JPH08112751A - ラップ盤のキャリア - Google Patents
ラップ盤のキャリアInfo
- Publication number
- JPH08112751A JPH08112751A JP28855394A JP28855394A JPH08112751A JP H08112751 A JPH08112751 A JP H08112751A JP 28855394 A JP28855394 A JP 28855394A JP 28855394 A JP28855394 A JP 28855394A JP H08112751 A JPH08112751 A JP H08112751A
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- Japan
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- thin plate
- plate portion
- carrier
- lapping machine
- workpiece
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 環状部を有するキャリアにおいて、研磨時の
変形による精度低下を防止する。 【構成】 薄板部５１の周端部に、薄板部に張力を加え
る張力付加機構６６を設ける。すなわち、薄板部５１周
端に係合孔５５を設ける。環状部５２に、突起６２を有
する可動部材６０を設け、この突起６２を係合孔５５に
係合させる。可動部材６０をバネ６５で外方へ付勢す
る。
変形による精度低下を防止する。 【構成】 薄板部５１の周端部に、薄板部に張力を加え
る張力付加機構６６を設ける。すなわち、薄板部５１周
端に係合孔５５を設ける。環状部５２に、突起６２を有
する可動部材６０を設け、この突起６２を係合孔５５に
係合させる。可動部材６０をバネ６５で外方へ付勢す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、水晶振動子の研磨加工
等に使用されるラップ盤において、加工物を移動させる
ために用いられるキャリアに関する。
等に使用されるラップ盤において、加工物を移動させる
ために用いられるキャリアに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より広く用いられているラップ盤
は、円環状の上盤、下盤を互いに反対方向に回転させ、
この上盤、下盤の間に、小円形の薄板よりなるキャリア
を数枚並べて設けたものである。そして、このキャリア
に形成した加工物孔に加工物を嵌合させ、キャリア周端
に形成した歯車を用いて駆動し、キャリアを加工物とと
もに上盤、下盤に沿って回転しつつ移動するようにして
いる。
は、円環状の上盤、下盤を互いに反対方向に回転させ、
この上盤、下盤の間に、小円形の薄板よりなるキャリア
を数枚並べて設けたものである。そして、このキャリア
に形成した加工物孔に加工物を嵌合させ、キャリア周端
に形成した歯車を用いて駆動し、キャリアを加工物とと
もに上盤、下盤に沿って回転しつつ移動するようにして
いる。
【０００３】このキャリアは、全体が上盤、下盤間を通
るため、１枚の薄板より形成され、また当然その厚さは
加工物より薄いものとされる。近年、より薄い加工物の
加工が求められるようになり、より薄いキャリアが使用
されるようになってきた。しかし、このキャリアは、周
端を駆動するため、歪みを生じやすく、薄くするには限
界がある。
るため、１枚の薄板より形成され、また当然その厚さは
加工物より薄いものとされる。近年、より薄い加工物の
加工が求められるようになり、より薄いキャリアが使用
されるようになってきた。しかし、このキャリアは、周
端を駆動するため、歪みを生じやすく、薄くするには限
界がある。
【０００４】この対策として、大型の薄板部の周囲に、
これを保持する厚い環状部を設けたキャリアが開発され
ている。このキャリアは、薄板部に形成した加工物孔に
加工物を嵌合させ、この部分を上盤、下盤間に挟み、環
状部を上盤、下盤の外方に位置させ、ここを駆動して、
回転、移動させるものである。このキャリアでは、環状
部があるため、薄板部をより薄くすることができる。
これを保持する厚い環状部を設けたキャリアが開発され
ている。このキャリアは、薄板部に形成した加工物孔に
加工物を嵌合させ、この部分を上盤、下盤間に挟み、環
状部を上盤、下盤の外方に位置させ、ここを駆動して、
回転、移動させるものである。このキャリアでは、環状
部があるため、薄板部をより薄くすることができる。
【０００５】しかし、この環状部を有するキャリアで
は、次の不都合がある。すなわち、キャリアは、使用に
先立ち、ラップ盤で表面を研磨するものである。具体的
には、加工物孔に加工物を嵌合させずに、通常の研磨加
工と同様にして、ラップ盤を作動させる。このとき、こ
のキャリアでは、薄板部の中央部分のみが研磨されるこ
とになるため、中央部分が研磨時の圧力により伸びを生
じ、薄板部が皿状に変形する。このように変形すると、
加工物孔が加工物に加える力が不均一になり、また加工
時に加えられる研磨材液の流れが不均一になり、研磨精
度が低下する。なお、前記の１枚の薄板よりなるキャリ
アでは、全体が研磨されるので、このような不都合を生
じない。
は、次の不都合がある。すなわち、キャリアは、使用に
先立ち、ラップ盤で表面を研磨するものである。具体的
には、加工物孔に加工物を嵌合させずに、通常の研磨加
工と同様にして、ラップ盤を作動させる。このとき、こ
のキャリアでは、薄板部の中央部分のみが研磨されるこ
とになるため、中央部分が研磨時の圧力により伸びを生
じ、薄板部が皿状に変形する。このように変形すると、
加工物孔が加工物に加える力が不均一になり、また加工
時に加えられる研磨材液の流れが不均一になり、研磨精
度が低下する。なお、前記の１枚の薄板よりなるキャリ
アでは、全体が研磨されるので、このような不都合を生
じない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、こ
の環状部を有するキャリアにおいて、研磨時の変形によ
る精度低下を防止することを目的としたものである。
の環状部を有するキャリアにおいて、研磨時の変形によ
る精度低下を防止することを目的としたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、加工物を嵌合
させる加工物孔を有し、ラップ盤の上盤及び下盤の間に
設けられる薄板部と、この薄板部の周囲に設けられ、ラ
ップ盤の上盤、下盤に挟まれることなく薄板部の周端部
を保持し、加工物を移動させるよう駆動される環状部
と、前記薄板部の周端部、中央部又はこれら両方に、薄
板部に張力を加え、変形を防止する張力付加機構を設け
たことを特徴とするラップ盤のキャリアである。
させる加工物孔を有し、ラップ盤の上盤及び下盤の間に
設けられる薄板部と、この薄板部の周囲に設けられ、ラ
ップ盤の上盤、下盤に挟まれることなく薄板部の周端部
を保持し、加工物を移動させるよう駆動される環状部
と、前記薄板部の周端部、中央部又はこれら両方に、薄
板部に張力を加え、変形を防止する張力付加機構を設け
たことを特徴とするラップ盤のキャリアである。
【０００８】この張力付加機構には、例えば、バネ、ゴ
ム等の弾性材又は重りを用いることができる。
ム等の弾性材又は重りを用いることができる。
【０００９】具体的には、例えば、薄板部に形成された
係合孔と、この係合孔に係合して張力を付加する張力付
加機構とを有する構成とすることができる。
係合孔と、この係合孔に係合して張力を付加する張力付
加機構とを有する構成とすることができる。
【００１０】さらに具体的な構成として、本発明は、加
工物を嵌合させる加工物孔を有し、ラップ盤の上盤及び
下盤の間に設けられる薄板部と、この薄板部の周囲に設
けられ、ラップ盤の上盤、下盤に挟まれることなく薄板
部の周端部を保持し、加工物を移動させるよう駆動され
る環状部と、前記薄板部の周端部に形成される係合孔
と、前記環状部に、移動可能に設けられ、前記係合孔に
係合する突起を有する可動部材と、前記環状部に設けら
れ、前記可動部材を外方へ付勢するバネとを有すること
を特徴とするラップ盤のキャリアを包含する。
工物を嵌合させる加工物孔を有し、ラップ盤の上盤及び
下盤の間に設けられる薄板部と、この薄板部の周囲に設
けられ、ラップ盤の上盤、下盤に挟まれることなく薄板
部の周端部を保持し、加工物を移動させるよう駆動され
る環状部と、前記薄板部の周端部に形成される係合孔
と、前記環状部に、移動可能に設けられ、前記係合孔に
係合する突起を有する可動部材と、前記環状部に設けら
れ、前記可動部材を外方へ付勢するバネとを有すること
を特徴とするラップ盤のキャリアを包含する。
【００１１】
【作用】本発明のキャリアでは、張力付加機構により、
薄板部に張力を加えるので、薄板部の中央部が伸びて
も、薄板部全体は正しく平面状に維持される。
薄板部に張力を加えるので、薄板部の中央部が伸びて
も、薄板部全体は正しく平面状に維持される。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を図示する実施例により、具体
的に説明する。
的に説明する。
【００１３】初めに、図１により、ラップ盤全体の構成
について簡単に説明する。
について簡単に説明する。
【００１４】このラップ盤１０において、上盤１１、下
盤１２は、ともに円環状であり、軸１３、１４により、
互いに反対方向に、それぞれ回転駆動される。
盤１２は、ともに円環状であり、軸１３、１４により、
互いに反対方向に、それぞれ回転駆動される。
【００１５】キャリア５０は、薄板部５１と環状部５２
を有し、薄板部の加工物孔に加工物Ｗを嵌合させ、薄板
部中央部分が上盤１１、下盤１２間に挟まれるように設
置される。なお、加工物Ｗは、図面では、表現の都合
上、厚く表わされているが、実際の厚さは、数十〜数百
マイクロメートルである。
を有し、薄板部の加工物孔に加工物Ｗを嵌合させ、薄板
部中央部分が上盤１１、下盤１２間に挟まれるように設
置される。なお、加工物Ｗは、図面では、表現の都合
上、厚く表わされているが、実際の厚さは、数十〜数百
マイクロメートルである。
【００１６】回転台１５は、環状であり、移動台１６上
にボールベアリング１７を介して載せられ、キャリア５
０の環状部５２を載せて支持する。この回転台１５の周
端には歯車１８が設けられ、移動台１６に設けられたモ
ータ１９により、歯車２０を介して回転駆動される。
にボールベアリング１７を介して載せられ、キャリア５
０の環状部５２を載せて支持する。この回転台１５の周
端には歯車１８が設けられ、移動台１６に設けられたモ
ータ１９により、歯車２０を介して回転駆動される。
【００１７】移動台１６は、３本の支柱２１（１本のみ
図示）に支持され、この支柱２１の下部は、機台２２
に、２組の互いに直交するリニアベアリング２３，２４
を介して支持され、かつ、偏心量が調節可能となった偏
心軸２５の回転により駆動され、このためその位置が、
回転移動する。
図示）に支持され、この支柱２１の下部は、機台２２
に、２組の互いに直交するリニアベアリング２３，２４
を介して支持され、かつ、偏心量が調節可能となった偏
心軸２５の回転により駆動され、このためその位置が、
回転移動する。
【００１８】したがって、このラップ盤１０では、各加
工物Ｗは、キャリア５０により、円環状の上盤１１、下
盤１２の幅内で小回転しつつ、円環に沿って大回転する
よう移動させられる。
工物Ｗは、キャリア５０により、円環状の上盤１１、下
盤１２の幅内で小回転しつつ、円環に沿って大回転する
よう移動させられる。
【００１９】以下図２〜５により、上記キャリア５０に
ついて、詳しく説明する。
ついて、詳しく説明する。
【００２０】このキャリア５０において、薄板部５１
は、金属、プラスチック、セラミック等の薄い板よりな
り、全体の形状は、この例では中央に中央孔５３を有す
る円環状となっている。全体形状は、この例のもののほ
か、中央孔を有しないもの、あるいは両端部が欠落した
略小判型状等、任意に選択できる。
は、金属、プラスチック、セラミック等の薄い板よりな
り、全体の形状は、この例では中央に中央孔５３を有す
る円環状となっている。全体形状は、この例のもののほ
か、中央孔を有しないもの、あるいは両端部が欠落した
略小判型状等、任意に選択できる。
【００２１】この薄板部５１には、加工物Ｗを嵌合させ
ることのできる多数の加工物孔５４ａ，…，５４ｂ，
…，５４ｃ，…が周方向に３列形成されている。この薄
板部５１の周端部には、係合孔５５，…が設けられてい
る。また、この周端部には、ピン孔５６，…、調節孔５
７，…が設けられている。さらに、この薄板部５１の加
工物孔の周囲には、薄板部５１の応力を分散させ、研磨
材液の流れを良好にするための補助孔５８，…が多数設
けられている。なお、これらの孔の配置、形状はこの例
に限定されるものでなく、各種設定することができる。
ることのできる多数の加工物孔５４ａ，…，５４ｂ，
…，５４ｃ，…が周方向に３列形成されている。この薄
板部５１の周端部には、係合孔５５，…が設けられてい
る。また、この周端部には、ピン孔５６，…、調節孔５
７，…が設けられている。さらに、この薄板部５１の加
工物孔の周囲には、薄板部５１の応力を分散させ、研磨
材液の流れを良好にするための補助孔５８，…が多数設
けられている。なお、これらの孔の配置、形状はこの例
に限定されるものでなく、各種設定することができる。
【００２２】環状部５２は、厚い環状体よりなり、薄板
部５１の周囲に設けられる。この環状部５２内には、平
面形が略小判型の空間５９が形成され、この中に可動部
材６０が、半径方向に移動可能に収納され、蓋６１で覆
われている。この可動部材６０は突起６２を有し、この
突起６２は、環状部５２上面に形成された長孔６３を貫
通して、上方へ突出し、薄板部５１の係合孔５５と係合
する。なお、突起６２には、係合孔５５周縁を引っ掛け
る溝６４が形成されている。さらに、空間５９内には、
金属板を環状に形成してなるバネ６５が設けられ、この
バネ６５は、可動部材６０を外方へ付勢する。したがっ
て、可動部材６０、突起６２、バネ６５は、係合孔５５
を介して、薄板部５１に張力を加える張力付加機構６６
を形成している。
部５１の周囲に設けられる。この環状部５２内には、平
面形が略小判型の空間５９が形成され、この中に可動部
材６０が、半径方向に移動可能に収納され、蓋６１で覆
われている。この可動部材６０は突起６２を有し、この
突起６２は、環状部５２上面に形成された長孔６３を貫
通して、上方へ突出し、薄板部５１の係合孔５５と係合
する。なお、突起６２には、係合孔５５周縁を引っ掛け
る溝６４が形成されている。さらに、空間５９内には、
金属板を環状に形成してなるバネ６５が設けられ、この
バネ６５は、可動部材６０を外方へ付勢する。したがっ
て、可動部材６０、突起６２、バネ６５は、係合孔５５
を介して、薄板部５１に張力を加える張力付加機構６６
を形成している。
【００２３】さらに、環状部５２には、ピン孔６７，…
が形成され、ここに回転台１５に設けられるピン６８を
通し、このキャリア５０を回転台１５に対して位置決め
させる。また、環状部５２には、ねじ孔６９，…が形成
され、この中に雄ねじ７０，…が設けられている。この
雄ねじ７０，…を、薄板部５１の調節孔５７を通してね
じ回しを入れることにより、回転させ、このキャリア５
０を回転台１５に対して昇降させることができるように
なっている。
が形成され、ここに回転台１５に設けられるピン６８を
通し、このキャリア５０を回転台１５に対して位置決め
させる。また、環状部５２には、ねじ孔６９，…が形成
され、この中に雄ねじ７０，…が設けられている。この
雄ねじ７０，…を、薄板部５１の調節孔５７を通してね
じ回しを入れることにより、回転させ、このキャリア５
０を回転台１５に対して昇降させることができるように
なっている。
【００２４】このキャリア５０は、以上の構成であるか
ら、ラップ盤１０の回転台１５上に環状部５２を載せ、
薄板部５１の係合孔５５，…を張力付加機構６６の突起
６２，…に引っ掛け、薄板部５１に張力を加えて使用さ
れる。
ら、ラップ盤１０の回転台１５上に環状部５２を載せ、
薄板部５１の係合孔５５，…を張力付加機構６６の突起
６２，…に引っ掛け、薄板部５１に張力を加えて使用さ
れる。
【００２５】図６は、第２実施例のキャリア８０を示
す。
す。
【００２６】このキャリア８０は、薄板部８１及び環状
部８２からなる。
部８２からなる。
【００２７】薄板部８１は、ほぼ前記薄板部５１と同様
であるが、周端に固定孔８３，…（１のみ図示）を有し
ている。
であるが、周端に固定孔８３，…（１のみ図示）を有し
ている。
【００２８】環状部８２は、主として２の挟持部材８
４，８５と支持部材８６よりなる。挟持部材８４，８５
は、円環状であって、薄板部８１の周端を上下から挟
み、ボルト８７，…を固定孔８３，…に貫通させて互い
に締付けて固定され、薄板部８１の周端部を保持する。
支持部材８６は、円環状であり、内周に凸条８８を有
し、外周８９に挟持部材８５を上下動可能に嵌める。さ
らに、図示しないが、挟持部材８４，８５、支持部材８
６には、前記ピン孔６７に相当するもの、支持部材８６
には、ねじ孔６９、雄ねじ７０に相当するものが設けら
れている。
４，８５と支持部材８６よりなる。挟持部材８４，８５
は、円環状であって、薄板部８１の周端を上下から挟
み、ボルト８７，…を固定孔８３，…に貫通させて互い
に締付けて固定され、薄板部８１の周端部を保持する。
支持部材８６は、円環状であり、内周に凸条８８を有
し、外周８９に挟持部材８５を上下動可能に嵌める。さ
らに、図示しないが、挟持部材８４，８５、支持部材８
６には、前記ピン孔６７に相当するもの、支持部材８６
には、ねじ孔６９、雄ねじ７０に相当するものが設けら
れている。
【００２９】したがって、このキャリア８０では、薄板
部８１周端部の挟持部材８４，８５が重力で支持部材８
６外周に沿って下がることにより薄板部８１に張力を加
えることができる。すなわち、このキャリア８０では、
環状部８２がそのまま張力付加機構として作用する。
部８１周端部の挟持部材８４，８５が重力で支持部材８
６外周に沿って下がることにより薄板部８１に張力を加
えることができる。すなわち、このキャリア８０では、
環状部８２がそのまま張力付加機構として作用する。
【００３０】図７は、第３実施例のキャリア９０を示
す。
す。
【００３１】このキャリア９０は、薄板部９１、環状部
（図示しない）及び張力付加機構９２からなる。
（図示しない）及び張力付加機構９２からなる。
【００３２】薄板部９１は、ほぼ前記薄板部５１と同様
であり、中央孔９３を有し、さらに、内周端に係合孔９
４，…を有している。環状部の構成は任意であり、従来
の単に薄板部の周端部を保持するものであっても、ある
いは前記環状部５２、８２のように、張力付記機構を有
するものであってもよい。
であり、中央孔９３を有し、さらに、内周端に係合孔９
４，…を有している。環状部の構成は任意であり、従来
の単に薄板部の周端部を保持するものであっても、ある
いは前記環状部５２、８２のように、張力付記機構を有
するものであってもよい。
【００３３】張力付記機構９２は、１枚のゴムシートよ
りなり、円環状部９５から外方へ腕部９６，…を突出さ
せ、さらにこの腕部９６，…先端に上方へ突出する突起
９７，…を設けてなる。各突起９７，…は、円環状部９
５、腕部９６，…を弾性的に引っ張って、薄板部５１の
係合孔９４，…に押し込まれて固定される。したがっ
て、薄板部９１には、中央部へ引かれる張力が付加され
る。
りなり、円環状部９５から外方へ腕部９６，…を突出さ
せ、さらにこの腕部９６，…先端に上方へ突出する突起
９７，…を設けてなる。各突起９７，…は、円環状部９
５、腕部９６，…を弾性的に引っ張って、薄板部５１の
係合孔９４，…に押し込まれて固定される。したがっ
て、薄板部９１には、中央部へ引かれる張力が付加され
る。
【００３４】
【発明の効果】本発明のキャリアは、上述のように、張
力付加機構により、張力が加えられるので、薄板部は、
研磨により中央部分が伸びて、そのままでは皿状に変形
する状態となっても、使用時には精確な平面状になり、
高精度の研磨加工が可能となる。
力付加機構により、張力が加えられるので、薄板部は、
研磨により中央部分が伸びて、そのままでは皿状に変形
する状態となっても、使用時には精確な平面状になり、
高精度の研磨加工が可能となる。
【００３５】張力付加機構を薄板部の周端部に設ける構
成は、構造が単純で、有効に張力を発生することができ
る。張力付加機構を薄板部の中央部に設ける構成は、従
来の環状部をそのまま使用することができるので、実施
が容易であり、また、周端部の張力付加機構と併用する
と、より有効である。
成は、構造が単純で、有効に張力を発生することができ
る。張力付加機構を薄板部の中央部に設ける構成は、従
来の環状部をそのまま使用することができるので、実施
が容易であり、また、周端部の張力付加機構と併用する
と、より有効である。
【００３６】張力付加機構に、バネ、ゴム等の弾性材を
用いると、軽量であるので、実施が容易となり、また、
張力の大きさの調節も容易となる。張力付加機構に、重
力を用いると、長寿命で、長期間安定した張力が実現さ
れる。
用いると、軽量であるので、実施が容易となり、また、
張力の大きさの調節も容易となる。張力付加機構に、重
力を用いると、長寿命で、長期間安定した張力が実現さ
れる。
【００３７】薄板部に係合孔を設け、これに張力付加機
構を引っ掛けて使用する構成は、薄板部の構成が単に孔
を設けるだけでよいので、簡易であり、環状部と別に薄
板部を交換することが容易となる。
構を引っ掛けて使用する構成は、薄板部の構成が単に孔
を設けるだけでよいので、簡易であり、環状部と別に薄
板部を交換することが容易となる。
【００３８】薄板部の係合孔に可動部材の突起を係合さ
せ、バネで引っ張る構成は、構造が単純であり、突起の
数、配置が、自由に設定できるので、他の機構との干渉
を防止するために便利である。
せ、バネで引っ張る構成は、構造が単純であり、突起の
数、配置が、自由に設定できるので、他の機構との干渉
を防止するために便利である。
【図１】本発明を使用するラップ盤の正断面図である。
【図２】本発明の第１実施例のキャリアの平面図であ
る。
る。
【図３】同例の部分拡大平面図である。
【図４】同例の部分拡大正面図である。
【図５】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】本発明の第２実施例の断面図である。
【図７】本発明の第３実施例の部分拡大平面図である。
１０…ラップ盤、１１…上盤、１２…下盤、５０…キャ
リア、５１…薄板部、５２…環状部、５４ａ，５４ｂ，
５４ｃ…加工物孔、５５…係合孔、６０…可動部材、６
２…突起、６５…バネ、６６…張力付加機構、８０…キ
ャリア、８１…薄板部、８２…環状部、９０…キャリ
ア、９１…薄板部、９２…張力付加機構、９４…係合
孔、Ｗ…加工物。
リア、５１…薄板部、５２…環状部、５４ａ，５４ｂ，
５４ｃ…加工物孔、５５…係合孔、６０…可動部材、６
２…突起、６５…バネ、６６…張力付加機構、８０…キ
ャリア、８１…薄板部、８２…環状部、９０…キャリ
ア、９１…薄板部、９２…張力付加機構、９４…係合
孔、Ｗ…加工物。
Claims (4)
- 【請求項１】 加工物を嵌合させる加工物孔を有し、ラ
ップ盤の上盤及び下盤の間に設けられる薄板部と、この
薄板部の周囲に設けられ、ラップ盤の上盤、下盤に挟ま
れることなく薄板部の周端部を保持し、加工物を移動さ
せるよう駆動される環状部と、前記薄板部の周端部、中
央部又はこれら両方に、薄板部に張力を加え、変形を防
止する張力付加機構を設けたことを特徴とするラップ盤
のキャリア。 - 【請求項２】 請求項１において、張力付加機構が、バ
ネ、ゴム等の弾性材又は重りを用いたことを特徴とする
ラップ盤のキャリア。 - 【請求項３】 請求項１又は２において、薄板部に形成
された係合孔と、この係合孔に係合して張力を付加する
張力付加機構とを有することを特徴とするラップ盤のキ
ャリア。 - 【請求項４】 加工物を嵌合させる加工物孔を有し、ラ
ップ盤の上盤及び下盤の間に設けられる薄板部と、この
薄板部の周囲に設けられ、ラップ盤の上盤、下盤に挟ま
れることなく薄板部の周端部を保持し、加工物を移動さ
せるよう駆動される環状部と、前記薄板部の周端部に形
成される係合孔と、前記環状部に、移動可能に設けら
れ、前記係合孔に係合する突起を有する可動部材と、前
記環状部に設けられ、前記可動部材を外方へ付勢するバ
ネとを有することを特徴とするラップ盤のキャリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28855394A JPH08112751A (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | ラップ盤のキャリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28855394A JPH08112751A (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | ラップ盤のキャリア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08112751A true JPH08112751A (ja) | 1996-05-07 |
Family
ID=17731741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28855394A Pending JPH08112751A (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | ラップ盤のキャリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08112751A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006159383A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-22 | Kashiwara Machine Mfg Co Ltd | 両面研磨用キャリア |
-
1994
- 1994-10-17 JP JP28855394A patent/JPH08112751A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006159383A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-22 | Kashiwara Machine Mfg Co Ltd | 両面研磨用キャリア |
| JP4727218B2 (ja) * | 2004-12-10 | 2011-07-20 | 株式会社住友金属ファインテック | 両面研磨用キャリア |
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