JPH0722511A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH0722511A
JPH0722511A JP5165691A JP16569193A JPH0722511A JP H0722511 A JPH0722511 A JP H0722511A JP 5165691 A JP5165691 A JP 5165691A JP 16569193 A JP16569193 A JP 16569193A JP H0722511 A JPH0722511 A JP H0722511A
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JP
Japan
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clock
reference signal
time reference
semiconductor device
output
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JP5165691A
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English (en)
Inventor
Katsuyuki Maruyama
勝之 丸山
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体装置内部に供給するクロックのクロッ
クスキューを低減する。 【構成】 外部からクロック信号を受け、入力端11か
ら出力端までの長さが同一である配線により、クロック
を複数に分配するプリクロックセル1と、半導体装置内
部の回路にクロックを供給する複数のメインクロックセ
ル2と、プリクロックセル1からメインクロックセル2
にクロックを供給する同一の配線長の配線3とからなる
クロック分配回路を備えた半導体装置であり、クロック
分配回路における各配線の長さを等しくすることによ
り、分配されたクロック間の時間的ずれを少なくする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、内部回路にクロック
を供給するためのクロック分配回路を備える半導体装置
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】ゲートアレイなどの半導体装置におい
て、その半導体内部に形成された複数の回路は、相互に
同期をとりながら動作することが多い。このような場
合、同期をとるためのタイミング信号であるクロック
を、これら複数の回路に分配する必要がある。そして、
これらクロックは、それぞれの回路において動作開始、
終了等の基準となるため、位相、振幅等が同じで、同一
のタイミングで動作することが望ましい。
【0003】従来の半導体装置におけるクロックの分配
方式には、図6に示すクロックツリー型分配方式と呼ば
れる方式がある。図6は半導体装置のチップの表面図で
あるが、クロック分配回路のみを示し、それ以外の回路
は省略している。
【0004】同図において、101は電子回路が構成さ
れたマクロセルの周辺に配されたI/Oバッファ配置領
域、102は図示しない入力端子から外部のクロックを
受け、増幅等のバッファリングを行った後、半導体装置
のチップに構成された電子回路に対して出力するI/O
バッファである。I/Oバッファ102は、I/Oバッ
ファ配置領域101上に形成されている。103a〜1
03d(以下、103と総称する)及び104a〜10
4d(以下、104と総称する)はI/Oバッファ10
2の出力を受け、クロックをバッファリングするクロッ
クドライバ、105a〜105b(以下、105と総称
する)はI/Oバッファ102の出力を4つに分配し、
クロックドライバ103に対し供給する配線、106a
〜106b(以下、106と総称する)はクロックドラ
イバ103の出力をクロックドライバ104に供給する
配線、107a〜107b(以下、107と総称する)
はクロックドライバ104の出力を、半導体装置を構成
する電子回路の一部であるフリップフロップ(F/F)
に供給する配線である。
【0005】図6におけるクロックツリー型分配方式で
は、I/Oバッファ102が外部からのクロックをバッ
ファリングし、配線105a〜105dにより4つに分
配し、クロックドライバ103a〜103d及び104
a〜104dを介して、4つのF/Fに供給する。すな
わち、ツリー構造を持ったクロック配線を介して、一つ
のクロック信号を複数に分割し、フリップスロップ(F
/F)のクロック端子に入力する。これらフリップフロ
ップ(F/F)は、クロックに従って同期をとりながら
動作し、所定の処理を行う。
【0006】このクロックリング型分配方式に基づき、
設計を自動配置配線によりおこなった場合、I/Oバッ
ファ102から初段のクロックドライバ103a〜10
3dまでの配線105a〜105dのそれぞれの長さ、
クロックドライバ間の配線106a〜106dの長さ、
及び最終段のクロックドライバ104a〜104dから
フリップフロップ(F/F)までの配線107a〜10
7dの長さは、回路の配置に応じて、自動的に決定され
るため、この長さを論理設計の段階で見積もることは非
常に困難である。
【0007】このため、チップのレイアウト後の配線長
にばらつきを生じ、それぞれの回路に分配されるクロッ
クには、わずかながらも時間的なずれが生じる。このク
ロックの時間的ずれは、クロックスキューと呼ばれ、こ
のずれが大きくなると誤動作の原因となり、信頼性の低
下を招くことになる。また、クロック周波数は、クロッ
クの立ち上がり時間、立ち下がり時間そしてクロックス
キューの合計よりも小さくすることはできないことか
ら、高速動作が困難となる。
【0008】したがって、クロックスキューは、特に高
速動作する回路において問題となり、高速メモリやゲー
トアレイ等では、クロックスキューが許容範囲に収まる
よう管理することが重要になる。しかし、従来のクロッ
クツリー型分配回路によれば、その配置、配線長を最適
化し、クロックスキューを低減するには、レイアウト試
行とタイミング検証を繰り返しつつ、論理設計やレイア
ウト設計にフィードバックしなくてはならなかった。
【0009】一方、このクロックスキューの発生を抑
え、クロックスキューの管理を容易にする従来の半導体
装置として、クロックリングと呼ばれるクロックの分配
回路を備えた図7に示すものがある。図7に半導体装置
のチップ表面の構成を示す。同図において、102は図
示しない端子から入力されたクロックを、増幅等のバッ
ファリングをした後、プリクロックドライバ111に供
給するI/Oバッファ、111はI/Oバッファ102
からの信号を受け、クロックを増幅するプリクロックド
ライバ、112a及び112b(以下、112と総称す
る)はプリクロックドライバ111の出力を受け、増幅
した後クロックリング113に供給するメインクロック
ドライバ、113は半導体装置のチップ全体に張り巡ら
され、メインクロックドライバ112により供給された
クロックを分配する格子状のクロックリング、114a
及び114b(以下、114と総称する)はメインクロ
ックドライバ112の出力をクロックリング113に供
給するための接続点、115a及び115b(以下、1
15と総称する)は、クロックリング113におけるメ
インクロックドライバ112から最も遠い点である。
【0010】次に、動作について説明する。図示しない
端子から供給されたクロックは、まず、I/Oバッファ
102に入力され、バッファリングが行われる。その出
力はプリクロックドライバ111を介して、メインクロ
ックドライバ112a、112bに入力される。メイン
クロックドライバ112a、112bは、クロックリン
グ113を駆動する。このように、クロックリング11
3をプリクロックドライバ111と2つのメインクロッ
クドライバ112a、112bにより駆動するのは、ク
ロックスキューを低減するためである。すなわち、プリ
クロックドライバ111がないとすると、I/Oバッフ
ァ102の位置によっては、I/Oバッファ102から
メインクロックドライバ112a、112bまでの配線
の長さが、必ずしも同じにはならず、クロックスキュー
が発生する。しかし、図7の構成では、2つのメインク
ロックドライバ112a、112bを同時に駆動するよ
うに、プリクロックドライバ111を等距離の位置にお
いているため、クロックスキューを低減できる。
【0011】半導体装置のフリップフロップ(F/F)
は、クロックリング113からクロックを受け、このク
ロックに同期して所定の処理を行う。ところで、このク
ロックリング型分配方式では、固定配線によりクロック
を供給するため、クロックリング113からフリップフ
ロップ(F/F)のクロック入力端子までの配線長と、
クロックリング113においてクロックが伝搬する配線
の長さを予測することができる。すなわち、クロック
が、クロックリング113のドライバに最も近い点11
4から最も遠い点115まで伝搬した場合に、そのクロ
ックスキューは最大となるから、その値に基づき、クロ
ックスキュー管理を容易におこなうことができる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このようにチ
ップ全体をカバーする固定配線では、クロックスキュー
の管理はできるものの、その配線の浮遊容量が増大し、
高速で動作させるのは不適当である。また、パラレル駆
動を行っているメインクロックドライバ112a、11
2bは、駆動能力の高いクロックドライバを構成するた
めにI/O領域101に構成しており、そのため、クロ
ックを供給する点である接続点114aと接続点114
bとの間隔が大きくなり、クロックリング113内にク
ロックスキューが生じる。また、クロックリング113
の配線に生じる静電容量を充放電させるために、高い駆
動能力を持った特殊なドライバが必要となり、自動設計
の際のライブラリの開発に時間がかかる。
【0013】さらに、図6の場合と異なり、クロックド
ライバに内部マクロセルを用いていないので、クロック
専用のドライバ111、112等を必要とする。例え
ば、半導体装置の内部回路の出力をクロックとして、他
の内部回路に供給する場合、上述のように浮遊容量があ
るため、内部回路の出力にとって負荷が大きすぎ、直接
接続することができない。したがって、半導体装置の内
部回路の出力をクロックとして取り扱うには、チップ上
で巨大な面積を占有する特殊なクロックドライバが必要
となるという問題点があった。
【0014】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたもので、クロックの分配回路の長さを
均等にすることにより、半導体装置の低クロックスキュ
ー化を実現し、高速動作可能な半導体装置を得ることを
目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る半
導体装置は、外部から時間基準信号を受け、入力端から
出力端までの長さが略同一である配線により複数の出力
に分配する前置分配回路と、上記前置分配回路の出力を
受け、内部回路に時間信号を供給する複数の供給回路
と、それぞれが略同一の長さをもち、上記前置分配回路
の出力を複数の上記供給回路に伝送する複数の配線とか
ら構成される時間基準信号分配回路を備えたものであ
る。
【0016】請求項2の発明に係る半導体装置は、内部
で発生した時間基準信号を受け、入力端から出力端まで
の長さが略同一の配線により複数の出力に分配するとと
もに、バッファにより処理を行い出力する前置分配回路
と、上記前置分配回路の出力を受け、内部回路に時間信
号を供給する複数の供給回路と、それぞれが略同一の長
さをもち、上記前置分配回路の出力を複数の上記供給回
路に伝送する複数の配線とから構成される時間基準信号
分配回路を備えたものである。
【0017】請求項3の発明に係る半導体装置は、時間
基準信号が入力される入力端子と、上記入力端子に入力
された上記時間基準信号を受け処理する複数のバッファ
と、それぞれが略同一の長さをもち、上記入力端子に入
力された上記時間基準信号を上記複数のバッファに伝送
する複数の配線と、上記バッファの出力に基づき上記内
部回路に上記時間基準信号を供給し、複数の閉回路から
構成される配線網とからなる時間基準信号分配回路を備
え、上記時間基準信号分配回路を一部の領域にのみ構成
したものである。
【0018】
【作用】請求項1の発明においては、前置分配回路が、
外部から時間基準信号を受け、入力端から出力端まで長
さが略同一の配線により複数の出力に分配し、複数の供
給回路が、上記前置分配回路の出力を受け、内部回路に
時間信号を供給し、それぞれが略同一の長さをもつ複数
の配線が、上記前置分配回路の出力を複数の上記供給回
路に伝送する。
【0019】請求項2の発明においては、前置分配回路
が、内部で発生した上記時間基準信号を受け、入力端か
ら出力端までの長さが略同一の配線により複数の出力に
分配するとともに、バッファが処理を行い出力し、複数
の供給回路が、上記前置分配回路の出力を受け、内部回
路に時間信号を供給し、それぞれが略同一の長さをもつ
複数の配線が、上記前置分配回路の出力を複数の上記供
給回路に伝送する。
【0020】請求項3の発明においては、複数のバッフ
ァが、それぞれが略同一の長さをもつ複数の配線によ
り、入力端子に入力された時間基準信号を受け処理し、
複数の閉開路網が、上記バッファの出力に基づき、半導
体装置の一部の内部回路に上記時間基準信号を供給す
る。
【0021】
【実施例】
実施例1.図1は、本発明に係る半導体装置のチップの
表面を示す図である。図1は、本発明に係る半導体装置
のクロック分配回路のみを示しており、それ以外の回路
の表示はすべて省略している。同図において、1はプリ
クロックセル入力端子11から入力された時間基準信号
であるクロックを所定の数に分配する前置分配回路であ
るプリクロックセルであり、内部の詳細な構成は後述す
る。2a〜2h(以下、2と総称する)はプリクロック
セル1により分配されたクロックを受け、クロックを必
要とするチップ上の電子回路にクロックを供給する供給
回路であるメインクロックセルであり、内部の詳細な構
成は後述する。3a〜3h(以下、3と総称する)はプ
リクロックセル1からメインクロックセル2にクロック
を伝送する第1の配線、4はI/Oバッファ102が出
力する外部のクロックをプリクロックセル2に供給する
伝送路である。同図において、プリクロックセル1は1
つ、メインクロックセル2は8つ配置された状態を示し
ている。101はI/Oバッファ配置領域、102はI
/Oバッファであり、これは従来例と同様のものであ
る。ただし、従来例においては、I/Oバッファ配置領
域101にメインクロックバッファ112及びプリクロ
ックバッファ111があったが、図1のI/Oバッファ
配置領域101はそれらを含まない。
【0022】図1に示すように、プリクロックセル1は
チップの中央に配置される。これは、プリクロックセル
1と複数(図1では8つ)のメインクロックセル2との
間の距離を、いずれもほぼ等しくし、複数の第1の配線
3のそれぞれの長さを同じにするためである。
【0023】次に、プリクロックセル1の詳細を図2に
示す。同図において、11はバッファ配置領域101の
I/Oバッファ102を経由する外部のクロック、ある
いは、チップ内部で発生するクロック(例えば分周され
たクロック)のいずれかが入力されるプリクロック入力
端子、12a〜12d(以下、12と総称する)はクロ
ック入力端子11に入力されたクロックを反転増幅する
インバータドライバ、13a〜13h(以下、13と総
称する)はインバータドライバ12の出力を受け、増幅
した後、メインクロック2に対しクロックを出力するラ
インドライバ、14a〜14d(以下、14と総称す
る)はプリクロックセル入力端子11に入力されたクロ
ックを所定の数に分配し、インバータドライバ12に伝
送する第2の配線、15a〜15h(以下、15と総称
する)はインバータドライバ12の出力を所定の数に分
配し、ラインドライバ13に伝送する第3の配線であ
る。
【0024】このプリクロックセル1は、1つのプリク
ロックセル入力端子11から同じ長さの配線14、15
にてクロックを分配し、複数のラインドライバ13によ
りバッファリングした後に出力する。
【0025】この分配は、プリクロックセル入力端子1
1をドライブ回路のドライブ能力に応じて、適当な数の
バッファ回路を用いて行う。例えば、図2において、フ
ァンアウト数4のドライバによりプリクロックセル入力
端子11がドライブされるものとして、その入力信号を
4つに分配するように構成し、一方、インバータドライ
バ14のファンアウト数は2であるとして、その出力を
2つのラインドライバ13に供給する。
【0026】そして、これらラインドライバ13は、メ
インクロックセル2の配置に対応して、それら出力端か
ら、図3に示すメインクロックセル入力端子21までの
第1の配線3が同じ長さになるように配置されている。
【0027】次に、メインクロックセル2の詳細を、図
3に示す。同図において、21はプリクロックセル1に
より分配されたクロック、あるいは、チップ上で発生し
たクロックのいずれかが入力されるメインクロックセル
入力端子、22a及び22b(以下、22と総称する)
はメインクロックセル入力端子に入力されたクロックを
反転増幅するインバータドライバ、23a及び23b
(以下、23と総称する)はメインクロックセル入力端
子21に入力されたクロックを所定の数に分配し、イン
バータドライバ22に伝送する第4の配線である。24
a〜24e(以下、24と総称する)はインバータドラ
イバ22の出力を所定の数に分配し、チップの図示しな
いフリップフロップ(F/F)、ラッチ等の電子回路に
供給する第5の配線であり、リング状の閉回路を構成し
ている。25a及び25b(以下、25と総称する)は
インバータドライバ22の出力が第5の配線24に接続
されるインバータドライバ出力接続端、26a及び26
b(以下、26と総称する)は第5の配線24上の、イ
ンバータドライバ22から最も遠い点である。
【0028】ところで、メインクロックセル2は、クロ
ックを必要とする図示しない回路の配置に対応して、チ
ップ上の所定の位置に、必要な数だけ配置される。ここ
で、リング状の閉回路を構成する第5の配線24は、そ
のカバーする領域の大きさ、メインクロックセル入力端
子21を上としたときの横方向の配線数(図1において
5)及び同じく縦方向配線数(図1において2)につい
て自由に決定することができ、この実施例のクロック分
配回路を、ゲートアレイのようなマスタチップの構成が
単純なLSIに適用する場合、プログラムによる自動生
成を容易に行うことができる。なお、メインクロックセ
ル2は、必要に応じて配置するパターンであって、予め
配置されている固定のパターンではない。
【0029】次に動作について説明する。外部から入力
されたクロック信号は、図1において、I/Oバッファ
102及びチップ上にメタルで形成された伝送路4を経
由して、プリクロックセル入力端子11に入力される。
この入力されたクロックは、図2の第2の配線14によ
り分配された後、インバータドライバ12に入力され
る。すなわち、同じ電気長をもつ第2の配線14a、1
4b、14c、14dにより、入力されたクロックは4
つに分配され、インバータドライバ12a、12b、1
2c、12dに入力される。
【0030】次に、インバータドライバ12a、12
b、12c、12dの出力は、第3の配線15により分
配された後、ラインドライバ13に入力される。すなわ
ち、同じ電気長をもつ第3の配線15a〜15hによ
り、インバータドライバ12a、12b、12c、12
dの出力はそれぞれ2つに分配され、ラインドライバ1
3a〜13hに入力される。つまり、プリクロックセル
入力端子11に入力されたクロックは、メインクロック
セル2の数に対応し合計8つに分配されることになる。
そして、ラインドライバ13の出力はメインクロックセ
ル2に入力される。
【0031】ここで、ラインドライバ13が出力するク
ロックのスキューについて検討すると、第2の配線14
a、14b、14c、14dは同一の電気長を持ち、ま
た第3の配線15a〜15hも同一の電気長を持つか
ら、プリクロックセル入力端子11からラインドライバ
15a〜15hまでの電気長は、いずれも同じであり、
インバータドライバ12a、12b、12c、12d及
びラインドライバ13a〜13hの動作遅延時間が同じ
であれば、クロックスキューは発生しない。すなわちプ
リクロックセル1において、クロックスキューは発生し
ない。
【0032】プリクロックセル1のラインドライバ13
a〜13hの出力は、第1の配線3a〜3hを介してメ
インクロックセル2a〜2hに入力される。ここで、プ
リクロックセル1のラインドライバ13a〜13hから
メインクロックセル2a〜2hのメインクロックセル入
力端子21までの、半導体チップ上の距離はほほ同じで
あり、第1の配線3a〜3hは、同じ電気長とすること
ができる。したがって、プリクロックセル1からメイン
クロックセル2までの第1の配線3においても、クロッ
クスキューは発生しない。
【0033】メインクロックセル2において、メインク
ロックセル入力端子21に入力されたクロックは、第4
の配線23a、23bによりインバータドライバ22
a、22bに入力される。インバータドライバ22a、
22bは、第5の配線24a〜24eにクロックを供給
し、図示しないF/Fやラッチ等の電子回路は、第5の
配線24a〜24eから必要に応じてクロックを受け
る。ここで、第4の配線23a、23bは同じ電気長を
持つから、クロックスキューは発生しない。一方、リン
グ状に配置されている第5の配線24においては、クロ
ックを受けるF/F、ラッチ等が第5の配線24のどこ
に接続されるかにより、その電気長が異なり、クロック
スキューが発生する。しかし、そのクロックスキュー
は、インバータドライバ出力接続端25a、25bから
最も遠い点26a、26bまでの距離に対応する配線2
4の電気長によるクロックスキューの大きさを越えるも
のではなく、比較的小さいものである。
【0034】以上のように、図1のクロック分配回路に
おいて存在するクロックスキューは、インバータドライ
バ出力端子25とそこから最も遠い点26までの配線長
の差によるものだけである。したがって、図1のクロッ
ク分配回路によれば、クロックスキューを一定に抑える
ことができ、従来例のクロックツリー型分配方式と異な
り、その大きさを論理設計の段階で見積もることができ
る。また、従来例のクロックリング型分配方式と異な
り、分配回路の浮遊要領の増加を抑えることができ、高
速動作が可能となる。しかも、チップ上の全ての領域に
ある回路にクロックを供給することができる。
【0035】なお、図2のプリクロックセル1におい
て、バッファ12、13を用いてクロックを分配してい
たが、I/Oバッファ102は、チップ内部の回路の出
力と異なり駆動能力が高いから、バッファ12、13を
介さず、配線14、15のみを用いて分配してもよい。
【0036】なお、図3はメインクロックセル2の構成
の一例であり、2つのインバータドライバ22a、22
b及び固定配線であるリング状の第5の配線24a〜2
4eからなるものであるが、インバータドライバの代わ
りにラインドライバを用いてもかまわない。また、NA
NDゲートを使用して、制御可能に構成してもよい。ま
た、第5の配線24はリング状に限らず、ツリー状、格
子状に構成してもよい。
【0037】なお、この実施例において、プリクロック
セル1を中央に配置したが、それに限るものではない。
たとえば、図1のメインクロックセル2a、2b、2
c、2cのみがある場合、メインクロックセル2の右側
に配置してもよい。ただし、配置の優先順位は、プリク
ロックセル、メインクロックセル、他の回路の順番であ
る。
【0038】この実施例による半導体装置において、メ
インクロックセル2内の配線をリング状に構成したの
で、従来のクロックリング型分配方式のように、設計の
自由度を保つことができる。
【0039】実施例2.また、図4に示すように、プリ
クロックセル入力端子11に入力するクロックを、外部
から入力されたクロック信号に限らず、内部で発生する
クロック(例えば分周されたクロック)を供給するよう
にしてもよい。この場合、従来のクロックリング型分配
方式と異なり、プリクロックセル入力端子11の浮遊容
量はわずかであるから、内部クロックを出力を直接プリ
クロックセル1に接続することができる。内部クロック
の出力端6からプリクロックセル入力端子11までは、
例えば、メタル配線の伝送路4により接続する。
【0040】実施例3.なお、図1に示す実施例は、プ
リクロックセル1と複数のメインクロックセル2a〜2
hを備え、クロックの供給をチップ全体に対し行うもの
であるが、図5に示すように、一部の領域についてのみ
メインクロックセル2を配置し、プリクロックセル1を
用いることなく構成してもよい。
【0041】すなわち、図5に示すように、電子回路を
配置するチップを例えば8つの領域5a〜5hにわけ、
その内の領域5aにのみメインクロックセル2aを配置
する。このメインクロックセル2aに対し、外部から入
力されたクロックを供給する。このように、特定の領域
にクロックを必要とする回路を集中して配置すれば(実
際のチップ設計ではこのようなケースが多い)、回路構
成が簡単になるとともに、設計も容易になる。
【0042】また、メインクロックセル2aに対し、入
力された外部のクロックに限らず、内部で発生するクロ
ック(例えば分周されたクロック)を供給するようにし
てもよい。メインクロックセル入力端子21の負荷は小
さいから、I/Oドライバを介さず、内部マクロセルの
回路でも直接駆動することができる。
【0043】実施例4.また、多相クロックを使用する
場合など、多系統のクロック信号を取り扱うときは、プ
リクロックセル1を複数用い、あるいは、プリクロック
セル1を省き、直接メインクロックセル2にクロック信
号を供給するようにしてもよい。
【0044】
【発明の効果】請求項1及び請求項2の発明によれば、
時間基準信号を、ほぼ同じ長さの配線からなる前置分配
回路により分配し、ほぼ同じ長さの配線を介して、複数
の供給回路に供給するようにしたので、分配されるそれ
ぞれの時間基準信号の遅延時間がほぼ同じになり、時間
基準信号相互の時間的ずれ、位相差を低減することがで
き、高速な動作が可能な半導体装置を提供することがで
きる。
【0045】さらに、請求項2の発明によれば、供給回
路を小さく構成したので、供給回路の負荷容量を小さく
でき、駆動するための特殊なバッファを必要としないの
で、半導体装置内部で発生した基準信号を取り扱うこと
ができる。
【0046】請求項3の発明によれば、供給回路を、半
導体装置のチップ上の一部に配置したので、ドライブ能
力の低い回路でも駆動できて、さらに構成が簡単にな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明による半導体装置の実施例1の構成を
示す図である。
【図2】この発明による半導体装置の実施例1のプリク
ロックセルの構成を示す図である。
【図3】この発明による半導体装置の実施例1のメイン
クロックセルの構成を示す図である。
【図4】この発明による半導体装置の実施例2の構成を
示す図である。
【図5】この発明による半導体装置の実施例3の構成を
示す図である。
【図6】従来の半導体装置のクロック分配回路を示す図
である。
【図7】従来の半導体装置のクロック分配回路を示す図
である。
【符号の説明】
1 プリクロックセル 11 プリクロックセル入力端子 12 インバータドライバ 13 ラインドライバ 14 第2の配線 15 第3の配線 2 メインクロックセル 21 メインクロックセル入力端子 22 インバータドライバ 23 第4の配線 24 第5の配線 3 第1の配線 4 伝送路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/3205 27/04 21/822 G11C 11/34 354 C 8826−4M H01L 21/88 A 8832−4M 27/04 D

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内部回路に時間基準信号を供給する時間
    基準信号分配回路を備える半導体装置において、 上記時間基準信号分配回路を、上記半導体装置の外部か
    ら上記時間基準信号を受け、入力端から出力端までの長
    さが略同一である配線により複数の出力に分配する前置
    分配回路と、上記前置分配回路の出力を受け、上記内部
    回路に上記時間基準信号を供給する複数の供給回路と、
    それぞれが略同一の長さをもち、上記前置分配回路の出
    力を複数の上記供給回路に伝送する複数の配線とから構
    成したことを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 内部回路に時間基準信号を供給する時間
    基準信号分配回路を備える半導体装置において、 上記時間基準信号分配回路を、上記半導体装置の内部で
    発生した上記時間基準信号を受け、入力端から出力端ま
    での長さが略同一である配線により複数の出力に分配す
    るとともに、バッファにより処理を行い出力する前置分
    配回路と、上記前置分配回路の出力を受け、上記内部回
    路に時間信号を供給する複数の供給回路と、それぞれが
    略同一の長さをもち、上記前置分配回路の出力を複数の
    上記供給回路に伝送する複数の配線とから構成したこと
    を特徴とする半導体装置。
  3. 【請求項3】 内部回路に時間基準信号を供給する時間
    基準信号分配回路を備える半導体装置において、 上記時間基準信号分配回路を、上記時間基準信号が入力
    される入力端子と、上記入力端子に入力された上記時間
    基準信号を受け処理する複数のバッファと、それぞれが
    略同一の長さをもち、上記入力端子に入力された上記時
    間基準信号を上記複数のバッファに伝送する複数の配線
    と、上記バッファの出力に基づき上記内部回路に上記時
    間基準信号を供給する複数の閉回路とから構成し、上記
    時間基準信号分配回路を上記半導体装置の一部の領域に
    のみ構成したことを特徴とする半導体装置。
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