JPH05332588A - クリーンルーム空気調和システム - Google Patents
クリーンルーム空気調和システムInfo
- Publication number
- JPH05332588A JPH05332588A JP14386992A JP14386992A JPH05332588A JP H05332588 A JPH05332588 A JP H05332588A JP 14386992 A JP14386992 A JP 14386992A JP 14386992 A JP14386992 A JP 14386992A JP H05332588 A JPH05332588 A JP H05332588A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- operator
- clean room
- hepa filter
- fan
- worker
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】クリーンルーム内の作業者からの発塵を降下風
速を高めることにより短時間で収束させる機能を持つ空
調システムにおいて、局所的に降下風速を高めることに
よって作業者不在時の不経済運転を防ぐ。 【構成】反射式赤外線センサ１３とファン付ＨＥＰＡフ
ィルタ１６とモータシャッタ１８を有する穴明きアクセ
スフロア１７及び制御盤１４を設け、センサ１３が作業
者１１を検知した時制御盤１４からの指令でファン付Ｈ
ＥＰＡフィルタ１６のファンの回転数が上がり、また、
それに応じた分だけ穴明きアクセスフロア１７のモータ
シャッタ１８の開度が大きくなることにより、作業者１
１の存在している場所だけの降下風速が上がる。
速を高めることにより短時間で収束させる機能を持つ空
調システムにおいて、局所的に降下風速を高めることに
よって作業者不在時の不経済運転を防ぐ。 【構成】反射式赤外線センサ１３とファン付ＨＥＰＡフ
ィルタ１６とモータシャッタ１８を有する穴明きアクセ
スフロア１７及び制御盤１４を設け、センサ１３が作業
者１１を検知した時制御盤１４からの指令でファン付Ｈ
ＥＰＡフィルタ１６のファンの回転数が上がり、また、
それに応じた分だけ穴明きアクセスフロア１７のモータ
シャッタ１８の開度が大きくなることにより、作業者１
１の存在している場所だけの降下風速が上がる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルーム空気調和
システムに関し、特にセンサにより作業者を検知し、そ
の作業者付近の降下風速を上げる機能を備えるクリーン
ルーム空気調和システムに関する。
システムに関し、特にセンサにより作業者を検知し、そ
の作業者付近の降下風速を上げる機能を備えるクリーン
ルーム空気調和システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のクリーンルーム空調システムで
は、作業者の有無にかかわらず降下風速は一定であり、
作業者からの発塵の早期収束を目的として、生産設備の
作業面付近の降下風速を高速化した方式のものでは、図
３の断面図に示すようにサプライプレナムチャンバを高
速用サプライプレナムチャンバ３１と低速用サプライプ
レナムチャンバ３２とに分離し、それぞれ高速用ボリュ
ウムダンパ３３，低速用ボリュウムダンパ３４により空
調機４１からの空気の風量調節を行ない、ＨＥＰＡフィ
ルタ４２を介してその作業室内の降下風速を生産設備４
０付近の高風速エリア３５と生産設備４０から離れた低
風速エリア３６とに分けている。
は、作業者の有無にかかわらず降下風速は一定であり、
作業者からの発塵の早期収束を目的として、生産設備の
作業面付近の降下風速を高速化した方式のものでは、図
３の断面図に示すようにサプライプレナムチャンバを高
速用サプライプレナムチャンバ３１と低速用サプライプ
レナムチャンバ３２とに分離し、それぞれ高速用ボリュ
ウムダンパ３３，低速用ボリュウムダンパ３４により空
調機４１からの空気の風量調節を行ない、ＨＥＰＡフィ
ルタ４２を介してその作業室内の降下風速を生産設備４
０付近の高風速エリア３５と生産設備４０から離れた低
風速エリア３６とに分けている。
【０００３】また、降下風速を分けたことにより、層流
を保つために穴開きアクセスフロア３７に付属している
シャッタ３８，３９の開口率を高速用と低速用とにあら
かじめ別々に設定しており、常に一定層流の状態になる
ようにしている。
を保つために穴開きアクセスフロア３７に付属している
シャッタ３８，３９の開口率を高速用と低速用とにあら
かじめ別々に設定しており、常に一定層流の状態になる
ようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来のクリーンル
ーム空調システムでは、高風速エリアにおいても作業者
の有無にかかわらず降下風速を一定に保持しているた
め、作業者不在の場合にも作業室内高風速エリア全体が
高風速運転を余儀なくされており、そのほとんどが主要
発塵源である作業者からの発塵の早期収束という本来の
目的を達成しないまま不経済な運転状態となっている。
ーム空調システムでは、高風速エリアにおいても作業者
の有無にかかわらず降下風速を一定に保持しているた
め、作業者不在の場合にも作業室内高風速エリア全体が
高風速運転を余儀なくされており、そのほとんどが主要
発塵源である作業者からの発塵の早期収束という本来の
目的を達成しないまま不経済な運転状態となっている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のクリーンルーム
空調システムは、作業室内の作業者の有無を検知するセ
ンサと、センサからの信号に応じて垂直層流を保持した
まま降下風速を増減可能な制御盤と、ファン付ＨＥＰＡ
フィルタと、モータシャッタ付穴明きアクセスフロアと
を備えている。
空調システムは、作業室内の作業者の有無を検知するセ
ンサと、センサからの信号に応じて垂直層流を保持した
まま降下風速を増減可能な制御盤と、ファン付ＨＥＰＡ
フィルタと、モータシャッタ付穴明きアクセスフロアと
を備えている。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の第１のクリーンルーム空調システム
の断面図である。
る。図１は本発明の第１のクリーンルーム空調システム
の断面図である。
【０００７】生産設備１２の近傍の壁面に反射式赤外線
センサ１３があり、天井にはファン付ＨＥＰＡフィルタ
１６、床面の穴明きアクセスフロア１７にはモータシャ
ッタ１８が取り付けてあり、これらは制御盤１４により
動作を制御される。
センサ１３があり、天井にはファン付ＨＥＰＡフィルタ
１６、床面の穴明きアクセスフロア１７にはモータシャ
ッタ１８が取り付けてあり、これらは制御盤１４により
動作を制御される。
【０００８】次にこれらの動作について説明する。ま
ず、作業者１１が生産設備１２の前面で作業をしていな
い通常時には、反射式赤外線センサ１３は作業者検知信
号を制御盤１４に出力しないため、制御盤１４に内蔵さ
れたインバータ１５は生産設備１２の作業面直上に設置
されたファン付ＨＥＰＡフィルタ１６に一定周波数の電
力を送電し、その周波数に応じた回転数でファンが回転
し、空調機１９から送られた空気はクリーンルーム内へ
一定速度の気流となってダウンフローしている。この
時、ファンに送電されている電源周波数は、ファン付Ｈ
ＥＰＡフィルタ１６に隣接するＨＥＰＡフィルタ２０か
らの降下風速と同じとなる様に設定されている。
ず、作業者１１が生産設備１２の前面で作業をしていな
い通常時には、反射式赤外線センサ１３は作業者検知信
号を制御盤１４に出力しないため、制御盤１４に内蔵さ
れたインバータ１５は生産設備１２の作業面直上に設置
されたファン付ＨＥＰＡフィルタ１６に一定周波数の電
力を送電し、その周波数に応じた回転数でファンが回転
し、空調機１９から送られた空気はクリーンルーム内へ
一定速度の気流となってダウンフローしている。この
時、ファンに送電されている電源周波数は、ファン付Ｈ
ＥＰＡフィルタ１６に隣接するＨＥＰＡフィルタ２０か
らの降下風速と同じとなる様に設定されている。
【０００９】次に作業者１１が作業のため生産設備１２
に接近する作業時には、反射式赤外線センサ１３が作業
者を検知し、信号を制御盤１４へ出力し、作業者１１直
上のファン付ＨＥＰＡフィルタ１６へのインバータ１５
からの出力周波数が増加する。その結果、ファン付ＨＥ
ＰＡフィルタ１６のファンの回転数が増加し、作業者１
１付近の降下風速が大きくなる。
に接近する作業時には、反射式赤外線センサ１３が作業
者を検知し、信号を制御盤１４へ出力し、作業者１１直
上のファン付ＨＥＰＡフィルタ１６へのインバータ１５
からの出力周波数が増加する。その結果、ファン付ＨＥ
ＰＡフィルタ１６のファンの回転数が増加し、作業者１
１付近の降下風速が大きくなる。
【００１０】また、風速の増大に対応し、気流垂直度の
乱れを防止するため、ファン付ＨＥＰＡフィルタ１６直
下の穴明アクセスフロア１７に付属するモータシャッタ
１８の開度が大きくなる様制御される。作業終了後、作
業者１１が生産設備１２から離れると、赤外線センサ１
３が作業者無しを検知し通常状態にもどる。
乱れを防止するため、ファン付ＨＥＰＡフィルタ１６直
下の穴明アクセスフロア１７に付属するモータシャッタ
１８の開度が大きくなる様制御される。作業終了後、作
業者１１が生産設備１２から離れると、赤外線センサ１
３が作業者無しを検知し通常状態にもどる。
【００１１】次に本発明の第２の実施例につき図面を参
照して説明する。図２は本発明の第２の実施例のクリー
ンルームの断面図である。クリーンルーム作業室内に設
置されている生産設備２２の上方の天井フィルタ支持フ
レームに赤外線センサ２３が設置されており、このセン
サ付近にファン付ＨＥＰＡフィルタ２６、その直下の床
面の穴明きアクセスフロア２７にはモータシャッタ２８
が取り付けてあり、これらは制御盤２４により動作を制
御される。なお、第１実施例と同様制御盤２４にはイン
バータ２５が内蔵され、ファン付ＨＥＰＡフィルタ２６
には隣接してＨＥＰＡフィルタ３０が設けられている。
照して説明する。図２は本発明の第２の実施例のクリー
ンルームの断面図である。クリーンルーム作業室内に設
置されている生産設備２２の上方の天井フィルタ支持フ
レームに赤外線センサ２３が設置されており、このセン
サ付近にファン付ＨＥＰＡフィルタ２６、その直下の床
面の穴明きアクセスフロア２７にはモータシャッタ２８
が取り付けてあり、これらは制御盤２４により動作を制
御される。なお、第１実施例と同様制御盤２４にはイン
バータ２５が内蔵され、ファン付ＨＥＰＡフィルタ２６
には隣接してＨＥＰＡフィルタ３０が設けられている。
【００１２】その動作は、赤外線センサ２３により作業
者２１を検知し、空調機２９からの送られた空気はファ
ン付ＨＥＰＡフィルタ２６のファンの回転数を上げて降
下風速を大きくし、穴明きアクセスフロア２７のモータ
シャッタ２８の開度を大きくすることにより気流垂直度
の乱れを防ぐようになっており、第１実施例と変わらな
いが、センサ２３の取付位置を壁面から天井フィルタ支
持フレームへ変更したことで、第１実施例では対応不可
能であった壁埋込み型以外の生産設備に対しても対応可
能となる。
者２１を検知し、空調機２９からの送られた空気はファ
ン付ＨＥＰＡフィルタ２６のファンの回転数を上げて降
下風速を大きくし、穴明きアクセスフロア２７のモータ
シャッタ２８の開度を大きくすることにより気流垂直度
の乱れを防ぐようになっており、第１実施例と変わらな
いが、センサ２３の取付位置を壁面から天井フィルタ支
持フレームへ変更したことで、第１実施例では対応不可
能であった壁埋込み型以外の生産設備に対しても対応可
能となる。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、作業者の
有無を検知し、作業者がウェハー作業をする時のみ局所
的に降下風速を上げることを可能としたため、作業者の
有無にかかわらず降下風速を上げていた従来のクリーン
ルーム空調システムに比べ、経済的であるという効果を
有する。
有無を検知し、作業者がウェハー作業をする時のみ局所
的に降下風速を上げることを可能としたため、作業者の
有無にかかわらず降下風速を上げていた従来のクリーン
ルーム空調システムに比べ、経済的であるという効果を
有する。
【図１】本発明の第１実施例の断面図である。
【図２】本発明の第２実施例の断面図である。
【図３】従来のクリーンルーム空調システムの断面図で
ある。
ある。
１１，１２ 作業者 １２，２２，４０ 生産設備 １３，２３ 反射式赤外線センサ １４，２４ 制御盤 １５，２５ インバータ １６，２６ ファン付ＨＥＰＡフィルタ １７，２７，３７ 穴明きアクセスフロア １８，２８ モータシャッタ １９，２９，４１ 空調機 ２０，３０，４２ ＨＥＰＡフィルタ ３１ 高速用サプライプレナムチャンバ ３２ 低速用サプライプレナムチャンバ ３３ 高速用ボリュウムダンパ ３４ 低速用ボリュウムダンパ ３５ 高風速エリア ３６ 低風速エリア ３８，３９ シャッタ
Claims (1)
- 【請求項１】 作業室内に清浄空気をダウンフローさせ
るクリーンルーム空気調和システムにおいて、作業室内
に設けたセンサにより作業者の有無を検知し、この検知
信号に基づき作業者有の場合作業者付近の降下風速を上
げる制御手段を備えることを特徴とするクリーンルーム
空気調和システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14386992A JPH05332588A (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | クリーンルーム空気調和システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14386992A JPH05332588A (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | クリーンルーム空気調和システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05332588A true JPH05332588A (ja) | 1993-12-14 |
Family
ID=15348890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14386992A Pending JPH05332588A (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | クリーンルーム空気調和システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05332588A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7017306B2 (en) * | 2001-01-18 | 2006-03-28 | Carlisle Process Systems Limited | Containment assembly |
| US7674165B2 (en) * | 2006-02-10 | 2010-03-09 | Qisda Corporation | Electronic device and heat dissipation module thereof |
| KR101501194B1 (ko) * | 2013-07-24 | 2015-03-11 | (주) 지트시스템 | 냉방 각도가 조절되는 전산실 냉방시스템 |
-
1992
- 1992-06-04 JP JP14386992A patent/JPH05332588A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7017306B2 (en) * | 2001-01-18 | 2006-03-28 | Carlisle Process Systems Limited | Containment assembly |
| US7674165B2 (en) * | 2006-02-10 | 2010-03-09 | Qisda Corporation | Electronic device and heat dissipation module thereof |
| KR101501194B1 (ko) * | 2013-07-24 | 2015-03-11 | (주) 지트시스템 | 냉방 각도가 조절되는 전산실 냉방시스템 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980331 |