JPH0650148B2 - スライダケーシングを有するバルブスライダ - Google Patents
スライダケーシングを有するバルブスライダInfo
- Publication number
- JPH0650148B2 JPH0650148B2 JP63128131A JP12813188A JPH0650148B2 JP H0650148 B2 JPH0650148 B2 JP H0650148B2 JP 63128131 A JP63128131 A JP 63128131A JP 12813188 A JP12813188 A JP 12813188A JP H0650148 B2 JPH0650148 B2 JP H0650148B2
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- Japan
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- slider
- casing
- sealing member
- segments
- sealing
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/30—Details
- F16K3/314—Forms or constructions of slides; Attachment of the slide to the spindle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はスライダケーシングを有するバルブスライダに
関するものである。
関するものである。
（従来の技術） この種の公知のバルブスライダにおいてスライダケーシ
ングはねずみ鋳鉄にて一体成形されて、残留凹凸のある
密封面を有し、極く単純な構造を成している。またその
密閉部材は一体成形された大きな体積のゴム弾性素材に
て形成されており、そのゴム弾性素材によって一体構造
のスライダケーシング内部の仕上げ加工されていない密
封面の前述の粗さをカバーし得るようになっている。係
るスライダは給水管路内で使用されるものであり、真空
及び高真空装置で必要とされかつ要求される高品質の密
封の目的に対しては、そこで要求される密封性がこの種
のスライダでは達成できないので全く使いものにならな
い。
ングはねずみ鋳鉄にて一体成形されて、残留凹凸のある
密封面を有し、極く単純な構造を成している。またその
密閉部材は一体成形された大きな体積のゴム弾性素材に
て形成されており、そのゴム弾性素材によって一体構造
のスライダケーシング内部の仕上げ加工されていない密
封面の前述の粗さをカバーし得るようになっている。係
るスライダは給水管路内で使用されるものであり、真空
及び高真空装置で必要とされかつ要求される高品質の密
封の目的に対しては、そこで要求される密封性がこの種
のスライダでは達成できないので全く使いものにならな
い。
類似形式の止め弁（ドイツ連邦共和国特許公告公報第１
２２３２１２号）の場合、スライダプレート下部領域の
パッキングのＵ形下部が流路内面を、そしてスライダプ
レート上部領域の上湾曲部が流路外面を密封する構成と
なっている。パッキンはケーシング内部の溝に装着され
ており、パッキンのＵ形下部の二又脚部はケーシングに
固着した延長部に接合しており、またパッキンのＵ形下
部は弾性補強材にて強化されている。パッキンは一体構
造であり、上部と下部は通孔の軸に平行なブリッジにて
連結されている。この止め弁の作動はスライダプレート
の運動方向に対して斜め方向を向いた面に接している前
記ブリッジに沿ってスライダプレートが横方向へ摺動す
ることで行なわれる。この場合、係るブリッジ領域でパ
ッキン上面が損傷を受ける恐れがあり、係る特殊構造の
止め弁は、真空及び高真空装置には使用できない。
２２３２１２号）の場合、スライダプレート下部領域の
パッキングのＵ形下部が流路内面を、そしてスライダプ
レート上部領域の上湾曲部が流路外面を密封する構成と
なっている。パッキンはケーシング内部の溝に装着され
ており、パッキンのＵ形下部の二又脚部はケーシングに
固着した延長部に接合しており、またパッキンのＵ形下
部は弾性補強材にて強化されている。パッキンは一体構
造であり、上部と下部は通孔の軸に平行なブリッジにて
連結されている。この止め弁の作動はスライダプレート
の運動方向に対して斜め方向を向いた面に接している前
記ブリッジに沿ってスライダプレートが横方向へ摺動す
ることで行なわれる。この場合、係るブリッジ領域でパ
ッキン上面が損傷を受ける恐れがあり、係る特殊構造の
止め弁は、真空及び高真空装置には使用できない。
このため真空及び高真空装置内で使用するためのバルブ
スライダが開発されてきており、係るバルブスライダの
高度の密封目的にかなった密閉部材は複合構造が常であ
る。その密閉部材はシールディスクと、このシールディ
スクが添設される、一つの面上に位置するリングパッキ
ンとを有し、その平らなリングパッキンを保持するケー
シングの密封面はスライダ通孔の軸に対する直角をなし
ている。リングパッキングを支持するシールディスクは
エキスパンダに結合されており、このエキスパンダのた
めに傾動可能な直方体部材が開発されており（例えばス
イス連邦共和国特許公報第659,512号，アメリカ合衆国
特許公報第4,560,141号）、その傾動運動によって密閉
部材を軸方向へ移動させてパッキンを密封面へ当接さ
せ、かつ押圧させることができるようになっている。ま
た、そのエキスパンダにころを設け、そのころが傾斜面
をころがることによって密閉部材を支持し案内する部材
が軸方向へ移動する（ドイツ連邦共和国特許公報第3,20
9,214号，同国公開公報第2,404,944号，第2,528,043号
及びアメリカ合衆国特許公報第3,185,435号及び第4,29
1,861号）。さらにそのエキスパンダに慣用手段である
方向転換可能なてこ装置を設けて、通常これがばねと協
動して付勢するようにした構成が提案されている（ドイ
ツ連邦共和国特許公告公報第2523152号，アメリカ合衆
国特許公報第3,216,694号，同第2,850,260号，第2,262,
672号）。そしてスライダ通孔に突出する密閉部材ある
いは密閉部材に取付けられたシールリング及びシールデ
ィスクをケーシングの密封面へ押圧させるために加圧可
能な加圧室を密閉部材に連結することも既に提案されて
いる（ドイツ連邦共和国特許公報第2,947,151号，同第8
26,098号）。
スライダが開発されてきており、係るバルブスライダの
高度の密封目的にかなった密閉部材は複合構造が常であ
る。その密閉部材はシールディスクと、このシールディ
スクが添設される、一つの面上に位置するリングパッキ
ンとを有し、その平らなリングパッキンを保持するケー
シングの密封面はスライダ通孔の軸に対する直角をなし
ている。リングパッキングを支持するシールディスクは
エキスパンダに結合されており、このエキスパンダのた
めに傾動可能な直方体部材が開発されており（例えばス
イス連邦共和国特許公報第659,512号，アメリカ合衆国
特許公報第4,560,141号）、その傾動運動によって密閉
部材を軸方向へ移動させてパッキンを密封面へ当接さ
せ、かつ押圧させることができるようになっている。ま
た、そのエキスパンダにころを設け、そのころが傾斜面
をころがることによって密閉部材を支持し案内する部材
が軸方向へ移動する（ドイツ連邦共和国特許公報第3,20
9,214号，同国公開公報第2,404,944号，第2,528,043号
及びアメリカ合衆国特許公報第3,185,435号及び第4,29
1,861号）。さらにそのエキスパンダに慣用手段である
方向転換可能なてこ装置を設けて、通常これがばねと協
動して付勢するようにした構成が提案されている（ドイ
ツ連邦共和国特許公告公報第2523152号，アメリカ合衆
国特許公報第3,216,694号，同第2,850,260号，第2,262,
672号）。そしてスライダ通孔に突出する密閉部材ある
いは密閉部材に取付けられたシールリング及びシールデ
ィスクをケーシングの密封面へ押圧させるために加圧可
能な加圧室を密閉部材に連結することも既に提案されて
いる（ドイツ連邦共和国特許公報第2,947,151号，同第8
26,098号）。
（発明が解決しようとする課題） 以上の従来構造では当業者に何ら説明を求めるまでもな
く、高度な密封目的にかなったバルブスライダ用の密閉
部材を得るには余りに複雑かつ高価となる。なお解決さ
れるべき問題点は、一般的な使用において密閉部材全体
を形成する部品を互いに対して動かすと、密閉部材に部
分的に大きな力が作用し、また、その総体運動部材に潤
滑剤を塗布すると真空が破壊するので潤滑剤の使用は不
可能かつ禁止されていることである。この高価な構造体
の他の欠点は複合体として形成された密閉部材が高速及
び緊急密閉用に使用不可能なことであり、それは高速及
び緊急密閉の際に決して避けられない大きな加速力が加
わることによる慣性質量モーメントによって、密閉部材
が密閉位置へ到達する以前にすでにエキスパンド機構が
作動し、それにより密閉部材は密閉部材を保持している
ケーシングセグメントの密閉位置への中途で停止してし
まうからである。
く、高度な密封目的にかなったバルブスライダ用の密閉
部材を得るには余りに複雑かつ高価となる。なお解決さ
れるべき問題点は、一般的な使用において密閉部材全体
を形成する部品を互いに対して動かすと、密閉部材に部
分的に大きな力が作用し、また、その総体運動部材に潤
滑剤を塗布すると真空が破壊するので潤滑剤の使用は不
可能かつ禁止されていることである。この高価な構造体
の他の欠点は複合体として形成された密閉部材が高速及
び緊急密閉用に使用不可能なことであり、それは高速及
び緊急密閉の際に決して避けられない大きな加速力が加
わることによる慣性質量モーメントによって、密閉部材
が密閉位置へ到達する以前にすでにエキスパンド機構が
作動し、それにより密閉部材は密閉部材を保持している
ケーシングセグメントの密閉位置への中途で停止してし
まうからである。
（課題を解決するための手段） 本発明は、前記の目的を達成するために、スライダケー
シング２０と、スライダケーシング２０に対し摺動可能
な密閉部材９と、スライダケーシング２０に設けられて
密閉部材９により密閉可能なスライダ通孔１とを有する
バルブスライダにおいて、スライダケーシング２０のス
ライダ通孔１の領域にスライダ通孔１の軸２と平行な直
線母線Ｇを有する密封面３が設けられ、密閉部材９が密
閉位置にあるとき、密閉部材９に設けられた周部パッキ
ン８が密封面３に密接し、周部パッキン８が少なくとも
異なる長さ又は形状を有する２つの主要セグメント
８′，８″を有し、その２つの主要セグメント８′，
８″がスライダ通孔１の軸２と直角な互いに離間した平
面上に位置し、且つその２つの主要セグメント８′，
８″がＵ形端部セグメント８０，８０にて周状に連続し
ており、密閉部材９が密封面３の輪郭に対応する輪郭を
有する壁面３０を有し、且つ壁面３０が周部パッキン８
の２つの主要セグメント８″，８′を保持する２つの壁
面４０，５０と、周部パッキン８の各Ｕ形端部セグメン
ト８０，８０を保持する壁面６０，６０とを有し、各Ｕ
形端部セグメント８０，８０の各脚部１０が同一平面上
にある壁面６０，６０上に位置しており、密封面３が周
部パッキン８の２つの主要セグメント８″，８′の接触
面に対応する２つのセグメント４，５を有し、その２つ
のセグメント４，５がスライダ通孔１の軸２方向に前後
に位置し、その２つのセグメント４，５がスライダ通孔
１の軸２と平行な共通直線母線Ｇ′の位置する領域にお
いて端部で外側へ延びた平らなセグメント６，６にて連
続し、その平らなセグメント６，６が各々スライダ通孔
１の軸２と平行でかつ互いに平行な平面上に位置してい
ることを特徴とする。
シング２０と、スライダケーシング２０に対し摺動可能
な密閉部材９と、スライダケーシング２０に設けられて
密閉部材９により密閉可能なスライダ通孔１とを有する
バルブスライダにおいて、スライダケーシング２０のス
ライダ通孔１の領域にスライダ通孔１の軸２と平行な直
線母線Ｇを有する密封面３が設けられ、密閉部材９が密
閉位置にあるとき、密閉部材９に設けられた周部パッキ
ン８が密封面３に密接し、周部パッキン８が少なくとも
異なる長さ又は形状を有する２つの主要セグメント
８′，８″を有し、その２つの主要セグメント８′，
８″がスライダ通孔１の軸２と直角な互いに離間した平
面上に位置し、且つその２つの主要セグメント８′，
８″がＵ形端部セグメント８０，８０にて周状に連続し
ており、密閉部材９が密封面３の輪郭に対応する輪郭を
有する壁面３０を有し、且つ壁面３０が周部パッキン８
の２つの主要セグメント８″，８′を保持する２つの壁
面４０，５０と、周部パッキン８の各Ｕ形端部セグメン
ト８０，８０を保持する壁面６０，６０とを有し、各Ｕ
形端部セグメント８０，８０の各脚部１０が同一平面上
にある壁面６０，６０上に位置しており、密封面３が周
部パッキン８の２つの主要セグメント８″，８′の接触
面に対応する２つのセグメント４，５を有し、その２つ
のセグメント４，５がスライダ通孔１の軸２方向に前後
に位置し、その２つのセグメント４，５がスライダ通孔
１の軸２と平行な共通直線母線Ｇ′の位置する領域にお
いて端部で外側へ延びた平らなセグメント６，６にて連
続し、その平らなセグメント６，６が各々スライダ通孔
１の軸２と平行でかつ互いに平行な平面上に位置してい
ることを特徴とする。
また、密封面３の端部で外側へ延びた平らなセグメント
６，６が各々共通面Ｅ上に位置することを特徴とする。
６，６が各々共通面Ｅ上に位置することを特徴とする。
また、周部パッキン８の２つの主要セグメント８″，
８′の接触面に対応する密封面３の２つのセグメント
４，５が主として筒状に形成され、かつ、連続して延び
る湾曲部を介してセグメント６につながっていることを
特徴とする。
８′の接触面に対応する密封面３の２つのセグメント
４，５が主として筒状に形成され、かつ、連続して延び
る湾曲部を介してセグメント６につながっていることを
特徴とする。
また、周部パッキン８の一方の主要セグメント８′が真
っ直ぐに延び、他方の主要セグメント８″が湾曲して延
びていることを特徴とする。
っ直ぐに延び、他方の主要セグメント８″が湾曲して延
びていることを特徴とする。
また、スライダケーシング２０とは別体に製作されてス
ライダケーシング２０に取り付けられ、かつそのスライ
ダケーシング２０に密接して溶接された部品の一部によ
り密封面３の各セグメント４，５，６が形成されている
ことを特徴とする。
ライダケーシング２０に取り付けられ、かつそのスライ
ダケーシング２０に密接して溶接された部品の一部によ
り密封面３の各セグメント４，５，６が形成されている
ことを特徴とする。
また、スライダケーシング２０がスライダ通孔１の軸２
方向に対し直角方向で分割されており、密封面３の各セ
グメント４，５，６が分割された一方の部分にのみ設け
られていることを特徴とする。
方向に対し直角方向で分割されており、密封面３の各セ
グメント４，５，６が分割された一方の部分にのみ設け
られていることを特徴とする。
また、密閉部材９が平板として形成されており、周部パ
ッキン８を保持する階段形の壁面３０の各段の端面４
０，５０，６０に周部パッキン８が装着されていること
を特徴とする。
ッキン８を保持する階段形の壁面３０の各段の端面４
０，５０，６０に周部パッキン８が装着されていること
を特徴とする。
また、密閉部材９の摺動方向に平行な少なくとも一方の
密閉部材９の側部がスライダケーシング２０に設けられ
た溝２４により案内されることを特徴とする。
密閉部材９の側部がスライダケーシング２０に設けられ
た溝２４により案内されることを特徴とする。
また、密閉部材９の下周部に位置する周部パッキン８の
主要セグメント８′の少なくとも一方の側には密閉部材
９の摺動方向へ向かって周部パッキン８よりも突出した
防護縁部１７が設けられており、さらに閉鎖位置におけ
る密閉部材９の防護縁部１７を受容するための溝形の窪
み１４，１５がスライダケーシング２０の密封面３に設
けられていることを特徴とする。
主要セグメント８′の少なくとも一方の側には密閉部材
９の摺動方向へ向かって周部パッキン８よりも突出した
防護縁部１７が設けられており、さらに閉鎖位置におけ
る密閉部材９の防護縁部１７を受容するための溝形の窪
み１４，１５がスライダケーシング２０の密封面３に設
けられていることを特徴とする。
また、スライダ通孔１の平面またはスライダ通孔１に平
行な平面を基準として、周部パッキン８と周部パッキン
８を支持する密閉部材９の壁面４０，５０，６０及びス
ライダケーシング２０の密封面３が対称的に形成されて
いることを特徴とする。
行な平面を基準として、周部パッキン８と周部パッキン
８を支持する密閉部材９の壁面４０，５０，６０及びス
ライダケーシング２０の密封面３が対称的に形成されて
いることを特徴とする。
（作用及び効果） 本発明によれば、密閉部材が密閉位置にあるとき、密閉
部材と一体に設けられた周部パッキンの各セグメントが
それぞれ対応する密封面の各セグメントに密接し、周部
パッキンに対する密閉圧力は密閉部材の摺動方向のみに
作用するので、周部パッキンに剪断力が生じない。ま
た、密閉部材と周部パッキンとは事実上一体に形成され
ており、なるべくスライダケーシングに対して対向運動
しない部品で構成されているので、密閉部材には部分的
に大きな力が作用することが少なく、高加速状態の急速
及び緊急密閉用にも使用することができる。また、周部
パッキンは密閉部材に設けられているので、周部パッキ
ンがスライダ通孔を通過する流体にさらされることがな
い。従って、密閉部材の構造が簡単で、真空及び高真空
領域における高度な密封目的にも有効に使用できるバル
ブスライダを提供することができる。
部材と一体に設けられた周部パッキンの各セグメントが
それぞれ対応する密封面の各セグメントに密接し、周部
パッキンに対する密閉圧力は密閉部材の摺動方向のみに
作用するので、周部パッキンに剪断力が生じない。ま
た、密閉部材と周部パッキンとは事実上一体に形成され
ており、なるべくスライダケーシングに対して対向運動
しない部品で構成されているので、密閉部材には部分的
に大きな力が作用することが少なく、高加速状態の急速
及び緊急密閉用にも使用することができる。また、周部
パッキンは密閉部材に設けられているので、周部パッキ
ンがスライダ通孔を通過する流体にさらされることがな
い。従って、密閉部材の構造が簡単で、真空及び高真空
領域における高度な密封目的にも有効に使用できるバル
ブスライダを提供することができる。
さらに、スライダケーシングとは別体に製作された部品
の一部により密封面の各セグメントを形成することによ
って、この部品をスライダケーシングとは別体に製作
し、密封面を高度な密封条件に必要な程度に仕上げ加工
することができる。
の一部により密封面の各セグメントを形成することによ
って、この部品をスライダケーシングとは別体に製作
し、密封面を高度な密封条件に必要な程度に仕上げ加工
することができる。
さらに、スライダケーシングを分割して一方のみに密封
面の各セグメントを形成することによって、スライダケ
ーシングを分割して製作し、密封面を高度な密封条件に
必要な程度に仕上げ加工することができる。
面の各セグメントを形成することによって、スライダケ
ーシングを分割して製作し、密封面を高度な密封条件に
必要な程度に仕上げ加工することができる。
さらに、密閉部材の周部パッキンの主要セグメントの少
なくとも一方の側にパッキンより突出した防護縁部を設
けることによって、密閉部材が密閉位置へ摺動する際、
スライダ通孔を通過する流れがパッキン自体に当たるの
を防護縁部により防ぐことができるので、パッキンを保
護することができる。
なくとも一方の側にパッキンより突出した防護縁部を設
けることによって、密閉部材が密閉位置へ摺動する際、
スライダ通孔を通過する流れがパッキン自体に当たるの
を防護縁部により防ぐことができるので、パッキンを保
護することができる。
（実施例） 第１図には後述するスライダケーシングに取付けられも
しくはスライダケーシングの一部を成すパッキンセグメ
ントが示してある。軸２を一点鎖線で示したスライダ通
孔１は多様な輪郭のさまざまなセグメント４，５，６を
有し、これらにより密封面３が形成されている。セグメ
ント４，５は筒状面より成り、またセグメント６は平面
より成っており、筒状面のセグメント４，５と平面のセ
グメント６は連続する湾曲面に変化している。密閉面３
両端側で外側へ延びた平面のセグメント６は第１図に細
い一点鎖線にて示した共通平面Ｅに位置する。密封面３
のセグメント４，５，６はさまざまな輪郭や多様な形状
を有してはいるが、それらに共通の第１図にＧ，Ｇ′で
示唆した２つの母線は直線であり、通孔の軸２に平行を
なしている。第１図の密閉面３に記されている一点鎖線
７は密閉部材が密閉位置にあるときにパッキン８が当接
する線を表わしている。密封面３のセグメント４，５は
第１図のスライダ通孔１の軸２方向に見た場合、互いに
前後に位置している。
しくはスライダケーシングの一部を成すパッキンセグメ
ントが示してある。軸２を一点鎖線で示したスライダ通
孔１は多様な輪郭のさまざまなセグメント４，５，６を
有し、これらにより密封面３が形成されている。セグメ
ント４，５は筒状面より成り、またセグメント６は平面
より成っており、筒状面のセグメント４，５と平面のセ
グメント６は連続する湾曲面に変化している。密閉面３
両端側で外側へ延びた平面のセグメント６は第１図に細
い一点鎖線にて示した共通平面Ｅに位置する。密封面３
のセグメント４，５，６はさまざまな輪郭や多様な形状
を有してはいるが、それらに共通の第１図にＧ，Ｇ′で
示唆した２つの母線は直線であり、通孔の軸２に平行を
なしている。第１図の密閉面３に記されている一点鎖線
７は密閉部材が密閉位置にあるときにパッキン８が当接
する線を表わしている。密封面３のセグメント４，５は
第１図のスライダ通孔１の軸２方向に見た場合、互いに
前後に位置している。
密閉部材９は第１図に図示した対象物すなわちパッキン
セグメントに対応する位置関係で第２図に示されてお
り、第３図では、反対側から見た状態が示されている。
密閉部材９の密閉作用部にはスライダケーシング内部の
密封面３に対応して形成された壁面３０が設けられてい
る。壁面３０は加硫プレス等にて装着された周部パッキ
ン８により形成されている。パッキン８を保持する壁面
３０のセグメント４０，５０，６０は密閉部材９が密閉
位置にあるときは密封面３のセグメント４，５，６に直
接隣接し、図面ではセグメント４，５，６に各々０を付
けた符号で区別されている。
セグメントに対応する位置関係で第２図に示されてお
り、第３図では、反対側から見た状態が示されている。
密閉部材９の密閉作用部にはスライダケーシング内部の
密封面３に対応して形成された壁面３０が設けられてい
る。壁面３０は加硫プレス等にて装着された周部パッキ
ン８により形成されている。パッキン８を保持する壁面
３０のセグメント４０，５０，６０は密閉部材９が密閉
位置にあるときは密封面３のセグメント４，５，６に直
接隣接し、図面ではセグメント４，５，６に各々０を付
けた符号で区別されている。
これらの図面は通孔１の平面を基準に見た場合、一体構
造の周部パッキン８が異なる平面上に位置することを示
している。すなわち、周部パッキン８の２つの主要セグ
メント８′８″はスライダ通孔１の軸２に対し直角かつ
その軸２方向へ互いにずれており、さらにパッキン８の
両主要セグメント８′，８″がＵ形を成す端部セグメン
ト８０にて連続しており、また密封面８の各端部セグメ
ント８０の脚部１０が壁面６０に位置している。スライ
ダ通孔１の軸方向に見てパッキン８の主要セグメント
８′，８″の接触面に対応する互いに前後に位置するセ
グメント４，５は軸方向に平行な真直ぐな共通の母線
Ｇ′を有する領域において端部で外部へ延びて平らなセ
グメント６，６につながっており、そのセグメント６，
６自体もスライダ通孔１の軸２に平行な共通の面Ｅ上に
位置している。以上が密閉部品９の構成である。
造の周部パッキン８が異なる平面上に位置することを示
している。すなわち、周部パッキン８の２つの主要セグ
メント８′８″はスライダ通孔１の軸２に対し直角かつ
その軸２方向へ互いにずれており、さらにパッキン８の
両主要セグメント８′，８″がＵ形を成す端部セグメン
ト８０にて連続しており、また密封面８の各端部セグメ
ント８０の脚部１０が壁面６０に位置している。スライ
ダ通孔１の軸方向に見てパッキン８の主要セグメント
８′，８″の接触面に対応する互いに前後に位置するセ
グメント４，５は軸方向に平行な真直ぐな共通の母線
Ｇ′を有する領域において端部で外部へ延びて平らなセ
グメント６，６につながっており、そのセグメント６，
６自体もスライダ通孔１の軸２に平行な共通の面Ｅ上に
位置している。以上が密閉部品９の構成である。
第５図と第６図はここで問題にしている高真空装置に使
用するバルブスライダの横断面図と縦断面図であり、こ
のバルブスライダは高速密閉スライダとして形成されて
いる。特徴とする構成はスライダケーシング２０が二体
構造であって、密封面３を有する部品１９がケーシング
２０とは別体の構造体であって、この部品１９がケーシ
ング２０に取付けられてケーシング２０に密接状態で溶
接されていることである。従って、この部品１９はケー
シング２０とは別に製造及び仕上げ加工可能である。ま
た、これらの図面（第５図と第６図）においてスライダ
ケーシング２０を基準に見て密閉部材９の下周部１８に
はパッキン８の両側に各１つの防護縁部１７を有し、ま
たその防護縁部１７は軸方向に見た場合、パッキン８よ
り脇へ幾分離間し、さらに密閉部材９のスライド方向
（矢印１６）にパッキン８よりも突出している。密封面
３のセグメント５には溝形の窪み１４，１５が設けられ
ており、これらの窪み１４，１５は密閉部材９が作動し
た場合、密閉部材９の防護縁部１７を受容する。図中、
密封部材９はピストン・シリンダユニット１２のピスト
ン棒１３に直結されている。密閉部材９はケーシング２
０内部に導入されている。ピストン・シリンダユニット
１２は高速作動するように作られているので極めて速い
密閉速度が得られ、また、第５図と第６図のバルブスラ
イダは高速または緊急密閉スライダとして使用可能であ
る。密閉部材９は前述のごとく事実上一体形成されてお
り、従って、従来の真空及び高真空装置用スライダ構造
にて公知のような対向運動部品を保有していないので、
余り大きな加速力とはならず、また密閉部材が密閉位置
へ到達する以前にケーシング内部で停止してしまう恐れ
はない。防護縁部１７はスライダ通孔１を通過する流れ
からパッキン８を防護する。
用するバルブスライダの横断面図と縦断面図であり、こ
のバルブスライダは高速密閉スライダとして形成されて
いる。特徴とする構成はスライダケーシング２０が二体
構造であって、密封面３を有する部品１９がケーシング
２０とは別体の構造体であって、この部品１９がケーシ
ング２０に取付けられてケーシング２０に密接状態で溶
接されていることである。従って、この部品１９はケー
シング２０とは別に製造及び仕上げ加工可能である。ま
た、これらの図面（第５図と第６図）においてスライダ
ケーシング２０を基準に見て密閉部材９の下周部１８に
はパッキン８の両側に各１つの防護縁部１７を有し、ま
たその防護縁部１７は軸方向に見た場合、パッキン８よ
り脇へ幾分離間し、さらに密閉部材９のスライド方向
（矢印１６）にパッキン８よりも突出している。密封面
３のセグメント５には溝形の窪み１４，１５が設けられ
ており、これらの窪み１４，１５は密閉部材９が作動し
た場合、密閉部材９の防護縁部１７を受容する。図中、
密封部材９はピストン・シリンダユニット１２のピスト
ン棒１３に直結されている。密閉部材９はケーシング２
０内部に導入されている。ピストン・シリンダユニット
１２は高速作動するように作られているので極めて速い
密閉速度が得られ、また、第５図と第６図のバルブスラ
イダは高速または緊急密閉スライダとして使用可能であ
る。密閉部材９は前述のごとく事実上一体形成されてお
り、従って、従来の真空及び高真空装置用スライダ構造
にて公知のような対向運動部品を保有していないので、
余り大きな加速力とはならず、また密閉部材が密閉位置
へ到達する以前にケーシング内部で停止してしまう恐れ
はない。防護縁部１７はスライダ通孔１を通過する流れ
からパッキン８を防護する。
従って、例えばエネルギーの強い電子ビーム内へも密閉
部材９を作動可能であり、パッキン８自体にそのエネル
ギーの強いビームが当たり、損傷したり少なくとも寿命
が短くなるということはない。
部材９を作動可能であり、パッキン８自体にそのエネル
ギーの強いビームが当たり、損傷したり少なくとも寿命
が短くなるということはない。
第５図と第６図の実施例のスライダケーシング２０が密
封面３を有する部品１９との溶接構造物として形成する
場合には第７図と第８図に横断面図及び縦断面図で示し
たように鋳造により形成されたケーシング２０を有する
ことができる。ケーシング２０を形成する両シェル２
１，２２は別々に製作される。密封面３はシェル２２に
設けられており、シェル２２を鋳造してからその密封面
３を高度な密封条件に必要な程度に仕上げ加工すること
ができる。この構造の場合、密閉部材９は支持板２３へ
固着されてその支持板２３に平行に延び、また支持板２
３の両側はケーシング２０の溝２４に案内されている。
また、密閉部材９ないし支持板２３は案内溝２７及び回
動レバー２５，２６により作動され、さらにこのレバー
機構により密閉圧力がかけられる。両シェル２１，２２
は締付けねじにて互いに結合されており、両シェル２
１，２２の間にはガスケット２９が介在している。レバ
ー２５，２６及び案内溝２７はバルブスライダの作動機
構として公知である。従来これらの密閉機構は単に密閉
位置へ移動するだけでなく、さらに密閉位置において押
圧せなければならず極めて面倒な構造となっている。
封面３を有する部品１９との溶接構造物として形成する
場合には第７図と第８図に横断面図及び縦断面図で示し
たように鋳造により形成されたケーシング２０を有する
ことができる。ケーシング２０を形成する両シェル２
１，２２は別々に製作される。密封面３はシェル２２に
設けられており、シェル２２を鋳造してからその密封面
３を高度な密封条件に必要な程度に仕上げ加工すること
ができる。この構造の場合、密閉部材９は支持板２３へ
固着されてその支持板２３に平行に延び、また支持板２
３の両側はケーシング２０の溝２４に案内されている。
また、密閉部材９ないし支持板２３は案内溝２７及び回
動レバー２５，２６により作動され、さらにこのレバー
機構により密閉圧力がかけられる。両シェル２１，２２
は締付けねじにて互いに結合されており、両シェル２
１，２２の間にはガスケット２９が介在している。レバ
ー２５，２６及び案内溝２７はバルブスライダの作動機
構として公知である。従来これらの密閉機構は単に密閉
位置へ移動するだけでなく、さらに密閉位置において押
圧せなければならず極めて面倒な構造となっている。
またバルブスライダが円環状のスライダ通孔１を有する
場合にはスライダの通孔１の断面は第９図と第１０図に
縦断面図で示したような断面四角形となる。スライダケ
ーシング２０内部の対応する密封面３のセグメント４，
５，６は第１０図の横断面図に示してある。
場合にはスライダの通孔１の断面は第９図と第１０図に
縦断面図で示したような断面四角形となる。スライダケ
ーシング２０内部の対応する密封面３のセグメント４，
５，６は第１０図の横断面図に示してある。
この場合もバルブケーシング２０は二体構造なので、ケ
ーシング２０内部の密封面３を仕上げ加工できる。この
図面において周部パッキン８の両セグメント８′，８″
は全長にわたり多様な輪郭を成し、一方の主要セグメン
ト８′は真直ぐに、そして他方の主要セグメント８″は
湾曲して延びている。
ーシング２０内部の密封面３を仕上げ加工できる。この
図面において周部パッキン８の両セグメント８′，８″
は全長にわたり多様な輪郭を成し、一方の主要セグメン
ト８′は真直ぐに、そして他方の主要セグメント８″は
湾曲して延びている。
図示した全ての実施例においてバルブスライダの通孔１
を含む軸２に対して直角な平面を基準に見た場合、ケー
シング内部の密封面３もパッキン８も対称的に形成され
ている。前記平面を基準としてパッキン８もパッキン８
を支持する密閉部材９の壁面３０もケーシング２０の密
封面３も対称的に形成することも本発明の範囲に含ま
れ、このような実施例が第１１図と第１２図に概略図で
示されている。同図にはスライダの縦断面及び水平断面
の概略が示されており、さらに説明を加えるまでもなく
当業者には以上の説明より明白となるであろう。
を含む軸２に対して直角な平面を基準に見た場合、ケー
シング内部の密封面３もパッキン８も対称的に形成され
ている。前記平面を基準としてパッキン８もパッキン８
を支持する密閉部材９の壁面３０もケーシング２０の密
封面３も対称的に形成することも本発明の範囲に含ま
れ、このような実施例が第１１図と第１２図に概略図で
示されている。同図にはスライダの縦断面及び水平断面
の概略が示されており、さらに説明を加えるまでもなく
当業者には以上の説明より明白となるであろう。
以上に説明した全ての実施例においてパッキン８は密閉
部材９に設けられている。基本的には本発明の範囲から
離れて、その構成を逆にする、即ちパッキン８をケーシ
ングへ固定して装着し、それに対応する密封面を密閉部
材９へ設けることも可能であるかもしれない。しかしな
がらその場合にはパッキン８がバルブスライダを通過す
る流体にさらされることになる。
部材９に設けられている。基本的には本発明の範囲から
離れて、その構成を逆にする、即ちパッキン８をケーシ
ングへ固定して装着し、それに対応する密封面を密閉部
材９へ設けることも可能であるかもしれない。しかしな
がらその場合にはパッキン８がバルブスライダを通過す
る流体にさらされることになる。
図は本発明の実施例を示すもので、第１図はスライダケ
ーシングに設けられたパッキンセグメントの斜視図、第
２図はパッキンセグメントの密封面へ組合せられる密閉
部材の密封セグメントを示す図、第３図は第２図のＡ方
向矢視図、第４図は周部パッキンの一部を示す図、第５
図と第６図は第１実施例のバルブスライダの横断面図及
び縦断面図、第７図と第８図は第２実施例のバルブスラ
イダの横断面図と縦断面図、第９図と第１０図は第３実
施例によるバルブスライダの縦断面図及び水平断面図、
第１１図と第１２図は第３実施例の変形例を概略で示す
バルブスライダの縦断面図及び水平断面図である。 １……スライダ通孔 ２……軸 ３……密封面 ４，５，６……セグメント（密封面） ８……パッキン ８′，８″，８０……セグメント（パッキン） ９……密閉部材 ２０……スライダケーシング ３０，６０……壁面
ーシングに設けられたパッキンセグメントの斜視図、第
２図はパッキンセグメントの密封面へ組合せられる密閉
部材の密封セグメントを示す図、第３図は第２図のＡ方
向矢視図、第４図は周部パッキンの一部を示す図、第５
図と第６図は第１実施例のバルブスライダの横断面図及
び縦断面図、第７図と第８図は第２実施例のバルブスラ
イダの横断面図と縦断面図、第９図と第１０図は第３実
施例によるバルブスライダの縦断面図及び水平断面図、
第１１図と第１２図は第３実施例の変形例を概略で示す
バルブスライダの縦断面図及び水平断面図である。 １……スライダ通孔 ２……軸 ３……密封面 ４，５，６……セグメント（密封面） ８……パッキン ８′，８″，８０……セグメント（パッキン） ９……密閉部材 ２０……スライダケーシング ３０，６０……壁面
Claims (10)
- 【請求項１】スライダケーシング２０と、スライダケー
シング２０に対し摺動可能な密閉部材９と、スライダケ
ーシング２０に設けられて密閉部材９により密閉可能な
スライダ通孔１とを有するバルブスライダにおいて、 スライダケーシング２０のスライダ通孔１の領域にスラ
イダ通孔１の軸２と平行な直線母線Ｇを有する密封面３
が設けられ、密閉部材９が密閉位置にあるとき、密閉部
材９に設けられた周部パッキン８が密封面３に密接し、 周部パッキン８が少なくとも異なる長さ又は形状を有す
る２つの主要セグメント８′，８″を有し、その２つの
主要セグメント８′，８″がスライダ通孔１の軸２と直
角な互いに離間した平面上に位置し、且つその２つの主
要セグメント８′，８″がＵ形端部セグメント８０，８
０にて周状に連続しており、 密閉部材９が密封面３の輪郭に対応する輪郭を有する壁
面３０を有し、且つ壁面３０が周部パッキン８の２つの
主要セグメント８″，８′を保持する２つの壁面４０，
５０と、周部パッキン８の各Ｕ形端部セグメント８０，
８０を保持する壁面６０，６０とを有し、各Ｕ形端部セ
グメント８０，８０の各脚部１０が同一平面上にある壁
面６０，６０上に位置しており、 密封面３が周部パッキン８の２つの主要セグメント
８″，８′の接触面に対応する２つのセグメント４，５
を有し、その２つのセグメント４，５がスライダ通孔１
の軸２方向に前後に位置し、その２つのセグメント４，
５がスライダ通孔１の軸２と平行な共通直線母線Ｇ′の
位置する領域において端部で外側へ延びた平らなセグメ
ント６，６にて連続し、その平らなセグメント６，６が
各々スライダ通孔１の軸２と平行でかつ互いに平行な平
面上に位置している ことを特徴とするスライダケーシングを有するバルブス
ライダ - 【請求項２】密封面３の端部で外側へ延びた平らなセグ
メント６，６が各々共通面Ｅ上に位置することを特徴と
する請求項１記載のスライダケーシングを有するバルブ
スライダ - 【請求項３】周部パッキン８の２つの主要セグメント
８″，８′の接触面に対応する密封面３の２つのセグメ
ント４，５が主として筒状に形成され、かつ、連続して
延びる湾曲部を介してセグメント６，６につながってい
ることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のスライ
ダケーシングを有するバルブスライダ - 【請求項４】周部パッキン８の一方の主要セグメント
８′が真っ直ぐに延び、他方の主要セグメント８″が湾
曲して延びていることを特徴とする請求項１〜請求項３
のいずれかに記載のスライダケーシングを有するバルブ
スライダ - 【請求項５】スライダケーシング２０とは別体に製作さ
れてスライダケーシング２０に取り付けられ、かつその
スライダケーシング２０へ密接して溶接された部品の一
部により密封面３の各セグメント４，５，６が形成され
ていることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか
に記載のスライダケーシングを有するバルブスライダ - 【請求項６】スライダケーシング２０がスライダ通孔１
の軸２方向に対し直角方向で分割されており、密封面３
の各セグメント４，５，６が分割された一方の部分にの
み設けられていることを特徴とする請求項１〜請求項４
のいずれかに記載のスライダケーシングを有するバルブ
スライダ - 【請求項７】密閉部材９が平板として形成されており、
周部パッキン８を保持する階段形の壁面３０の各段の端
面４０，５０，６０に周部パッキン８が装着されている
ことを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに記載
のスライダケーシングを有するバルブスライダ - 【請求項８】密閉部材９の摺動方向に平行な少なくとも
一方の密閉部材９の側部がスライダケーシング２０に設
けられた溝２４により案内されることを特徴とする請求
項７に記載のスライダケーシングを有するバルブスライ
ダ - 【請求項９】密閉部材９の下周部に位置する周部パッキ
ン８の主要セグメント８′の少なくとも一方の側には密
閉部材９の摺動方向へ向かって周部パッキン８よりも突
出した防護縁部１７が設けられており、さらに密閉位置
における密閉部材９の防護縁部１７を受容するための溝
形の窪み１４，１５がスライダケーシング２０の密封面
３に設けられていることを特徴とする請求項１〜請求項
４のいずれかに記載のスライダケーシングを有するバル
ブスライダ - 【請求項１０】スライダ通孔１の平面またはスライダ通
孔１に平行な平面を基準として、周部パッキン８と周部
パッキン８を支持する密閉部材９の壁面４０，５０，６
０及びスライダケーシング２０の密封面３が対称的に形
成されていることを特徴とする請求項１〜請求項９のい
ずれかに記載のスライダケーシングを有するバルブスラ
イダ
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3717724.9 | 1987-05-26 | ||
| DE19873717724 DE3717724A1 (de) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | Ventilschieber mit einem schiebergehaeuse |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6446070A JPS6446070A (en) | 1989-02-20 |
| JPH0650148B2 true JPH0650148B2 (ja) | 1994-06-29 |
Family
ID=6328451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63128131A Expired - Lifetime JPH0650148B2 (ja) | 1987-05-26 | 1988-05-25 | スライダケーシングを有するバルブスライダ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4809950A (ja) |
| JP (1) | JPH0650148B2 (ja) |
| CH (1) | CH674558A5 (ja) |
| DE (1) | DE3717724A1 (ja) |
| FR (1) | FR2615921B1 (ja) |
| GB (1) | GB2205926B (ja) |
Families Citing this family (48)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3801998C1 (ja) * | 1988-01-23 | 1989-05-18 | Schertler, Siegfried, Haag, Ch | |
| DE3831249A1 (de) * | 1988-09-14 | 1990-03-22 | Schertler Siegfried | Ventilschieber |
| US5271602A (en) * | 1992-04-13 | 1993-12-21 | The Japan Steel Works Ltd. | Vacuum gate valve |
| US5909867A (en) * | 1998-05-27 | 1999-06-08 | Vat Holding Ag | Closing assembly for a chamber having a through-opening |
| US6347919B1 (en) * | 1999-12-17 | 2002-02-19 | Eaton Corporation | Wafer processing chamber having separable upper and lower halves |
| JP4908738B2 (ja) * | 2002-01-17 | 2012-04-04 | サンデュー・テクノロジーズ・エルエルシー | Ａｌｄ方法 |
| NO322877B1 (no) * | 2003-06-06 | 2006-12-18 | Danfoss Esco As | Sluseventil |
| US7090192B2 (en) | 2003-10-21 | 2006-08-15 | Vay Holding Ag | Vacuum valve |
| US7422653B2 (en) * | 2004-07-13 | 2008-09-09 | Applied Materials, Inc. | Single-sided inflatable vertical slit valve |
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| US7500649B2 (en) * | 2006-05-05 | 2009-03-10 | Vat Holding Ag | Vacuum valve drive |
| US7806383B2 (en) * | 2007-06-01 | 2010-10-05 | Applied Materials, Inc. | Slit valve |
| DE102007034926A1 (de) | 2007-07-24 | 2009-02-05 | Vat Holding Ag | Verfahren zur Steuerung oder Regelung eines Vakuumventils |
| DE102007034927A1 (de) | 2007-07-24 | 2009-02-05 | Vat Holding Ag | Verfahren zur Steuerung oder Regelung eines Vakuumventils |
| US9383036B2 (en) * | 2007-08-14 | 2016-07-05 | Parker-Hannifin Corporation | Bonded slit valve door seal with thin non-metallic film gap control bumper |
| DE202008005238U1 (de) | 2008-04-16 | 2008-07-31 | Vat Holding Ag | Vakuumventil-System mit Lageerkennung |
| EP2146122A1 (de) * | 2008-07-18 | 2010-01-20 | VAT Holding AG | Vakuumventil und Verschlussteller für ein Vakuumventil |
| KR20110057198A (ko) * | 2008-09-05 | 2011-05-31 | 배트 홀딩 아게 | 기밀 샤프트 이동관통부를 구비하는 진공밸브 |
| EP2224153A1 (de) | 2009-02-25 | 2010-09-01 | VAT Holding AG | Vakuumdoppelschieberventil |
| EP2287501A1 (de) | 2009-08-19 | 2011-02-23 | VAT Holding AG | Ventil zum im Wesentlichen gasdichten Unterbrechen eines Fliesswegs |
| EP2315236B1 (de) * | 2009-10-22 | 2014-05-14 | VAT Holding AG | Klappen-Transferventil |
| WO2011072315A1 (de) | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
| DE102010053411B4 (de) | 2009-12-15 | 2023-07-06 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
| EP2355132B1 (de) | 2010-02-04 | 2014-05-21 | VAT Holding AG | Klappen-Transferventil mit schwenkbarem Ventilverschlussbalken |
| EP2420709A1 (de) | 2010-08-16 | 2012-02-22 | VAT Holding AG | Vakuumventil und Verschlussglied zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer Linearbewegung |
| CH704728A2 (de) | 2011-03-18 | 2012-09-28 | Vat Holding Ag | Vakuumventil zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer Linearbewegung eines Verschlussglieds. |
| EP2551565A1 (de) | 2011-07-28 | 2013-01-30 | VAT Holding AG | Vakuumventil und Verschlussglied zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer Linearbewegung |
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| US20130214191A1 (en) * | 2012-02-22 | 2013-08-22 | Kunshan Kinglai Hygienic Materials Co., Ltd. | Kind of gate valve |
| EP2740979A1 (de) | 2012-12-05 | 2014-06-11 | VAT Holding AG | Vakuumventil |
| CN104421437B (zh) * | 2013-08-20 | 2017-10-17 | 中微半导体设备(上海)有限公司 | 活动阀门、活动屏蔽门及真空处理系统 |
| EP2913573A1 (de) | 2014-02-26 | 2015-09-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil |
| KR102259116B1 (ko) | 2014-04-02 | 2021-06-01 | 배트 홀딩 아게 | 진공밸브 |
| KR102270597B1 (ko) | 2014-04-02 | 2021-06-29 | 배트 홀딩 아게 | 진공밸브 |
| EP2985497B1 (de) | 2014-08-11 | 2017-10-11 | VAT Holding AG | Verschlusselement für ein Vakuumventil mit abgepresster, aufvulkanisierter Dichtung |
| EP3106728A1 (de) | 2015-06-16 | 2016-12-21 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit linearer führungseinheit und ventilsystem mit ebensolchem ventil und antrieb |
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