JPH06287774A - 銅および銅合金の表面処理剤 - Google Patents
銅および銅合金の表面処理剤Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 銅および銅合金の除錆、表面粗化などに有用
な表面処理剤であって、半田付け性の良好な表面を形成
でき、処理後の銅などを腐食させるおそれがなく、作業
環境も良好な表面処理剤を提供する。 【構成】 酸化剤としてアゾール類の第二銅錯体、酸化
された銅を溶解させるための酸として沸点または分解点
が230℃以下の有機酸、錯化剤として難揮発性錯化剤
および前記アゾール類よりも錯化力が弱い錯化剤を配合
して表面処理剤を調製する。
な表面処理剤であって、半田付け性の良好な表面を形成
でき、処理後の銅などを腐食させるおそれがなく、作業
環境も良好な表面処理剤を提供する。 【構成】 酸化剤としてアゾール類の第二銅錯体、酸化
された銅を溶解させるための酸として沸点または分解点
が230℃以下の有機酸、錯化剤として難揮発性錯化剤
および前記アゾール類よりも錯化力が弱い錯化剤を配合
して表面処理剤を調製する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、銅および銅合金の除
錆、表面粗化などに有用な表面処理剤に関する。
錆、表面粗化などに有用な表面処理剤に関する。
【0002】
【従来の技術】現在、プリント配線板の製造において、
エッチングレジストやソルダーレジストの密着性の向上
や、電子部品実装時の半田付け性向上などを目的とし
て、銅表面を化学的に研磨する一般にマイクロエッチン
グと呼ばれる処理が行われている。このマイクロエッチ
ングには、通常硫酸と過酸化水素とを主成分とする水溶
液や、過硫酸塩を主成分とする水溶液が使用されてい
る。
エッチングレジストやソルダーレジストの密着性の向上
や、電子部品実装時の半田付け性向上などを目的とし
て、銅表面を化学的に研磨する一般にマイクロエッチン
グと呼ばれる処理が行われている。このマイクロエッチ
ングには、通常硫酸と過酸化水素とを主成分とする水溶
液や、過硫酸塩を主成分とする水溶液が使用されてい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、硫酸お
よび過酸化水素、または過硫酸塩を主成分とするエッチ
ング剤を用いて処理を行なうと、その後の水洗が不充分
でエッチング剤が基板に残存した場合、回路が腐食し、
最悪の場合は回路が断線する。また、これらのエッチン
グ剤はその使用中にミストが発生するため、作業環境面
からも好ましくない。
よび過酸化水素、または過硫酸塩を主成分とするエッチ
ング剤を用いて処理を行なうと、その後の水洗が不充分
でエッチング剤が基板に残存した場合、回路が腐食し、
最悪の場合は回路が断線する。また、これらのエッチン
グ剤はその使用中にミストが発生するため、作業環境面
からも好ましくない。
【0004】本発明は、処理後の水洗が不充分であった
場合でも回路を腐食せず、断線の不安を解消し、さらに
ミストや有害ガスの発生を抑えて作業環境を改善するこ
とができる表面処理剤を提供することを目的とする。
場合でも回路を腐食せず、断線の不安を解消し、さらに
ミストや有害ガスの発生を抑えて作業環境を改善するこ
とができる表面処理剤を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】そこで本発明者らは前記
目的を達成するべく鋭意研究を重ねた結果、アゾール類
の第二銅錯体、沸点または分解点が230℃以下の有機
酸および難揮発性錯化剤を含有し、さらに前記アゾール
類よりも錯化力が弱い錯化剤を添加した水溶液からなる
表面処理剤を見出し、本発明を完成した。
目的を達成するべく鋭意研究を重ねた結果、アゾール類
の第二銅錯体、沸点または分解点が230℃以下の有機
酸および難揮発性錯化剤を含有し、さらに前記アゾール
類よりも錯化力が弱い錯化剤を添加した水溶液からなる
表面処理剤を見出し、本発明を完成した。
【0006】本発明に用いるアゾール類の第二銅錯体
は、金属銅などを酸化するための酸化剤として作用する
ものである。本発明においては酸化作用を有する種々の
第二銅錯体のうちでもアゾール類の第二銅錯体を用いる
ことにより、表面処理剤として適度なエッチングレート
を発現させることができる。前記アゾール類としては、
ジアゾール、トリアゾール、テトラゾールおよびそれら
の誘導体があげられるが、なかでもイミダゾール、2−
メチルイミダゾール、2−エチル−4メチルイミダゾー
ル、2−フェニルイミダゾール、2−ウンデシルイミダ
ゾール、ベンズイミダゾールなどがコストなどの面から
好ましい。
は、金属銅などを酸化するための酸化剤として作用する
ものである。本発明においては酸化作用を有する種々の
第二銅錯体のうちでもアゾール類の第二銅錯体を用いる
ことにより、表面処理剤として適度なエッチングレート
を発現させることができる。前記アゾール類としては、
ジアゾール、トリアゾール、テトラゾールおよびそれら
の誘導体があげられるが、なかでもイミダゾール、2−
メチルイミダゾール、2−エチル−4メチルイミダゾー
ル、2−フェニルイミダゾール、2−ウンデシルイミダ
ゾール、ベンズイミダゾールなどがコストなどの面から
好ましい。
【0007】前記アゾール類の第二銅錯体の含有量は、
目的とする酸化力などにより適宜設定すればよいが、通
常1.0%(重量%、以下同様)以上である。前記含有
量が少なすぎると酸化力が不足し、充分なエッチング効
果が得られない。
目的とする酸化力などにより適宜設定すればよいが、通
常1.0%(重量%、以下同様)以上である。前記含有
量が少なすぎると酸化力が不足し、充分なエッチング効
果が得られない。
【0008】前記アゾール類の第二銅錯体は、銅錯体と
して添加してもよく、また第二銅イオン源とアゾール類
とを別々に添加し、液中で銅錯体となるようにしてもよ
い。前記第二銅イオン源としては、例えば水酸化銅や、
後述する有機酸の銅塩が好ましい。
して添加してもよく、また第二銅イオン源とアゾール類
とを別々に添加し、液中で銅錯体となるようにしてもよ
い。前記第二銅イオン源としては、例えば水酸化銅や、
後述する有機酸の銅塩が好ましい。
【0009】本発明に用いる沸点または分解点が230
℃以下の有機酸は、アゾール類の第二銅錯体によって酸
化された銅を溶解させるために配合されるものであり、
しかも製造されたプリント配線板に電子部品を実装する
際の半田付け時(通常200〜260℃)に蒸発または
分解することにより除去され、製品の信頼性に悪影響を
及ぼさないものである。前記有機酸の具体例としては、
例えばギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、カプ
ロン酸などの飽和脂肪酸、アクリル酸、クロトン酸、イ
ソクロトン酸などの不飽和脂肪酸、シュウ酸、マロン
酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸な
どの脂肪族飽和ジカルボン酸、マレイン酸などの脂肪族
不飽和ジカルボン酸、安息香酸、フタル酸などの芳香族
カルボン酸などがあげられる。
℃以下の有機酸は、アゾール類の第二銅錯体によって酸
化された銅を溶解させるために配合されるものであり、
しかも製造されたプリント配線板に電子部品を実装する
際の半田付け時(通常200〜260℃)に蒸発または
分解することにより除去され、製品の信頼性に悪影響を
及ぼさないものである。前記有機酸の具体例としては、
例えばギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、カプ
ロン酸などの飽和脂肪酸、アクリル酸、クロトン酸、イ
ソクロトン酸などの不飽和脂肪酸、シュウ酸、マロン
酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸な
どの脂肪族飽和ジカルボン酸、マレイン酸などの脂肪族
不飽和ジカルボン酸、安息香酸、フタル酸などの芳香族
カルボン酸などがあげられる。
【0010】前記有機酸の含有量は5〜30%程度が好
ましい。前記含有量が少なすぎると酸化銅を充分に溶解
することができず銅表面の状態が悪くなり、また多すぎ
ると銅の溶解安定性が低下する。
ましい。前記含有量が少なすぎると酸化銅を充分に溶解
することができず銅表面の状態が悪くなり、また多すぎ
ると銅の溶解安定性が低下する。
【0011】本発明に用いる難揮発性錯化剤は、有機酸
によって溶解させられた銅を安定に保持するためのもの
であり、しかも難揮発性であるため、作業環境を悪化さ
せるおそれの少ないものである。前記難揮発性錯化剤の
具体例としては、例えばブチルアミン、アミルアミン、
ヘキシルアミン、ジプロピルアミン、ジイソプロピルア
ミン、ジブチルアミン、トリエチルアミン、トリプロピ
ルアミンなどの脂肪族アミン、アニリンなどの芳香族ア
ミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、ト
リエタノールアミン、イソプロパノールアミンなどのア
ルカノールアミン、グリシン、アラニン、アルギニン、
アスパラギンなどのアミノ酸などがあげられる。これら
のうち、アルカノールアミンは、本発明の表面処理剤で
処理されたプリント配線板に半田付けする場合、半田付
け性を向上させる効果があるので好ましい。
によって溶解させられた銅を安定に保持するためのもの
であり、しかも難揮発性であるため、作業環境を悪化さ
せるおそれの少ないものである。前記難揮発性錯化剤の
具体例としては、例えばブチルアミン、アミルアミン、
ヘキシルアミン、ジプロピルアミン、ジイソプロピルア
ミン、ジブチルアミン、トリエチルアミン、トリプロピ
ルアミンなどの脂肪族アミン、アニリンなどの芳香族ア
ミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、ト
リエタノールアミン、イソプロパノールアミンなどのア
ルカノールアミン、グリシン、アラニン、アルギニン、
アスパラギンなどのアミノ酸などがあげられる。これら
のうち、アルカノールアミンは、本発明の表面処理剤で
処理されたプリント配線板に半田付けする場合、半田付
け性を向上させる効果があるので好ましい。
【0012】前記難揮発性錯化剤の含有量は、溶解した
銅を安定に保持するために1%以上であることが好まし
く、通常20%以下である。なお、難揮発性錯化剤は表
面処理の実施において銅などの溶解に伴って消費される
ため、安定した表面処理を行なうために前記所定含有量
となるように補給する必要がある。
銅を安定に保持するために1%以上であることが好まし
く、通常20%以下である。なお、難揮発性錯化剤は表
面処理の実施において銅などの溶解に伴って消費される
ため、安定した表面処理を行なうために前記所定含有量
となるように補給する必要がある。
【0013】難揮発性錯化剤としては銅の溶解安定性の
点からアゾール類よりも錯化力が強いものが用いられる
が、この錯化剤だけではアゾール錯体の酸化力が低下し
て充分なエッチングレートが得られないので、本発明に
おいてはさらにアゾール類よりも錯化力の弱い錯化剤を
添加して所望のエッチングレートに調整する。アゾール
類よりも錯化力が弱い錯化剤としては、使用するアゾー
ル類の種類にもよるが、例えばアンモニア、ピリジン、
アセチルヒスチジン、キサントシン、2−(2’−チエ
ニル)ピリジンなどがあげられる。
点からアゾール類よりも錯化力が強いものが用いられる
が、この錯化剤だけではアゾール錯体の酸化力が低下し
て充分なエッチングレートが得られないので、本発明に
おいてはさらにアゾール類よりも錯化力の弱い錯化剤を
添加して所望のエッチングレートに調整する。アゾール
類よりも錯化力が弱い錯化剤としては、使用するアゾー
ル類の種類にもよるが、例えばアンモニア、ピリジン、
アセチルヒスチジン、キサントシン、2−(2’−チエ
ニル)ピリジンなどがあげられる。
【0014】前記アゾール類よりも錯化力が弱い錯化剤
の添加量は、他の成分の種類、コストなどにより一概に
規定できないが、通常表面処理剤中0.5%以上であ
る。
の添加量は、他の成分の種類、コストなどにより一概に
規定できないが、通常表面処理剤中0.5%以上であ
る。
【0015】以上のごとき成分からなる本発明の表面処
理剤は、水酸化ナトリウム、アンモニア、前記有機酸の
再添加などにより、pH6〜8(40℃で測定した場
合)に調整されて使用される。なお、アンモニアまたは
前記有機酸を再添加する場合は、添加量が前記範囲内に
なるように添加される。前記pHが6未満では酸化が進
まず、エッチングレートが低下し、8を越えると酸化速
度が速すぎて表面状態が悪くなる。
理剤は、水酸化ナトリウム、アンモニア、前記有機酸の
再添加などにより、pH6〜8(40℃で測定した場
合)に調整されて使用される。なお、アンモニアまたは
前記有機酸を再添加する場合は、添加量が前記範囲内に
なるように添加される。前記pHが6未満では酸化が進
まず、エッチングレートが低下し、8を越えると酸化速
度が速すぎて表面状態が悪くなる。
【0016】本発明の表面処理剤の使用方法としては、
例えば被処理金属にスプレーして吹きつける方法、被処
理金属を表面処理剤中に浸漬する方法などがあげられ
る。浸漬する方法による場合は、銅や銅合金のエッチン
グによって処理剤中に生成した第一銅イオンを第二銅イ
オンに酸化するために、バブリングなどによる空気の吹
き込みが行なわれる。
例えば被処理金属にスプレーして吹きつける方法、被処
理金属を表面処理剤中に浸漬する方法などがあげられ
る。浸漬する方法による場合は、銅や銅合金のエッチン
グによって処理剤中に生成した第一銅イオンを第二銅イ
オンに酸化するために、バブリングなどによる空気の吹
き込みが行なわれる。
【0017】本発明の表面処理剤は銅や銅合金の化学研
磨などにひろく使用することができるが、処理された銅
などの表面は適度な凹凸が形成されて種々のレジストな
どとの密着性が良好となり、また半田付け性も向上する
ため、プリント配線板の製造に特に有用である。
磨などにひろく使用することができるが、処理された銅
などの表面は適度な凹凸が形成されて種々のレジストな
どとの密着性が良好となり、また半田付け性も向上する
ため、プリント配線板の製造に特に有用である。
【0018】
実施例1〜4 表1に示す成分を混合し、pHを6.5に調整して本発
明の表面処理剤を調製した。
明の表面処理剤を調製した。
【0019】次に、縦150mm、横70mm、厚さ
1.6mmで、径0.3mmのスルーホール1000穴
を有するプリント配線板用両面銅張積層版(FR−4)
を用意した。この基板の片面をソルダーレジストで覆っ
た後、前記表面処理剤に25℃で1分間浸漬して取出し
た。この時の臭気、基板のソルダーレジストで覆われて
いない面の表面状態およびエッチング量を表1に示す。
次にこの基板を水洗を行なわないまま230℃で3分間
加熱し、さらに80℃、90%RHの恒温恒湿器中に3
0日間放置してスルーホール断線の発生率をスルーホー
ル内の抵抗を測定することにより調べた。結果を表1に
示す。
1.6mmで、径0.3mmのスルーホール1000穴
を有するプリント配線板用両面銅張積層版(FR−4)
を用意した。この基板の片面をソルダーレジストで覆っ
た後、前記表面処理剤に25℃で1分間浸漬して取出し
た。この時の臭気、基板のソルダーレジストで覆われて
いない面の表面状態およびエッチング量を表1に示す。
次にこの基板を水洗を行なわないまま230℃で3分間
加熱し、さらに80℃、90%RHの恒温恒湿器中に3
0日間放置してスルーホール断線の発生率をスルーホー
ル内の抵抗を測定することにより調べた。結果を表1に
示す。
【0020】比較例1〜3 実施例1と同様にして表2に示す表面処理剤を調製し、
評価した。結果を表2に示す。
評価した。結果を表2に示す。
【0021】
【表1】
【0022】
【表2】
【0023】
【発明の効果】本発明の表面処理剤は、処理後の水洗が
不充分であった場合でも回路を腐食せず、しかもミスト
や有害ガスの発生を抑えて作業環境を改善することがで
き、半田付け性の良好な表面を形成できる表面処理剤で
ある。
不充分であった場合でも回路を腐食せず、しかもミスト
や有害ガスの発生を抑えて作業環境を改善することがで
き、半田付け性の良好な表面を形成できる表面処理剤で
ある。
Claims (1)
- 【請求項1】 アゾール類の第二銅錯体、沸点または分
解点が230℃以下の有機酸および難揮発性錯化剤を含
有し、さらに前記アゾール類よりも錯化力が弱い錯化剤
を添加したことを特徴とする銅および銅合金の表面処理
剤。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5100121A JPH06287774A (ja) | 1993-04-05 | 1993-04-05 | 銅および銅合金の表面処理剤 |
TW082109858A TW256856B (ja) | 1993-04-05 | 1993-11-23 | |
US08/217,638 US5439783A (en) | 1993-04-05 | 1994-03-25 | Composition for treating copper or copper alloys |
DE69401453T DE69401453T2 (de) | 1993-04-05 | 1994-03-30 | Zusammensetzung für die Behandlung von Kupfer oder Kupferlegierungen |
SG1996004756A SG47858A1 (en) | 1993-04-05 | 1994-03-30 | Composition for treating copper or copper alloys |
EP94105065A EP0620293B1 (en) | 1993-04-05 | 1994-03-30 | Composition for treating copper or copper alloys |
CN94104029A CN1053233C (zh) | 1993-04-05 | 1994-04-04 | 铜及铜合金的表面处理剂 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5100121A JPH06287774A (ja) | 1993-04-05 | 1993-04-05 | 銅および銅合金の表面処理剤 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06287774A true JPH06287774A (ja) | 1994-10-11 |
Family
ID=14265513
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5100121A Pending JPH06287774A (ja) | 1993-04-05 | 1993-04-05 | 銅および銅合金の表面処理剤 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5439783A (ja) |
EP (1) | EP0620293B1 (ja) |
JP (1) | JPH06287774A (ja) |
CN (1) | CN1053233C (ja) |
DE (1) | DE69401453T2 (ja) |
SG (1) | SG47858A1 (ja) |
TW (1) | TW256856B (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001511218A (ja) * | 1997-01-31 | 2001-08-07 | テイラー,ジェームズ、エム. | サブストレート材料をプライミングする組成物及び方法 |
US6733886B2 (en) | 2001-04-25 | 2004-05-11 | Mec Company Ltd. | Laminate and method of manufacturing the same |
CN100436645C (zh) * | 2003-02-27 | 2008-11-26 | 美格株式会社 | 铜或铜合金的蚀刻溶液以及使用该溶液的电子基板的制法 |
JP2011171531A (ja) * | 2010-02-19 | 2011-09-01 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板及びその製造方法 |
JP2013065892A (ja) * | 2012-12-27 | 2013-04-11 | Mec Co Ltd | エッチング方法 |
KR101318733B1 (ko) * | 2013-06-13 | 2013-10-18 | 주식회사 에이씨엠 | 구리 유기 착물을 이용한 에칭제 조성물 |
US9644274B2 (en) | 2011-07-04 | 2017-05-09 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Etching solution for copper or a compound comprised mainly of copper |
KR20200076684A (ko) * | 2017-10-23 | 2020-06-29 | 멕크 가부시키가이샤 | 막형성 기재의 제조 방법, 막형성 기재 및 표면 처리제 |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2923524B2 (ja) * | 1995-08-01 | 1999-07-26 | メック株式会社 | 銅および銅合金のマイクロエッチング剤並びにマイクロエッチング方法 |
TW374802B (en) * | 1996-07-29 | 1999-11-21 | Ebara Densan Ltd | Etching composition, method for roughening copper surface and method for producing printed wiring board |
US6284309B1 (en) * | 1997-12-19 | 2001-09-04 | Atotech Deutschland Gmbh | Method of producing copper surfaces for improved bonding, compositions used therein and articles made therefrom |
JP2000064067A (ja) | 1998-06-09 | 2000-02-29 | Ebara Densan Ltd | エッチング液および銅表面の粗化処理方法 |
US6524644B1 (en) | 1999-08-26 | 2003-02-25 | Enthone Inc. | Process for selective deposition of OSP coating on copper, excluding deposition on gold |
US6432826B1 (en) * | 1999-11-29 | 2002-08-13 | Applied Materials, Inc. | Planarized Cu cleaning for reduced defects |
US7220322B1 (en) | 2000-08-24 | 2007-05-22 | Applied Materials, Inc. | Cu CMP polishing pad cleaning |
EP1356502A1 (en) * | 2001-01-16 | 2003-10-29 | Cabot Microelectronics Corporation | Ammonium oxalate-containing polishing system and method |
US6783432B2 (en) | 2001-06-04 | 2004-08-31 | Applied Materials Inc. | Additives for pressure sensitive polishing compositions |
US20030221748A1 (en) * | 2002-05-30 | 2003-12-04 | Fry's Metals, Inc. | Solder paste flux system |
US7232478B2 (en) | 2003-07-14 | 2007-06-19 | Enthone Inc. | Adhesion promotion in printed circuit boards |
US7210988B2 (en) | 2004-08-24 | 2007-05-01 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for reduced wear polishing pad conditioning |
WO2007094869A2 (en) | 2005-10-31 | 2007-08-23 | Applied Materials, Inc. | Electrochemical method for ecmp polishing pad conditioning |
US7794531B2 (en) * | 2007-01-08 | 2010-09-14 | Enthone Inc. | Organic solderability preservative comprising high boiling temperature alcohol |
KR20100061731A (ko) * | 2007-09-14 | 2010-06-08 | 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크. | Mems 제조에 이용되는 에칭 방법 |
CN102717161B (zh) * | 2011-05-10 | 2014-09-03 | 中国科学院金属研究所 | 一种通过表面多孔结构实现钎焊性可调的工艺 |
US9735177B2 (en) | 2013-08-23 | 2017-08-15 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Array substrate, method for manufacturing the same and display device |
CN103441129A (zh) * | 2013-08-23 | 2013-12-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板及其制作方法和显示装置 |
JP6218000B2 (ja) * | 2016-02-19 | 2017-10-25 | メック株式会社 | 銅のマイクロエッチング剤および配線基板の製造方法 |
CN109487257A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-03-19 | 南通赛可特电子有限公司 | 一种osp铜面抗氧化剂及其制备方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5221460B1 (ja) * | 1971-04-26 | 1977-06-10 | ||
JPS5120972B1 (ja) * | 1971-05-13 | 1976-06-29 | ||
JPS5332341B2 (ja) * | 1973-03-27 | 1978-09-07 | ||
US4264418A (en) * | 1978-09-19 | 1981-04-28 | Kilene Corp. | Method for detersifying and oxide coating removal |
US4319955A (en) * | 1980-11-05 | 1982-03-16 | Philip A. Hunt Chemical Corp. | Ammoniacal alkaline cupric etchant solution for and method of reducing etchant undercut |
JPH0249393B2 (ja) * | 1983-05-31 | 1990-10-30 | Yamatoya Shokai | Dooyobidogokinnoetsuchingueki |
JPS6190492A (ja) * | 1984-10-11 | 1986-05-08 | 四国化成工業株式会社 | 銅スル−ホ−ルプリント配線板の製造方法 |
US4859281A (en) * | 1987-06-04 | 1989-08-22 | Pennwalt Corporation | Etching of copper and copper bearing alloys |
US5219484A (en) * | 1991-04-25 | 1993-06-15 | Applied Electroless Concepts Inc. | Solder and tin stripper compositions |
-
1993
- 1993-04-05 JP JP5100121A patent/JPH06287774A/ja active Pending
- 1993-11-23 TW TW082109858A patent/TW256856B/zh active
-
1994
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- 1994-04-04 CN CN94104029A patent/CN1053233C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001511218A (ja) * | 1997-01-31 | 2001-08-07 | テイラー,ジェームズ、エム. | サブストレート材料をプライミングする組成物及び方法 |
US6733886B2 (en) | 2001-04-25 | 2004-05-11 | Mec Company Ltd. | Laminate and method of manufacturing the same |
EP2259665A1 (en) | 2001-04-25 | 2010-12-08 | Mec Company Ltd. | Solution for surface treatment |
CN100436645C (zh) * | 2003-02-27 | 2008-11-26 | 美格株式会社 | 铜或铜合金的蚀刻溶液以及使用该溶液的电子基板的制法 |
JP2011171531A (ja) * | 2010-02-19 | 2011-09-01 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板及びその製造方法 |
US9644274B2 (en) | 2011-07-04 | 2017-05-09 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Etching solution for copper or a compound comprised mainly of copper |
JP2013065892A (ja) * | 2012-12-27 | 2013-04-11 | Mec Co Ltd | エッチング方法 |
KR101318733B1 (ko) * | 2013-06-13 | 2013-10-18 | 주식회사 에이씨엠 | 구리 유기 착물을 이용한 에칭제 조성물 |
KR20200076684A (ko) * | 2017-10-23 | 2020-06-29 | 멕크 가부시키가이샤 | 막형성 기재의 제조 방법, 막형성 기재 및 표면 처리제 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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