JPS604921A - ポリゴンミラ− - Google Patents
ポリゴンミラ−Info
- Publication number
- JPS604921A JPS604921A JP11370483A JP11370483A JPS604921A JP S604921 A JPS604921 A JP S604921A JP 11370483 A JP11370483 A JP 11370483A JP 11370483 A JP11370483 A JP 11370483A JP S604921 A JPS604921 A JP S604921A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- polygon mirror
- base material
- polygon
- parallelism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、レーザプリンタ等の感光ドラムにレーザビー
ムを走査するために高速回転させるポリゴンミラーに関
するものである。
ムを走査するために高速回転させるポリゴンミラーに関
するものである。
従来例の構成とその問題点
レーザビームを走査し画像を表示、印刷するだめに、ポ
リゴンミラーの精度は非常に高くなければならない。以
下、簡単にポリゴンミラーの精度について説明する。
リゴンミラーの精度は非常に高くなければならない。以
下、簡単にポリゴンミラーの精度について説明する。
第１図はポリゴンミラーの精度を示した図でａは側面図
、ｂは正面図である。基準画人の平面度は０．５μｍ、
Ｂ面の入面に対する平行度は。、６μｍ。
、ｂは正面図である。基準画人の平面度は０．５μｍ、
Ｂ面の入面に対する平行度は。、６μｍ。
０面の平面度はλイ 入λイ。（λ−０，６３２μｍ）
。
。
０面の面粗さは０．０１〜０・０２μｍ、０面のＡ面に
対する直角度９０’±１′〜５′１割出し精度αは±１
０′である。
対する直角度９０’±１′〜５′１割出し精度αは±１
０′である。
このように精度の高いポリゴンミラーを従来法のような
３種類の方法で製作している。第１は光母＄ＨＣ無！解
二ソヶルメッキを施こしてラソヒングし形成する方法。
３種類の方法で製作している。第１は光母＄ＨＣ無！解
二ソヶルメッキを施こしてラソヒングし形成する方法。
第３図はアルミニューム合金を単結晶ダイヤモンドバイ
トにより切削し形成する方法。
トにより切削し形成する方法。
以上の方法によって鏡面を形成するのであるが、前述の
各精度を出すために一面一面常に精度の測定を行なわな
ければならず、その精度を出すことは非常に困難である
。
各精度を出すために一面一面常に精度の測定を行なわな
ければならず、その精度を出すことは非常に困難である
。
また、回転軸への取り付けはポリゴンミラーの基準面と
回転軸の基準面とを組み合わせて組立てるのであるが、
回転軸と各面の平行度等をポリゴンミラー自体に要求さ
れる精度内に入れることも非常に困難である。さらに、
金属母材のポリゴンミラーでは、取り付けの際の締付力
でポリゴンミラーが変形し、本来の精度が得られない場
合がある。
回転軸の基準面とを組み合わせて組立てるのであるが、
回転軸と各面の平行度等をポリゴンミラー自体に要求さ
れる精度内に入れることも非常に困難である。さらに、
金属母材のポリゴンミラーでは、取り付けの際の締付力
でポリゴンミラーが変形し、本来の精度が得られない場
合がある。
発明の目的
本発明は、従来のポリゴンミラーの製作上、及び、組立
上の困難さを解決し容易にすると同時に、従来得られな
かった精度の高いポリゴンミラーを提供することを目的
としている。
上の困難さを解決し容易にすると同時に、従来得られな
かった精度の高いポリゴンミラーを提供することを目的
としている。
発明の構成
本発明は、ポリゴンミラーを構成する各ミラーを調整機
構を介して母材にとりつけ、回転軸に対する平行度、割
出し角等の調整を行なった後裔ミラーを母材に固定する
ようにしたポリゴンミラーを提供するものである。
構を介して母材にとりつけ、回転軸に対する平行度、割
出し角等の調整を行なった後裔ミラーを母材に固定する
ようにしたポリゴンミラーを提供するものである。
実施例の説明
以下本発明を実施例にもとづいて詳細に説明する。
第２図は、本発明の一実施例におけるポリゴンミラーの
構成を示す。醸は側面図、ｂは正面図である。２は平面
鏡で母材のポリゴン１のそれぞれの面に対し平面鏡２を
上下に微動する支持台３上に接着して取り付けられてい
る。微調支持台３としては、微小ピッチのねじが用いら
れ、１枚の平面鏡２に対して３点支持される。この構成
においては、平面鏡２の平面度、面粗さは第１図に示し
た従来通りの精度オーダーが必要であるが、母材１の割
出し精度、平面度、軸との各面の平行度等の精度は従来
の精度の１０倍程度ゆるくてもよい。
構成を示す。醸は側面図、ｂは正面図である。２は平面
鏡で母材のポリゴン１のそれぞれの面に対し平面鏡２を
上下に微動する支持台３上に接着して取り付けられてい
る。微調支持台３としては、微小ピッチのねじが用いら
れ、１枚の平面鏡２に対して３点支持される。この構成
においては、平面鏡２の平面度、面粗さは第１図に示し
た従来通りの精度オーダーが必要であるが、母材１の割
出し精度、平面度、軸との各面の平行度等の精度は従来
の精度の１０倍程度ゆるくてもよい。
すなわち、ポリゴンミラーとしての精度を出すだめに、
微調支持台３を用いて、割出し精度、軸との平行度等を
調整する。精度を出した後、母材１と平面鏡２との間に
樹脂を充填し固定する。
微調支持台３を用いて、割出し精度、軸との平行度等を
調整する。精度を出した後、母材１と平面鏡２との間に
樹脂を充填し固定する。
まだ、軸への取り付けも同様に、軸に取り付は後に、回
転軸を基準に各面の精度の調整を行ない、調整後樹脂充
填により固定する。
転軸を基準に各面の精度の調整を行ない、調整後樹脂充
填により固定する。
第３図にその様子を示す。母材１に微調支持台３の３点
で取り付けられた平面鏡２で構成される４面ポリゴンミ
ラーが軸７に取り付けられて、２つのＶ溝軸受８上に載
っている。軸７の一端には割出台９が取り付けられてお
り、割出し精度を測定することができる。また、平面鏡
２に直角にオートコリメータ１ｏがセツティングされて
おり、平面鏡６の軸７との平行度が測定できる。したが
って、各平面鏡２の軸７との平行度調整等は割出台９．
オートコリメータ１ｏを見々がら微調支持台３により調
整される。各面の調整が終った時点で樹脂等を充填固定
する。
で取り付けられた平面鏡２で構成される４面ポリゴンミ
ラーが軸７に取り付けられて、２つのＶ溝軸受８上に載
っている。軸７の一端には割出台９が取り付けられてお
り、割出し精度を測定することができる。また、平面鏡
２に直角にオートコリメータ１ｏがセツティングされて
おり、平面鏡６の軸７との平行度が測定できる。したが
って、各平面鏡２の軸７との平行度調整等は割出台９．
オートコリメータ１ｏを見々がら微調支持台３により調
整される。各面の調整が終った時点で樹脂等を充填固定
する。
微調支持台３には、微小ピッチのねじを用いればよいが
、１ミクロン以下のより微小な調整を行うには、上下方
向に伸縮する電歪素子を用いればよい。電歪素子による
微調支持台は、電歪素子に電圧を印加することにより調
整操作が行なわれる。
、１ミクロン以下のより微小な調整を行うには、上下方
向に伸縮する電歪素子を用いればよい。電歪素子による
微調支持台は、電歪素子に電圧を印加することにより調
整操作が行なわれる。
したがって、印加電圧を制御することにより微調整が行
なわれ、各面の調整が終った時点で、そのときの電圧を
印加したまま樹脂等を母材１と平面鏡２との間に充填し
、固定後印加電圧を切ればよい。
なわれ、各面の調整が終った時点で、そのときの電圧を
印加したまま樹脂等を母材１と平面鏡２との間に充填し
、固定後印加電圧を切ればよい。
発明の効果
以上のように本発明社ポリゴンミラーの各ミラーが回転
軸に対する平行度および割出し角調整機構を備えたポリ
ゴンミラーであり、次のような利点がある。第１は、製
作が容易になる。第２に、従来得られなかった高精度な
ポリゴンミラーを得ることができる。第３に、回転軸に
取りつける際に生ずる軸ずれ、精度変化を容易に修正す
ることができる。
軸に対する平行度および割出し角調整機構を備えたポリ
ゴンミラーであり、次のような利点がある。第１は、製
作が容易になる。第２に、従来得られなかった高精度な
ポリゴンミラーを得ることができる。第３に、回転軸に
取りつける際に生ずる軸ずれ、精度変化を容易に修正す
ることができる。
第１図ａ、ｂはポリゴンミラーに要求される精度を説明
するだめの側面図および正面図、第２図ａ、ｂは本発明
によるポリゴンミラーの実施例を示す側面図および正面
図、第３図ａ、ｂは本発明によるポリゴンミラーの他の
実施例を示す平面図および側面図である。 １・・・・・・母材、２・・・・・・平面鏡、３・・・
・・・微調支持台、７・・・・・・軸、８・・・・・・
Ｖ溝軸受、９・・・・・・割出台、１０・・・・・・オ
ートコリメータ。 代理人の氏名 弁理１ 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 （α） （ｂ） （ｂ） 第３図
するだめの側面図および正面図、第２図ａ、ｂは本発明
によるポリゴンミラーの実施例を示す側面図および正面
図、第３図ａ、ｂは本発明によるポリゴンミラーの他の
実施例を示す平面図および側面図である。 １・・・・・・母材、２・・・・・・平面鏡、３・・・
・・・微調支持台、７・・・・・・軸、８・・・・・・
Ｖ溝軸受、９・・・・・・割出台、１０・・・・・・オ
ートコリメータ。 代理人の氏名 弁理１ 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 （α） （ｂ） （ｂ） 第３図
Claims (2)
- （１）複数のミラーを調整機構を介して母材に取り付け
たことを特徴とするポリゴンミラー。 - （２）調整機構に電歪素子を用いることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のポリゴンミラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11370483A JPS604921A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | ポリゴンミラ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11370483A JPS604921A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | ポリゴンミラ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS604921A true JPS604921A (ja) | 1985-01-11 |
Family
ID=14619053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11370483A Pending JPS604921A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | ポリゴンミラ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS604921A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0491207A2 (en) * | 1990-12-17 | 1992-06-24 | Eastman Kodak Company | Apparatus for aligning an optical device |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS547943A (en) * | 1977-06-21 | 1979-01-20 | Olympus Optical Co Ltd | Rotary reflecting mirror of polygonal type |
| JPS57147608A (en) * | 1981-03-09 | 1982-09-11 | Toshiba Corp | Mirror device |
-
1983
- 1983-06-23 JP JP11370483A patent/JPS604921A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS547943A (en) * | 1977-06-21 | 1979-01-20 | Olympus Optical Co Ltd | Rotary reflecting mirror of polygonal type |
| JPS57147608A (en) * | 1981-03-09 | 1982-09-11 | Toshiba Corp | Mirror device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0491207A2 (en) * | 1990-12-17 | 1992-06-24 | Eastman Kodak Company | Apparatus for aligning an optical device |
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