JPH0674550A - ガラリ - Google Patents
ガラリInfo
- Publication number
- JPH0674550A JPH0674550A JP23009492A JP23009492A JPH0674550A JP H0674550 A JPH0674550 A JP H0674550A JP 23009492 A JP23009492 A JP 23009492A JP 23009492 A JP23009492 A JP 23009492A JP H0674550 A JPH0674550 A JP H0674550A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gallery
- louver
- pressure
- primary side
- air flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Air-Flow Control Members (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガラリの開口率を自動的に変化させ、ガラリ
の１次側圧力を常時一定範囲に保つ。 【構成】 静圧計４にてガラリＢの１次側の圧力を監視
し、その圧力を電気信号に変換してコントローラ３へ送
る。コントローラ３は圧力が一定範囲内に入るようにス
テッピングモータ２を稼動させ、突起部５を上下させて
歯１の角度を変えて、ガラリＢの開口率を変える。これ
により、ガラリＢの１次側圧力を常時一定範囲に保つこ
とができる。
の１次側圧力を常時一定範囲に保つ。 【構成】 静圧計４にてガラリＢの１次側の圧力を監視
し、その圧力を電気信号に変換してコントローラ３へ送
る。コントローラ３は圧力が一定範囲内に入るようにス
テッピングモータ２を稼動させ、突起部５を上下させて
歯１の角度を変えて、ガラリＢの開口率を変える。これ
により、ガラリＢの１次側圧力を常時一定範囲に保つこ
とができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ガラリに関し、特に
半導体工場のクリーンルームの静圧を自動制御する機能
を有するガラリに関する。
半導体工場のクリーンルームの静圧を自動制御する機能
を有するガラリに関する。
【０００２】
【従来の技術】図３で示すように、従来のガラリＡで
は、気流Ｐを抑制する各歯１０が固定された構造、もし
くは歯１０を手動で動かして角度を変え、ガラリＡの開
口率を変えることができる構造となっていた。
は、気流Ｐを抑制する各歯１０が固定された構造、もし
くは歯１０を手動で動かして角度を変え、ガラリＡの開
口率を変えることができる構造となっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の従来
のガラリＡは、ガラリＡの１次側の気圧をコントロール
する機能がないために、半導体工場等のクリーンルーム
の静圧を常時一定範囲に抑制することができず、クリー
ンルームと外部との差圧が規格値より外れるという欠点
があった。
のガラリＡは、ガラリＡの１次側の気圧をコントロール
する機能がないために、半導体工場等のクリーンルーム
の静圧を常時一定範囲に抑制することができず、クリー
ンルームと外部との差圧が規格値より外れるという欠点
があった。
【０００４】この場合、特に外部圧力の方がクリーンル
ーム内圧力よりも大きくなると、外部の塵挨がクリーン
ルーム内へ侵入し、塵挨汚染の問題となることがあっ
た。
ーム内圧力よりも大きくなると、外部の塵挨がクリーン
ルーム内へ侵入し、塵挨汚染の問題となることがあっ
た。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記問題点
を解決するため、気流を抑制するために設けたガラリに
おいて、静圧計に連動するステッピングモータにより歯
を自動回動させて開口率を自動的に変化させ、ガラリの
１次側の圧力を常時一定範囲に保つようにしたものであ
る。
を解決するため、気流を抑制するために設けたガラリに
おいて、静圧計に連動するステッピングモータにより歯
を自動回動させて開口率を自動的に変化させ、ガラリの
１次側の圧力を常時一定範囲に保つようにしたものであ
る。
【０００６】
【作用】上記の構成によると、ガラリの１次側圧力を監
視しながらコントローラとステッピングモータで各歯を
回動させるために、ガラリの開口率を自動的に変えるこ
とができ、ガラリの１次側圧力を常時一定範囲に保つこ
とができる。
視しながらコントローラとステッピングモータで各歯を
回動させるために、ガラリの開口率を自動的に変えるこ
とができ、ガラリの１次側圧力を常時一定範囲に保つこ
とができる。
【０００７】
【実施例】以下、この発明について図面を参照して説明
する。
する。
【０００８】図１に示すガラリＢにおいて、１は歯、２
はステッピングモータ、３はコントローラ、４は静圧
計、５は突起部である。
はステッピングモータ、３はコントローラ、４は静圧
計、５は突起部である。
【０００９】この実施例のガラリＢの動作を説明する
と、静圧計４にてガラリＢの１次側の圧力を監視し、そ
の圧力を電気信号に交換してコントローラ３へ送る。コ
ントローラ３は圧力が一定範囲内に入るようにステッピ
ングモータ２を稼動させ、突起部５を上下させて気流Ｐ
を制御する歯１の角度を変え、ガラリＢの開口率を変化
させる。これにより、ガラリＢの１次側圧力を常時一定
範囲に保つことができる。
と、静圧計４にてガラリＢの１次側の圧力を監視し、そ
の圧力を電気信号に交換してコントローラ３へ送る。コ
ントローラ３は圧力が一定範囲内に入るようにステッピ
ングモータ２を稼動させ、突起部５を上下させて気流Ｐ
を制御する歯１の角度を変え、ガラリＢの開口率を変化
させる。これにより、ガラリＢの１次側圧力を常時一定
範囲に保つことができる。
【００１０】一方、他の実施例について図２を用いて説
明する。
明する。
【００１１】図２に示すガラリＣにおいて、１は歯、２
はステッピングモータ、３はコントローラ、４は静圧
計、６は排気ダクト、７は異物混入防止メッシュであ
る。
はステッピングモータ、３はコントローラ、４は静圧
計、６は排気ダクト、７は異物混入防止メッシュであ
る。
【００１２】ガラリＣの動作原理については図１の場合
と同じであるが、排気ダクト６内の静圧制御に応用した
例である。このガラリＣの１次側を生産設備の排気部へ
接続させたとすると、前述の動作原理により、生産設備
排気静圧を常時一定範囲に自動的にコントロールでき
る。なお、図２に示すように、ガラリＣに異物が付着す
ることを防ぐために、異物混入防止メッシュ７を取り付
けることが望ましい。
と同じであるが、排気ダクト６内の静圧制御に応用した
例である。このガラリＣの１次側を生産設備の排気部へ
接続させたとすると、前述の動作原理により、生産設備
排気静圧を常時一定範囲に自動的にコントロールでき
る。なお、図２に示すように、ガラリＣに異物が付着す
ることを防ぐために、異物混入防止メッシュ７を取り付
けることが望ましい。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、この発明はガラリ
の１次側の圧力を自動制御することにより、例えばクリ
ーンルームと外部との差圧の管理が充実でき、差圧管理
工数も削減できる効果がある。
の１次側の圧力を自動制御することにより、例えばクリ
ーンルームと外部との差圧の管理が充実でき、差圧管理
工数も削減できる効果がある。
【図１】 この発明の一実施例であるガラリの斜視図。
【図２】 この発明のガラリの応用例を示す斜視図。
【図３】 従来のガラリの斜視図。
１ 歯 ２ ステッピングモータ ３ コントローラ ４ 静圧計 ５ 突起部 ６ 排気ダクト ７ 異物混入防止メッシュ Ｂ，Ｃ ガラリ
Claims (5)
- 【請求項１】気流を抑制するために設けたガラリにおい
て、開口率を自動的に変化させることにより、ガラリの
１次側の圧力を常時一定範囲に保つことを特徴とするガ
ラリ。 - 【請求項２】前記の開口率を変化させるために、歯を自
動回動させる機能を有することを特徴とする請求項１記
載のガラリ。 - 【請求項３】請求項１記載の気流を、クリーンルームの
清浄気流とすることを特徴とするガラリ。 - 【請求項４】請求上１記載の気流を、排気ダクト内の排
気の流れとすることを特徴とするガラリ。 - 【請求項５】請求項２記載の歯の自動回動を、静圧計に
連動するステッピングモータにて行うことを特徴とする
ガラリ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23009492A JPH0674550A (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | ガラリ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23009492A JPH0674550A (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | ガラリ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0674550A true JPH0674550A (ja) | 1994-03-15 |
Family
ID=16902461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23009492A Pending JPH0674550A (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | ガラリ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0674550A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5564229A (en) * | 1995-11-08 | 1996-10-15 | Noska; Carl H. | Half circle window covering |
| US6660372B1 (en) | 1999-03-29 | 2003-12-09 | Dainichiseika Color & Chemicals Mfg. Co., Ltd. | Resin composition for a non-woven fabric-like design and process for producing a molded article of a resin having a non-woven fabric like design |
| JP2015102276A (ja) * | 2013-11-25 | 2015-06-04 | トヨタホーム株式会社 | 送風設備の吸音構造 |
| CN107218669A (zh) * | 2016-03-22 | 2017-09-29 | 深圳市信宜特科技有限公司 | 一种一体化节能除湿加热装置 |
-
1992
- 1992-08-28 JP JP23009492A patent/JPH0674550A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5564229A (en) * | 1995-11-08 | 1996-10-15 | Noska; Carl H. | Half circle window covering |
| US6660372B1 (en) | 1999-03-29 | 2003-12-09 | Dainichiseika Color & Chemicals Mfg. Co., Ltd. | Resin composition for a non-woven fabric-like design and process for producing a molded article of a resin having a non-woven fabric like design |
| JP2015102276A (ja) * | 2013-11-25 | 2015-06-04 | トヨタホーム株式会社 | 送風設備の吸音構造 |
| CN107218669A (zh) * | 2016-03-22 | 2017-09-29 | 深圳市信宜特科技有限公司 | 一种一体化节能除湿加热装置 |
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