JPH06282953A

JPH06282953A - 磁気ヘッド複合材の製造方法

Info

Publication number: JPH06282953A
Application number: JP6866593A
Authority: JP
Inventors: Tetsuo Miwa; 哲雄美和; Masatomo Yamauchi; 正智山内
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 1993-03-26
Filing date: 1993-03-26
Publication date: 1994-10-07

Abstract

(57)【要約】【目的】Ｍｎ−Ｚｎフェライトと非磁性セラミックスと
をガラスによって接合する場合に、変形あるいはクラッ
ク等が発生することを確実に阻止できる磁気ヘッド複合
材の製造方法を提供すること。【構成】フェライト板１０とセラミックス板１２から形
成され、前記セラミックス板１２の接合面１２ａには、
凸部４０が平行に突出形成され、この凸部４０によって
溝部４２が形成されている。前記フェライト板１０とセ
ラミックス板１２の凸部４０を当接させ、溝部４２の上
部に設置されたガラスファイバー１４ａを軟化させるこ
とにより、前記溝部４２に流入させて前記フェライト板
１０とセラミックス板１２を接合させる。したがって、
充分な厚さのガラス層が形成され、接合時に複合材に発
生する熱応力を緩和する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、固定磁気ディスク装置
等に使用される磁気ヘッド複合材の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】固定磁気ディスク装置に用いられる浮上
型磁気ヘッド用のコアスライダの中に、例えば、所謂コ
ンポジット型と称される形式ものがある。これは、空気
ベアリング部を有するスライダ本体と、磁気ディスクに
所定の情報を書き込むあるいは読み出す記録部／再生部
を構成するためのコアチップとを別々に作成し、前記ス
ライダ本体とコアチップとを一体的に組み付けている。

【０００３】この場合、スライダ本体をコアチップと同
材料であるフェライトで構成すると、コアチップからス
ライダ本体に磁束漏れを生じてコアの記録／再生効率が
悪化する。したがって、磁束漏れのない非磁性セラミッ
クス、例えばＣａＴｉＯ₃からなる非磁性セラミックス
によってスライダ本体が構成されている。

【０００４】ところが、ＣａＴｉＯ₃からなるスライダ
本体は、磁気ディスクに対する摩擦係数が大きいため
に、磁気ディスクとの接触により磁気ディスクあるいは
スライダ本体を傷めやすいという問題がある。この対策
として、非磁性セラミックス板にスパッタリング等によ
ってガラスを塗布し、Ｍｎ−Ｚｎフェライト板を当接し
て、加圧、加熱することによって接合し、スライダ本体
の少なくともディスク摺動側の部分をＭｎ−Ｚｎフェラ
イトで構成する従来技術がある（特開平３−２７３５２
０号公報参照）。

【０００５】このように、浮上型磁気ヘッドでは、磁束
漏れあるいは摺動特性の改善のために、非磁性セラミッ
クスとＭｎ−Ｚｎフェライトをガラスを介して接合した
複合材を使用している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スパッ
タリング等の手法で塗布されたガラスは、非常に薄い膜
であり、Ｍｎ−Ｚｎフェライトと非磁性セラミックスの
熱膨張率の違いにより接合時に発生する熱応力をガラス
が支持できない。すなわち、Ｍｎ−Ｚｎフェライトと非
磁性セラミックスから構成された複合材に湾曲あるいは
クラック等が発生するおそれがある。

【０００７】本発明は、この種の問題を解決するために
なされたものであって、Ｍｎ−Ｚｎフェライトと非磁性
セラミックスとをガラスによって接合する場合に、湾曲
あるいはクラック等が発生することを阻止できる磁気ヘ
ッド複合材の製造方法を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、Ｍｎ−Ｚｎフェライトからなる第１部
材と、非磁性セラミックスからなる第２部材をガラスに
よって接合する磁気ヘッド複合材の製造方法であって、
前記第１部材と第２部材の中、少なくとも一方の部材の
接合面に一方の端部から他方の端部まで貫通する溝を形
成する過程と、前記第１部材と第２部材の接合面を当接
させる過程と、前記溝の一端にガラス部材を配設する過
程と、前記ガラス部材を軟化させて前記一端から前記溝
に流入させ、前記第１部材と前記第２部材とを接合する
過程と、を備える。

【０００９】また、本発明は、Ｍｎ−Ｚｎフェライトか
ら形成される第１部材と、非磁性セラミックスから形成
される第２部材をガラスによって接合する磁気ヘッド複
合材の製造方法であって、スペーサを形成する過程と、
前記スペーサを第１部材と第２部材との間に挟んで、第
１部材と第２部材との間に孔部を形成する過程と、前記
孔部の一端にガラス部材を配設する過程と、前記孔部に
ガラス部材を軟化させて流入させ、第１部材、第２部材
およびスペーサを接合する過程と、を備えていることを
特徴とする。

【００１０】さらに、第１部材と第２部材の中、少なく
とも一方の部材の両側面を接合面とし、各接合面に一方
の端部から他方の端部まで貫通する溝を形成するととも
に、前記両接合面に他方の部材を当接させると好適であ
る。

【００１１】さらにまた、第１部材あるいは第２部材の
中、一方の部材は、溝のガラス部材流入側端部におい
て、他方の部材よりも突出して当該他方の部材に当接さ
れると好適である。特に、Ｍｎ−Ｚｎフェライトから形
成される第１部材を突出させると一層好適であるな
お、スベーサは、第１部材あるいは第２部材と同一の素
材から形成されれば、また、非磁性セラミックスは、Ｃ
ａＴｉＯ₃を主成分とするセラミックスであれば、好適
である。

【００１２】

【作用】本発明に係る磁気ヘッド複合材の製造方法で
は、Ｍｎ−Ｚｎフェライトからなる第１部材と、非磁性
セラミックスから構成された第２部材とを接合する場合
に、第１部材あるいは第２部材の少なくとも一方の接合
面に溝を設け第１部材の接合面と第２部材の接合面を当
接させ、あるいは第１部材と第２部材の間にスペーサを
挟持させて第１部材と第２部材の間に孔部を形成させ、
前記溝あるいは孔部に軟化したガラス部材を流入させ、
第１部材と第２部材を接合する。この場合、第１部材と
第２部材の接合面は、溝あるいは孔部によって充分な厚
さのガラス層が形成されているため、第１部材と第２部
材の熱膨張率の違いにより発生する熱応力を緩和する。
また、第１部材あるいは第２部材の一方の部材の両側面
を接合面とし、他方の部材を両接合面に当接させて接合
させることにより、接合時の熱応力により部材が湾曲し
ようとしても、他方の部材が一方の部材に対して対称に
配置されているため、湾曲が抑制される。さらに、第１
部材と第２部材の中、一方の部材が他方の部材よりも溝
または孔部のガラス流入側端部で突出して当該他方の部
材に当接されるため、一方の部材の突出部分を前記ガラ
ス流入端部に配設されるガラス部材の支持用に使用でき
る。さらにまた、突出して当接される部材がフェライト
からなる第１部材であれば、軟化したガラス部材が第１
部材の端部にかかり、クラックが発生することを阻止す
る。またさらに、スペーサが第１あるいは第２部材と同
一の素材から形成されていれば、スペーサの熱膨張率が
第１部材あるいは第２部材と同一になる。非磁性セラミ
ックスがＣａＴｉＯ₃を主成分とするセラミックスであ
れば、フェライトに熱膨張率が近い。

【００１３】

【実施例】本発明に係る磁気ヘッド複合材の製造方法に
ついて、好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しなが
ら以下詳細に説明する。

【００１４】先ず、磁気ヘッドの製造方法について概略
説明し、その後で、本発明に係る磁気ヘッド複合材の製
造方法について説明する。

【００１５】磁気ヘッドの製造では、図１に示すよう
に、単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトからなるフェライト板
１０と非磁性セラミックスからなるセラミックス板１２
を高融点ガラス１４によって一体的に接合し、スライダ
本体基板１６を構成する。続いて、図２に示すように、
前記スライダ本体基板１６に、後述するコアチップ挿入
用溝１８、コイル巻線用溝２０を形成し、前記コアチッ
プ挿入用溝１８に別途製造されたコアチップ２２が所定
の非磁性体から形成されたスペーサ２４とともに挿入さ
れ、低融点ガラス２６で固着されている。

【００１６】次に、前記スライダ本体基板１６のフェラ
イト板１０側の面に対してデプス研磨加工およびリーデ
ィングランプ加工を行い、所定位置にマスクを付与した
状態で選択的にエッチングを行い、空気ベアリング部２
８を形成する（図３参照）。

【００１７】最後に、前記スライダ本体基板１６にチャ
ンハー加工等を施し、図４に示すように、コアスライダ
３０のサイズに切り出される。

【００１８】このようにして製造されるコアスライダ３
０において、例えば、フェライト板１０とセラミックス
板１２を接合してスライダ本体基板１６を製造する過程
に本発明に係る磁気ヘッド複合材の製造方法が適用され
る。以下、その製造方法について詳細に説明する。

【００１９】フェライト板１０は、図５に示すように、
矩形状の板体であり、単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトから
形成されている。

【００２０】セラミックス板１２は、ＣａＴｉＯ₃を主
成分とする非磁性セラミックスから構成され、図５に示
すように、その接合面１２ａには凸部４０が平行に両端
部を含めて複数個所形成されている。この結果、前記凸
部４０に挟まれた部分が溝部４２となっている。前記溝
部４２の深さｄは、１０μｍ〜５０μｍ、好適には１５
μｍ〜４０μｍが適当である。フェライト板１０と略同
形状の板体として形成されるが、高さがフェライト板１
０よりも所定長αだけ短い。

【００２１】このように形成されたフェライト板１０
は、図６および図７に示すように、セラミックス板１２
の接合面１２ａに当接され、下方端面１０ｂ、１２ｂを
揃えて人工雲母体等の多孔質体４４上に設置される。し
たがって、フェライト板１０の上方端面１０ｃは、セラ
ミックス板１２の上方端面１２ｃよりも所定長αだけ高
くなる。この状態で、前記セラミックス板１２の溝部４
２の上部にガラスファイバー１４ａ（高融点ガラス１
４）（軟化温度、６００℃〜６７０℃）を配設する。
この状態で、全体を９１０℃まで加熱する。この結果、
前記ガラスファイバー１４ａを構成する高融点ガラス１
４が軟化し、前記溝部４２内部に流入する（図７、矢印
参照）。溝部４２の最下部に達した軟化した高融点ガラ
ス１４は、多孔質体４４によって支持され、前記高融点
ガラス１４に含有される気泡のみが前記多孔質体４４に
浸透する（図７、破線矢印参照）。したがって、溝部４
２に流入さた高融点ガラス１４から気泡が好適に除去さ
れる。ここで、冷却を開始すると、軟化した高融点ガラ
ス１４が６００℃〜６７０℃で固化して、フェライト板
１０とセラミックス板１２を接合させる。最後に、高融
点ガラス１４によって前記フェライト板１０、セラミッ
クス板１２と接合している多孔質体４４を切断して複合
材４６を製造する（図８参照）。

【００２２】この際、フェライト板１０およびセラミッ
クス板１２の熱膨張率の違いにより熱応力が発生する
が、溝部４２（深さｄ＝１０μｍ〜５０μｍ、好適には
１５μｍ〜４０μｍ）に流入した高融点ガラス１４が充
分な厚さ（＝深さｄ）を有するガラス層となっているた
め、前記熱応力を緩和し、フェライト板１０あるいはセ
ラミックス板１２の湾曲あるいはクラックの発生を阻止
する。なお、前記溝部４２の深さｄが、１０μｍ以下の
場合には、高融点ガラス１４が溝部４２の内部に流入せ
ず、５０μｍ以上の場合には、接合後の複合部材の切断
時に、切削抵抗が大きすぎ、フェライトにクラック等が
発生するおそれがある。

【００２３】また、図７に示すように、フェライト板１
０の上部端面１０ｃをセラミックス板１２の上部端面１
２ｃよりも所定長αだけ高く設置したため、フェライト
板１０とセラミックス板１２を傾斜させて配設して接合
させる場合に、フェライト板１０がガラスファイバー１
４ａを好適に支持する。

【００２４】さらに、セラミックス板１２の上部端面１
２ｃに設置されたガラスファイバー１４ａがフェライト
板１０の上部端面１０ｃよりも低く配設されるため、軟
化した高融点ガラス１４が前記フェライト板１０の上部
端面１０ｃに付着せず、フェライト板１０にクラックが
生ずることを阻止する。

【００２５】さらにまた、高融点ガラス１４（軟化温度
６００℃〜６７０℃）でフェライト板１０およびセラミ
ックス板１２で接合しているため、磁気ヘッド製造の後
工程で軟化温度が高融点ガラス１４よりも低い低融点ガ
ラス２６で接合作業が行われても（図２参照）、高融点
ガラス１４が軟化し、接合状態が変化することはない。

【００２６】なお、本実施例では、ガラスファイバー１
４ａを使用したが、図９に示すように、高融点ガラス１
４からなる板体１４ｂを使用することもできる。また、
本実施例では、凸部４０、溝部４２をセラミックス板１
２側に形成したが、フェライト板１０側でも良い。

【００２７】さらに、セラミックス板１２の凸部４０を
別体として形成し、セラミックス板１２と同素材で、所
謂、スペーサ４８（図１０参照）として形成し、セラミ
ックス板１２の形状を簡略化することにより、生産の効
率化を図ることも考えられる。なお、スペーサ４８は、
セラミックス板１２と異なる素材から形成しても良い。

【００２８】続いて、第２実施例として、２枚のフェラ
イト板１０でセラミックス板１２を挟持した形状で複合
材の製造を行う方法を示す。

【００２９】フェライト板１０は、第１実施例と同一の
ものを使用する。

【００３０】セラミックス板１２は、図１１に示すよう
に、その両側面を接合面１２ａ、１２ｄとし、前記第１
実施例と同様に、その両端部に凸部４０を平行に設け
て、両側面に溝部４２を形成している。

【００３１】ここで、図１２に示すように、セラミック
ス板１２の両接合面１２ａ、１２ｄにそれぞれフェライ
ト板１０を当接させ、人工雲母等の多孔質体４４上に設
置し、さらにセラミックス板１２上にガラスファイバー
１４ａを配設する。この状態で、第１実施例と同様にし
てガラスファイバー１４ａを構成する高融点ガラス１４
を軟化させて前記溝部４２に流入させる。この後、前記
高融点ガラス１４が固化されることにより、フェライト
板１０とセラミックス板１２が高融点ガラス１４を介し
て接合される。

【００３２】この際、第１実施例と同様に充分な厚さ
（ｄ＝１０μｍ〜５０μｍ）に形成されたガラス層によ
ってフェライト板１０あるいはセラミックス板１２に発
生する熱応力を緩和する等の理由とともに、フェライト
板１０に熱応力が作用する場合、フェライト板１０がセ
ラミックス板１２に対して対称的に配設されているた
め、フェライト板１０のクラックや変形等を一層抑制す
ることができる。

【００３３】また、フェライト板１０の上部端面１０ｃ
がセラミックス板１２の上部端面１２ｃよりも高いた
め、ガラスファイバー１４ａが安定して設置できる。

【００３４】このように形成された複合材は、セラミッ
クス板１２を図１２に示す矢印に沿って半分に切断する
ことにより、２個の複合部材となり、生産効率が増大す
る。

【００３５】なお、本実施例においても、第１実施例同
様、スペーサによって凸部４０に代替することが可能で
ある。

【００３６】以上のような製造方法は、図１３〜図１６
に示すように、高密度記録を指向しているコアチップ２
２にも適用される。

【００３７】先ず、ここまでに述べてきた本発明の製造
方法によって、Ｍｎ−Ｚｎフェライトからなるフェライ
ト部材５０と、非磁性部材、例えば、ＣａＴｉＯ₃を主
成分とする非磁性セラミックス部材５２とを高融点ガラ
ス１４（軟化温度６００℃〜６７０℃）によって接合
し、複合材５４を形成する（図１３参照）。

【００３８】つぎに、前記複合材５４のフェライト部材
５０側を、Ｍｎ−Ｚｎフェライトからなる本体５６に低
融点ガラス５８で接合し、コアチップ２２を形成する。
ここで、低融点ガラス５８とは、前記高融点ガラス１４
よりも軟化温度が低く（好適には４５０℃以下）、その
温度で接合処理が行えるものであれば材質を問わない。
この結果、コアチップ２２は、図１４に示すように、磁
気ギャップ６０を含む矩形の環状構造にＭｎ−Ｚｎフェ
ライトから形成されることになる。この後、図１５に示
すように、その一辺の幅を狭めてトラック部６２を形成
する。

【００３９】この結果、非磁性セラミックス部材５２が
接合されている部分において、コアチップ２２のＭｎ−
Ｚｎフェライトで構成されている部分の断面積が減少
し、インダクタンスが減少される。したがって、コアチ
ップ２２の高密度記録（高周波化）が可能となる。ま
た、コアチップ２２のＭｎ−Ｚｎフェライト構成部分の
断面積が減少した個所では、非磁性セラミックス部材５
２によってコアチップ２２が補強されており、コアチッ
プ２２の強度も充分に確保される。

【００４０】また、高融点ガラス１４を用いてフェライ
ト部材５０と非磁性セラミックス部材５２が接合されて
いるため、後で高融点ガラス１４よりも軟化温度の低い
低融点ガラス５８を使用して接合しても前記高融点ガラ
ス１４が軟化して複合材５４が湾曲するおそれはない。

【００４１】なお、図１６に示す位置で、前記複合材５
４をコアチップの本体５６に接合しても同様の効果が得
られる。

【００４２】また、図１７に示すように、モノシリック
型の磁気ヘッドにおけるコアスライダ７０においても、
同様にして本発明の製造方法によりフェライト部材７２
と非磁性セラミックス部材７４を高融点ガラス１４によ
って接合して複合材７６を形成し、前記複合材７６をコ
アスライダ７０の先端部に低融点ガラス５８によって接
合とすることにより、インダクタンスの低減化が達成で
き、記録の高密度化が達成される。

【００４３】

【発明の効果】本発明に係る磁気ヘッド複合材の製造方
法によれば、以下の効果が得られる。

【００４４】すなわち、Ｍｎ−Ｚｎフェライトからなる
第１部材と、非磁性セラミックスから構成された第２部
材とを接合する場合に、第１部材あるいは第２部材の少
なくとも一方の接合面に溝を設け第１部材の接合面と第
２部材の接合面を当接させ、あるいは第１部材と第２部
材の間にスペーサを挟持させて第１部材と第２部材の間
に孔部を形成させ、前記溝あるいは孔部に軟化したガラ
ス部材を流入させ、第１部材と第２部材を接合する。こ
の場合、第１部材と第２部材の接合面は、溝あるいは孔
部によって充分な厚さのガラス層が形成されているた
め、第１部材と第２部材の熱膨張率の違いにより発生す
る熱応力を緩和する。

【００４５】また、第１部材あるいは第２部材の一方の
部材の両側面を接合面とし、他方の部材を両接合面に当
接させて接合することにより、接合時の熱応力により部
材が湾曲しようとしても、他方の部材が一方の部材に対
して対称に配置されているため、湾曲が抑制される。

【００４６】さらに、第１部材と第２部材の中、一方の
部材が他方の部材よりも溝または孔部のガラス流入側端
部で突出して当該他方の部材に当接されるため、一方の
部材の突出部分を前記ガラス流入端部に配設されるガラ
ス部材の支持用に使用できる。さらにまた、突出して当
接される部材がフェライトからなる第１部材であれば、
軟化したガラス部材が第１部材の端部にかかり、クラッ
クが発生することを阻止する。

【００４７】またさらに、スペーサが第１あるいは第２
部材と同一の素材から形成されていれば、スペーサの熱
膨張率が第１部材あるいは第２部材と同一になる。非磁
性セラミックスがＣａＴｉＯ₃を主成分とするセラミッ
クスであれば、フェライトに熱膨張率が近いため、フェ
ライトと非磁性セラミックスの熱応力の発生が小さくな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を示す斜視
図である。

【図２】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を示す斜視
図である。

【図３】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を示す斜視
図である。

【図４】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を示す斜視
図である。

【図５】本発明に係る第１実施例の磁気ヘッド複合材の
製造方法を示す分解斜視図である。

【図６】本発明に係る第１実施例の磁気ヘッド複合材の
製造方法を示す斜視図である。

【図７】本発明に係る第１実施例の磁気ヘッド複合材の
製造方法を示す縦断面図である。

【図８】本発明に係る第１実施例の磁気ヘッド複合材の
製造方法によって製造された複合材を示す斜視図であ
る。

【図９】本発明に係る第１実施例の磁気ヘッド複合材の
製造方法を示す斜視図である。

【図１０】本発明に係る第１実施例の磁気ヘッド複合材
の製造方法を示す分解斜視図である。

【図１１】本発明に係る第２実施例の磁気ヘッド複合材
の製造方法を示す分解斜視図である。

【図１２】本発明に係る第２実施例の磁気ヘッド複合材
の製造方法を示す斜視図である。

【図１３】本発明に係る磁気ヘッド複合材の製造方法を
適用した複合材の斜視図である。

【図１４】本発明に係る磁気ヘッド複合材の製造方法を
適用したコアチップの製造方法を示す斜視図である。

【図１５】本発明に係る磁気ヘッド複合材の製造方法を
適用したコアチップの斜視図である。

【図１６】本発明に係る磁気ヘッド複合材の製造方法を
適用したコアチップの斜視図である。

【図１７】本発明に係る磁気ヘッド複合材の製造方法を
適用したコアスライダの斜視図である。

【符号の説明】

１０…フェライト板１２…セラミックス板１４…高融点ガラス１４ａ…ガラスファイバー１４ｂ…板体１６…スライダ本体基板２６、５８…低融点ガラス２８…空気ベアリング部３０、７０…コアスライダ４０…凸部４２…溝部４４…多孔質体４６、５４、７６…複合材４８…スペーサ５０、７２…フェライト部材５２、７４…非磁性セラミックス部材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】Ｍｎ−Ｚｎフェライトからなる第１部材
と、非磁性セラミックスからなる第２部材をガラスによ
って接合する磁気ヘッド複合材の製造方法であって、前記第１部材と第２部材の中、少なくとも一方の部材の
接合面に一方の端部から他方の端部まで貫通する溝を形
成する過程と、前記第１部材と第２部材の接合面を当接させる過程と、前記溝の一端にガラス部材を配設する過程と、前記ガラス部材を軟化させて前記一端から前記溝に流入
させ、前記第１部材と前記第２部材とを接合する過程
と、を備えることを特徴とする磁気ヘッド複合材の製造方
法。
【請求項２】Ｍｎ−Ｚｎフェライトから形成される第１
部材と、非磁性セラミックスから形成される第２部材を
ガラスによって接合する磁気ヘッド複合材の製造方法で
あって、スペーサを形成する過程と、前記スペーサを第１部材と第２部材との間に挟んで、第
１部材と第２部材との間に孔部を形成する過程と、前記孔部の一端にガラス部材を配設する過程と、前記孔部にガラス部材を軟化させて流入させ、第１部
材、第２部材およびスペーサを接合する過程と、を備えていることを特徴とする磁気ヘッド複合材の製造
方法。
【請求項３】請求項１または２記載の製造方法におい
て、第１部材と第２部材の中、少なくとも一方の部材の両側
面を接合面とし、各接合面に一方の端部から他方の端部
まで貫通する溝を形成するとともに、前記両接合面に他
方の部材を当接させることを特徴とする磁気ヘッド複合
材の製造方法。
【請求項４】請求項１乃至３のいずれかに記載の製造方
法において、第１部材あるいは第２部材の中、一方の部材は、溝のガ
ラス部材流入側端部において、他方の部材よりも突出し
て当該他方の部材に当接されることを特徴とする磁気ヘ
ッド複合材の製造方法。
【請求項５】請求項１乃至４のいずれかに記載の製造方
法において、Ｍｎ−Ｚｎフェライトから形成される第１部材は、溝の
ガラス部材流入側端部において、第２部材よりも突出し
て当該第２部材に当接されることを特徴とする磁気ヘッ
ド複合材の製造方法。
【請求項６】請求項２記載の製造方法において、スペーサは、第１部材あるいは第２部材と同一の素材で
形成されることを特徴とする磁気ヘッド複合材の製造方
法。
【請求項７】請求項１乃至６のいずれかに記載の製造方
法において、非磁性セラミックスは、ＣａＴｉＯ₃を主成分とするセ
ラミックスであることを特徴とする磁気ヘッド複合材の
製造方法。