のボス部８ｃが嵌挿され、その
ボス部８ｃの外周にはブレードホルダー９が取付けられ
ている。薄厚の円板状ブレードカッター５は、対向する
ブレードホルダー８とブレードホルダー９のそれぞれの
フランジ部８ａ，９ａで挾み込まれ、ブレードホルダー
８のボス部８ｃに設けたネジとナット１０の締結によ
り、ブレードホルダー８とブレードホルダー９の中央部
がホイールマウント２とナット１０で締め付けられると
ともに、ナット７がシャフト１のネジに締結され、ブレ
ードカッター５がシャフト１に固着される。この状態で
図示しない駆動源によりシャフト１を高速回転させる
と、ブレードカッター５が回転され、図２に示す通りワ
ーク１１をブレードカッター５の矢印Ｘ方向に接触移動
させ、ワーク１１に切断溝１２を刻設してワーク１１の
切断を行っていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】この従来のブレードカ
ッター固着装置では、ブレードホルダー８，９のブレー
ドカッター５を挟持する接触面８ａ，９ａが２〜３ｍｍ
と広く、かつ、ナット１０の締結する作用点がブレード
ホルダー８，９の中央部付近にあるので、ブレードホル
ダー８，９のフランジ部８ｂ，９ｂが前述のブレードカ
ッター５の挟持面の内端を支点に外周端が開く方向に撓
みが発生し、ブレードカッターの保持力が弱まることに
なる。よって、ブレードカッター５の刃先となる外周の
うねりが大きくなり、この状態でワークを切断すると、（１）ブレードカッター５の刃厚以上にワーク１１の切
断溝１２の切り代が広くなり、ワーク材料費が無駄であ
ったり、製品不良を発生し易い。（２）ブレードカッター５に偏芯荷重がかかり、ブレー
ドカッターが破損するなど寿命が短い。（３）切断位置精度を必要とする精密電子部品には切断
不可。といった問題を生じていた。

【０００４】本発明の目的は、ブレードカッターの刃先
のうねりを防止したブレードカッター固着装置を提供す
ることにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るブレードカッター固着装置は、ブレー
ドカッターと、一対のブレードホルダーと、ナットとを
有し、一対のブレードホルダーに挟持してブレードカッ
ターをシャフトに取付けるブレードカッター固着装置で
あって、ブレードカッターは、リング状をなし、内周端
縁側が一対のブレードホルダー間に挟持されるものであ
り、外周端縁にワーク切断用の刃先を有し、一対のブレ
ードホルダーは、中心部がシャフトに軸支される円板状
をなし、対向内面にブレードカッターをはさむ外周ホル
ダー部を有し、一方のブレードホルダーは、外周ホルダ
ー部の内周側に設けられた内周ホルダー部を有し、内周
ホルダー部は、ブレードカッターの内周開口縁を支持す
る嵌合座であり、外周ホルダー部は、ブレードカッター
の側面に当接させるリング状突縁であり、ナットは、ブ
レードをはさんだ一対のブレードホルダー間を締付け固
定するものである。

【０００６】また、ナットは、ブレードホルダーの外形
寸法とほぼ同径の円形をなし、緊締部を有し、緊締部
は、円形ナットの外周側側面にブレードホルダーの外周
ホルダー部側に迫り出してリング状に形成され、外周ホ
ルダー部に集中させて緊締力を付与する突縁である。

【０００７】

【作用】ブレードカッターの内周開口縁を一方のブレー
ドホルダーの嵌合座で支持するとともに、その内周開口
縁から外周側に離れた側面を一対のブレードホルダーの
リング状突縁で挟持することにより、ブレードカッター
の刃先のうねりを防止する。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図により説明す
る。図１は、本発明の一実施例を示す断面図である。図
１において、本発明に係るブレードカッター固着装置
は、ブレードカッター５と、一対のブレードホルダー
３，４と、ナット６とを有している。

【０００９】シャフト１は、図示しない駆動源により高
速回転されるものであり、その軸端側は緩やかなテーパ
状となっており、そのテーパ状嵌合面にホイールマウン
ト２が嵌合されている。

【００１０】ブレードカッター５は、リング状をなし、
内周端縁側が一対のブレードホルダー３，４間に挟持さ
れ、外周端縁にワーク切断用の刃先５ａが形成されてい
る。

【００１１】一方のブレードホルダー３は、ボス部３ｃ
と、フランジ部３ｂとを有している。ブレードホルダー
３のボス部３ｃは、中空構造をなし、ホイールマウント
２の外周に一体に嵌合され、ホイールマウント２と一体
にシャフト１にナット７の締付けにより固定されるよう
になっている。

【００１２】また、他方のブレードホルダー４は、一方
のブレードホルダー３と組み合わされてブレードカッタ
ー５を挟持するものであり、内周ホルダー部を有し、ブ
レードホルダー３のボス部３ｃに嵌合される。対をなす
ブレードホルダー３，４は、中心部がシャフト１に軸支
される円板状をなし、内周ホルダー部の外周側に設けら
れた外周ホルダー部を有している。

【００１３】内周ホルダー部は、ブレードカッター５の
内周開口縁５ｂを支持する嵌合座４ｃであり、嵌合座４
ｃは、ブレードホルダー４の側面に設けられている。ブ
レードカッター５は、内周開口縁５ｂが嵌合座４ｃに支
持された状態で、その刃先５ａがブレードホルダー３，
４間から径方向に突出するようになっている。

【００１４】外周ホルダー部は、一対のブレードホルダ
ー３，４のフランジ３ｂ，４ｂの外周側対向面に向き合
わせに迫り出してリング状に形成されてブレードカッタ
ー５との接触面幅を狭くした突縁３ａ，４ａからなって
いる。

【００１５】ナット６は、一対のブレードホルダー３，
４の突縁３ａ，４ａ間を締付け固定するものであり、ブ
レードホルダー３，４の外形寸法とほぼ同径の円形をな
し、緊締部を有している。緊締部は、円形ナット６の外
周側側面にブレードホルダー３，４の突縁３ａ，４ａ側
に迫り出してリング状に形成され、突縁３ａ，４ａ間に
集中させて締付け力を付与する突縁６ａからなってい
る。

【００１６】まず、高速回転する駆動源（図示省略）と
連結したシャフト１にホイールマウント２を嵌挿する。
このシャフト１とホイールマウント２の嵌め合い面は、
緩やかなテーパ状になっており、嵌挿した際、所定の位
置で止まり嵌め合い隙間が全く無いようになっている。
次に、ブレードカッター５の内周開口をブレードホルダ
ー４の嵌合座４ｃに嵌め込み、ブレードホルダー４を、
ブレードホルダー３のボス部３ｃに嵌挿する。この時、
ブレードホルダー３とブレードホルダー４の対峙する面
側の全外周端には、それぞれブレードカッター５と接す
る部分が先端から０．５ｍｍ幅程度の対称同形状である
突縁３ａ，４ａが設けられている。

【００１７】ブレードホルダー３のボス部３ｃにあるネ
ジに、ブレードホルダー４と接する面側で、かつブレー
ドホルダーの突縁３ａ，４ａと同径位置に突縁６ａを設
けたナット６をネジ込む。ブレードカッター５は、ナッ
ト６の締結によりブレードホルダー３とブレードホルダ
ー４とで挟持される。次に、このブレードホルダー３を
ホイールマウント２のボス部に嵌挿した後、シャフト１
の先端に設けたネジ部１ａにナット７を締結してブレー
ドカッター５のシャフト１への固着は完了する。

【００１８】図２を用いて動作概要を説明する。図２
は、本発明の実施例を用いてワークを切断している斜視
図である。

【００１９】まず、ブレードカッター５の下端縁がワー
ク１１の下端と一致する位置となるようにシャフト１の
高さを設定しておく。次に、真空吸着などのワーク１１
の保持機能を有し矢印Ｘ方向に可動する機構と連結した
テーブル（図示省略）上に、切断用のワーク１１をセッ
トする。それから、シャフト１を高速回転させてブレー
ドカッター５を回転させ、ワーク１１の切断したい位置
にシャフト１又はワーク１１を矢印Ｙ方向に移動させて
から、ワーク１１に切断溝１２をブレードカッター５に
より刻設し、ワークの切断を実行する。切断したい方向
と直交する方向を切断する場合は、前述のテーブルを９
０度回転させて、同様に切断する。

【００２０】

【発明の効果】以上説明したように本発明のブレード固
着装置は、ブレードホルダーのブレードカッターを挟持
する部分がブレードホルダー外周端の非常に狭い面であ
ること、ナットによる締結の作用点がブレードカッター
を挟持している点と同じであるため、ナットを締め付け
てもブレードホルダーによるブレートカッターの挟持面
間に隙間が形成されず、ブレードカッターの外周端のう
ねりを大幅に低減できる。

【００２１】したがって、（１）刃厚０．１５ｍｍのブレードカッターで切断した
切断溝の切り代が、従来０．２ｍｍ前後あったものが刃
厚と同程度と狭くなり、製品不良の発生低減やワーク材
料費の節減ができる。（２）高速回転時の切断負荷が軽減することにより、ブ
レードカッターの寿命が２〜３倍長くなり経済的であ
る。（３）高い切断位置精度が得られ、電子部品などの軽薄
短小化が可能となる。といった大きな効果をもたらす。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るブレードカッター固着
装置を示す断面図である。

【図２】本発明のブレードカッター固着装置を用いたワ
ーク切断状態を示す斜視図である。

【図３】従来のブレードカッター固着装置を示す断面図
である。

【符号の説明】

１シャフト１ａネジ部２ホイールマウント３，４ブレードホルダー３ａ，４ａ，４ａリング状突縁（外周ホルダー部）３ｂ，４ｂフランジ部３ｃ，８ｃボス部４ｃ嵌合座（内周ホルダー部）５ブレードカッター６，７ナット

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ブレードカッターと、一対のブレードホ
ルダーと、ナットとを有し、一対のブレードホルダーに
挟持してブレードカッターをシャフトに取付けるブレー
ドカッター固着装置であって、ブレードカッターは、リング状をなし、内周端縁側が一
対のブレードホルダー間に挟持されるものであり、外周
端縁にワーク切断用の刃先を有し、一対のブレードホルダーは、中心部がシャフトに軸支さ
れる円板状をなし、対向内面にブレードカッターをはさ
む外周ホルダー部を有し、一方のブレードホルダーは、
外周ホルダー部の内周側に設けられた内周ホルダー部を
有し、内周ホルダー部は、ブレードカッターの内周開口縁を支
持する嵌合座であり、外周ホルダー部は、ブレードカッターの側面に当接させ
るリング状突縁であり、ナットは、ブレードをはさんだ一対のブレードホルダー
間を締付け固定するものであることを特徴とするブレー
ドカッター固着装置。
【請求項２】ナットは、ブレードホルダーの外形寸法
とほぼ同径の円形をなし、緊締部を有し、緊締部は、円形ナットの外周側側面にブレードホルダー
の外周ホルダー部側に迫り出してリング状に形成され、
外周ホルダー部に集中させて緊締力を付与する突縁であ
ることを特徴とする請求項１に記載のブレードカッター
固着装置。