JPS617085A - 回転ミラ−組立体 - Google Patents
回転ミラ−組立体Info
- Publication number
- JPS617085A JPS617085A JP59127932A JP12793284A JPS617085A JP S617085 A JPS617085 A JP S617085A JP 59127932 A JP59127932 A JP 59127932A JP 12793284 A JP12793284 A JP 12793284A JP S617085 A JPS617085 A JP S617085A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- angle
- rotating mirror
- mirror
- flange
- rotary mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing
- B23K26/0673—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing into independently operating sub-beams, e.g. beam multiplexing to provide laser beams for several stations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はレーザ加工機に用いる回転ミラー組立体に関す
るものである。
るものである。
従来例の構成とその問題点
第１図にレーザ加工機の概観図を示すが、回転ミラー１
け１台のレーザ発振器２により複数の加工ステージョン
３で加工を可能にするため、レーザ光４を分割するもの
である。すなわちレーザ発振器２からのレーザ光４は回
転ミラー１により反射又は透過され、その反射レーザ光
６は集光レンズアで加工ステージョン３上に集光され加
工に供せられる。
け１台のレーザ発振器２により複数の加工ステージョン
３で加工を可能にするため、レーザ光４を分割するもの
である。すなわちレーザ発振器２からのレーザ光４は回
転ミラー１により反射又は透過され、その反射レーザ光
６は集光レンズアで加工ステージョン３上に集光され加
工に供せられる。
この時回転ミラー１が回転軸５に対して正確に取り付け
られている必要がある。
られている必要がある。
ところが回転ミラー１が回転軸６に対して傾いて固定さ
れていると、回転ミラー１より反射された反射レーザ光
６が変動し、集光レンズ７で集光されたビームスポット
８が変動して加工精度が悪化する。反射レーザ光６の変
動が加工精度に与える影響を無視できるようにするため
には、反射レーザ光６が集光レンズ７に入射する入射角
変動を３０秒以内におさめる必要がある。ここで、回転
軸５の回転精度による回転振れも考慮すると、回転ミラ
ー１は、回転軸６に対して取り付は角誤差が６秒以内に
おさまってなくてはならない。そこで、回転軸５に対し
て回転ミラー１を取り付角誤差を５秒以内に収めるため
の従来例を次に述べる。
れていると、回転ミラー１より反射された反射レーザ光
６が変動し、集光レンズ７で集光されたビームスポット
８が変動して加工精度が悪化する。反射レーザ光６の変
動が加工精度に与える影響を無視できるようにするため
には、反射レーザ光６が集光レンズ７に入射する入射角
変動を３０秒以内におさめる必要がある。ここで、回転
軸５の回転精度による回転振れも考慮すると、回転ミラ
ー１は、回転軸６に対して取り付は角誤差が６秒以内に
おさまってなくてはならない。そこで、回転軸５に対し
て回転ミラー１を取り付角誤差を５秒以内に収めるため
の従来例を次に述べる。
第１の従来例を・第２図に示す。同図ｆａ）は側面図、
同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ’における断面図であ
る。
同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ’における断面図であ
る。
これは、第１のフランジ９の基準面１０を回転軸１１に
対しての直角度および平面度をあらかじめ高精度（直角
度１μｍ以下、平面度１μｍ以下）に加工しておきこの
面に回転ミラー１８のミラー面１２を第２のフランジ１
９により押しつける方法である。
対しての直角度および平面度をあらかじめ高精度（直角
度１μｍ以下、平面度１μｍ以下）に加工しておきこの
面に回転ミラー１８のミラー面１２を第２のフランジ１
９により押しつける方法である。
これは第１のフランジ９０基準面１０の超精密加工が必
要であり、回転軸１１に対する基準面１゜の直角度及び
平面度の超精密測定技術も必要となる。
要であり、回転軸１１に対する基準面１゜の直角度及び
平面度の超精密測定技術も必要となる。
次に第２の従来例を第３図に示す。同図（ａ）は左側面
図、同図（ｂ）は同図（＆）のＢ −Ｂ’における断面
図、同図（０１は右側面図である。
図、同図（ｂ）は同図（＆）のＢ −Ｂ’における断面
図、同図（０１は右側面図である。
これは、第１のフランジ１３、第２のフランジ１４に取
り付けられた締めつけネジ１６の締めつけ力を調整する
ことにより回転ミラー１９のミラー面１６の倒れ角をオ
ートコリメータで測定しながら回転軸１７に対してのミ
ラー面１６の取りつけ角を調整するものである。
り付けられた締めつけネジ１６の締めつけ力を調整する
ことにより回転ミラー１９のミラー面１６の倒れ角をオ
ートコリメータで測定しながら回転軸１７に対してのミ
ラー面１６の取りつけ角を調整するものである。
しかしながらこの構造だけでは、回転ミラー１９の両側
にある締めつけネジ１６を同時に調整ｌ−なければなら
ず高度の熟練度を要し、調整するのに非常に時間がかか
るという問題点を有していた。
にある締めつけネジ１６を同時に調整ｌ−なければなら
ず高度の熟練度を要し、調整するのに非常に時間がかか
るという問題点を有していた。
発明の目的
本発明は、以上のような問題点を解決するために、回転
ミラー面の回転軸に対する取り付は角を容易に調整でき
るようにした取り付は角補正機構をもつ回転ミラー組立
体を提供することを目的とする。
ミラー面の回転軸に対する取り付は角を容易に調整でき
るようにした取り付は角補正機構をもつ回転ミラー組立
体を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明は上記目的を達成するもので、回転ミラーの両側
にフランジを設け、このフランジの少々くとも一方と回
転ミラーとの間に弾性体を設け、フランジに設けられた
締めつけ手段により回転ミラーのミラー面の取りつけ角
を補正するようにした回転ミラー組立体を提供するもの
である。
にフランジを設け、このフランジの少々くとも一方と回
転ミラーとの間に弾性体を設け、フランジに設けられた
締めつけ手段により回転ミラーのミラー面の取りつけ角
を補正するようにした回転ミラー組立体を提供するもの
である。
実施例の説明
以下に本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第４図（ａｌは本発明の一実施例における回転ミラー組
立体を示す側面図、同図（ｂｌはそのｃ−ｃ’における
断面図である。
立体を示す側面図、同図（ｂｌはそのｃ−ｃ’における
断面図である。
同図において１０１は回転軸、１０２は反射部を回転軸
１０１の周辺に複数個設けた回転ミラー、１０３は第１
のフランジ、１０４は第２のフランジ、１０６は第１の
フランジ１０３に取シ付けられた締めつけネジ、１０７
は第２のフランジ１０４に取り付けられた締めっけネジ
、１０８は第１のフランジ１０３と回転ミラー１０２の
間に挿入された弾性体１０８である。回転ミラー１０２
のミラー面１０９の取り付は角補正機構は、第１のフラ
ンジ１ｏ３．第２のフランジ１ｏ４．締め伺はネジ１０
６，１０７．弾性体１０８から構成されるものである。
１０１の周辺に複数個設けた回転ミラー、１０３は第１
のフランジ、１０４は第２のフランジ、１０６は第１の
フランジ１０３に取シ付けられた締めつけネジ、１０７
は第２のフランジ１０４に取り付けられた締めっけネジ
、１０８は第１のフランジ１０３と回転ミラー１０２の
間に挿入された弾性体１０８である。回転ミラー１０２
のミラー面１０９の取り付は角補正機構は、第１のフラ
ンジ１ｏ３．第２のフランジ１ｏ４．締め伺はネジ１０
６，１０７．弾性体１０８から構成されるものである。
弾性体１０Ｂとしてはウレタンゴムなどのゴムが好適で
ある。
ある。
この機構を用いた回転ミラー面１０９の回転軸１０１に
対する取りつけ角調整方法を以下に述べる。
対する取りつけ角調整方法を以下に述べる。
締めつけネジ１０６及び１０７をゆるめた状態では弾性
体１０８０弾性により回転ミラー１０２は第２のフラン
ジ１０４に押しつけられた状態に々っている。当然この
ままでは回転ミラー面１０９は回転軸１０１に対して直
角度はでていない。そこでまず締めつけネジ１０７のみ
で回転ミラー面１０９の回転軸１０１に対する取りつけ
角を６秒以内に収める。このとき取りっけ角はオートコ
リメータなどで測定しながら調整する。この調整中回転
ミラー１０２は弾性体１０８の弾性により保持されてい
る。この調整が終ったら、締め伺はネジ１０６で取りつ
け角がくるわないように締めっける。以上で作業は完了
する。
体１０８０弾性により回転ミラー１０２は第２のフラン
ジ１０４に押しつけられた状態に々っている。当然この
ままでは回転ミラー面１０９は回転軸１０１に対して直
角度はでていない。そこでまず締めつけネジ１０７のみ
で回転ミラー面１０９の回転軸１０１に対する取りつけ
角を６秒以内に収める。このとき取りっけ角はオートコ
リメータなどで測定しながら調整する。この調整中回転
ミラー１０２は弾性体１０８の弾性により保持されてい
る。この調整が終ったら、締め伺はネジ１０６で取りつ
け角がくるわないように締めっける。以上で作業は完了
する。
このように本実施例では回転ミラー１０２と第１のフラ
ンジ１０３との間に弾性体１０８を挿入することにより
、締め付はネジによる調整が片側ずつ単独に行えるので
作業性が大いに改善される。
ンジ１０３との間に弾性体１０８を挿入することにより
、締め付はネジによる調整が片側ずつ単独に行えるので
作業性が大いに改善される。
なお弾性体１０８の位置は回転ミラー１０２と第２のフ
ランジ１０４との間に設けでも良く、また回転ミラー１
ｏ２の両側に設けても前記実施例と同様の効果を奏する
。
ランジ１０４との間に設けでも良く、また回転ミラー１
ｏ２の両側に設けても前記実施例と同様の効果を奏する
。
発明の効果
以上要するに本発明は回転ミラーの両側に設けられたフ
ランジの少なくとも一方と回転ミラーとの間に弾性体を
設け、フランジに設けられた締めつけ手段により回転ミ
ラーのミラー面の取り付は角を補正するようにしたもの
で、従来のように回転ミラーを介して相対する締めつり
ネジを同時に、締めつけたりゆるめたりして取りつけ角
を調整することはなく、片面からの締めつけネジの調整
を２回行うだけですみ非常に作業性が良くなり、熟練し
てい々い者でも比較的簡単に短時間で調整を行うことが
できる。
ランジの少なくとも一方と回転ミラーとの間に弾性体を
設け、フランジに設けられた締めつけ手段により回転ミ
ラーのミラー面の取り付は角を補正するようにしたもの
で、従来のように回転ミラーを介して相対する締めつり
ネジを同時に、締めつけたりゆるめたりして取りつけ角
を調整することはなく、片面からの締めつけネジの調整
を２回行うだけですみ非常に作業性が良くなり、熟練し
てい々い者でも比較的簡単に短時間で調整を行うことが
できる。
第１図は回転ミラーを用いたレーザ加工機の概要を示す
概観図、第２図（ａ）は回転ミラー組立体の第１の従来
例を示す側面図、同図（ｂｌは（ａ）のム−Ａ′におけ
る断面図、第３図（ａ）は回転ミラー組立体の第２の従
来例を示す左側面図、同図（ｂ）は［ａ）のＢ−Ｂ′に
おける断面図、同図（０）は右側面図、第４図（ａ）は
本発明の一実施例における回転ミラー組立体の側面図、
同図（ｂ）は（２Ｌ）のＣ−Ｃ’における断面図である
。 １０１ ・回転軸、１０２・・・・回転ミラー、１０
３・−・第１のフランジ、１０４・・第２のフランジ、
１ｏ６・ ・締めつけネジ、１０７・ 締めつけネジ、
１０８・・・・弾性体、１０９ ・・・回転ミラー面。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名（Ｃ
し）（ｂ） ＠ ３ 図 （０７） （ｂ）
（ｃ）寸
−２ 踪
概観図、第２図（ａ）は回転ミラー組立体の第１の従来
例を示す側面図、同図（ｂｌは（ａ）のム−Ａ′におけ
る断面図、第３図（ａ）は回転ミラー組立体の第２の従
来例を示す左側面図、同図（ｂ）は［ａ）のＢ−Ｂ′に
おける断面図、同図（０）は右側面図、第４図（ａ）は
本発明の一実施例における回転ミラー組立体の側面図、
同図（ｂ）は（２Ｌ）のＣ−Ｃ’における断面図である
。 １０１ ・回転軸、１０２・・・・回転ミラー、１０
３・−・第１のフランジ、１０４・・第２のフランジ、
１ｏ６・ ・締めつけネジ、１０７・ 締めつけネジ、
１０８・・・・弾性体、１０９ ・・・回転ミラー面。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名（Ｃ
し）（ｂ） ＠ ３ 図 （０７） （ｂ）
（ｃ）寸
−２ 踪
Claims (2)
- （１）回転軸に挿設された回転ミラーと、前記回転ミラ
ーの両側に設けられたフランジと、前記フランジに設け
られ、フランジを貫通して回転ミラーを締着する締めつ
け手段と、前記フランジの少なくとも一方と回転ミラー
との間に挿設された弾性体とを具備することを特徴とす
る回転ミラー組立体 - （２）弾性体がウレタンゴムからなることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の回転ミラー組立体
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59127932A JPS617085A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 回転ミラ−組立体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59127932A JPS617085A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 回転ミラ−組立体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS617085A true JPS617085A (ja) | 1986-01-13 |
| JPH0211359B2 JPH0211359B2 (ja) | 1990-03-13 |
Family
ID=14972200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59127932A Granted JPS617085A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 回転ミラ−組立体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS617085A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02201311A (ja) * | 1989-01-30 | 1990-08-09 | Seidensha Denshi Kogyo Kk | 光分岐装置 |
| JP2008521615A (ja) * | 2004-11-29 | 2008-06-26 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 多重レーザビームを使用して効率的に微細加工する装置及び方法 |
| CN106735876A (zh) * | 2016-12-16 | 2017-05-31 | 武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司 | 一种激光分能装置 |
-
1984
- 1984-06-21 JP JP59127932A patent/JPS617085A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02201311A (ja) * | 1989-01-30 | 1990-08-09 | Seidensha Denshi Kogyo Kk | 光分岐装置 |
| JP2008521615A (ja) * | 2004-11-29 | 2008-06-26 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 多重レーザビームを使用して効率的に微細加工する装置及び方法 |
| CN106735876A (zh) * | 2016-12-16 | 2017-05-31 | 武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司 | 一种激光分能装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0211359B2 (ja) | 1990-03-13 |
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