JPH07201569A - 積層型電子部品及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 トランス部に高い結合係数を確保できる積層
型電子部品を提供すること。 【構成】 積層構造の磁性体内に複数のコイル導体Ｌ
１，Ｌ２を設けて成る積層トランスにおいて、上記各コ
イル導体Ｌ１，Ｌ２を上下を高透磁率部μＨで挟まれた
低透磁率部μＬ内に埋設し、各コイル導体Ｌ１，Ｌ２の
周回軸心部分に高磁性体部μＨを形成すると共に、トラ
ンス周壁部分にコイル導体Ｌ１，Ｌ２全体を包囲するよ
うに高磁性体部μＨを形成しているので、コイル周回方
向への漏れ磁束を抑制してコイルＬ１，Ｌ２間により高
い結合係数を確保でき、積層トランスとしての電気特性
を格段向上できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数のコイル導体を有
する積層構造のトランス部を備えた積層型電子部品及び
その製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】積層構造のトランス部を備えた積層型電
子部品として、従来、積層トランス，積層複合部品，積
層混成集積回路等が知られている。

【０００３】図２０にはその一例として周知の積層トラ
ンスの断面図を示してある。この積層トランスは、磁性
体１０１内に２つのコイル導体（１次コイル１０２と２
次コイル１０３）を左右に並設されており、その外面に
各コイル１０２，１０３の両端と導通する図示省略の外
部端子を有している。この積層トランスは、磁性体グリ
ーンシート上に取得個数に対応した多数のスルーホール
を形成し、該シート上にその接続端部がスルーホールに
重なるように多数のコイル用導体パターンをスクリーン
印刷等の方法によって形成した後、これらをカバー用の
磁性体グリーンシートと共に所定の順序で上下に積層・
圧着し、該積層体を部品寸法に切断し焼成して焼成後の
積層チップに外部端子を夫々設けて製造される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の積層
トランスでは、透磁率の高い磁性体グリーンシートを用
いて積層体（磁性体１０１）を構成すると、各コイル１
０２，１０３から周回方向に漏れ磁束（リーケージフラ
ックス）が発生し、１次コイル１０２と２次コイル１０
３との間に高い結合係数を得ることができなくなる問題
点がある。一方、透磁率の低い磁性体グリーンシートを
用いて積層体（磁性体１０１）を構成すると、上記のよ
うな漏れ磁束は少なくなるものの逆にインダクタンスが
低下する等の問題点がある。これらの問題は積層トラン
スに限らず、同様のトランス部を備えた他の積層型電子
部品にも共通して生じ得る。

【０００５】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、トランス部に高い結合係
数を確保できる積層型電子部品及びその製造方法を提供
することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、複数のコイル導体を有する積層
構造のトランス部を備えた積層型電子部品において、上
記各コイル導体を上下を高透磁率部で挟まれた低透磁率
部内に埋設し、各コイル導体の周回軸心部分に高磁性体
部を形成すると共に、トランス部の周壁部分にコイル導
体全体を包囲するように高磁性体部を形成したことを特
徴としている。

【０００７】請求項２の発明は、複数枚のグリーンシー
トにスルーホール及びコイル用導体パターンを夫々形成
し、これらをカバー用のグリーンシートと共に所定の順
序で上下に積層して、複数のコイル導体を有する積層構
造のトランス部を得る工程を具備した積層型電子部品の
製造方法において、コイル用導体パターンが形成される
グリーンシートとして低透磁率のものを使用し、該低透
磁率グリーンシートの各コイル導体の周回軸心となる部
分にキャビティを貫通形成して、該キャビティに高透磁
率材を充填したことを特徴としている。

【０００８】請求項３の発明は、複数枚のグリーンシー
トにスルーホール及びコイル用導体パターンを夫々形成
し、これらをカバー用のグリーンシートと共に所定の順
序で上下に積層して、複数のコイル導体を有する積層構
造のトランス部を得る工程を具備した積層型電子部品の
製造方法において、コイル用導体パターンが形成される
グリーンシートとして高透磁率のものを使用し、該高透
磁率グリーンシートに各コイル導体の周回軸心となる部
分が残るようにキャビティを貫通形成して、該キャビテ
ィに低透磁率材を充填したことを特徴としている。

【０００９】請求項４の発明は、複数枚のグリーンシー
トにスルーホール及びコイル用導体パターンを夫々形成
し、これらをカバー用のグリーンシートと共に所定の順
序で上下に積層して、複数のコイル導体を有する積層構
造のトランス部を得る工程を具備した積層型電子部品の
製造方法において、コイル用導体パターンが形成される
磁性体シートとして低透磁率のものを使用し、該低透磁
率グリーンシートの各コイル導体の周回軸心となる部分
とトランス部の周壁となる部分にキャビティを貫通形成
して、該キャビティに高透磁率材を充填したことを特徴
としている。

【００１０】請求項５の発明は、複数枚のグリーンシー
トにスルーホール及びコイル用導体パターンを夫々形成
し、これらをカバー用のグリーンシートと共に所定の順
序で上下に積層して、複数のコイル導体を有する積層構
造のトランス部を得る工程を具備した積層型電子部品の
製造方法において、コイル用導体パターンが形成される
グリーンシートとして高透磁率のものを使用し、該高透
磁率グリーンシートに各コイル導体の周回軸心となる部
分とトランス部の周壁となる部分が残るようにキャビテ
ィを貫通形成して、該キャビティに低透磁率材を充填し
たことを特徴としている。

【００１１】請求項６の発明は、複数枚のグリーンシー
トにスルーホール及びコイル用導体パターンを夫々形成
し、これらをカバー用のグリーンシートと共に所定の順
序で上下に積層して、複数のコイル導体を有する積層構
造のトランス部を得る工程を具備した積層型電子部品の
製造方法において、コイル用導体パターンが形成される
グリーンシートとして低透磁率のものを使用し、該低透
磁率グリーンシートの各コイル導体の周回軸心となる部
分にキャビティを貫通形成して、該低透磁率グリーンシ
ートを積層した後にキャビティ連続による孔内に高透磁
率材を充填したことを特徴としている。

【００１２】請求項７の発明は、複数枚のグリーンシー
トにスルーホール及びコイル用導体パターンを夫々形成
し、これらをカバー用のグリーンシートと共に所定の順
序で上下に積層して、複数のコイル導体を有する積層構
造のトランス部を得る工程を具備した積層型電子部品の
製造方法において、コイル用導体パターンが形成される
グリーンシートとして低透磁率のものを使用し、該低透
磁率グリーンシートの各コイル導体の周回軸心となる部
分とトランス部の周壁となる部分にキャビティを貫通形
成して、該低透磁率グリーンシートを積層した後にキャ
ビティ連続による孔内に高透磁率材を充填したことを特
徴としている。

【００１３】請求項８の発明は、請求項２乃至７の何れ
か１項記載の製造方法において、スルーホール及びキャ
ビティをレーザ光照射により形成したことを特徴として
いる。

【００１４】

【作用】請求項１の発明に係る積層型電子部品では、各
コイル導体を低透磁率部に埋設し、且つその周回軸心部
分及びトランス部の周壁部分に高透磁率部を形成してあ
るので、周回軸心部分のみを高透磁率部としたものに比
べてトランス部におけるコイル周回方向への漏れ磁束を
抑制してコイル間に高い結合係数を確保することができ
る。

【００１５】請求項２の発明に係る製造方法では、低透
磁率グリーンシートの各コイルの周回軸心となる部分に
キャビティを形成し、該キャビティに高透磁率材を充填
して積層用シートを予め作成するようにしたので、簡単
な積層作業によって各コイルの周回軸心部分に高透磁率
部を有するトランス部を製造できる。

【００１６】請求項３の発明に係る製造方法では、高透
磁率グリーンシートに各コイルの周回軸心となる部分を
残してキャビティを形成し、該キャビティに低透磁率材
を充填して積層用シートを予め作成するようにしたの
で、簡単な積層作業によって各コイルの周回軸心部分に
高透磁率部を有するトランス部を製造できる。

【００１７】請求項４の発明に係る製造方法では、低透
磁率グリーンシートの各コイルの周回軸心となる部分に
キャビティを、トランス部の周壁となる部分にキャビテ
ィを夫々形成し、両キャビティに高透磁率材を充填して
積層用シートを予め作成するようにしたので、簡単な積
層作業によって各コイルの周回軸心部分とトランス部の
周壁部分に高透磁率部を有するトランス部を製造でき
る。

【００１８】請求項５の発明に係る製造方法では、高透
磁率グリーンシートに各コイルの周回軸心となる部分と
トランス部の周壁となる部分を残してキャビティを形成
し、該キャビティに低透磁率材を充填して積層用シート
を予め作成するようにしたので、簡単な積層作業によっ
て各コイルの周回軸心部分とトランス部の周壁部分に高
透磁率部を有するトランス部を製造できる。

【００１９】請求項６の発明に係る製造方法では、低透
磁率グリーンシートに各コイルの周回軸心となる部分に
キャビティを形成しておき、該シートを積層した後にキ
ャビティ連続による孔内に高透磁率材を充填するように
したので、各シート毎に高透磁率材を充填する場合に比
べてシート作成工数を短縮でき、各コイルの周回軸心部
分に高透磁率部を有するトランス部を製造できる。

【００２０】請求項７の発明に係る製造方法では、低透
磁率グリーンシートの各コイルの周回軸心となる部分と
トランス部の周壁となる部分にキャビティを形成してお
き、該シートを積層した後にキャビティ連続による孔内
に高透磁率材を充填するようにしたので、各シート毎に
高透磁率材を充填する場合に比べてシート作成工数を短
縮でき、各コイルの周回軸心部分とトランス部の周壁部
分に高透磁率部を有するトランス部を製造できる。

【００２１】請求項８の発明に係る製造方法では、スル
ーホール及びキャビティをレーザ光照射によって形成し
ているので、該スルーホール及びキャビティに高い位置
精度と形状精度を確保できる。

【００２２】

【実施例】図１〜図１９には、本発明を積層トランスに
適用した第１の実施例を示してある。

【００２３】図１は外部端子を省略した積層トランスの
断面図を示すもので、該積層トランスＳＴ１は、積層構
造の磁性体内の中央に１次コイルＬ１を、その上下に２
つの２次コイルＬ２を有しており、その外面に各コイル
Ｌ１，Ｌ２の両端と導通する図示省略の外部端子を有し
ている。中央の１次コイルＬ１は２＋３／８の周回を持
つコイル導体と２＋５／８の周回を持つコイル導体を左
右に連続して形成され、また上側の２次コイルＬ２は２
＋５／８の周回を持つコイル導体と同周回のコイル導体
を左右に連続して形成され、更に下側の２次コイルＬ２
は２＋５／８の周回を持つコイル導体と２＋３／８の周
回を持つコイル導体を左右に連続して形成されており、
各コイルＬ１，Ｌ２は互いに上下に対向している。この
積層トランスＳＴ１は、各コイルＬ１，Ｌ２を上下を高
透磁率部μＨで挟まれた低透磁率部μＬ内に埋設され、
各コイルＬ１，Ｌ２の周回軸心部分に非接触状態で高透
磁率部μＨを形成されている。

【００２４】次に、上記積層トランスＳＴ１の製造方法
について説明する。まず、製造に先だって図２に示した
１〜２１のシートを予め用意する。図３〜図１６には説
明上１部品に対応した各シートの上面図を示してある
が、実際の各シートは数十から数百の部品に対応する大
きさを有しており、スルーホール，導体パターン等も取
得部品個数分だけ形成されている。

【００２５】１及び２１のシートは積層トランスの上層
及び下層に当たるものである。図２には積層済みのもの
を示してあるが、実際は積層工程で計２０枚が順次積み
重ねられる。このシート１及び２１は、Ｎｉ−Ｚｎ系フ
ェライト粉末にバインダーを混合して調製した高透磁率
スラリーＳ１を用い、ドクターブレード法によってＰＥ
Ｔ等のベースシート上に厚さ約６０μｍのグリーンシー
トＧＳ１を形成することで作成される。

【００２６】２〜６と８〜１２と１４〜２０のシートは
積層トランスのコイル層に当たるものである。ここでシ
ート２を例とし、図１７〜図１９を参照してこれらシー
トの作成方法について説明する。まず、Ｎｉ−Ｚｎ系フ
ェライト粉末にバインダーを混合して調製した低透磁率
スラリーＳ２を用い、ドクターブレード法によってＰＥ
Ｔ等のベースシートＢＳ上に厚さ約５０μｍのグリーン
シートＧＳ２を形成する。ついで、レーザ光照射、詳し
くはＹＡＧ等のレーザ光源から発振されたノーマルパル
スのレーザ光を所定の透光部を有するマスクに照射して
該透光部を通過した光をレンズで集光して所定の結像比
で照射する方法によって、グリーンシートＧＳ２の各コ
イルの周回軸心となる部分に矩形状のキャビティＣを、
該キャビティＣの外側所定位置にスルーホールＨを夫々
貫通形成する（図１７）。ついで、スクリーン印刷等の
方法によって、キャビティＣ内に上記同様の高透磁率ス
ラリーＳ１或いはシート状のものを充填する（図１
８）。ついで、ＡｇまたはＡｇ−Ｐｄ粉末にバインダー
及び溶剤を混合して調製した導体ペーストを用い、スク
リーン印刷等の方法によって、グリーンシートＧＳ２上
にその接続端部がスルーホールＨに重なるように所定形
状の導体パターンＰを形成する（図１９）。尚、シート
６，１２及び２０はコイル層の最下位に位置するもので
あるため、これらシートには上記のようなスルーホール
は形成されない。

【００２７】７及び１３のシートは積層トランスのコイ
ル中間層に当たるものである。図２には積層済みのもの
を示してあるが、実際は積層工程で計６枚が順次積み重
ねられる。ここで同シートの作成方法について説明す
る。まず、上記同様の低透磁率スラリーＳ２を用い、ド
クターブレード法によってＰＥＴ等のベースシート上に
厚さ約５０μｍのグリーンシートＧＳ２を形成する。つ
いで、上記同様のレーザ光照射によって、グリーンシー
トＧＳ２の各コイルの周回軸心となる部分に矩形状のキ
ャビティを貫通形成する。ついで、スクリーン印刷等の
方法によって、キャビティ内に上記の高透磁率スラリー
Ｓ１或いはシート状のものを充填する。

【００２８】製造に際しては、まず１のシートをベース
フィルムを剥しながら計２０枚積み重ね、その上に２〜
６のシートをベースフィルムを剥しながら順次積み重
ね、その上に７のシートをベースフィルムを剥しながら
計６枚積み重ねる。続いて、８〜１２のシートをベース
フィルムを剥しながら順次積み重ね、その上に１３のシ
ートをベースフィルムを剥しながら計６枚積み重ねる。
続いて、１４〜２０のシートをベースフィルムを剥しな
がら順次積み重ね、その上に２１のシートをベースフィ
ルムを剥しながら計２０枚積み重ねる。

【００２９】積層後はこれを熱圧着し、該積層体を部品
寸法に切断する。切断後はこれらを大気中約５００℃で
脱バイし、同様に約９００℃で焼成する。焼成後は各積
層チップの外面所定位置に外部端子用の導体ペーストを
塗布し、大気中で約６００℃で焼き付ける。以上で図１
に示した積層トランスＳＴ１の製造を完了する。

【００３０】本実施例の積層トランスＳＴ１では、各コ
イルＬ１，Ｌ２を低透磁率部μＬに埋設し、且つその周
回軸心部分に高透磁率部μＨを形成してあるので、コイ
ル周回方向への漏れ磁束を抑制して１次コイルＬ１と２
次コイルＬ２との間に高い結合係数を確保でき、トラン
スとしての電気特性を向上させることができる。

【００３１】また、上述の製造方法によれば、低透磁率
グリーンシートＧＳの各コイルの周回軸心となる部分に
矩形状のキャビティＣを形成し、該キャビティＣに高透
磁率スラリーＳ１或いはシート状のものを充填してコイ
ル層及び中間層用のシートを予め作成するようにしたの
で、簡単な積層作業によって上記の積層トランスＳＴ
１、即ち各コイルＬ１，Ｌ２の周回軸心部分に高透磁率
部μＨを有する積層トランスＳＴ１を高い生産性下で効
率よく製造することができる。

【００３２】図２１〜図３９には、本発明を積層トラン
スに適用した第２の実施例を示してある。

【００３３】図２１は外部端子を省略した積層トランス
の断面図を示すもので、該積層トランスＳＴ２は、第１
実施例と同様、積層構造の磁性体内の中央に１次コイル
Ｌ１を、その上下に２つの２次コイルＬ２を有してお
り、その外面に各コイルＬ１，Ｌ２の両端と導通する図
示省略の外部端子を有している。各コイルＬ１，Ｌ２の
周回数及び形態は第１実施例と同様であるためここでの
説明は省略する。この積層トランスＳＴ２は、各コイル
Ｌ１，Ｌ２を上下を高透磁率部μＨで挟まれた低透磁率
部μＬ内に埋設され、各コイルＬ１，Ｌ２の周回軸心部
分に非接触状態で高透磁率部μＨを形成されると共に、
積層トランスの周壁部分にコイル導体Ｌ１，Ｌ２全体を
包囲するように非接触状態で高磁性体部μＨを形成され
ている。

【００３４】次に、上記積層トランスＳＴ２の製造方法
について説明する。まず、製造に先だって図２２に示し
た３１〜５１のシートを予め用意する。図２３〜図３６
には説明上１部品に対応した各シートの上面図を示して
あるが、実際の各シートは数十から数百の部品に対応す
る大きさを有しており、スルーホール，導体パターン等
も取得部品個数分だけ形成されている。

【００３５】３１及び５１のシートは積層トランスの上
層及び下層に当たるものである。図２２には積層済みの
ものを示してあるが、実際は積層工程で計２０枚が順次
積み重ねられる。このシート３１及び５１は、Ｎｉ−Ｚ
ｎ系フェライト粉末にバインダーを混合して調製した高
透磁率スラリーＳ１を用い、ドクターブレード法によっ
てＰＥＴ等のベースシート上に厚さ約６０μｍのグリー
ンシートＧＳ１を形成することで作成される。

【００３６】３２〜３６と３８〜４２と４４〜５０のシ
ートは積層トランスのコイル層に当たるものである。こ
こでシート３２を例とし、図３７〜図３９を参照してこ
れらシートの作成方法について説明する。まず、Ｎｉ−
Ｚｎ系フェライト粉末にバインダーを混合して調製した
低透磁率スラリーＳ２を用い、ドクターブレード法によ
ってＰＥＴ等のベースシートＢＳ上に厚さ約５０μｍの
グリーンシートＧＳ２を形成する。ついで、上記同様の
レーザ光照射によって、グリーンシートＧＳ２の各コイ
ルの周回軸心となる部分に矩形状のキャビティＣ１を、
また積層トランスの周壁となる部分に環状のキャビティ
Ｃ２を夫々貫通形成し、更に両キャビティＣ１，Ｃ２間
の所定位置にスルーホールＨを貫通形成する（図３
７）。ついで、スクリーン印刷等の方法によって、両キ
ャビティＣ１，Ｃ２内に上記同様の高透磁率スラリーＳ
１或いはシート状のものを充填する（図３８）。つい
で、上記同様の導体ペーストを用い、スクリーン印刷等
の方法によって、グリーンシートＧＳ２上にその接続端
部がスルーホールＨに重なるように所定形状の導体パタ
ーンＰを形成する（図３９）。尚、シート３６，４２及
び５０はコイル層の最下位に位置するものであるため、
これらシートには上記のようなスルーホールは形成され
ない。

【００３７】３７及び４３のシートは積層トランスのコ
イル中間層に当たるものである。図２には積層済みのも
のを示してあるが、実際は積層工程で計６枚が順次積み
重ねられる。ここで同シートの作成方法について説明す
る。まず、上記同様の低透磁率スラリーＳ２を用い、ド
クターブレード法によってＰＥＴ等のベースシート上に
厚さ約５０μｍのグリーンシートＧＳ２を形成する。つ
いで、上記同様のレーザ光照射によって、グリーンシー
トＧＳ２の各コイルの周回軸心となる部分に矩形状のキ
ャビティを、積層トランスの周壁となる部分に環状のキ
ャビティを夫々キャビティを貫通形成する。ついで、ス
クリーン印刷等の方法によって、両キャビティ内に上記
同様の高透磁率スラリーＳ１或いはシート状のものを充
填する。

【００３８】製造に際しては、まず３１のシートをベー
スフィルムを剥しながら計２０枚積み重ね、その上に３
２〜３６のシートをベースフィルムを剥しながら順次積
み重ね、その上に３７のシートをベースフィルムを剥し
ながら計６枚積み重ねる。続いて、３８〜４２のシート
をベースフィルムを剥しながら順次積み重ね、その上に
４３のシートをベースフィルムを剥しながら計６枚積み
重ねる。続いて、４４〜５０のシートをベースフィルム
を剥しながら順次積み重ね、その上に５１のシートをベ
ースフィルムを剥しながら計２０枚積み重ねる。

【００３９】積層後はこれを熱圧着し、該積層体を部品
寸法に切断する。切断後はこれらを大気中約５００℃で
脱バイし、同様に約９００℃で焼成する。焼成後は各積
層チップの外面所定位置に外部端子用の導体ペーストを
塗布し、大気中で約６００℃で焼き付ける。以上で図１
に示した積層トランスＳＴ１の製造を完了する。

【００４０】本実施例の積層トランスＳＴ２では、各コ
イルＬ１，Ｌ２を低透磁率部μＬに埋設し、且つその周
回軸心部分及び積層トランスの周壁部分に高透磁率部μ
Ｈを形成してあるので、周回軸心部分のみを高透磁率部
とした第１実施例に比べてトコイル周回方向への漏れ磁
束を抑制して１次コイルＬ１と２次コイルＬ２との間に
より高い結合係数を確保でき、トランスとしての電気特
性を格段向上させることができる。

【００４１】また、上述の製造方法によれば、低透磁率
グリーンシートＧＳの各コイルの周回軸心となる部分に
矩形状のキャビティＣ１を、積層トランスの周壁となる
部分に環状のキャビティＣ２を夫々形成し、両キャビテ
ィＣ１，Ｃ２に高透磁率スラリーＳ１或いはシート状の
ものを充填してコイル層及び中間層用のシートを予め作
成するようにしたので、簡単な積層作業によって上記の
積層トランスＳＴ２、即ち各コイルＬ１，Ｌ２の周回軸
心部分と積層トランスの周壁部分に高透磁率部μＨを有
する積層トランスＳＴ２を高い生産性下で効率よく製造
することができる。

【００４２】尚、本実施例における３２〜３６と３８〜
４２と４４〜５０のシートは下記の方法によっても作成
することができる。この作成方法をシート３２を例とし
図４０〜図４２を参照して説明すると、まず上記同様の
高透磁率スラリーＳ１を用い、ドクターブレード法によ
ってＰＥＴ等のベースシートＢＳ上に厚さ約５０μｍの
グリーンシートＧＳ１を形成する。ついで、上記同様の
レーザ光照射によって、グリーンシートＧＳ１にキャビ
ティＣ３を貫通形成し、各コイルの周回軸心となる部分
を矩形状に、また積層トランスの周壁となる部分を環状
に夫々残す（図４０）。ついで、スクリーン印刷等の方
法によって両キャビティＣ１，Ｃ２内に上記同様の低透
磁率スラリーＳ２或いはシート状のものを充填し、そし
て金型打ち抜き或いはレーザ光照射等の方法によって、
充填された低透磁率材の所定位置にスルーホールＨを貫
通形成する（図４１）。ついで、上記同様の導体ペース
トを用い、スクリーン印刷等の方法によって、グリーン
シートＧＳ２上にその接続端部がスルーホールＨに重な
るように所定形状の導体パターンＰを形成する（図４
２）。勿論、３７及び４３のシートに上記同様の作成方
法を利用してもよく、また第１実施例におけるコイル層
及びコイル中間層のシートに上記同様の作成方法を利用
してもよい。

【００４３】図４３及び図４４には、本発明を積層トラ
ンスに適用した第３の実施例を示してある。

【００４４】図４３は外部端子を省略した積層トランス
の断面図を示すもので、該積層トランスＳＴ３は、積層
構造の磁性体内の左右に１次コイルＬ１と２次コイルＬ
２を並設されており、その外面に各コイルＬ１，Ｌ２の
両端と導通する図示省略の外部端子を有している。この
積層トランスＳＴ３は、第１実施例と同様、各コイルＬ
１，Ｌ２を上下を高透磁率部μＨで挟まれた低透磁率部
μＬ内に埋設され、各コイルＬ１，Ｌ２の周回軸心部分
に非接触状態で高透磁率部μＨを形成されている。

【００４５】次に、上記積層トランスＳＴ３の製造方法
について説明する。

【００４６】まず、製造に先だって図４４に示したＧＳ
１，ＧＳ２のシートを予め用意する。図４４には説明上
１部品に対応した各シートの断面図を示してあるが、実
際の各シートは数十から数百の部品に対応する大きさを
有しており、スルーホール，導体パターン等も取得部品
個数分だけ形成されている。

【００４７】ＧＳ１のシートは積層トランスの上層及び
下層に当たるもので、該シートＧＳ１は、上記同様の高
透磁率スラリーを用い、ドクターブレード法によってＰ
ＥＴ等のベースシート上に形成され約６０μｍの厚さを
有している。

【００４８】ＧＳ２のシートは積層トランスのコイル層
に当たるもので、該シートＧＳ２は、上記同様の低透磁
率スラリーを用い、ドクターブレード法によってＰＥＴ
等のベースシート上に形成され約５０μｍの厚さを有し
ている。このシートＧＳ２には、上記同様のレーザ光照
射によって、各コイルの周回軸心となる部分に矩形状の
キャビティＣが、該キャビティＣの外側所定位置にスル
ーホールが夫々貫通形成されており、またスクリーン印
刷等の方法により所定形状の導体パターンＰがその接続
端部がスルーホールに重なるように形成されている。

【００４９】製造に際しては、まずＧＳ１のシートをベ
ースフィルムを剥しながら所定枚数（図中は６枚）積み
重ね、その上にＧＳ２のシートをベースフィルムを剥し
ながら順次積み重ねる。同状態ではシートＧＳ２のキャ
ビティＣが上下に連続し、各コイルの周回軸心となる部
分にシートＧＳ１を底面とした縦長孔が形成される。つ
いで、この縦長孔にディスペンサ等によって上記同様の
高透磁率スラリーを充填、或いはシート状のものを充填
する（図中太線矢印参照）。ついで、その上にＧＳ１の
シートをベースフィルムを剥しながら所定枚数（図中は
６枚）積み重ねる。尚、縦長孔への高透磁率材の充填
は、該縦長孔の寸法に合わせて予め作成しておいた高透
磁率の棒状磁性体を挿入する方法でも代用できる。

【００５０】積層後はこれを熱圧着し、該積層体を部品
寸法に切断する。切断後はこれらを大気中約５００℃で
脱バイし、同様に約９００℃で焼成する。焼成後は各積
層チップの外面所定位置に外部端子用の導体ペーストを
塗布し、大気中で約６００℃で焼き付ける。以上で図１
に示した積層トランスＳＴ３の製造を完了する。

【００５１】本実施例の積層トランスＳＴ３では、コイ
ルＬ１，Ｌ２を低透磁率部μＬに埋設し、且つその周回
軸心部分に高透磁率部μＨを形成してあるので、コイル
周回方向への漏れ磁束を抑制して１次コイルＬ１と２次
コイルＬ２との間に高い結合係数を確保でき、トランス
としての電気特性を向上させることができる。

【００５２】また、上述の製造方法によれば、低透磁率
グリーンシートＧＳ１の各コイルの周回軸心となる部分
に矩形状のキャビティＣを形成してコイル層用のシート
を形成し、積層途中でキャビティ連続による孔内に高透
磁率材を充填するようにしているので、各シート毎に高
透磁率材を充填する場合に比べてシート作成工数を短縮
することができ、上記の積層トランスＳＴ３、即ち各コ
イルＬ１，Ｌ２の周回軸心部分に高透磁率部μＨを有す
る積層トランスＳＴ３を高い生産性下で効率よく製造す
ることができる。

【００５３】尚、本実施例では、積層トランスのコイル
層に当たる各シートＧＳ２のみにキャビティＣを形成し
たものを示したが、積層トランスの最上層に当たる各シ
ートＧＳ１、或いは上層及び下層に当たる各シートＧＳ
１に同様のキャビティを形成し、積層工程終了後にキャ
ビティ連続による孔内に高透磁率材を充填するようにし
てもよい。また、第２実施例と同様に各シートＧＳ２の
積層トランスの周壁となる部分に同様のキャビティを形
成し、積層工程終了後にキャビティ連続による孔内に高
透磁率材を充填して、積層トランスの周壁部分にも高透
磁率部を形成するようにしてもよい。

【００５４】以上、第１〜第３の実施例では何れも積層
トランスに本発明に適用した例を説明したが、各シート
に形成されるキャビティの形状はコイル導体の周回形状
に応じて種々変更可能であり、また本発明は例示した積
層トランスに限らず、同様の積層構造のトランス部を備
えた積層型電子部品、例えば積層複合部品，積層混成集
積回路等に幅広く適用でき同様の効果を得ることができ
る。

【００５５】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１の発明に
よれば、各コイル導体を低透磁率部に埋設し、且つその
周回軸心部分及びトランス部の周壁部分に高透磁率部を
形成してあるので、トランス部におけるコイル周回方向
への漏れ磁束を抑制してコイル間により高い結合係数を
確保でき、トランス部としての電気特性を格段向上させ
ることができる。

【００５６】請求項２の発明によれば、低透磁率グリー
ンシートの各コイルの周回軸心となる部分にキャビティ
を形成し、該キャビティに高透磁率材を充填して積層用
シートを予め作成するようにしたので、簡単な積層作業
により各コイルの周回軸心部分に高透磁率部を有するト
ランス部を効率よく製造することができ、ひいては該ト
ランス部を備えた積層型電子部品の生産性を高めること
ができる。

【００５７】請求項３の発明によれば、高透磁率グリー
ンシートに各コイルの周回軸心となる部分を残してキャ
ビティを形成し、該キャビティに低透磁率材を充填して
積層用シートを予め作成するようにしたので、簡単な積
層作業により各コイルの周回軸心部分に高透磁率部を有
するトランス部を効率よく製造することができ、ひいて
は該トランス部を備えた積層型電子部品の生産性を高め
ることができる。

【００５８】請求項４の発明によれば、低透磁率グリー
ンシートの各コイルの周回軸心となる部分にキャビティ
を、トランス部の周壁となる部分にキャビティを夫々形
成し、両キャビティに高透磁率材を充填して積層用シー
トを予め作成するようにしたので、簡単な積層作業によ
り各コイルの周回軸心部分とトランス部の周壁部分に高
透磁率部を有するトランス部を効率よく製造することが
でき、ひいては該トランス部を備えた積層型電子部品の
生産性を高めることができる。

【００５９】請求項５の発明によれば、高透磁率グリー
ンシートに各コイルの周回軸心となる部分とトランス部
の周壁となる部分を残してキャビティを形成し、該キャ
ビティに低透磁率材を充填して積層用シートを予め作成
するようにしたので、簡単な積層作業により各コイルの
周回軸心部分とトランス部の周壁部分に高透磁率部を有
するトランス部を効率よく製造することができ、ひいて
は該トランス部を備えた積層型電子部品の生産性を高め
ることができる。

【００６０】請求項６の発明によれば、低透磁率グリー
ンシートに各コイルの周回軸心となる部分にキャビティ
を形成しておき、該シートを積層した後にキャビティ連
続による孔内に高透磁率材を充填するようにしたので、
各シート毎に高透磁率材を充填する場合に比べてシート
作成工数を短縮して、各コイルの周回軸心部分に高透磁
率部を有するトランス部を効率よく製造することがで
き、ひいては該トランス部を備えた積層型電子部品の生
産性を高めることができる。

【００６１】請求項７の発明によれば、低透磁率グリー
ンシートの各コイルの周回軸心となる部分とトランス部
の周壁となる部分にキャビティを形成しておき、該シー
トを積層した後にキャビティ連続による孔内に高透磁率
材を充填するようにしたので、各シート毎に高透磁率材
を充填する場合に比べてシート作成工数を短縮して、各
コイルの周回軸心部分とトランス部の周壁部分に高透磁
率部を有するトランス部を効率よく製造することがで
き、ひいては該トランス部を備えた積層型電子部品の生
産性を高めることができる。請求項８の発明によれば、
スルーホール及びキャビティに高い位置精度と形状精度
を確保することができ、上記の製造を安定化させて生産
性向上に大きく貢献できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す積層トランスＳＴ１
の断面図

【図２】積層用シート１〜２１の全体斜視図

【図３】シート１及び２１の上面図

【図４】シート２の上面図

【図５】シート３及び５の上面図

【図６】シート４の上面図

【図７】シート６の上面図

【図８】シート７及び１３の上面図

【図９】シート８の上面図

【図１０】シート９及び１１の上面図

【図１１】シート１０の上面図

【図１２】シート１２の上面図

【図１３】シート１４の上面図

【図１４】シート１５，１７及び１９の上面図

【図１５】シート１６及び１８の上面図

【図１６】シート２０の上面図

【図１７】シート２の作成手順を示す斜視図

【図１８】同斜視図

【図１９】同斜視図

【図２０】従来例を示す積層トランスの断面図

【図２１】本発明の第２実施例を示す積層トランスＳＴ
２の断面図

【図２２】積層用シート３１〜５１の全体斜視図

【図２３】シート３１及び５１の上面図

【図２４】シート３２の上面図

【図２５】シート３３及び３５の上面図

【図２６】シート３４の上面図

【図２７】シート３６の上面図

【図２８】シート３７及び４３の上面図

【図２９】シート３８の上面図

【図３０】シート３９及び４１の上面図

【図３１】シート４０の上面図

【図３２】シート４２の上面図

【図３３】シート４４の上面図

【図３４】シート４５，４７及び４９の上面図

【図３５】シート４６及び４８の上面図

【図３６】シート５０の上面図

【図３７】シート２２の作成手順を示す斜視図

【図３８】同斜視図

【図３９】同斜視図

【図４０】シート２２の他の作成手順を示す斜視図

【図４１】同斜視図

【図４２】同斜視図

【図４３】本発明の第３実施例を示す積層トランスＳＴ
３の断面図

【図４４】製造方法説明用の断面図

【符号の説明】

ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３…積層トランス、Ｌ１…１次コ
イル、Ｌ２…２次コイル、μＨ…高透磁率部、μＬ…低
透磁率部、１〜２１…積層用シート、ＧＳ１…高透磁率
グリーンシート、Ｓ１…高透磁率スラリー、ＧＳ２…低
透磁率グリーンシート、Ｓ２…低透磁率スラリー、Ｐ…
導体パターン、Ｃ…キャビティ、Ｈ…スルーホール。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のコイル導体を有する積層構造のト
   ランス部を備えた積層型電子部品において、 上記各コイル導体を上下を高透磁率部で挟まれた低透磁
   率部内に埋設し、 各コイル導体の周回軸心部分に高磁性体部を形成すると
   共に、 トランス部の周壁部分にコイル導体全体を包囲するよう
   に高磁性体部を形成した、 ことを特徴とする積層型電子部品。
2. 【請求項２】 複数枚のグリーンシートにスルーホール
   及びコイル用導体パターンを夫々形成し、これらをカバ
   ー用のグリーンシートと共に所定の順序で上下に積層し
   て、複数のコイル導体を有する積層構造のトランス部を
   得る工程を具備した積層型電子部品の製造方法におい
   て、 コイル用導体パターンが形成されるグリーンシートとし
   て低透磁率のものを使用し、 該低透磁率グリーンシートの各コイル導体の周回軸心と
   なる部分にキャビティを貫通形成して、 該キャビティに高透磁率材を充填した、 ことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
3. 【請求項３】 複数枚のグリーンシートにスルーホール
   及びコイル用導体パターンを夫々形成し、これらをカバ
   ー用のグリーンシートと共に所定の順序で上下に積層し
   て、複数のコイル導体を有する積層構造のトランス部を
   得る工程を具備した積層型電子部品の製造方法におい
   て、 コイル用導体パターンが形成されるグリーンシートとし
   て高透磁率のものを使用し、 該高透磁率グリーンシートに各コイル導体の周回軸心と
   なる部分が残るようにキャビティを貫通形成して、 該キャビティに低透磁率材を充填した、 ことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
4. 【請求項４】 複数枚のグリーンシートにスルーホール
   及びコイル用導体パターンを夫々形成し、これらをカバ
   ー用のグリーンシートと共に所定の順序で上下に積層し
   て、複数のコイル導体を有する積層構造のトランス部を
   得る工程を具備した積層型電子部品の製造方法におい
   て、 コイル用導体パターンが形成される磁性体シートとして
   低透磁率のものを使用し、 該低透磁率グリーンシートの各コイル導体の周回軸心と
   なる部分とトランス部の周壁となる部分にキャビティを
   貫通形成して、 該キャビティに高透磁率材を充填した、 ことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
5. 【請求項５】 複数枚のグリーンシートにスルーホール
   及びコイル用導体パターンを夫々形成し、これらをカバ
   ー用のグリーンシートと共に所定の順序で上下に積層し
   て、複数のコイル導体を有する積層構造のトランス部を
   得る工程を具備した積層型電子部品の製造方法におい
   て、 コイル用導体パターンが形成されるグリーンシートとし
   て高透磁率のものを使用し、 該高透磁率グリーンシートに各コイル導体の周回軸心と
   なる部分とトランス部の周壁となる部分が残るようにキ
   ャビティを貫通形成して、 該キャビティに低透磁率材を充填した、 ことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
6. 【請求項６】 複数枚のグリーンシートにスルーホール
   及びコイル用導体パターンを夫々形成し、これらをカバ
   ー用のグリーンシートと共に所定の順序で上下に積層し
   て、複数のコイル導体を有する積層構造のトランス部を
   得る工程を具備した積層型電子部品の製造方法におい
   て、 コイル用導体パターンが形成されるグリーンシートとし
   て低透磁率のものを使用し、 該低透磁率グリーンシートの各コイル導体の周回軸心と
   なる部分にキャビティを貫通形成して、 該低透磁率グリーンシートを積層した後にキャビティ連
   続による孔内に高透磁率材を充填した、 ことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
7. 【請求項７】 複数枚のグリーンシートにスルーホール
   及びコイル用導体パターンを夫々形成し、これらをカバ
   ー用のグリーンシートと共に所定の順序で上下に積層し
   て、複数のコイル導体を有する積層構造のトランス部を
   得る工程を具備した積層型電子部品の製造方法におい
   て、 コイル用導体パターンが形成されるグリーンシートとし
   て低透磁率のものを使用し、 該低透磁率グリーンシートの各コイル導体の周回軸心と
   なる部分とトランス部の周壁となる部分にキャビティを
   貫通形成して、 該低透磁率グリーンシートを積層した後にキャビティ連
   続による孔内に高透磁率材を充填した、 ことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
8. 【請求項８】 スルーホール及びキャビティをレーザ光
   照射により形成した、ことを特徴とする請求項２乃至７
   の何れか１項記載の積層型電子部品の製造方法。