JPS617085A - 回転ミラ−組立体 - Google Patents
回転ミラ−組立体Info
- Publication number
- JPS617085A JPS617085A JP59127932A JP12793284A JPS617085A JP S617085 A JPS617085 A JP S617085A JP 59127932 A JP59127932 A JP 59127932A JP 12793284 A JP12793284 A JP 12793284A JP S617085 A JPS617085 A JP S617085A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- angle
- rotating mirror
- mirror
- flange
- rotary mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing
- B23K26/0673—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing into independently operating sub-beams, e.g. beam multiplexing to provide laser beams for several stations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はレーザ加工機に用いる回転ミラー組立体に関す
るものである。
るものである。
従来例の構成とその問題点
第1図にレーザ加工機の概観図を示すが、回転ミラー1
け1台のレーザ発振器2により複数の加工ステージョン
3で加工を可能にするため、レーザ光4を分割するもの
である。すなわちレーザ発振器2からのレーザ光4は回
転ミラー1により反射又は透過され、その反射レーザ光
6は集光レンズアで加工ステージョン3上に集光され加
工に供せられる。
け1台のレーザ発振器2により複数の加工ステージョン
3で加工を可能にするため、レーザ光4を分割するもの
である。すなわちレーザ発振器2からのレーザ光4は回
転ミラー1により反射又は透過され、その反射レーザ光
6は集光レンズアで加工ステージョン3上に集光され加
工に供せられる。
この時回転ミラー1が回転軸5に対して正確に取り付け
られている必要がある。
られている必要がある。
ところが回転ミラー1が回転軸6に対して傾いて固定さ
れていると、回転ミラー1より反射された反射レーザ光
6が変動し、集光レンズ7で集光されたビームスポット
8が変動して加工精度が悪化する。反射レーザ光6の変
動が加工精度に与える影響を無視できるようにするため
には、反射レーザ光6が集光レンズ7に入射する入射角
変動を30秒以内におさめる必要がある。ここで、回転
軸5の回転精度による回転振れも考慮すると、回転ミラ
ー1は、回転軸6に対して取り付は角誤差が6秒以内に
おさまってなくてはならない。そこで、回転軸5に対し
て回転ミラー1を取り付角誤差を5秒以内に収めるため
の従来例を次に述べる。
れていると、回転ミラー1より反射された反射レーザ光
6が変動し、集光レンズ7で集光されたビームスポット
8が変動して加工精度が悪化する。反射レーザ光6の変
動が加工精度に与える影響を無視できるようにするため
には、反射レーザ光6が集光レンズ7に入射する入射角
変動を30秒以内におさめる必要がある。ここで、回転
軸5の回転精度による回転振れも考慮すると、回転ミラ
ー1は、回転軸6に対して取り付は角誤差が6秒以内に
おさまってなくてはならない。そこで、回転軸5に対し
て回転ミラー1を取り付角誤差を5秒以内に収めるため
の従来例を次に述べる。
第1の従来例を・第2図に示す。同図fa)は側面図、
同図(b)は同図(a)のA−A’における断面図であ
る。
同図(b)は同図(a)のA−A’における断面図であ
る。
これは、第1のフランジ9の基準面10を回転軸11に
対しての直角度および平面度をあらかじめ高精度(直角
度1μm以下、平面度1μm以下)に加工しておきこの
面に回転ミラー18のミラー面12を第2のフランジ1
9により押しつける方法である。
対しての直角度および平面度をあらかじめ高精度(直角
度1μm以下、平面度1μm以下)に加工しておきこの
面に回転ミラー18のミラー面12を第2のフランジ1
9により押しつける方法である。
これは第1のフランジ90基準面10の超精密加工が必
要であり、回転軸11に対する基準面1゜の直角度及び
平面度の超精密測定技術も必要となる。
要であり、回転軸11に対する基準面1゜の直角度及び
平面度の超精密測定技術も必要となる。
次に第2の従来例を第3図に示す。同図(a)は左側面
図、同図(b)は同図(&)のB −B’における断面
図、同図(01は右側面図である。
図、同図(b)は同図(&)のB −B’における断面
図、同図(01は右側面図である。
これは、第1のフランジ13、第2のフランジ14に取
り付けられた締めつけネジ16の締めつけ力を調整する
ことにより回転ミラー19のミラー面16の倒れ角をオ
ートコリメータで測定しながら回転軸17に対してのミ
ラー面16の取りつけ角を調整するものである。
り付けられた締めつけネジ16の締めつけ力を調整する
ことにより回転ミラー19のミラー面16の倒れ角をオ
ートコリメータで測定しながら回転軸17に対してのミ
ラー面16の取りつけ角を調整するものである。
しかしながらこの構造だけでは、回転ミラー19の両側
にある締めつけネジ16を同時に調整l−なければなら
ず高度の熟練度を要し、調整するのに非常に時間がかか
るという問題点を有していた。
にある締めつけネジ16を同時に調整l−なければなら
ず高度の熟練度を要し、調整するのに非常に時間がかか
るという問題点を有していた。
発明の目的
本発明は、以上のような問題点を解決するために、回転
ミラー面の回転軸に対する取り付は角を容易に調整でき
るようにした取り付は角補正機構をもつ回転ミラー組立
体を提供することを目的とする。
ミラー面の回転軸に対する取り付は角を容易に調整でき
るようにした取り付は角補正機構をもつ回転ミラー組立
体を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明は上記目的を達成するもので、回転ミラーの両側
にフランジを設け、このフランジの少々くとも一方と回
転ミラーとの間に弾性体を設け、フランジに設けられた
締めつけ手段により回転ミラーのミラー面の取りつけ角
を補正するようにした回転ミラー組立体を提供するもの
である。
にフランジを設け、このフランジの少々くとも一方と回
転ミラーとの間に弾性体を設け、フランジに設けられた
締めつけ手段により回転ミラーのミラー面の取りつけ角
を補正するようにした回転ミラー組立体を提供するもの
である。
実施例の説明
以下に本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第4図(alは本発明の一実施例における回転ミラー組
立体を示す側面図、同図(blはそのc−c’における
断面図である。
立体を示す側面図、同図(blはそのc−c’における
断面図である。
同図において101は回転軸、102は反射部を回転軸
101の周辺に複数個設けた回転ミラー、103は第1
のフランジ、104は第2のフランジ、106は第1の
フランジ103に取シ付けられた締めつけネジ、107
は第2のフランジ104に取り付けられた締めっけネジ
、108は第1のフランジ103と回転ミラー102の
間に挿入された弾性体108である。回転ミラー102
のミラー面109の取り付は角補正機構は、第1のフラ
ンジ1o3.第2のフランジ1o4.締め伺はネジ10
6,107.弾性体108から構成されるものである。
101の周辺に複数個設けた回転ミラー、103は第1
のフランジ、104は第2のフランジ、106は第1の
フランジ103に取シ付けられた締めつけネジ、107
は第2のフランジ104に取り付けられた締めっけネジ
、108は第1のフランジ103と回転ミラー102の
間に挿入された弾性体108である。回転ミラー102
のミラー面109の取り付は角補正機構は、第1のフラ
ンジ1o3.第2のフランジ1o4.締め伺はネジ10
6,107.弾性体108から構成されるものである。
弾性体10Bとしてはウレタンゴムなどのゴムが好適で
ある。
ある。
この機構を用いた回転ミラー面109の回転軸101に
対する取りつけ角調整方法を以下に述べる。
対する取りつけ角調整方法を以下に述べる。
締めつけネジ106及び107をゆるめた状態では弾性
体1080弾性により回転ミラー102は第2のフラン
ジ104に押しつけられた状態に々っている。当然この
ままでは回転ミラー面109は回転軸101に対して直
角度はでていない。そこでまず締めつけネジ107のみ
で回転ミラー面109の回転軸101に対する取りつけ
角を6秒以内に収める。このとき取りっけ角はオートコ
リメータなどで測定しながら調整する。この調整中回転
ミラー102は弾性体108の弾性により保持されてい
る。この調整が終ったら、締め伺はネジ106で取りつ
け角がくるわないように締めっける。以上で作業は完了
する。
体1080弾性により回転ミラー102は第2のフラン
ジ104に押しつけられた状態に々っている。当然この
ままでは回転ミラー面109は回転軸101に対して直
角度はでていない。そこでまず締めつけネジ107のみ
で回転ミラー面109の回転軸101に対する取りつけ
角を6秒以内に収める。このとき取りっけ角はオートコ
リメータなどで測定しながら調整する。この調整中回転
ミラー102は弾性体108の弾性により保持されてい
る。この調整が終ったら、締め伺はネジ106で取りつ
け角がくるわないように締めっける。以上で作業は完了
する。
このように本実施例では回転ミラー102と第1のフラ
ンジ103との間に弾性体108を挿入することにより
、締め付はネジによる調整が片側ずつ単独に行えるので
作業性が大いに改善される。
ンジ103との間に弾性体108を挿入することにより
、締め付はネジによる調整が片側ずつ単独に行えるので
作業性が大いに改善される。
なお弾性体108の位置は回転ミラー102と第2のフ
ランジ104との間に設けでも良く、また回転ミラー1
o2の両側に設けても前記実施例と同様の効果を奏する
。
ランジ104との間に設けでも良く、また回転ミラー1
o2の両側に設けても前記実施例と同様の効果を奏する
。
発明の効果
以上要するに本発明は回転ミラーの両側に設けられたフ
ランジの少なくとも一方と回転ミラーとの間に弾性体を
設け、フランジに設けられた締めつけ手段により回転ミ
ラーのミラー面の取り付は角を補正するようにしたもの
で、従来のように回転ミラーを介して相対する締めつり
ネジを同時に、締めつけたりゆるめたりして取りつけ角
を調整することはなく、片面からの締めつけネジの調整
を2回行うだけですみ非常に作業性が良くなり、熟練し
てい々い者でも比較的簡単に短時間で調整を行うことが
できる。
ランジの少なくとも一方と回転ミラーとの間に弾性体を
設け、フランジに設けられた締めつけ手段により回転ミ
ラーのミラー面の取り付は角を補正するようにしたもの
で、従来のように回転ミラーを介して相対する締めつり
ネジを同時に、締めつけたりゆるめたりして取りつけ角
を調整することはなく、片面からの締めつけネジの調整
を2回行うだけですみ非常に作業性が良くなり、熟練し
てい々い者でも比較的簡単に短時間で調整を行うことが
できる。
第1図は回転ミラーを用いたレーザ加工機の概要を示す
概観図、第2図(a)は回転ミラー組立体の第1の従来
例を示す側面図、同図(blは(a)のム−A′におけ
る断面図、第3図(a)は回転ミラー組立体の第2の従
来例を示す左側面図、同図(b)は[a)のB−B′に
おける断面図、同図(0)は右側面図、第4図(a)は
本発明の一実施例における回転ミラー組立体の側面図、
同図(b)は(2L)のC−C’における断面図である
。 101 ・回転軸、102・・・・回転ミラー、10
3・−・第1のフランジ、104・・第2のフランジ、
1o6・ ・締めつけネジ、107・ 締めつけネジ、
108・・・・弾性体、109 ・・・回転ミラー面。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名(C
し)(b) @ 3 図 (07) (b)
(c)寸
−2 踪
概観図、第2図(a)は回転ミラー組立体の第1の従来
例を示す側面図、同図(blは(a)のム−A′におけ
る断面図、第3図(a)は回転ミラー組立体の第2の従
来例を示す左側面図、同図(b)は[a)のB−B′に
おける断面図、同図(0)は右側面図、第4図(a)は
本発明の一実施例における回転ミラー組立体の側面図、
同図(b)は(2L)のC−C’における断面図である
。 101 ・回転軸、102・・・・回転ミラー、10
3・−・第1のフランジ、104・・第2のフランジ、
1o6・ ・締めつけネジ、107・ 締めつけネジ、
108・・・・弾性体、109 ・・・回転ミラー面。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名(C
し)(b) @ 3 図 (07) (b)
(c)寸
−2 踪
Claims (2)
- (1)回転軸に挿設された回転ミラーと、前記回転ミラ
ーの両側に設けられたフランジと、前記フランジに設け
られ、フランジを貫通して回転ミラーを締着する締めつ
け手段と、前記フランジの少なくとも一方と回転ミラー
との間に挿設された弾性体とを具備することを特徴とす
る回転ミラー組立体 - (2)弾性体がウレタンゴムからなることを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載の回転ミラー組立体
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59127932A JPS617085A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 回転ミラ−組立体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59127932A JPS617085A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 回転ミラ−組立体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS617085A true JPS617085A (ja) | 1986-01-13 |
JPH0211359B2 JPH0211359B2 (ja) | 1990-03-13 |
Family
ID=14972200
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59127932A Granted JPS617085A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 回転ミラ−組立体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS617085A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02201311A (ja) * | 1989-01-30 | 1990-08-09 | Seidensha Denshi Kogyo Kk | 光分岐装置 |
JP2008521615A (ja) * | 2004-11-29 | 2008-06-26 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 多重レーザビームを使用して効率的に微細加工する装置及び方法 |
CN106735876A (zh) * | 2016-12-16 | 2017-05-31 | 武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司 | 一种激光分能装置 |
-
1984
- 1984-06-21 JP JP59127932A patent/JPS617085A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02201311A (ja) * | 1989-01-30 | 1990-08-09 | Seidensha Denshi Kogyo Kk | 光分岐装置 |
JP2008521615A (ja) * | 2004-11-29 | 2008-06-26 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 多重レーザビームを使用して効率的に微細加工する装置及び方法 |
CN106735876A (zh) * | 2016-12-16 | 2017-05-31 | 武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司 | 一种激光分能装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0211359B2 (ja) | 1990-03-13 |
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