JP6886105B2 - ブレード固定装置及びダイシング装置 - Google Patents
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Claims (8)
- 外側面と内側面とを有するリング状の一対の挟持部材であって、回転軸に装着されたダイシングブレードの両側面を、前記内側面に形成されたフランジ面で挟持するリング状の前記一対の挟持部材と、
前記一対の挟持部材の各々の前記フランジ面を前記ダイシングブレードの側面に押圧する押圧部材と、
前記挟持部材の前記外側面の外周部に沿って備えられた突出部であって、前記外側面に対して外方に突出した前記突出部と、
を備え、
前記突出部は、前記挟持部材の前記外側面の外周端側に備えられる、ブレード固定装置。 - 前記突出部は、前記挟持部材とは別部材で構成される、請求項1に記載のブレード固定装置。
- 外側面と内側面とを有するリング状の一対の挟持部材であって、回転軸に装着されたダイシングブレードの両側面を、前記内側面に形成されたフランジ面で挟持するリング状の前記一対の挟持部材と、
前記一対の挟持部材の各々の前記フランジ面を前記ダイシングブレードの側面に押圧する押圧部材と、
前記挟持部材の前記外側面の外周部に沿って備えられた突出部であって、前記外側面に対して外方に突出した前記突出部と、
を備え、
前記突出部は、前記挟持部材とは別部材で構成される、ブレード固定装置。 - 前記突出部は、前記挟持部材の前記外側面の外周部に沿ったリング状部材である、請求項1から3のいずれか1項に記載のブレード固定装置。
- 前記突出部は、前記挟持部材の前記外側面の外周部に沿って配置された複数の突起状部材である、請求項1から3のいずれか1項に記載のブレード固定装置。
- 外側面と内側面とを有するリング状の一対の挟持部材であって、回転軸に装着されたダイシングブレードの両側面を、前記内側面に形成されたフランジ面で挟持するリング状の前記一対の挟持部材と、
前記一対の挟持部材の各々の前記フランジ面を前記ダイシングブレードの側面に押圧する押圧部材と、
前記挟持部材の前記外側面の外周部に沿って備えられた突出部であって、前記外側面に対して外方に突出した前記突出部と、
を備え、
前記突出部は、前記挟持部材の前記外側面の外周部に沿って配置された複数の突起状部材である、ブレード固定装置。 - 前記挟持部材の前記外側面には、前記ダイシングブレードの回転中心を中心とする円周に沿った溝が形成される、請求項1から6のいずれか1項に記載のブレード固定装置。
- ワークを保持するワーク保持部と、
回転軸を有するスピンドルユニットと、
前記スピンドルユニットの前記回転軸に装着されるダイシングブレードと、
前記スピンドルユニットの前記回転軸に装着される請求項1から7のいずれか1項に記載のブレード固定装置であって、前記回転軸に装着された前記ダイシングブレードを前記回転軸に固定する前記ブレード固定装置と、
を備える、ダイシング装置。
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