JPS6014217A - ポリゴンミラ− - Google Patents
ポリゴンミラ−Info
- Publication number
- JPS6014217A JPS6014217A JP12306583A JP12306583A JPS6014217A JP S6014217 A JPS6014217 A JP S6014217A JP 12306583 A JP12306583 A JP 12306583A JP 12306583 A JP12306583 A JP 12306583A JP S6014217 A JPS6014217 A JP S6014217A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- base material
- polygon mirror
- plane mirror
- polygon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は−レーザプリンタ等の感光ドラムにレーザビー
ムを走査する場合などに用いるポリゴンミラーに関する
ものである。
ムを走査する場合などに用いるポリゴンミラーに関する
ものである。
従来例の構成とその問題点
レーザビームを走査し画像を表示、印刷するために、ポ
リゴンミラーの精度は非常に高くなければならない。以
下−簡単にポリゴンミラーの精度について説明する０ ２２．−ジ 第１図はポリゴンミラーの精度を示した図で。
リゴンミラーの精度は非常に高くなければならない。以
下−簡単にポリゴンミラーの精度について説明する０ ２２．−ジ 第１図はポリゴンミラーの精度を示した図で。
ａは側面図、ｂは正面図である。基準面人の平面度は０
．６μｍ、Ｂ面の入面に対する平行度はｏ、６μｍ 、
ｃ面の平面度はλ／３〜λ／加（λ−０．６３２μｍ
）。
．６μｍ、Ｂ面の入面に対する平行度はｏ、６μｍ 、
ｃ面の平面度はλ／３〜λ／加（λ−０．６３２μｍ
）。
０面の面粗さはｏ、０１〜ｏ、０２μｍ、０面（７）１
面に対する面角度９０±１“〜５“１割出し精度αは±
１ｏ“である。
面に対する面角度９０±１“〜５“１割出し精度αは±
１ｏ“である。
このように精度の高いポリゴンミラーを従来次のような
３種類の方法で製作している。第１は光に無電解メッキ
を施こしてラッピングし形成する方法。第３はアルミニ
ューム合金を単結晶ダイヤモンドバイトによ如切削し形
成する方法。以上の方法によって鏡面を形成するのであ
るが、前述の各精度を出すために１面１面常に精度の測
定を行なわなければならず、その精度を出すことは非常
に困難である。
３種類の方法で製作している。第１は光に無電解メッキ
を施こしてラッピングし形成する方法。第３はアルミニ
ューム合金を単結晶ダイヤモンドバイトによ如切削し形
成する方法。以上の方法によって鏡面を形成するのであ
るが、前述の各精度を出すために１面１面常に精度の測
定を行なわなければならず、その精度を出すことは非常
に困難である。
また、回転軸への取り付けはポリゴンミラーの基準面と
回転軸の基準面とを組み合わせて組立て３２．−ジ るのであるが−回転軸と各面の平行度等をポリゴンミラ
ー自体に要求される精度に入れることも非常に困難であ
る。さらに、金属母材のポリゴンミラーでは、取り付け
の際の締付力でポリゴンミラーが変形し１本来の精度が
得られない場合がある。
回転軸の基準面とを組み合わせて組立て３２．−ジ るのであるが−回転軸と各面の平行度等をポリゴンミラ
ー自体に要求される精度に入れることも非常に困難であ
る。さらに、金属母材のポリゴンミラーでは、取り付け
の際の締付力でポリゴンミラーが変形し１本来の精度が
得られない場合がある。
発明の目的
本発明は、従来のポリゴンミラーの製作上、及び１組立
上の困難さを解決し容易にすると同時に、従来得られな
かった精度の高いポリゴンミラーを提供することを目的
としている。
上の困難さを解決し容易にすると同時に、従来得られな
かった精度の高いポリゴンミラーを提供することを目的
としている。
発明の構成
本発明は母材に複数枚の平面鏡を電歪素子を介して取υ
付は一母材の回転角に応じて各平面鏡を支持する電歪素
子への印加電圧を変化させ、各平面鏡の誤差を補正する
ようにしたポリゴンミラーを提供するものである。
付は一母材の回転角に応じて各平面鏡を支持する電歪素
子への印加電圧を変化させ、各平面鏡の誤差を補正する
ようにしたポリゴンミラーを提供するものである。
実施例の説明
以下本発明を実施例にもとづいて詳細に説明する。
第２図は、本発明の一実施例のポリゴンミラー待ｌＩ昭
ＧＯ−１４２１７（２） の構成を示す。ａは正面図−すは側面図である０母材の
ポリゴン１のそれぞれの面に、平面鏡２が上下に伸縮す
る３つの電歪素子３上に接着し取り付けられている。３
つの電歪素子３への印加電圧はスリップリング４を介し
てそれぞれの電源５より供給され、各面に応じて３つの
変位量を調整するために回転角度センサー６と電圧切換
のコントローラ７が設けられる。
ＧＯ−１４２１７（２） の構成を示す。ａは正面図−すは側面図である０母材の
ポリゴン１のそれぞれの面に、平面鏡２が上下に伸縮す
る３つの電歪素子３上に接着し取り付けられている。３
つの電歪素子３への印加電圧はスリップリング４を介し
てそれぞれの電源５より供給され、各面に応じて３つの
変位量を調整するために回転角度センサー６と電圧切換
のコントローラ７が設けられる。
本発明のポリゴンミラーを走査回転鏡として用いるには
、各面がどれだけの誤差があるかをまず調べておく必要
がある。電歪素子３による調整範囲は、その変化量が数
ミクロンであるので各ミラー面の誤差は１０秒以内であ
る。したがって、母材１との接着による各面の誤差はそ
れ以内に入れなければならない。
、各面がどれだけの誤差があるかをまず調べておく必要
がある。電歪素子３による調整範囲は、その変化量が数
ミクロンであるので各ミラー面の誤差は１０秒以内であ
る。したがって、母材１との接着による各面の誤差はそ
れ以内に入れなければならない。
第３図は本発明によるポリゴンミラーの誤差を測定する
系を含む駆動装置である。母材１に電歪素子３を３点取
り付は−これに平面鏡２をとり付けた４面ポリゴンミラ
ーが軸１１に取り付けられて、２つのＶ溝軸受１２上に
載っている０軸１１５、、 、・ の一端に割出台１３が取り付けられている。平面鏡２に
直角にオートコリメータ１４がセクテングされ、平面鍾
２と軸１１との平行度を測定できる０割出し精度は割出
台１３とオートコリメータ１４によって測定される。こ
のように測定しながら平面鏡２の各面を微調し誤差を修
正するに必要な３点の電歪素子３への印加電圧を把握す
る。このデータを第２図に示したコントローラ７にセツ
ティングし、センサー６でレーザビーム等ヲスキャンし
ている面を検出してその面に応じて各電歪素子２への印
加電圧を変化させ一レーザビームの反射角等の誤差が生
じないように各ミラー面を微調させる。
系を含む駆動装置である。母材１に電歪素子３を３点取
り付は−これに平面鏡２をとり付けた４面ポリゴンミラ
ーが軸１１に取り付けられて、２つのＶ溝軸受１２上に
載っている０軸１１５、、 、・ の一端に割出台１３が取り付けられている。平面鏡２に
直角にオートコリメータ１４がセクテングされ、平面鍾
２と軸１１との平行度を測定できる０割出し精度は割出
台１３とオートコリメータ１４によって測定される。こ
のように測定しながら平面鏡２の各面を微調し誤差を修
正するに必要な３点の電歪素子３への印加電圧を把握す
る。このデータを第２図に示したコントローラ７にセツ
ティングし、センサー６でレーザビーム等ヲスキャンし
ている面を検出してその面に応じて各電歪素子２への印
加電圧を変化させ一レーザビームの反射角等の誤差が生
じないように各ミラー面を微調させる。
この微調操作はポリゴンミラーの回転中すなわち使用時
に行なうことができるので、ポリゴンミラー自体の光学
系での誤差補正が不要となり、製作が著しく容易になる
。
に行なうことができるので、ポリゴンミラー自体の光学
系での誤差補正が不要となり、製作が著しく容易になる
。
発明の効果
以上のように２本発明は母材に平面鏡を電歪素子を介し
て取り付け１回転角に応じて電歪素子へ６２．−ジ の印加電圧を変化させて平面鏡の誤差を補正するように
したポリゴンミラーで、各ミラー面にそれぞれ誤差の修
正を行なう機構を持っているため次のような利点がある
。第１に、従来得られなかった高精度なポリゴンミラー
を得ることができる。
て取り付け１回転角に応じて電歪素子へ６２．−ジ の印加電圧を変化させて平面鏡の誤差を補正するように
したポリゴンミラーで、各ミラー面にそれぞれ誤差の修
正を行なう機構を持っているため次のような利点がある
。第１に、従来得られなかった高精度なポリゴンミラー
を得ることができる。
第２に、ポリゴンミラー自身に回転中に誤差修正できる
°機構があるため１周辺の光学系での誤差補正が不必要
となる。第３に１．製作上の精度及び組立上の精度が従
来より高い必要がない。
°機構があるため１周辺の光学系での誤差補正が不必要
となる。第３に１．製作上の精度及び組立上の精度が従
来より高い必要がない。
第１図（ａ）、［有］）はポリゴンミラーに要求される
精度を説明するだめの側面図および正面図、第２図（＆
） 、 ０３）は本発明によるポリゴンミラーの実施例
を示す正面図および側面図、第３図（ａ） 、 （ｂ）
は本発明のポリゴンミラーの駆動装置の実施例を示す平
面図および側面図である。 １・・・・・・母材、２・・・・・・平面鏡、３・・・
・・・電歪素子、４・−・・・・スリップリング、６・
・・・・・電圧源−６・・・・・・回転角度センサー、
７・−・・・・コントローラ、１１・・・・・・軸、１
２・・・・・・Ｖ溝軸受、１３・・・・・・割出台、１
４・・・７ページ ・・・オートコリメータ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 Ｃα） （ｂ） 第２図 ／４１ ｌｂ） 第３図
精度を説明するだめの側面図および正面図、第２図（＆
） 、 ０３）は本発明によるポリゴンミラーの実施例
を示す正面図および側面図、第３図（ａ） 、 （ｂ）
は本発明のポリゴンミラーの駆動装置の実施例を示す平
面図および側面図である。 １・・・・・・母材、２・・・・・・平面鏡、３・・・
・・・電歪素子、４・−・・・・スリップリング、６・
・・・・・電圧源−６・・・・・・回転角度センサー、
７・−・・・・コントローラ、１１・・・・・・軸、１
２・・・・・・Ｖ溝軸受、１３・・・・・・割出台、１
４・・・７ページ ・・・オートコリメータ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 Ｃα） （ｂ） 第２図 ／４１ ｌｂ） 第３図
Claims (2)
- （１）回動可能の母材に複数枚のミラーを電歪素子を介
して取シ付け、母材の回転角に応じ電歪素子への印加電
圧を変化させることを特徴とするポリゴンミラー。 - （２）電歪素子が各ミラーに対して３点設けられた特許
請求の範囲第１項記載のポリゴンミラー０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12306583A JPS6014217A (ja) | 1983-07-05 | 1983-07-05 | ポリゴンミラ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12306583A JPS6014217A (ja) | 1983-07-05 | 1983-07-05 | ポリゴンミラ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6014217A true JPS6014217A (ja) | 1985-01-24 |
| JPH0412456B2 JPH0412456B2 (ja) | 1992-03-04 |
Family
ID=14851324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12306583A Granted JPS6014217A (ja) | 1983-07-05 | 1983-07-05 | ポリゴンミラ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6014217A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52101055A (en) * | 1976-02-20 | 1977-08-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Finely adjusting device for microscope |
| JPS547943A (en) * | 1977-06-21 | 1979-01-20 | Olympus Optical Co Ltd | Rotary reflecting mirror of polygonal type |
-
1983
- 1983-07-05 JP JP12306583A patent/JPS6014217A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52101055A (en) * | 1976-02-20 | 1977-08-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Finely adjusting device for microscope |
| JPS547943A (en) * | 1977-06-21 | 1979-01-20 | Olympus Optical Co Ltd | Rotary reflecting mirror of polygonal type |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0412456B2 (ja) | 1992-03-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6014217A (ja) | ポリゴンミラ− | |
| US5963353A (en) | Optical deflector and adjusting method thereof | |
| JPS63174012A (ja) | 光学素子等の傾き調整装置 | |
| JPS6252513A (ja) | レ−ザ−光学装置 | |
| JPH09288245A (ja) | 光走査装置 | |
| JPH0624806Y2 (ja) | 走査光学装置 | |
| JPS604921A (ja) | ポリゴンミラ− | |
| JP2702750B2 (ja) | レーザービーム走査装置 | |
| JPS63131121A (ja) | ポリゴンミラ−組立体 | |
| JPH0534616A (ja) | 平面走査光学装置 | |
| JPS617085A (ja) | 回転ミラ−組立体 | |
| JPS58136014A (ja) | 光偏向装置の組立方法 | |
| JP3150773B2 (ja) | ポリゴンミラー測定装置 | |
| JPH0219780Y2 (ja) | ||
| JPH09126813A (ja) | ロータリーエンコーダー | |
| JPH0641210Y2 (ja) | 光走査装置 | |
| JPH01163719A (ja) | 光映像回転子装置 | |
| JPS61118718A (ja) | 回転多面鏡組立体 | |
| JPH06160754A (ja) | 回転多面鏡の取付け装置 | |
| JPS59197009A (ja) | 光走査装置 | |
| JPS6016138Y2 (ja) | フアクシミリ装置の受光素子保持機構 | |
| JP2847932B2 (ja) | 多面鏡の角度偏差の計測方法 | |
| JPH0264521A (ja) | 走査ビーム軌跡補正方法 | |
| SU1171738A1 (ru) | Способ изготовлени полигональных зеркал | |
| JP2516419B2 (ja) | 刃先振れ測定装置 |